JP2002308423A - 板材搬送方法および板材搬送装置 - Google Patents
板材搬送方法および板材搬送装置Info
- Publication number
- JP2002308423A JP2002308423A JP2001119730A JP2001119730A JP2002308423A JP 2002308423 A JP2002308423 A JP 2002308423A JP 2001119730 A JP2001119730 A JP 2001119730A JP 2001119730 A JP2001119730 A JP 2001119730A JP 2002308423 A JP2002308423 A JP 2002308423A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate material
- fluid
- plate
- sheet
- ejecting mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Belt Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】板材が大型化しても板材搬送装置の設置床面積
を広く必要とせず板材の大きさに対応する運転調整を容
易にする板材搬送装置方法と、この方法実施に好適な板
材搬送装置を提供する。 【解決手段】板材Pに流体Aを噴射して板材Pを起立状
態に維持しておき、起立した板材Pを下端面で下支えし
ながら移動させる。
を広く必要とせず板材の大きさに対応する運転調整を容
易にする板材搬送装置方法と、この方法実施に好適な板
材搬送装置を提供する。 【解決手段】板材Pに流体Aを噴射して板材Pを起立状
態に維持しておき、起立した板材Pを下端面で下支えし
ながら移動させる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、液晶ガラス基板
等の脆弱性の板材の工場内等での搬送に係る技術分野に
属する。
等の脆弱性の板材の工場内等での搬送に係る技術分野に
属する。
【0002】
【従来の技術】 従来、板材の搬送技術としては、例え
ば、特開2000−62950号公報に記載のものが知
られている。
ば、特開2000−62950号公報に記載のものが知
られている。
【0003】この従来の板材の搬送技術は、浮上装置に
よって下方から空気を噴射して板材を定位置で水平状態
に浮上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレール
に沿って搬送方向へ移動させるものである。
よって下方から空気を噴射して板材を定位置で水平状態
に浮上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレール
に沿って搬送方向へ移動させるものである。
【0004】この従来の板材の搬送技術によると、板材
が周囲部材と非接触となるため、搬送途中での板材の損
傷,破損が防止されるという利点がある。
が周囲部材と非接触となるため、搬送途中での板材の損
傷,破損が防止されるという利点がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】 前述の従来の板材の
搬送技術では、板材を水平に浮上させる浮上装置の設置
床面積が広く必要になるため、板材が大型化すると設置
が困難になるという問題点がある。また、浮上装置の複
数方向の多数箇所から噴射される空気の噴射圧力を精密
に調整しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ滑
動してしまうため、板材の大きさに対応する運転調整が
面倒であるという問題点がある。
搬送技術では、板材を水平に浮上させる浮上装置の設置
床面積が広く必要になるため、板材が大型化すると設置
が困難になるという問題点がある。また、浮上装置の複
数方向の多数箇所から噴射される空気の噴射圧力を精密
に調整しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ滑
動してしまうため、板材の大きさに対応する運転調整が
面倒であるという問題点がある。
【0006】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、設置床面積を広く必要とせず板材の大き
