JPH11180554A - 基板搬送用ハンド及び基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送用ハンド及び基板搬送装置Info
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- JPH11180554A JPH11180554A JP35377897A JP35377897A JPH11180554A JP H11180554 A JPH11180554 A JP H11180554A JP 35377897 A JP35377897 A JP 35377897A JP 35377897 A JP35377897 A JP 35377897A JP H11180554 A JPH11180554 A JP H11180554A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス基板の自重による変形を極力抑えること
ができる基板搬送用ハンド及び基板搬送装置を提供す
る。 【解決手段】薄板状の基板を載せて搬送するための水平
に支持された平板状のハンドであって、溝状の複数の空
気の流路１７が形成された平板状のベース板１６と、ベ
ース板１６上に配置され、空気の流路１７に対応する位
置に形成された複数の貫通穴２７を有する天板２６と、
天板２６上に配置され、複数の貫通穴２７を覆うように
配置された多孔質板１５とを具備する。
ができる基板搬送用ハンド及び基板搬送装置を提供す
る。 【解決手段】薄板状の基板を載せて搬送するための水平
に支持された平板状のハンドであって、溝状の複数の空
気の流路１７が形成された平板状のベース板１６と、ベ
ース板１６上に配置され、空気の流路１７に対応する位
置に形成された複数の貫通穴２７を有する天板２６と、
天板２６上に配置され、複数の貫通穴２７を覆うように
配置された多孔質板１５とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶パネル
に用いるガラス基板を搬送する基板搬送用ハンド及び基
板搬送装置に関するものである。
に用いるガラス基板を搬送する基板搬送用ハンド及び基
板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板の搬送用ハンドとして
は、特開平８−２０８００３号公報に記載されているも
のが知られている。
は、特開平８−２０８００３号公報に記載されているも
のが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例では、ガラス基板を支持する点が限定されるた
め、ガラス基板が大型化すると支持点での応力が過大と
なり、ガラス基板上のプロセスを破損したり、最悪、ガ
ラス基板そのものを割ってしまう虞があった。
従来例では、ガラス基板を支持する点が限定されるた
め、ガラス基板が大型化すると支持点での応力が過大と
なり、ガラス基板上のプロセスを破損したり、最悪、ガ
ラス基板そのものを割ってしまう虞があった。
【０００４】また、ガラス基板の大型化に伴って、ハン
ドも大型化するが、これによりハンドを支持するロボッ
トへの負荷が大きくなるという問題点もあった。
ドも大型化するが、これによりハンドを支持するロボッ
トへの負荷が大きくなるという問題点もあった。
【０００５】また、従来、液晶パネルに用いるガラス基
板を製造ラインで搬送するための搬送コンベアは図１０
及び図１１に示されるように構成されていた。
板を製造ラインで搬送するための搬送コンベアは図１０
及び図１１に示されるように構成されていた。
【０００６】ガラス基板Ｇが小型のときは、ガラス基板
Ｇの幅方向両端部をローラ４’，５’で支持するだけで
も十分搬送できたが、ガラス基板Ｇの大型化や薄型化が
進むにつれて、ガラス基板Ｇの幅方向中央部分に自重に
よる撓みが発生するため、その中央付近にもローラ８’
を設け、自重撓みの発生を防止するように構成されてい
る。
Ｇの幅方向両端部をローラ４’，５’で支持するだけで
も十分搬送できたが、ガラス基板Ｇの大型化や薄型化が
進むにつれて、ガラス基板Ｇの幅方向中央部分に自重に
よる撓みが発生するため、その中央付近にもローラ８’
を設け、自重撓みの発生を防止するように構成されてい
る。
【０００７】更に特開平８−０８９５２７号公報に開示
されているようにガラス基板の幅方向の中央部分付近か
ら空気を噴射し、ガラス基板を上方に押し上げる手段を
設けることにより、ガラス基板搬送時の撓みに起因する
品質悪化を防止して、歩留りや品質の向上を図ることが
できる。
されているようにガラス基板の幅方向の中央部分付近か
