JP2000327131A - 扁平な基板用の真空チャンバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 所定の基板サイズの場合にできるだけ僅かな
チャンバ容積を有するように、真空チャンバを改良する
ことにある。 【解決手段】 扁平な基板用の真空チャンバが、基板を
搬送するために搬送ローラを有している。搬送ローラ
は、側方で支承体３に保持されかつ付加的に支承体３の
間で少なくとも１つの中央の支承体５によって支持され
ている。中央の支承体はそれぞれ支柱８に配置されてい
て、該支柱が、真空チャンバ２の底部１の開口１０を密
に貫通案内されていてかつ底部１の下側で支持部９に支
持されている。また、支柱８は折畳みベロー１１を介し
て真空チャンバ２の底部１に結合されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、扁平な基板用の真
空チャンバであって、該真空チャンバ内に、基板を搬送
するために搬送ローラが設けられていて、該搬送ローラ
が、両端をそれぞれ１つの支承体によって保持されてい
てかつ真空チャンバの底部の上側に配置されている形式
のものに関する。

【０００２】

【従来の技術】前記形式の真空チャンバは、特に平板ガ
ラス・コーティング装置用のスルースゲート式チャンバ
（Schleusenkammer）として使用されかつ一般に周知で
ある。このような装置においてできるだけ高いプロセス
速度を達成するために、真空チャンバをできるだけ迅速
に排気する必要がある。このことは、真空チャンバので
きるだけ僅かな容積によって及び真空チャンバを排気す
るポンプレベルのできるだけ高い出力によって達成され
る。

【０００３】チャンバ容積を減少するための手段として
現在、引込み式チャンバカバー、搬送ローラの間の押し
退け体及び真空密な搬送ローラが公知である。これによ
って、チャンバ容積は著しく減少される。チャンバ容積
の別の著しい減少は、小さな直径の搬送ローラが使用さ
れる場合に可能である。しかしながらこれには、搬送ロ
ーラが端部でのみ支承されかつ数メータの長さを有する
ということが相対する。扁平な基板（サブストレート）
を確実にしかも方向を安定して搬送するために搬送ロー
ラの撓みは著しく制限されるので、自由長さが大きけれ
ば必然的に比較的大きな搬送ローラ直径が必要であり、
現在の装置では搬送ローラ直径はしばしば１０ｃｍを上
回る。真空チャンバの中央で搬送ローラを付加的に支承
することは、現在公知の手段では不可能である。それと
いうもの、チャンバ底部はダイヤフラムのように作用し
しかも排気及び換気時に１ｍｍ以上運動するからであ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、所定
の基板サイズの場合にできるだけ僅かなチャンバ容積を
有するように、冒頭に述べた形式の真空チャンバを改良
することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記課題は本発明によれ
ば、搬送ローラが、外側の支承体の間で付加的に少なく
とも１つの中央の支承体によって支持されており、該中
央の支承体が、それぞれ支柱に配置されていて、該支柱
が、真空チャンバの底部の開口を密に貫通案内されてい
てかつ底部の下側で支持部に支持されていることによっ
て、解決された。

【０００６】

【発明の効果】本発明によるように搬送ローラを外側の
支承体の間で付加的に支持することによって、搬送ロー
ラの直径は、不所望の著しい撓みを生ぜしめることなし
に、約半分に縮小される。中央の支承体を支持作用を有
する支柱によって真空チャンバの底部にではなく、真空
チャンバの外部、例えば土台に支持することによって、
チャンバ底部の運動により中央の支承体がずれ動くこと
が阻止されるので、底部は従来のように構成できしかも
底部を費用をかけて補強することも回避される。

【０００７】真空チャンバの底部に対する中央の支承体
の支柱のシールは、通常のシールによって行われる。シ
ールを全く摩耗なくしかも安価に実現するために、本発
明の有利な構成では、支柱は折畳みベローを介して真空
チャンバの底部に結合されている。