さに対応する運転調整が容易である板材搬送方法と、こ
の板材搬送方法を実施するに好適な板材搬送装置とを提
供することを課題とする。
されたもので、設置床面積を広く必要とせず板材の大き
さに対応する運転調整が容易である板材搬送方法と、こ
の板材搬送方法を実施するに好適な板材搬送装置とを提
供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】 前述の課題を解決する
ため、本発明に係る板材搬送方法は、次のような手段を
採用する。
ため、本発明に係る板材搬送方法は、次のような手段を
採用する。
【0008】即ち、請求項1に記載のように、板材に流
体を噴射して板材を起立状態に維持しておき、起立した
板材を下端面で下支えしながら移動させる。
体を噴射して板材を起立状態に維持しておき、起立した
板材を下端面で下支えしながら移動させる。
【0009】この手段では、板材を起立状態で搬送する
ことで設置床面積を狭くし、起立した板材の荷重を下支
えし板材の転倒を流体の噴射圧力で阻止することで板材
の撓み,滑動を防止する。
ことで設置床面積を狭くし、起立した板材の荷重を下支
えし板材の転倒を流体の噴射圧力で阻止することで板材
の撓み,滑動を防止する。
【0010】また、請求項2に記載のように、請求項1
の板材搬送方法において、流体は板材の表面,裏面のい
ずれかの一面に噴射され、板材は流体の噴射側にわずか
に傾斜した起立状態に維持されることを特徴とする。
の板材搬送方法において、流体は板材の表面,裏面のい
ずれかの一面に噴射され、板材は流体の噴射側にわずか
に傾斜した起立状態に維持されることを特徴とする。
【0011】この手段では、板材の起立状態がわずかに
傾斜する。
傾斜する。
【0012】また、請求項3に記載のように、請求項1
の板材の板材搬送方法において、流体は板材の表面,裏
面の両面に均等な噴射圧力で噴射され、板材は垂直の起
立状態に維持されることを特徴とする。
の板材の板材搬送方法において、流体は板材の表面,裏
面の両面に均等な噴射圧力で噴射され、板材は垂直の起
立状態に維持されることを特徴とする。
【0013】この手段では、板材の起立状態が垂直にな
る。
る。
【0014】さらに、前述の課題を解決するため、本発
明に係る板材搬送装置は、次のような手段を採用する。
明に係る板材搬送装置は、次のような手段を採用する。
【0015】即ち、請求項4に記載のように、搬送方向
に沿って配置され搬送される板材に流体を噴射して板材
を起立させる流体噴射機構と、流体噴射機構の下方に配
置され板材を下端面で下支えしながら搬送方向へ移動さ
せる移動機構とを備えてなる。
に沿って配置され搬送される板材に流体を噴射して板材
を起立させる流体噴射機構と、流体噴射機構の下方に配
置され板材を下端面で下支えしながら搬送方向へ移動さ
せる移動機構とを備えてなる。
【0016】この手段では、上方に配置された流体噴射
機構から板材に流体が噴射され、下方に配置された移動
機構で板材が下支えされて移動される。
機構から板材に流体が噴射され、下方に配置された移動
機構で板材が下支えされて移動される。
【0017】また、請求項5に記載のように、請求項3
の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の一面側
にのみ配置され板材を流体の噴射側にわずかに傾倒して
起立させることを特徴とする。
の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の一面側
にのみ配置され板材を流体の噴射側にわずかに傾倒して
起立させることを特徴とする。
【0018】この手段では、流体噴射機構が板材の一面
側から流体を噴射する。
側から流体を噴射する。
【0019】また、請求項6に記載のように、請求項3
の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の両面側
に配置され両面側からの流体の均等な噴射圧力で板材を
垂直に起立させることを特徴とする。
の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の両面側
に配置され両面側からの流体の均等な噴射圧力で板材を
垂直に起立させることを特徴とする。
【0020】この手段では、流体噴射機構が板材の両面
側から流体を噴射する。
側から流体を噴射する。
【0021】
【発明の実施の形態】 以下、本発明に係る板材搬送方