ら空気を噴射し、ガラス基板を上方に押し上げる手段を
設けることにより、ガラス基板搬送時の撓みに起因する
品質悪化を防止して、歩留りや品質の向上を図ることが
できる。
【０００８】しかしながら、上記の従来技術では、ガラ
ス基板を別な装置に送り込むためのステーションにおけ
るハンド上では、図８及び図１０に示すように、ハンド
２１にガラス基板Ｇを浮上させるための機能がないた
め、ガラス基板が大きく撓む虞がある。
ス基板を別な装置に送り込むためのステーションにおけ
るハンド上では、図８及び図１０に示すように、ハンド
２１にガラス基板Ｇを浮上させるための機能がないた
め、ガラス基板が大きく撓む虞がある。
【０００９】特に、プロセス上、ガラス基板を別な装置
に送り込むステーションでガラス基板が別の装置に送り
込まれる必要がなく、そのままそのステーションを素通
りする場合は、ガラス基板がこのステーション上を通過
するとき、大きな変形が発生するので、ガラス基板とハ
ンドの間に大きな隙間を取っておかなければならない。
に送り込むステーションでガラス基板が別の装置に送り
込まれる必要がなく、そのままそのステーションを素通
りする場合は、ガラス基板がこのステーション上を通過
するとき、大きな変形が発生するので、ガラス基板とハ
ンドの間に大きな隙間を取っておかなければならない。
【００１０】また、ガラス基板に不要なストレスを加え
ることになり、製品の品質上好ましくない。
ることになり、製品の品質上好ましくない。
【００１１】また、前記ステーションを通過しないガラ
ス基板をハンドによって把持するときも、ロボットの上
下動が大きくなりタクト上も好ましくない。
ス基板をハンドによって把持するときも、ロボットの上
下動が大きくなりタクト上も好ましくない。
【００１２】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、ガラス基板の自重によ
る変形を極力抑えることができる基板搬送用ハンド及び
基板搬送装置を提供することである。
されたものであり、その目的は、ガラス基板の自重によ
る変形を極力抑えることができる基板搬送用ハンド及び
基板搬送装置を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる基板搬送用ハン
ドは、薄板状の基板を載せて搬送するための水平に支持
された平板状のハンドであって、溝状の複数の空気の流
路が形成された平板状のベース板と、該ベース板上に配
置され、前記空気の流路に対応する位置に形成された複
数の貫通穴を有する天板と、該天板上に配置され、前記
複数の貫通穴を覆うように配置された多孔質板とを具備
することを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わる基板搬送用ハン
ドは、薄板状の基板を載せて搬送するための水平に支持
された平板状のハンドであって、溝状の複数の空気の流
路が形成された平板状のベース板と、該ベース板上に配
置され、前記空気の流路に対応する位置に形成された複
数の貫通穴を有する天板と、該天板上に配置され、前記
複数の貫通穴を覆うように配置された多孔質板とを具備
することを特徴としている。
【００１４】また、この発明に係わる基板搬送用ハンド
において、前記ベース板の前記空気の流路以外の部分が
ハニカム構造材から形成されていることを特徴としてい
る。
において、前記ベース板の前記空気の流路以外の部分が
ハニカム構造材から形成されていることを特徴としてい
る。
【００１５】また、この発明に係わる基板搬送用ハンド
において、前記空気の流路と前記多孔質板を流れる空気
は、正の圧力と負の圧力を持つ空気であることを特徴と
している。
において、前記空気の流路と前記多孔質板を流れる空気
は、正の圧力と負の圧力を持つ空気であることを特徴と
している。
【００１６】また、この発明に係わる基板搬送用ハンド
において、前記正の圧力の空気はクリーンエアであるこ
とを特徴としている。
において、前記正の圧力の空気はクリーンエアであるこ
とを特徴としている。
【００１７】また、この発明に係わる基板搬送用ハンド
において、前記薄板状の基板は、液晶ディスプレイ用の
ガラス基板であることを特徴としている。
において、前記薄板状の基板は、液晶ディスプレイ用の
ガラス基板であることを特徴としている。
【００１８】また、本発明に係わる基板搬送装置は、薄
板状の基板を搬送するための基板搬送装置であって、前
記基板の幅方向両端部付近を支持して、該基板をその長
さ方向に搬送する搬送手段と、前記基板の幅方向中央部
付近に配置され、該基板を他の装置に移載するための移
載ハンドとを具備し、該移載ハンドは、前記基板の幅方