【０００８】特に高い気密性は、折畳みベローがばね鋼
から形成される場合に、得られる。

【０００９】更に、中央の支承体がそれぞれの搬送ロー
ラの下面側に当て付けられる２つの支持ローラを有する
場合には、中央の支承体は構造的に特に簡単に構成され
る。

【００１０】製作上の理由から、真空チャンバの幅全体
にわたって延びる搬送ローラの代わりに互いに整合する
それぞれ２つの搬送ローラが配置されると、有利であ
る。このことは本発明によれば、搬送ローラが外側の支
承体の間で中央の支承体の領域で分割される場合に、実
現される。このために中央の支承体は支柱に並べて２つ
の支承リングを有していて、該支承リング内には搬送ロ
ーラのそれぞれ１つのジャーナルが突入する。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明は種々の実施例を許容す
る。以下に、真空チャンバの部分領域の断面図で基本原
理を詳述する。

【００１２】図面では、真空チャンバ２の底部１が図示
されている。真空チャンバ２内には、搬送ローラ４を一
端で支承する外側の支承体３が設けられている。前記端
部とは反対側の搬送ローラ４の端部（詳細に図示せず）
では、搬送ローラは同じ支承体によって支承されてい
る。搬送ローラ４の下側には、支持支承体として構成さ
れた中央の支承体５が配置されていて、該支承体５は、
外側の支承体３の間で２つの支持ローラ６，７によって
搬送ローラ４を支持している。

【００１３】本発明にとっては、土台を成す支持部９に
支持されている支柱（Stempel）８が重要である。支柱
８は、真空チャンバ２の底部１の開口１０を介して案内
されていてかつ上端に中央の支承体５を支持している。
開口１０を介して空気が真空チャンバ２の内部に達する
のを阻止するために、底部１と支持部９との間に、支柱
８を取り囲む鋼製の折畳みベロー１１が配置されてい
る。

【００１４】図示していないが、中央領域で支柱８に、
分割された搬送ローラのそれぞれ一端を支承する２つの
支承体を配置することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】真空チャンバの部分領域の断面図。

【符号の説明】

１ 底部、 ２ 真空チャンバ、 ３ 外側の支承体、
４ 搬送ローラ、５ 中央の支承体、 ６，７ 支持
ローラ、 ８ 支柱、 ９ 支持部、 １０開口、 １
１ 折畳みベロー

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 扁平な基板用の真空チャンバであって、
   該真空チャンバ内に、基板を搬送するために搬送ローラ
   が設けられていて、該搬送ローラが、両端をそれぞれ１
   つの支承体によって保持されていてかつ真空チャンバの
   底部の上側に配置されている形式のものにおいて、搬送
   ローラ（４）が、外側の支承体（３）の間で付加的に少
   なくとも１つの中央の支承体（５）によって支持されて
   おり、該中央の支承体が、それぞれ支柱（８）に配置さ
   れていて、該支柱が、真空チャンバ（２）の底部（１）
   の開口（１０）を密に貫通案内されていてかつ底部
   （１）の下側で支持部（９）に支持されていることを特
   徴とする、扁平な基板用の真空チャンバ。
2. 【請求項２】 支柱（８）が、折畳みベロー（１１）を
   介して真空チャンバ（２）の底部（１）に結合されてい
   る、請求項１記載の真空チャンバ。
3. 【請求項３】 折畳みベロー（１１）が、ばね鋼から形
   成されている、請求項２記載の真空チャンバ。
4. 【請求項４】 中央の支承体（５）が、支持支承体とし
   て構成されていてかつそれぞれの搬送ローラ（４）の下
   面側に当て付けられる２つの支持ローラ（６，７）を有
   している、請求項１から３までのいずれか１項記載の真
   空チャンバ。
5. 【請求項５】 搬送ローラ（４）が、外側の支承体
   （３）の間で中央の支承体（５）の領域で分割されてい
   る、請求項１から４までのいずれか１項記載の真空チャ
   ンバ。