法および板材搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説
明する。
法および板材搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説
明する。
【0022】図1〜図7は、本発明に係る板材搬送方法
および板材搬送装置の実施の形態(1)を示すものであ
る。
および板材搬送装置の実施の形態(1)を示すものであ
る。
【0023】まず、本発明に係る板材搬送方法の実施の
形態を説明する。
形態を説明する。
【0024】この実施の形態では、液晶ガラス基板から
なる板材Pをクリーンルームの内部で搬送するものを示
してある。
なる板材Pをクリーンルームの内部で搬送するものを示
してある。
【0025】この実施の形態は、図1,図2に示すよう
に、板材Pの裏面に空気からなる流体Aをほぼ直交する
角度aで噴射して、板材Pを流体Aの噴射側にわずかな
角度bで傾斜した起立状態に維持しておき、起立した板
材Pを下端面で下支えしながら移動させるものである。
に、板材Pの裏面に空気からなる流体Aをほぼ直交する
角度aで噴射して、板材Pを流体Aの噴射側にわずかな
角度bで傾斜した起立状態に維持しておき、起立した板
材Pを下端面で下支えしながら移動させるものである。
【0026】起立した板材Pの傾斜の角度bについて
は、約5度が選択される。起立した板材Pを下支えする
面については、水平面に対してわずかな角度c(角度b
と同一角度)で傾斜されて板材Pの下端面に当接され
る。
は、約5度が選択される。起立した板材Pを下支えする
面については、水平面に対してわずかな角度c(角度b
と同一角度)で傾斜されて板材Pの下端面に当接され
る。
【0027】この実施の形態によると、板材Pを起立状
態で搬送するため、前述の従来例に比して設置床面積を
狭くすることができる。従って、板材Pが大型化して
も、設置が困難になることはない。搬送される板材P
は、下端面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Aの
噴射圧力で荷重の一部分(転倒力)が側支えされるた
め、板材Pの撓み,転倒が防止される。従って、前述の
従来例のように流体Aの噴射圧力を精密に調整しなくて
も、流体Aの噴射圧力を単に板材Pの転倒が阻止される
ように調整するだけでよいため、板材の大きさに対応す
る運転調整が容易になる。
態で搬送するため、前述の従来例に比して設置床面積を
狭くすることができる。従って、板材Pが大型化して
も、設置が困難になることはない。搬送される板材P
は、下端面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Aの
噴射圧力で荷重の一部分(転倒力)が側支えされるた
め、板材Pの撓み,転倒が防止される。従って、前述の
従来例のように流体Aの噴射圧力を精密に調整しなくて
も、流体Aの噴射圧力を単に板材Pの転倒が阻止される
ように調整するだけでよいため、板材の大きさに対応す
る運転調整が容易になる。
【0028】なお、板材Pが下端面を支持する周囲部材
以外と非接触となるため、前述の従来例と同様に、搬送
途中での板材Pの損傷,破損が防止される。
以外と非接触となるため、前述の従来例と同様に、搬送
途中での板材Pの損傷,破損が防止される。
【0029】また、板材Pの表面側が開放されているた
め、板材Pの供給側,回収側との受渡機構や付属機器類
(例えば、板材Pの検査機構)の設備が容易になる。
め、板材Pの供給側,回収側との受渡機構や付属機器類
(例えば、板材Pの検査機構)の設備が容易になる。
【0030】次ぎに、本発明に係る板材搬送装置の実施
の形態を説明する。
の形態を説明する。
【0031】この実施の形態は、図3〜図7に示すよう
に、流体Aを板材Pに噴射する流体噴射機構1と、板材
Pの下端面を下支えして板材Pを移動させる移動機構2
とを主要部として構成されている。
に、流体Aを板材Pに噴射する流体噴射機構1と、板材
Pの下端面を下支えして板材Pを移動させる移動機構2
とを主要部として構成されている。
【0032】流体噴射機構1は、加圧された流体Aが流
通する角筒形の本体部1aの1つの面に一定間隔を介し
て流体Aが噴射される流体噴射孔(0.5mm〜1.0
mm)1bが複数列に多数設けられている。本体部1a
には、ホース1cを介して流体Aの供給源であるエアブ
ロアー1dが接続されている。
通する角筒形の本体部1aの1つの面に一定間隔を介し