向中央部付近を下方から押し上げるために空気を噴出す
るように構成されていることを特徴としている。
板状の基板を搬送するための基板搬送装置であって、前
記基板の幅方向両端部付近を支持して、該基板をその長
さ方向に搬送する搬送手段と、前記基板の幅方向中央部
付近に配置され、該基板を他の装置に移載するための移
載ハンドとを具備し、該移載ハンドは、前記基板の幅方
向中央部付近を下方から押し上げるために空気を噴出す
るように構成されていることを特徴としている。
【００１９】また、この発明に係わる基板搬送装置にお
いて、前記移載ハンドは、溝状の複数の空気の流路が形
成された平板状のベース板と、該ベース板上に配置さ
れ、前記空気の流路に対応する位置に形成された複数の
貫通穴を有する天板と、該天板上に配置され、前記複数
の貫通穴を覆うように配置された多孔質板とを備えるこ
とを特徴としている。
いて、前記移載ハンドは、溝状の複数の空気の流路が形
成された平板状のベース板と、該ベース板上に配置さ
れ、前記空気の流路に対応する位置に形成された複数の
貫通穴を有する天板と、該天板上に配置され、前記複数
の貫通穴を覆うように配置された多孔質板とを備えるこ
とを特徴としている。
【００２０】また、この発明に係わる基板搬送装置にお
いて、前記ベース板の前記空気の流路以外の部分がハニ
カム構造材から形成されていることを特徴としている。
いて、前記ベース板の前記空気の流路以外の部分がハニ
カム構造材から形成されていることを特徴としている。
【００２１】また、この発明に係わる基板搬送装置にお
いて、前記空気の流路と前記多孔質板を流れる空気は、
正の圧力と負の圧力を持つ空気であることを特徴として
いる。
いて、前記空気の流路と前記多孔質板を流れる空気は、
正の圧力と負の圧力を持つ空気であることを特徴として
いる。
【００２２】また、この発明に係わる基板搬送装置にお
いて、前記ハンドは、前記基板が前記搬送手段によって
搬送されている間は、前記基板に対して空気を噴出し、
前記基板が前記ハンド上で停止した後空気の噴出を停止
し、空気を吸引することによって前記基板を把持するこ
とを特徴としている また、この発明に係わる基板搬送装置において、前記正
の圧力の空気はクリーンエアであることを特徴としてい
る。
いて、前記ハンドは、前記基板が前記搬送手段によって
搬送されている間は、前記基板に対して空気を噴出し、
前記基板が前記ハンド上で停止した後空気の噴出を停止
し、空気を吸引することによって前記基板を把持するこ
とを特徴としている また、この発明に係わる基板搬送装置において、前記正
の圧力の空気はクリーンエアであることを特徴としてい
る。
【００２３】また、この発明に係わる基板搬送装置にお
いて、前記薄板状の基板は、液晶ディスプレイ用のガラ
ス基板であることを特徴としている。
いて、前記薄板状の基板は、液晶ディスプレイ用のガラ
ス基板であることを特徴としている。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２５】図１は、本発明の一実施形態に係わる基板
搬送装置の構成を示す斜視図である。
搬送装置の構成を示す斜視図である。
【００２６】はじめにコンベア部１０１から説明する。
【００２７】図１において、コンベア本体は、所定の長
さ及び幅を有する断面矩形状の左フレーム１、同右フレ
ーム２、当該左フレーム１及び右フレーム２を連結する
連結部材３とを備え、これらの組立体がコンベア本体の
１単位１０１の外形を構成し、この１単位のコンベア１
０１を複数連結して製造ラインに投入される。左フレー
ム１にはガラス基板Ｇの搬送方向に沿う縁部近傍を支持
する複数の左ローラ４（図１では、４個）が設けられ、
各左ローラ４は左フレーム１における右フレーム２に対
向する側面の下方に所定間隔にて回動自在に設けられて
いる。同様に、右フレーム２にはガラス基板の搬送方向
に沿う縁部近傍を支持する複数の右ローラ５（図１で
は、４個）が設けられ、各右ローラ５は右フレーム２に
おける左フレーム１に対向する側面の下方に所定間隔に
て回動自在に設けられる。これら左ローラ４、右ローラ
５は、ガラス基板Ｇの左右の縁部をバランス良く保持す
るために各フレーム側面に同数設けられ、不図示の駆動
手段により搬送方向に回転しながらガラス基板Ｇを搬送
する。
さ及び幅を有する断面矩形状の左フレーム１、同右フレ
ーム２、当該左フレーム１及び右フレーム２を連結する
連結部材３とを備え、これらの組立体がコンベア本体の
１単位１０１の外形を構成し、この１単位のコンベア１
０１を複数連結して製造ラインに投入される。左フレー
ム１にはガラス基板Ｇの搬送方向に沿う縁部近傍を支持
