JP2007073613A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ガラス基板の拡大化と洗浄液とによる搬送シャフトの撓みを解消し、基板搬送性能を向上させる枚葉式の基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 ベース板４に設置された２つのシャフト支持部３に支持され、複数のローラ２を具備したガラス基板５を搬送する搬送シャフト１と、搬送シャフト１の中央部に取り付けられた複数のローラ２の内の１つのローラ２及び補助ローラ８と、補助ローラ８を支持する２つの軸受け９と、ベース板４に設置されて、２つの軸受け９を支持する中間支持部７とを含む。
【選択図】 図１

Description

本発明は、洗浄工程において、各種基板の搬送を行う基板搬送装置に係り、詳しくは、ガラス基板の拡大化と洗浄液による搬送シャフトの撓みを解消し、基板搬送性能を向上させる枚葉式の基板搬送装置に関する。

従来において、フラットパネルディスプレイの画面表示サイズが比較的小さい場合、例えば４枚取りのガラス基板サイズが７３０ｍｍ×９２０ｍｍ以下の場合は、ガラス基板が撓むという問題はあまり生じなかった。しかし大画面化の進歩に伴い、例えば１８７０ｍｍ×２２００ｍｍ以上のガラス基板を洗浄する場合、ガラス基板の洗浄装置に基板を搬入又は搬出する工程で、ガラス基板と洗浄液による重量により、シャフトが撓み、搬送トラブルが発生するという問題が生じた。図５は、従来の基板搬送装置の使用例を示す模式図である。図５ａにおいて、基板搬送装置の搬送単位は、ベース板４の両側にシャフト支持部３が設置され、一本のシャフト１には４つのローラ２が取り付けられて、シャフト支持部３に設置されて成る。シャフト１の駆動部は図示されていない。ガラス基板５が、４つのローラ２の上に置かれて搬送されるが、ガラス基板５のサイズの拡大化に伴い、ガラスと洗浄液６の重量によりシャフト１の中央部が撓み、搬送に支障を来たすこととなった。

図５ｂは、この問題を解決するために、シャフト１の径を太くして撓みを解消したものである。図５ｃは、一本のシャフト１を２分割し、中間に中間指示部７を設けてシャフト１を支え、撓みを解消したものである。ところがシャフト１を太くすると重量が増すため、回転トルクとシャフト支持部３の強度とを増す必要があり、高価な設備となる。またシャフト１が重いため、メンテナンスのための取り外し作業においても従来に比べ負担が増す、等の問題があった。また、中間でシャフトを分割すると、駆動系が２倍となり、部品点数が増加し、その結果高価な設備となる。また駆動系及びシャフトの増加により、メンテナンスが従来以上に増加する問題があった。特許文献１には、回転軸を支持する支承部材が容易に交換できて、回転軸の磨耗を低減させることが出来る回転軸の支持構造に関する記載がされている。
特開２０００−８７９５４号公報

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、ガラス基板の拡大化と洗浄液とによる搬送シャフトの撓みを解消し、基板搬送性能を向上させる枚葉式の基板搬送装置を提供する。

本発明の基板搬送装置は、洗浄工程において基板を搬送する枚葉式の基板搬送装置であって、
ベース板に設置された２つのシャフト支持部に支持され、複数のローラを具備した前記基板を搬送する搬送シャフトと、
前記搬送シャフトの中央部に取り付けられた前記複数のローラの内の１つのローラ及び補助ローラと、
前記補助ローラを支持する２つの軸受けと、
前記ベース板に設置されて、前記２つの軸受けを支持する中間支持部とを含むことを特徴とする。

本発明の基板搬送装置の前記中間支持部が、前記搬送シャフトの中央部の高さを上下に調整できる高さ調整部を有することを特徴とする。

本発明の基板搬送装置の前記中間支持部が、さらに、前記２つの軸受けを洗浄する洗浄部を具備することを特徴とする。

本発明の基板搬送装置によれば、搬送シャフトが長くなっても、シャフトを中央で受ける構造であるため、構造が簡単で、取り外しが容易となり、メンテナンス性、生産性の向上が図れる。また、基板上の洗浄液が中央に溜まらないように高さが調整できるため、洗浄効果が改善される。さらに、２つの軸受けが洗浄部で洗浄されるため、軸受けからの発塵による不具合を防止することができる。