て流体Aが噴射される流体噴射孔(0.5mm〜1.0
mm)1bが複数列に多数設けられている。本体部1a
には、ホース1cを介して流体Aの供給源であるエアブ
ロアー1dが接続されている。
【0033】この流体噴射機構1は、方形のフレーム部
材3の上下のほぼ中央部に取付ブラケット4で取付けら
れ、搬送方向(横方向)に沿って一部がフレーム部材3
から突出して配置されている。フレーム部材3は、設置
床面Fに設置されるフレーム構造の架台5に前述の角度
bを形成して支持されている。なお、流体噴射機構1の
エアブロアー1dは、架台5に設置されている。
材3の上下のほぼ中央部に取付ブラケット4で取付けら
れ、搬送方向(横方向)に沿って一部がフレーム部材3
から突出して配置されている。フレーム部材3は、設置
床面Fに設置されるフレーム構造の架台5に前述の角度
bを形成して支持されている。なお、流体噴射機構1の
エアブロアー1dは、架台5に設置されている。
【0034】移動機構2は、モータ2aによって回転駆
動される駆動プーリ2bと駆動プーリ2bから離れた従
動プーリ2cとの間に搬送ベルト2dがエンドレスに掛
渡されている。搬送ベルト2dの表面の長さ方向には、
板材Pの下端面の滑落を阻止するための溝2eが刻設さ
れている。駆動プーリ2b,従動プーリ2c,搬送ベル
ト2dの間には、搬送ベルト2dの撓みを防止するガイ
ド2fが設けられている。
動される駆動プーリ2bと駆動プーリ2bから離れた従
動プーリ2cとの間に搬送ベルト2dがエンドレスに掛
渡されている。搬送ベルト2dの表面の長さ方向には、
板材Pの下端面の滑落を阻止するための溝2eが刻設さ
れている。駆動プーリ2b,従動プーリ2c,搬送ベル
ト2dの間には、搬送ベルト2dの撓みを防止するガイ
ド2fが設けられている。
【0035】この移動機構2は、前述のフレーム部材3
の下端部付近に取付ブラケット6で取付けられ、搬送方
向(横方向)に沿って一部がフレーム部材3から突出
(流体噴射機構1とほぼ同長)して配置されている。
の下端部付近に取付ブラケット6で取付けられ、搬送方
向(横方向)に沿って一部がフレーム部材3から突出
(流体噴射機構1とほぼ同長)して配置されている。
【0036】これ等のユニット化された流体噴射機構
1,移動機構2,フレーム部材3,架台5は、図7に示
すように、架台5の間に連結ブラケット7を取付けて搬
送方向に複数台が連結され、板材Pを長距離搬送するこ
とのできる搬送ラインが構成される。
1,移動機構2,フレーム部材3,架台5は、図7に示
すように、架台5の間に連結ブラケット7を取付けて搬
送方向に複数台が連結され、板材Pを長距離搬送するこ
とのできる搬送ラインが構成される。
【0037】この実施の形態によると、全体がフレーム
構造等からなるため、安価,軽量に製造することができ
る。
構造等からなるため、安価,軽量に製造することができ
る。
【0038】この実施の形態の運転使用では、移動機構
2の搬送ベルト2dに載せられた板材Pが流体噴射機構
1のノズル1bから噴射される流体Aによって転倒を阻
止されながら搬送されることになる。
2の搬送ベルト2dに載せられた板材Pが流体噴射機構
1のノズル1bから噴射される流体Aによって転倒を阻
止されながら搬送されることになる。
【0039】この実施の形態の作用,効果は、前述の本
発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
【0040】図8,図9は、本発明に係る板材搬送方法
および板材搬送装置の実施の形態(2)を示すものであ
る。
および板材搬送装置の実施の形態(2)を示すものであ
る。
【0041】まず、本発明に係る板材搬送方法の実施の
形態を説明する。
形態を説明する。
【0042】この実施の形態は、図8に示すように、板
材Pの表面,裏面の両面に流体Aをほぼ直交する角度a
で噴射して、板材Pを垂直の起立状態に維持しておき、
起立した板材Pを下端面で下支えしながら移動させるも
のである。
材Pの表面,裏面の両面に流体Aをほぼ直交する角度a
で噴射して、板材Pを垂直の起立状態に維持しておき、
起立した板材Pを下端面で下支えしながら移動させるも
のである。
【0043】この実施の形態によると、板材Pの表面側
の開放が消失する以外、前述の本発明に係る板材搬送方
法の実施の形態(1)と同様の作用,効果奏される。
の開放が消失する以外、前述の本発明に係る板材搬送方
法の実施の形態(1)と同様の作用,効果奏される。
【0044】さらに、この実施の形態によると、板材P