する複数の左ローラ４（図１では、４個）が設けられ、
各左ローラ４は左フレーム１における右フレーム２に対
向する側面の下方に所定間隔にて回動自在に設けられて
いる。同様に、右フレーム２にはガラス基板の搬送方向
に沿う縁部近傍を支持する複数の右ローラ５（図１で
は、４個）が設けられ、各右ローラ５は右フレーム２に
おける左フレーム１に対向する側面の下方に所定間隔に
て回動自在に設けられる。これら左ローラ４、右ローラ
５は、ガラス基板Ｇの左右の縁部をバランス良く保持す
るために各フレーム側面に同数設けられ、不図示の駆動
手段により搬送方向に回転しながらガラス基板Ｇを搬送
する。
【００２８】また、左フレーム１にはガラス基板Ｇの搬
送方向に沿う縁部をガイドする複数の左サイドローラ６
（図１では、４個）が設けられ、各左サイドローラ６は
左フレーム１における上面に所定間隔にて回動自在に設
けられている。同様に、右フレーム２にはガラス基板Ｇ
の搬送方向に沿う縁部をガイドする複数の右サイドロー
ラ７（図１では、４個）が設けられ、各右サイドローラ
７は右フレーム２における上面に所定間隔にて回動自在
に設けられている。左サイドローラ６及び右サイドロー
ラ７は、ガラス基板の左右縁部を挟持することによりガ
ラス基板Ｇの搬送方向への直進性を保持する役目を果た
している。
送方向に沿う縁部をガイドする複数の左サイドローラ６
（図１では、４個）が設けられ、各左サイドローラ６は
左フレーム１における上面に所定間隔にて回動自在に設
けられている。同様に、右フレーム２にはガラス基板Ｇ
の搬送方向に沿う縁部をガイドする複数の右サイドロー
ラ７（図１では、４個）が設けられ、各右サイドローラ
７は右フレーム２における上面に所定間隔にて回動自在
に設けられている。左サイドローラ６及び右サイドロー
ラ７は、ガラス基板の左右縁部を挟持することによりガ
ラス基板Ｇの搬送方向への直進性を保持する役目を果た
している。
【００２９】左フレーム１と右フレーム２の間であって
搬送方向に沿う略中央部分には、ガラス基板Ｇの下面に
近接するように、市販の空気静圧軸受等に使用されるカ
ーボン系、又はテフロン系の多孔質部材８が設けられて
いる。この多孔質部材８は搬送方向に長く形成され、給
気プレート９に保持されている。給気プレート９は搬送
方向の両端に位置する連結部材３に保持されて、上方が
開放された複数の給気溝１０（図１では、６本）が形成
されており、この溝１０を覆うように多孔質部材８が給
気プレート９の上面に配置されている。多孔質部材８と
給気プレート９とは静圧受ユニットを構成し、給気溝１
０に送り込まれた空気を多孔質材８からガラス基板Ｇの
下面へ噴出するようになっている。
搬送方向に沿う略中央部分には、ガラス基板Ｇの下面に
近接するように、市販の空気静圧軸受等に使用されるカ
ーボン系、又はテフロン系の多孔質部材８が設けられて
いる。この多孔質部材８は搬送方向に長く形成され、給
気プレート９に保持されている。給気プレート９は搬送
方向の両端に位置する連結部材３に保持されて、上方が
開放された複数の給気溝１０（図１では、６本）が形成
されており、この溝１０を覆うように多孔質部材８が給
気プレート９の上面に配置されている。多孔質部材８と
給気プレート９とは静圧受ユニットを構成し、給気溝１
０に送り込まれた空気を多孔質材８からガラス基板Ｇの
下面へ噴出するようになっている。
【００３０】次に、図１に示すワーク搬送コンベアの搬
送動作について説明する。図２は図１に示すコンベア部
のＡ−Ａ断面図である。
送動作について説明する。図２は図１に示すコンベア部
のＡ−Ａ断面図である。
【００３１】図２において、給気プレート９の給気溝１
０に不図示のエア供給機構から加圧された清浄エアが供
給されると、清浄エアは多孔質材８を透過してガラス基
板Ｇの下面に所定の圧力にて噴出する。ガラス基板Ｇの
幅方向の両縁部は左ローラ４と右ローラ５に載置されて
いるので、ガラス基板Ｇはその自重により中央部分が撓
もうとするが、多孔質部材８の表面から噴出する清浄エ
アの圧力の作用により上方に持ち上げられる。このよう
に、ガラス基板Ｇの中央部分の下面を従来のローラ等の
物理的な接触保持手段を要さずに水平搬送が可能とな
る。
０に不図示のエア供給機構から加圧された清浄エアが供
給されると、清浄エアは多孔質材８を透過してガラス基
板Ｇの下面に所定の圧力にて噴出する。ガラス基板Ｇの
幅方向の両縁部は左ローラ４と右ローラ５に載置されて
いるので、ガラス基板Ｇはその自重により中央部分が撓
もうとするが、多孔質部材８の表面から噴出する清浄エ
アの圧力の作用により上方に持ち上げられる。このよう
に、ガラス基板Ｇの中央部分の下面を従来のローラ等の
