KR101121199B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 제1 방향으로 연장되게 배치된 제1 샤프트, 제1 샤프트에 고정된 제1 롤러, 제1 샤프트 하부에 배치되되, 제1 샤프트와 나란하게 배치된 제2 샤프트, 제2 샤프트에 고정되며 제1 샤프트와 맞닿는 제2 롤러, 및 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 연장되게 배치된 베스를 포함하되, 제1 롤러는 베스의 외부에 배치되고, 제2 롤러는 베스의 내부에 배치된다.
샤프트, 롤러, 베스, 기판 이송 장치

Description

기판 이송 장치{Apparatus for conveying substrate}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 공정 및 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
최근 들어 정보 처리 장치는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 처리된 정보를 외부로 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 디스플레이 장치로서, 현재 주목받고 있는 것은 액정 디스플레이 장치, 유기 EL 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치이다.
평판 디스플레이 장치는 다수의 처리 공정을 거친다. 예를 들어 이러한 처리 공정은 공정기판 상에 박막 및/또는 패턴을 형성하기 위한 증착 공정, 베이킹 공정, 노광 공정, 현상 공정, 식각 공정 등이 있다.
상기 공정들은 대개 서로 다른 처리 장치에서 이루어진다. 따라서, 상기 다수의 처리 공정을 수행하기 위해, 또한 공정 자동화 및 효율성 제고 측면에서도, 상기 기판을 각 처리 장치로 이송시키는 기판 이송 장치의 사용이 필수적이다. 때때로, 하나의 처리 장치로부터 다른 처리 장치로의 기판 이송뿐만 아니라, 하나의 처리 장치 내에서의 기판 이송도 필요하다. 후자의 경우는 기판의 이송과 동시에 처리 공정을 진행할 수 있으므로, 처리 속도 개선에 이바지한다.
현재 일반적으로 널리 적용되고 있는 기판 이송 장치 중 하나는 다수개의 이송 롤러가 설치되어 있는 회전 샤프트를 이용하는 것이다. 이러한 기판 이송 장치는 회전 샤프트를 회전시켜 그에 설치된 다수의 이송 롤러를 함께 회전시킨다. 즉, 이송 롤러의 회전력으로 기판을 특정 방향으로 이송하게 된다.
한편, 이러한 기판 이송 장치에는 이송 롤러의 회전 샤프트를 지지하기 위한 지지 롤러가 존재한다. 이러한 지지 롤러는 일반적으로 복수개(예를 들어 2개)가 회전 샤프트와 같은 방향으로 회전하면서 회전 샤프트를 지지하게 된다.
이 때, 회전 샤프트와 지지 롤러 사이에는 회전에 의한 마찰 때문에 열이 발생하고, 그로 인해 지지 롤러가 마모되면서 파티클이 발생할 수 있는데 이는 공정 및 제품 신뢰성에 영향을 주게 된다. 따라서 이러한 마찰에 의한 열의 발생과 마모로 인한 파티클 발생을 최소화하는 방안이 요구된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 공정 및 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 연성 회로 기판의 제조 방법의 일 태 양(aspect)은, 제1 방향으로 연장되게 배치된 제1 샤프트, 제1 샤프트에 고정된 제1 롤러, 제1 샤프트 하부에 배치되되, 제1 샤프트와 나란하게 배치된 제2 샤프트, 제2 샤프트에 고정되며 제1 샤프트와 맞닿는 제2 롤러, 및 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 연장되게 배치된 베스를 포함하되, 제1 롤러는 베스의 외부에 배치되고, 제2 롤러는 베스의 내부에 배치된다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 연성 회로 기판의 제조 방법의 다른 태양은 제1 방향으로 흐르는 윤활제가 채워진 베스, 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 배치되되 회전 운동을 하는 회전부, 회전부에 고정되어 회전부와 동일한 방향으로 회전 운동을 하며 기판을 이송하는 이송부, 회전부 하부에 배치되되 회전부와 나란하게 배치된 제1 지지부, 및 제1 지지부에 고정되고 회전부와 맞닿아 회전하며 회전부를 지지하는 제2 지지부를 포함하되, 회전부, 이송부, 제1 및 제2 지지부 중 회전부, 제1 및 제2 지지부만 적어도 일부분이 흐르는 윤활제와 접촉한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 베스에 채워지는 윤활제는 제1 샤프트와 지지 롤러 사이의 마찰에 의해 발생하는 열을 최소화하고, 제1 샤프트와 지지 롤러 사이에 발생하는 마모에 의한 파티클을 최소화하는 역할을 할 수 있다. 따라서, 공정 및 제품 신뢰성이 향상될 수 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, "및/또는"는 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하 나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 평면도이다. 도 2는 도 1의 Ⅱ영역을 확대한 평면도이다. 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 자른 단면도이다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 이송 장치는 제1 샤프트(100), 이송 롤러(110), 지지 롤러(120), 제2 샤프트(130) 및 베스(140)를 포함한다.