本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の基板搬送装置の搬送単位を示す構成図である。図１において、搬送シャフト１は、中央部とその両側に複数のローラ２を有し、さらに中央部に補助ローラ８を有する。この搬送シャフト１は、ベース板４に設置されたシャフト支持部３に取り付けられ駆動される。図示されていないが、左右いずれかのシャフト支持部３の外側に回転駆動用のモータが設置され、搬送シャフト１に回転力を与えている。補助ローラ８は、高さ調整部１０に取り付けられた軸受け９で支持され、高さ調整部１０は、中間支持部７に取り付けられて固定されている。

基板搬送装置は、この搬送単位を複数具備して構成されるため、ガラス基板５をローラ上に配置して、所定の場所へと搬送することができる。搬送シャフト１の補助ローラ８は、中央部で中間指示部７、高さ調整部１０及び軸受け９により支えられているため、ガラス基板５及び図示されていない洗浄液６の重さにより、中央部が下方に撓むことはなく、ガラス基板５は、安定して搬送される。また、高さ調整部１０には、図４において説明される軸受け９を洗浄する洗浄部１２が設置されている。

図２は、図１の一点鎖線ＡＡ´により切断された断面を示す概略図である。図２において、搬送シャフト１のローラ２の上にガラス基板５が配置されている。このガラス基板５の中央部での重みは、補助ローラ８が軸受け９と接触回転することで支えられている。この軸受け９は高さ調整部１０に取り付けられ、高さ調整部１０は、ベース板４に固定された中間支持部７に取り付けられている。これにより、補助ローラ８は、中央部でのガラス基板５と洗浄液６との重量を支え、安定して回転することができる。

図３は、本発明の基板搬送装置の高さ調整部の機能を示す構成図である。図３において、高さ調整部１０は、高さ調整ツマミ１１を有する。高さ調整ツマミ１１を調整することにより、搬送シャフト１を上方向にわずかながら湾曲させることができる。この湾曲に沿ってガラス基板５が撓むため、洗浄液６は左右に流れ落ちることが可能となる。これにより、大型ガラス基板の場合ガラス基板５の表面に部分的に洗浄液６が滞留し、汚染物質をそのまま次の工程へ送るという不具合を回避することが可能となる。

図４は、本発明の基板搬送装置の軸受けを洗浄する洗浄部を示す構成図である。図４において、軸受け９を洗浄する洗浄部１２は、高さ調整部１０に取り付けられている。軸受け９は、洗浄部１２に蓄えられた洗浄液に浸っており、補助ローラ８の回転に従って回転することにより、自動的に洗浄される。これにより、補助ローラ８と軸受け９との接触回転により生じる発塵を洗浄部１２が取り込み、ガラス基板５への汚染を回避することができる。また洗浄部１２の洗浄液は、搬送シャフト１の定期メンテナンスのとき、同時に洗浄液の交換がなされるため、特にメンテナンス負担を増すことはなく、常に清浄を保つことができる。

以上説明したように、本発明の基板搬送装置によれば、搬送シャフトが長くなっても、シャフトを中央で受ける構造であるため、構造が簡単で、取り外しが容易となり、メンテナンス性、生産性の向上が図れる。また、基板上の洗浄液が中央に溜まらないように高さが調整できるため、洗浄効果が改善される。さらに、２つの軸受けが洗浄部で洗浄されるため、軸受けからの発塵による不具合を防止することができる。

本発明による基板搬送装置の搬送単位を示す構成図。 本発明による基板搬送装置の一点鎖線ＡＡ´による断面を示す概略図。 本発明による基板搬送装置の高さ調整部の機能を示す構成図。 本発明による基板搬送装置の軸受けを洗浄する洗浄部を示す構成図。 従来の基板搬送装置の搬送単位を示す構成図。

符号の説明

１ 搬送シャフト
２ ローラ
３ シャフト支持部
４ ベース板
５ ガラス基板
６ 洗浄液
７ 中間支持部
８ 補助ローラ
９ 軸受け
１０ 高さ調整部
１１ 高さ調整ツマミ
１２ 洗浄部

Claims (3)

1. 洗浄工程において基板を搬送する枚葉式の基板搬送装置であって、
   ベース板に設置された２つのシャフト支持部に支持され、複数のローラを具備した前記基板を搬送する搬送シャフトと、
   前記搬送シャフトの中央部に取り付けられた前記複数のローラの内の１つのローラ及び補助ローラと、
   前記補助ローラを支持する２つの軸受けと、
   前記ベース板に設置されて、前記２つの軸受けを支持する中間支持部とを含むことを特徴とする基板搬送装置。
2. 前記中間支持部が、前記搬送シャフトの中央部の高さを上下に調整できる高さ調整部を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記中間支持部が、さらに、前記２つの軸受けを洗浄する洗浄部を具備することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送装置。

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