物理的な接触保持手段を要さずに水平搬送が可能とな
る。
【００３２】尚、ガラス基板Ｇの撓み矯正量は、供給さ
れるエア圧力、多孔質部材８の表面とガラス基板Ｇの下
面とのクリアランスＣ、多孔質部材８の表面積等を変更
することにより任意に設定することができる。
れるエア圧力、多孔質部材８の表面とガラス基板Ｇの下
面とのクリアランスＣ、多孔質部材８の表面積等を変更
することにより任意に設定することができる。
【００３３】次に、図１におけるロボット部１０２につ
いて説明する。
いて説明する。
【００３４】ロボット部１０２では、コンベア１０１上
を流れてきたガラス基板Ｇを、プロセス装置（図示しな
い）や、バッファ装置（図示しない）に投入する動作を
行う。
を流れてきたガラス基板Ｇを、プロセス装置（図示しな
い）や、バッファ装置（図示しない）に投入する動作を
行う。
【００３５】左右の各フレーム、各ローラの基本構造
は、コンベア部１０１と同一である。
は、コンベア部１０１と同一である。
【００３６】場合によっては、ガラス基板Ｇの左右の縁
部を保持するための各ローラ６，７が、ガラス基板Ｇと
干渉するため、または、ロボットによってコンベア上に
置かれたガラス基板のセンタリングを行うため、ガラス
基板の流れる方向と直角方向に動作させる場合もある
（図示せず）。
部を保持するための各ローラ６，７が、ガラス基板Ｇと
干渉するため、または、ロボットによってコンベア上に
置かれたガラス基板のセンタリングを行うため、ガラス
基板の流れる方向と直角方向に動作させる場合もある
（図示せず）。
【００３７】左フレーム１と右フレーム２の中央部に設
置されたロボット２０（全体は図示せず）のハンド取付
部２０ａに、コンベア部１０１の説明で示したような、
ハンド本体である吸気プレート１５の上面に多孔質部材
１６を配置して構成されるハンドが取り付けられてい
る。
置されたロボット２０（全体は図示せず）のハンド取付
部２０ａに、コンベア部１０１の説明で示したような、
ハンド本体である吸気プレート１５の上面に多孔質部材
１６を配置して構成されるハンドが取り付けられてい
る。
【００３８】多孔質部材１６は給気プレート１５に保持
されている。給気プレート１５は、ロボットのハンド取
付部２０ａにボルト等で固定されている。給気プレート
１５には、図３及び図６に示すように、上方が開放され
た複数の給気溝１７（図３では６本）が形成されてお
り、この給気溝１７を覆う様に多孔質部材１６が給気プ
レート１５の上面に配置されている。
されている。給気プレート１５は、ロボットのハンド取
付部２０ａにボルト等で固定されている。給気プレート
１５には、図３及び図６に示すように、上方が開放され
た複数の給気溝１７（図３では６本）が形成されてお
り、この給気溝１７を覆う様に多孔質部材１６が給気プ
レート１５の上面に配置されている。
【００３９】空気は、ロボット本体２０からハンド取付
部２０ａを通り、給気プレート１５内の給気溝１７へと
導かれる。
部２０ａを通り、給気プレート１５内の給気溝１７へと
導かれる。
【００４０】図３乃至図５を参照して、ロボット部１０
２上でのガラス基板Ｇの搬送動作について説明する。
２上でのガラス基板Ｇの搬送動作について説明する。
【００４１】ロボット部１０２では、ガラス基板Ｇをプ
ロセス装置やバッファ装置に投入したり、プロセス装置
やバッファ装置からコンベア１０１に戻したりする動作
を行う。
ロセス装置やバッファ装置に投入したり、プロセス装置
やバッファ装置からコンベア１０１に戻したりする動作
を行う。
【００４２】また、ガラス基板によってはプロセス装置
やバッファ装置に投入されず、ロボット部１０２を素通
りするものもある。
やバッファ装置に投入されず、ロボット部１０２を素通
りするものもある。
【００４３】ロボット部１０２を素通りするガラス基板
Ｇは、図３に示すように、前述したコンベア部１０１と
同様にハンド上面の多孔質部材１６から正圧の空気を噴
出し、ガラス基板Ｇの中央部を持ち上げ通過させる。
Ｇは、図３に示すように、前述したコンベア部１０１と
同様にハンド上面の多孔質部材１６から正圧の空気を噴
出し、ガラス基板Ｇの中央部を持ち上げ通過させる。
【００４４】次に、ガラス基板Ｇをプロセス装置やバッ
ファ装置に送り込んだりコンベアに戻す場合を説明す
る。
ファ装置に送り込んだりコンベアに戻す場合を説明す
る。
【００４５】先ず、ガラス基板Ｇがハンド上空にやって
きたときは図３のように多孔質部材１６から正圧の空気
を噴出し、ガラス基板Ｇの中央部が撓まないようにす
る。
きたときは図３のように多孔質部材１６から正圧の空気
を噴出し、ガラス基板Ｇの中央部が撓まないようにす
る。
【００４６】次に、正圧の空気の噴出を停止すると同時