の表面,裏面の両面側に流体Aの噴射圧力が掛かって垂
直の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材P
がクリーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ず
ることがない。
の表面,裏面の両面側に流体Aの噴射圧力が掛かって垂
直の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材P
がクリーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ず
ることがない。
【0045】次ぎに、本発明に係る板材搬送装置の実施
の形態を説明する。
の形態を説明する。
【0046】この実施の形態は、図9に示すように、流
体噴射機構1,フレーム部材3を水平方向へ相対して配
置した移動機構2は、中央部に設けられている。
体噴射機構1,フレーム部材3を水平方向へ相対して配
置した移動機構2は、中央部に設けられている。
【0047】この実施の形態の作用,効果は、前述の本
発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
【0048】以上、図示した実施の形態の外に、液晶ガ
ラス基板以外の材質からなる板材Pの搬送に適用するこ
とも可能である。
ラス基板以外の材質からなる板材Pの搬送に適用するこ
とも可能である。
【0049】さらに、板材Pの材質に対応して噴射され
る流体Aを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
る流体Aを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
【0050】
【発明の効果】 以上のように、本発明に係る板材搬送
方法および板材搬送装置は、板材を起立状態で搬送する
ため、設置床面積が狭くなる効果がある。また、この効
果により、板材が大型化しても設置が困難になることが
ない効果が生ずる。
方法および板材搬送装置は、板材を起立状態で搬送する
ため、設置床面積が狭くなる効果がある。また、この効
果により、板材が大型化しても設置が困難になることが
ない効果が生ずる。
【0051】また、起立した板材の荷重を下支えし板材
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、搬送される板
材の撓み,滑動が防止される効果がある。また、この効
果により、板材の大きさに対応する運転調整が容易にな
る効果が生ずる。
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、搬送される板
材の撓み,滑動が防止される効果がある。また、この効
果により、板材の大きさに対応する運転調整が容易にな
る効果が生ずる。
【0052】さらに、請求項2,請求項5として、板材
の起立状態がわずかに傾斜して板材の表面,裏面の一方
側が開放されるため、板材の供給側,回収側との受渡機
構や付属機器類の設備が容易になる効果がある。
の起立状態がわずかに傾斜して板材の表面,裏面の一方
側が開放されるため、板材の供給側,回収側との受渡機
構や付属機器類の設備が容易になる効果がある。
【0053】さらに、請求項3,請求項6として、板材
の表面,裏面の両面側に流体の噴射圧力が掛かって垂直
の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材がク
リーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ずるこ
とがない効果がある。更に、垂直に立てることにより、
より幅の狭い搬送装置となる。
の表面,裏面の両面側に流体の噴射圧力が掛かって垂直
の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材がク
リーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ずるこ
とがない効果がある。更に、垂直に立てることにより、
より幅の狭い搬送装置となる。
【0054】さらに、請求項7として、全体がユニット
化されるため、搬送距離の長い搬送ラインを容易に構成
することができる効果がある。
化されるため、搬送距離の長い搬送ラインを容易に構成
することができる効果がある。