제1 샤프트(100)는 일단에 마그네틱 기어(500)가 구비되어 챔버(300) 내부에 배치될 수 있다. 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이 제1 샤프트(100)를 회전 구동시키는 구동 기어(400)는 챔버 외부에 배치되고, 이러한 구동 기어(400)에 대응하여 일단에 마그네틱 기어(120)가 구비된 제1 샤프트(100)가 챔버 내부에 배치될 수 있다.
한편, 이와 같은 제1 샤프트(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 복수 개가 배치될 수 있는데, 복수 개의 제1 샤프트(100)는 각각 제1 방향(y)으로 서로 나란하게 배치될 수 있다.
이송 롤러(110)는 하나의 처리 장치로부터 다른 처리 장치로 또는 하나의 처리 장치 내에서 기판(20)을 이송하는 역할을 할 수 있다. 이러한 이송 롤러(110)는 제1 샤프트(100)에 고정되어 설치될 수 있다. 구체적으로 이송 롤러(110)는 제1 샤프트(100)에 고정되어 설치되어 제1 샤프트(100)가 회전할 때 같이 회전하면서 기판(20)을 이송할 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이 이러한 이송 롤러(110)는 복수 개가 배치될 수 있다. 구체적으로 이송 롤러(110)는 각 제1 샤프트(100)에 모두 동수의 이송 롤러(110)가 동일한 간격으로 설치될 수 있다. 이 경우, 서로 다른 제1 샤프트(100)에 설치되어 있는 이송 롤러(110)들은 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 방향(y)에 수직인 제2 방향(x)을 따라 연장하는 가상의 직선 상에 실질적으로 정렬되어 배열될 수 있다.
지지 롤러(120)는 제1 샤프트 하부에 배치된 제2 샤프트(130)에 고정되어 제1 샤프트(100)를 지지하는 역할을 할 수 있다. 구체적으로 도 2에 도시된 바와 같이 제1 샤프트(100) 하부에 제1 샤프트(100)와 나란하게 배치된 제2 샤프트(130)는 양단이 베스(140)에 고정되고, 지지 롤러(120)는 이 제2 샤프트(130)에 고정되어 상부에 배치된 제1 샤프트(100)와 맞닿음으로써 제1 샤프트(100)를 지지할 수 있다. 이러한 지지 롤러(120)는 제1 샤프트(100)가 회전할 경우 같이 제1 샤프 트(100)와 맞닿아 회전하면서 제1 샤프트(100)를 지지할 수 있다.
한편 이러한 지지 롤러(120)는 복수 개가 배치될 수 있다. 구체적으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 지지 롤러(120)는 제1 샤프트(100) 하부에 2개의 지지 롤러(120)가 한 쌍으로 배치되어 제1 샤프트(100)를 지지할 수 있으나, 이는 본 발명의 일 실시에에 불과하며 2개 이상의 지지 롤러(120)가 한 쌍으로 제1 샤프트(100)를 지지할 수도 있다. 즉, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다.
각 지지 롤러(120)의 예시적인 설치예는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 각 제1 샤프트(100)에 각각 2개의 제2 샤프트(130) 및 지지 롤러(120)가 한 쌍으로 이를 지지하되, 이송 롤러(110)의 수와 동일한 쌍의 제2 샤프트(130) 및 지지 롤러(120)가 동일한 간격으로 설치된 것을 포함한다. 이 경우 서로 다른 제1 샤프트(100)에 설치되어 있는 이송 롤러(110)를 지지하는 제2 샤프트(130) 및 지지 롤러(120)들은 이송 롤러(110)와 마찬가지로, 제1 방향(y)에 수직인 제2 방향(x)을 따라 연장하는 가상의 직선 상에 실질적으로 정렬되어 배열될 수 있다.
베스(140)는 제2 방향(x)으로 연장되게 배치될 수 있다. 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이 베스(140)는 제1 샤프트(100) 하부에 제2 방향(x)으로 연장되게 배치되되, 제1 샤프트(100)에 고정된 이송 롤러(110)는 베스(140)의 외부에 배치되도록 배치될 수 있다. 또한 제2 샤프트(130)의 양단은 이러한 베스(140)의 측벽에 고정시되도록 배치될 수 있는데, 이러한 제2 샤프트(130)에 고정되게 배치된 지지 롤러(120)는 베스(140)의 내부에 배치될 수 있다.
한편, 베스(140)는 도 1에 도시된 바와 같이 복수 개가 배치될 수 있다. 이 때 각 베스(140)는 제2 방향(x)을 따라 연장되어 배치될 수 있으며, 여기서 하나의 베스(140)는 상술한 제2 방향(x)을 따라 연장하는 하나의 가상의 직선 상에 배열되어 있는 지지 롤러(120) 쌍들에 대응되도록 배치될 수 있다.