にハンドを上昇させ、図４のようにガラス基板Ｇとハン
ドを接触させる。ここで、多孔質部材１６に負圧の空気
を流し、ガラス基板Ｇを吸着する。さらにハンドを図５
のように上昇させる。ロボットアームが左右のフレーム
１，２及び左右のサイドローラ６，７と干渉しない位置
（図示せず）まで上昇したら、ロボット２０を旋回さ
せ、ガラス基板Ｇをプロセス装置やバッファに投入す
る。
にハンドを上昇させ、図４のようにガラス基板Ｇとハン
ドを接触させる。ここで、多孔質部材１６に負圧の空気
を流し、ガラス基板Ｇを吸着する。さらにハンドを図５
のように上昇させる。ロボットアームが左右のフレーム
１，２及び左右のサイドローラ６，７と干渉しない位置
（図示せず）まで上昇したら、ロボット２０を旋回さ
せ、ガラス基板Ｇをプロセス装置やバッファに投入す
る。
【００４７】プロセス装置やバッファからコンベア上に
戻すときは、上記の説明の逆の手順を行なえば良い。
戻すときは、上記の説明の逆の手順を行なえば良い。
【００４８】次に、ハンドの構成について図６及び図７
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００４９】図６はハンドの構成を示した斜視図であ
り、図７は図６のＸ−Ｘ断面図である。
り、図７は図６のＸ−Ｘ断面図である。
【００５０】図６及び図７において、ハンドは、軽量化
及び剛性向上のため、ハンドの給気プレート１６の一部
がハニカム構造となっているが、もちろん中実であって
も中空であっても構わない。
及び剛性向上のため、ハンドの給気プレート１６の一部
がハニカム構造となっているが、もちろん中実であって
も中空であっても構わない。
【００５１】給気プレート１６は、ベース板２５の上に
溝型構造の給気溝１７を任意の間隔で配置し、その間の
空間をハニカム構造体で埋める。
溝型構造の給気溝１７を任意の間隔で配置し、その間の
空間をハニカム構造体で埋める。
【００５２】給気溝１７は、ハンドのロボット取付部２
８側で、１本にまとめられ（図示せず）、ハンド外部に
は空圧コネクタ等を通じて、外部の配管１８へと接続さ
れ、空圧源へと接続されている。
８側で、１本にまとめられ（図示せず）、ハンド外部に
は空圧コネクタ等を通じて、外部の配管１８へと接続さ
れ、空圧源へと接続されている。
【００５３】更に、吸気プレート１６の上面には天板２
６を配置するが、天板２６には、給気溝１７に対応した
位置に、任意の間隔で通気穴２７が形成されている。
６を配置するが、天板２６には、給気溝１７に対応した
位置に、任意の間隔で通気穴２７が形成されている。
【００５４】天板２６上には、市販のカーボン材または
テフロン材からなる多孔質部材１５を配置する。
テフロン材からなる多孔質部材１５を配置する。
【００５５】外部配管１８に正圧を送り込めば、コンベ
アを通過する大型ガラス基板を中央部を撓ませないで安
定して通過させることができる。
アを通過する大型ガラス基板を中央部を撓ませないで安
定して通過させることができる。
【００５６】また、外部配管１８に負圧を流せば、大型
ガラス基板をハンド部において全面吸着できるので、バ
タツキをなくして、安定して搬送することができる。
ガラス基板をハンド部において全面吸着できるので、バ
タツキをなくして、安定して搬送することができる。
【００５７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 （１）大型ガラス基板を安定して吸着搬送できる。
【００５８】（２）ハンドが大型化しても軽量かつ剛性
の高いハンドを提供できる。
の高いハンドを提供できる。
【００５９】（３）コンベア内で使用するロボットに取
り付ける場合、ハンド部を通過するガラス基板に対して
空気を噴出し、ガラス基板の自重による撓みを防止でき
る。
り付ける場合、ハンド部を通過するガラス基板に対して
空気を噴出し、ガラス基板の自重による撓みを防止でき
る。
【００６０】（４）クリーンルーム内で使用しても雰囲
気を汚さない。
気を汚さない。
【００６１】（６）空気がハンド上面全体から噴出され
るので、基板が安定して持ち上げられる。
るので、基板が安定して持ち上げられる。
【００６２】（７）ハンドが基板を移載するときは、噴
出していた空気を吸引に切り換えられるため、移載時も
安定して搬送できる。また、基板の広い範囲で吸着する
ので、点支持に比べ、基板に無理な応力を与えない。
出していた空気を吸引に切り換えられるため、移載時も
安定して搬送できる。また、基板の広い範囲で吸着する
ので、点支持に比べ、基板に無理な応力を与えない。
【００６３】（８）液晶用ガラス基板に対して（１）〜
（７）の効果がある。