【図1】 本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装
置の実施の形態(1)を示す基本原理の斜視図である。
置の実施の形態(1)を示す基本原理の斜視図である。
【図2】 図1の側面図である。
【図3】 図2の詳細図である。
【図4】 図3の要部の拡大図である。
【図5】 図3の他の要部の拡大断面図である。
【図6】 図3の正面図である。
【図7】 図6による搬送ラインの構成図である。
【図8】 本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装
置の実施の形態(2)を示す基本原理の側面図である。
置の実施の形態(2)を示す基本原理の側面図である。
【図9】 図8の詳細図である。
1 流体噴射機構 2 移動機構 3 フレーム部材 A 流体 P 板材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年4月18日(2001.4.1
8)
8)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 板材搬送方法および板材搬送装
置
置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、液晶ガラス基板
等の脆弱性の板材の工場内等での搬送に係る技術分野に
属する。
等の脆弱性の板材の工場内等での搬送に係る技術分野に
属する。
【0002】
【従来の技術】 従来、板材の搬送技術としては、例え
ば、特開2000−62950号公報に記載のものが知
られている。
ば、特開2000−62950号公報に記載のものが知
られている。
【0003】この従来の板材の搬送技術は、浮上装置に
よって下方と側方とから空気を噴射して板材を定位置で
水平状態に浮上させておき、板材を浮上させた浮上装置
をレールに沿って搬送方向へ移動させるものである。
よって下方と側方とから空気を噴射して板材を定位置で
水平状態に浮上させておき、板材を浮上させた浮上装置
をレールに沿って搬送方向へ移動させるものである。
【0004】この従来の板材の搬送技術によると、板材
が周囲部材と非接触となるため、搬送途中での板材の損
傷,破損が防止されるという利点がある。
が周囲部材と非接触となるため、搬送途中での板材の損
傷,破損が防止されるという利点がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】 前述の従来の板材の
搬送技術では、板材を水平に浮上させる浮上装置の設置
床面積が広く必要になるため、板材が大型化すると設置
が困難になるという問題点がある。また、浮上装置の複
数方向の多数箇所から噴射される空気の噴射圧力を精密
に調整しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ滑
動してしまうため、板材の大きさに対応する運転調整が
面倒であるという問題点がある。
搬送技術では、板材を水平に浮上させる浮上装置の設置
床面積が広く必要になるため、板材が大型化すると設置
が困難になるという問題点がある。また、浮上装置の複
数方向の多数箇所から噴射される空気の噴射圧力を精密
に調整しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ滑
動してしまうため、板材の大きさに対応する運転調整が
面倒であるという問題点がある。
【0006】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、設置床面積を広く必要とせず、精密な調
整を行うことなく搬送される板材の撓み,滑動を防止す
ることのできる板材搬送方法と、この板材搬送方法を実
施するに好適な板材搬送装置とを提供することを課題と
する。
されたもので、設置床面積を広く必要とせず、精密な調
整を行うことなく搬送される板材の撓み,滑動を防止す
ることのできる板材搬送方法と、この板材搬送方法を実
施するに好適な板材搬送装置とを提供することを課題と
する。
【0007】
【課題を解決するための手段】 前述の課題を解決する
ため、本発明に係る板材搬送方法は、次のような手段を
採用する。
ため、本発明に係る板材搬送方法は、次のような手段を
採用する。
【0008】即ち、請求項1に記載のように、板材に流
体を噴射して板材を起立状態に維持しておき、起立した
板材を下端面で下支えしながら移動させる。
体を噴射して板材を起立状態に維持しておき、起立した