다음, 도 3을 참조하면, 베스(140)에는 윤활제(150)가 채워질 수 있다. 여기서 윤활제(150)는 제1 샤프트(100)와 지지 롤러(120) 사이의 마찰에 의해 발생하는 열을 최소화하고, 제1 샤프트(100)와 지지 롤러(120) 사이에 발생하는 마모에 의한 파티클을 최소화하는 역할을 할 수 있다. 따라서, 베스(140)의 위치 및 베스(140)에 채워지는 윤활제(150)는 제1 샤프트(100) 및 지지 롤러(120)의 적어도 일부분이 잠길 수 있도록 채워질 수 있다. 이렇게 윤활제(150)를 이용하여 제1 샤프트(100)와 지지 롤러(120) 사이의 마찰을 최소화하면 공정 및 제품 신뢰성이 향상될 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 베스(140)에는 제1 방향으로 흐르는 윤활제(150)가 채워질 수 있다. 그리고 윤활제(150)가 흐르는 방향에 수직인 방향으로 제1 샤프트(100)가 배치되고, 이러한 제1 샤프트(100)는 도 3에 표시된 방향으로 회전하는바 회전부의 역할을 할 수 있다.
이송 롤러(110)는 제1 샤프트(100)에 고정되어 도 3에 도시된 제1 샤프트(100)의 회전 방향과 같은 방향으로 회전 운동할 수 있는데, 이러한 이송 롤러(110)는 앞서 설명한 바와 같이 베스(140)의 외부에 배치되므로 윤활제(150)와 접촉되지 않을 수 있다. 이러한 이송 롤러(110)는 기판(20)을 이송하기 때문에 이송부의 역할을 할 수 있다.
다음 제2 샤프트(130)는 제1 샤프트(100)의 하부에 제1 샤프트(100)와 나란하게 배치될 수 있고, 지지 롤러(120)는 이러한 제2 샤프트(130)에 고정되고 제1 샤프트(100)와 맞닿아 도 3에 도시된 회전 방향으로 회전 할 수 있다. 이러한 제2 샤프트(130) 및 지지 롤러(120)는 각각 두 개가 한쌍으로 제1 샤프트(100)를 지지하는 역할을 할 수 있는바 제2 샤프트(130)는 제1 지지부일 수 있고, 지지 롤러(120)는 제2 지지부일 수 있다.
여기서, 지지 롤러(120)는 제2 샤프트(130)를 중심축으로 회전하되, 제1 샤프트(100)는 맞닿아 회전하기 때문에 윤활제(150)가 지지 롤러(120), 제2 샤프트(130) 및 제1 샤프트(100)의 적어도 일부와 접촉하여야지만 윤활 작용을 원활하게 수행할 수 있다.
한편 베스(140)는 도 3에 도시된 바와 같이 제1 방향으로 흐르는 윤활제(150)를 공급하기 위한 윤활제 공급관(160) 및 이를 배수하기 위한 윤활제 배수관(170)을 포함할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ영역을 확대한 평면도이다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 자른 단면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
20: 기판 100: 제1 샤프트
110: 이송 롤러 120: 지지 롤러
130: 제2 샤프트 140: 베스
150: 윤활제 160: 윤활제 공급관
170: 윤활제 배수관

Claims (6)

  1. 제1 방향으로 연장되게 배치된 제1 샤프트;
    상기 제1 샤프트에 고정된 제1 롤러;
    상기 제1 샤프트 하부에 배치되되, 상기 제1 샤프트와 나란하게 배치된 제2 샤프트;
    상기 제2 샤프트에 고정되며 상기 제1 샤프트와 맞닿는 제2 롤러; 및
    내부 공간에 윤활제가 채워지고, 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 연장되게 배치된 베스를 포함하되,
    상기 제1 롤러는 상기 베스의 외부에 배치되고, 상기 제2 샤프트의 양단은 상기 베스에 고정되고, 상기 제2 롤러는 상기 베스의 내부에 배치되며,
    상기 제1 샤프트 및 상기 제2 롤러는 적어도 일부가 상기 윤활제 속에 잠겨, 상기 제1 및 제2 샤프트와 상기 제2 롤러는 상기 윤활제와 접촉하고, 상기 제1 롤러는 상기 윤활제와 접촉하지 않는 기판 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 베스는 상기 윤활제를 공급하는 윤활제 공급관과 상기 윤활제를 배수하는 윤활제 배수관을 포함하는 기판 이송 장치.
  6. 제1 방향으로 흐르는 윤활제가 채워진 베스;
    상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 배치되되 회전 운동을 하는 회전부;
    상기 회전부에 고정되어 상기 회전부와 동일한 방향으로 회전 운동을 하며 기판을 이송하는 이송부;
    상기 회전부 하부에 배치되되 상기 회전부와 나란하게 배치된 제1 지지부; 및
    상기 제1 지지부에 고정되고 상기 회전부와 맞닿아 회전하며 상기 회전부를 지지하는 제2 지지부를 포함하되,
    상기 회전부 및 상기 제2 지지부는 적어도 일부가 상기 윤활제 속에 잠겨, 상기 회전부, 제1 및 제2 지지부만 적어도 일부분이 상기 흐르는 윤활제와 접촉하고, 상기 이송부는 상기 베스의 외부에 배치되어 상기 윤활제와 접촉하지 않는 기판 이송 장치.
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