（７）の効果がある。
【００６４】
【図１】本発明の一実施形態に係わる基板搬送装置の構
成を示す斜視図である。
成を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】ロボット部上でのガラス基板の搬送動作を説明
するための図である。
するための図である。
【図４】ロボット部上でのガラス基板の搬送動作を説明
するための図である。
するための図である。
【図５】ロボット部上でのガラス基板の搬送動作を説明
するための図である。
するための図である。
【図６】ハンドの構成を示した斜視図である。
【図７】図６のＸ−Ｘ断面図である。
【図８】基板搬送装置に従来のハンドを配置した状態を
示した斜視図である。
示した斜視図である。
【図９】図８におけるハンド上空にガラス基板がある状
態を示した図である。
態を示した図である。
【図１０】従来のガラス基板搬送コンベアの斜視図であ
る。
る。
【図１１】図１０に示したコンベアの幅方向の断面図で
ある。
ある。
１ 左フレーム ２ 右フレーム ３ 連結部材 ４ 左ローラ ５ 右ローラ ６ 左サイドローラ ７ 右サイドローラ ８，１５ 多孔質部材 ９，１６ 給気プレート １０，１７ 給気溝 １８ 外部配管 ２０ ロボット Ｇ ガラス基板 ２５ ベース基板 ２６ 天板 ２７ 通気穴 ２８ ハンド固定部 １０１ コンベア部 １０２ ロボット部
Claims (12)
- 【請求項１】 薄板状の基板を載せて搬送するための水
平に支持された平板状のハンドであって、 溝状の複数の空気の流路が形成された平板状のベース板
と、 該ベース板上に配置され、前記空気の流路に対応する位
置に形成された複数の貫通穴を有する天板と、 該天板上に配置され、前記複数の貫通穴を覆うように配
置された多孔質板とを具備することを特徴とする基板搬
送用ハンド。 - 【請求項２】 前記ベース板の前記空気の流路以外の部
分がハニカム構造材から形成されていることを特徴とす
る請求項１に記載の基板搬送用ハンド。 - 【請求項３】 前記空気の流路と前記多孔質板を流れる
空気は、正の圧力と負の圧力を持つ空気であることを特
徴とする請求項１に記載の基板搬送用ハンド。 - 【請求項４】 前記正の圧力の空気はクリーンエアであ
ることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用ハン
ド。 - 【請求項５】 前記薄板状の基板は、液晶ディスプレイ
用のガラス基板であることを特徴とする請求項１に記載
の基板搬送用ハンド。 - 【請求項６】 薄板状の基板を搬送するための基板搬送
装置であって、 前記基板の幅方向両端部付近を支持して、該基板をその
長さ方向に搬送する搬送手段と、 前記基板の幅方向中央部付近に配置され、該基板を他の
装置に移載するための移載ハンドとを具備し、 該移載ハンドは、前記基板の幅方向中央部付近を下方か
ら押し上げるために空気を噴出するように構成されてい
ることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項７】 前記移載ハンドは、溝状の複数の空気の
流路が形成された平板状のベース板と、該ベース板上に
配置され、前記空気の流路に対応する位置に形成された
複数の貫通穴を有する天板と、該天板上に配置され、前
記複数の貫通穴を覆うように配置された多孔質板とを備
えることを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。 - 【請求項８】 前記ベース板の前記空気の流路以外の部
分がハニカム構造材から形成されていることを特徴とす
る請求項７に記載の基板搬送装置。 - 【請求項９】 前記空気の流路と前記多孔質板を流れる
空気は、正の圧力と負の圧力を持つ空気であることを特
徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。 - 【請求項１０】 前記ハンドは、前記基板が前記搬送手
段によって搬送されている間は、前記基板に対して空気
を噴出し、前記基板が前記ハンド上で停止した後空気の
噴出を停止し、空気を吸引することによって前記基板を
把持することを特徴とする請求項９に記載の基板搬送装
置。 - 【請求項１１】 前記正の圧力の空気はクリーンエアで
あることを特徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。 - 【請求項１２】 前記薄板状の基板は、液晶ディスプレ
イ用のガラス基板であることを特徴とする請求項７に記