板材を下端面で下支えしながら移動させる。
【0009】この手段では、板材を起立状態で搬送する
ことで設置床面積を狭くし、起立した板材の荷重を下支
えし板材の転倒を流体の噴射圧力で阻止することで板材
の撓み,滑動を防止する。
ことで設置床面積を狭くし、起立した板材の荷重を下支
えし板材の転倒を流体の噴射圧力で阻止することで板材
の撓み,滑動を防止する。
【0010】また、請求項2に記載のように、請求項1
の板材搬送方法において、流体は板材の表面,裏面のい
ずれかの一面に噴射され、板材は流体の噴射側にわずか
に傾斜した起立状態に維持されることを特徴とする。
の板材搬送方法において、流体は板材の表面,裏面のい
ずれかの一面に噴射され、板材は流体の噴射側にわずか
に傾斜した起立状態に維持されることを特徴とする。
【0011】この手段では、板材の起立状態がわずかに
傾斜する。
傾斜する。
【0012】また、請求項3に記載のように、請求項1
の板材の板材搬送方法において、流体は板材の表面,裏
面の両面に均等な噴射圧力で噴射され、板材は垂直の起
立状態に維持されることを特徴とする。
の板材の板材搬送方法において、流体は板材の表面,裏
面の両面に均等な噴射圧力で噴射され、板材は垂直の起
立状態に維持されることを特徴とする。
【0013】この手段では、板材の起立状態が垂直にな
る。
る。
【0014】さらに、前述の課題を解決するため、本発
明に係る板材搬送装置は、次のような手段を採用する。
明に係る板材搬送装置は、次のような手段を採用する。
【0015】即ち、請求項4に記載のように、搬送方向
に沿って配置され搬送される板材に流体を噴射して板材
を起立させる流体噴射機構と、流体噴射機構の下方に配
置され板材を下端面で下支えしながら搬送方向へ移動さ
せる移動機構とを備えてなる。
に沿って配置され搬送される板材に流体を噴射して板材
を起立させる流体噴射機構と、流体噴射機構の下方に配
置され板材を下端面で下支えしながら搬送方向へ移動さ
せる移動機構とを備えてなる。
【0016】この手段では、上方に配置された流体噴射
機構から板材に流体が噴射され、下方に配置された移動
機構で板材が下支えされて移動される。
機構から板材に流体が噴射され、下方に配置された移動
機構で板材が下支えされて移動される。
【0017】また、請求項5に記載のように、請求項3
の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の一面側
にのみ配置され板材を流体の噴射側にわずかに傾倒して
起立させることを特徴とする。
の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の一面側
にのみ配置され板材を流体の噴射側にわずかに傾倒して
起立させることを特徴とする。
【0018】この手段では、流体噴射機構が板材の一面
側から流体を噴射する。
側から流体を噴射する。
【0019】また、請求項6に記載のように、請求項3
の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の両面側
に配置され両面側からの流体の均等な噴射圧力で板材を
垂直に起立させることを特徴とする。
の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の両面側
に配置され両面側からの流体の均等な噴射圧力で板材を
垂直に起立させることを特徴とする。
【0020】この手段では、流体噴射機構が板材の両面
側から流体を噴射する。
側から流体を噴射する。
【0021】
【発明の実施の形態】 以下、本発明に係る板材搬送方
法および板材搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説
明する。
法および板材搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説
明する。
【0022】図1〜図7は、本発明に係る板材搬送方法
および板材搬送装置の実施の形態(1)を示すものであ
る。
および板材搬送装置の実施の形態(1)を示すものであ
る。
【0023】まず、本発明に係る板材搬送方法の実施の
形態を説明する。
形態を説明する。
【0024】この実施の形態では、液晶ガラス基板から
なる板材Pをクリーンルームの内部で搬送するものを示
してある。
なる板材Pをクリーンルームの内部で搬送するものを示
してある。
【0025】この実施の形態は、図1,図2に示すよう