載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35377897A JPH11180554A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 基板搬送用ハンド及び基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35377897A JPH11180554A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 基板搬送用ハンド及び基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11180554A true JPH11180554A (ja) | 1999-07-06 |
Family
ID=18433163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35377897A Withdrawn JPH11180554A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 基板搬送用ハンド及び基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11180554A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003063643A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-05 | Nippon Sekkei Kogyo:Kk | 薄板の搬送方法及び装置 |
| JP2005536889A (ja) * | 2002-08-20 | 2005-12-02 | エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド | 半導体素子の製造環境下で用いられる接合された構造体 |
| WO2007086713A1 (en) * | 2006-01-26 | 2007-08-02 | Brooks Automation Asia Ltd. | Wrist plate of a transport robot |
| KR101041061B1 (ko) | 2003-12-16 | 2011-06-13 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 장치 |
| CN105110006A (zh) * | 2015-09-10 | 2015-12-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种机械手臂及基板的转运方法 |
-
1997
- 1997-12-22 JP JP35377897A patent/JPH11180554A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003063643A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-05 | Nippon Sekkei Kogyo:Kk | 薄板の搬送方法及び装置 |
| JP2005536889A (ja) * | 2002-08-20 | 2005-12-02 | エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド | 半導体素子の製造環境下で用いられる接合された構造体 |
| KR101041061B1 (ko) | 2003-12-16 | 2011-06-13 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 장치 |
| WO2007086713A1 (en) * | 2006-01-26 | 2007-08-02 | Brooks Automation Asia Ltd. | Wrist plate of a transport robot |
| CN105110006A (zh) * | 2015-09-10 | 2015-12-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种机械手臂及基板的转运方法 |
| CN105110006B (zh) * | 2015-09-10 | 2017-06-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种机械手臂及基板的转运方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050301 |