に、板材Pの裏面に空気からなる流体Aをほぼ直交する
角度aで噴射して、板材Pを流体Aの噴射側にわずかな
角度bで傾斜した起立状態に維持しておき、起立した板
材Pを下端面で下支えしながら移動させるものである。
に、板材Pの裏面に空気からなる流体Aをほぼ直交する
角度aで噴射して、板材Pを流体Aの噴射側にわずかな
角度bで傾斜した起立状態に維持しておき、起立した板
材Pを下端面で下支えしながら移動させるものである。
【0026】起立した板材Pの傾斜の角度bについて
は、約5度が選択される。起立した板材Pを下支えする
面については、水平面に対してわずかな角度c(角度b
と同一角度)で傾斜されて板材Pの下端面に当接され
る。
は、約5度が選択される。起立した板材Pを下支えする
面については、水平面に対してわずかな角度c(角度b
と同一角度)で傾斜されて板材Pの下端面に当接され
る。
【0027】この実施の形態によると、板材Pを起立状
態で搬送するため、前述の従来例に比して設置床面積を
狭くすることができる。従って、板材Pが大型化して
も、設置が困難になることはない。搬送される板材P
は、下端面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Aの
噴射圧力で荷重の一部分(転倒力)が側支えされるた
め、板材Pの撓み,転倒が防止される。従って、前述の
従来例のように流体Aの噴射圧力を精密に調整しなくて
も、流体Aの噴射圧力を単に板材Pの転倒が阻止される
ように調整するだけでよいため、板材Pの大きさに対応
する運転調整が容易になる。
態で搬送するため、前述の従来例に比して設置床面積を
狭くすることができる。従って、板材Pが大型化して
も、設置が困難になることはない。搬送される板材P
は、下端面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Aの
噴射圧力で荷重の一部分(転倒力)が側支えされるた
め、板材Pの撓み,転倒が防止される。従って、前述の
従来例のように流体Aの噴射圧力を精密に調整しなくて
も、流体Aの噴射圧力を単に板材Pの転倒が阻止される
ように調整するだけでよいため、板材Pの大きさに対応
する運転調整が容易になる。
【0028】なお、板材Pが下端面を支持する周囲部材
以外と非接触となるため、前述の従来例と同様に、搬送
途中での板材Pの損傷,破損が防止される。
以外と非接触となるため、前述の従来例と同様に、搬送
途中での板材Pの損傷,破損が防止される。
【0029】また、板材Pの表面側が開放されているた
め、板材Pの供給側,回収側との受渡機構や付属機器類
(例えば、板材Pの検査機構)の設備が容易になる。
め、板材Pの供給側,回収側との受渡機構や付属機器類
(例えば、板材Pの検査機構)の設備が容易になる。
【0030】次ぎに、本発明に係る板材搬送装置の実施
の形態を説明する。
の形態を説明する。
【0031】この実施の形態は、図3〜図7に示すよう
に、流体Aを板材Pに噴射する流体噴射機構1と、板材
Pの下端面を下支えして板材Pを移動させる移動機構2
とを主要部として構成されている。
に、流体Aを板材Pに噴射する流体噴射機構1と、板材
Pの下端面を下支えして板材Pを移動させる移動機構2
とを主要部として構成されている。
【0032】流体噴射機構1は、加圧された流体Aが流
通する角筒形の本体部1aの1つの面に一定間隔を介し
て流体Aが噴射される小孔形の流体噴射孔1bが複数列
に多数個設けられている。本体部1aには、ホース1
c,フィルタ1dを介して加圧された流体Aの供給源で
あるエアブロア1eが接続されている。
通する角筒形の本体部1aの1つの面に一定間隔を介し
て流体Aが噴射される小孔形の流体噴射孔1bが複数列
に多数個設けられている。本体部1aには、ホース1
c,フィルタ1dを介して加圧された流体Aの供給源で
あるエアブロア1eが接続されている。
【0033】この流体噴射機構1は、方形のフレーム部
材3の上下のほぼ中央部に取付ブラケット4で取付けら
れ、搬送方向(横方向)に沿って一部がフレーム部材3
から突出して配置されている。フレーム部材3は、設置
床面Fに設置されるフレーム構造の架台5に前述の角度
bを形成して支持されている。なお、流体噴射機構1の
エアブロア1eは、架台5に設置されている。
材3の上下のほぼ中央部に取付ブラケット4で取付けら
れ、搬送方向(横方向)に沿って一部がフレーム部材3
から突出して配置されている。フレーム部材3は、設置
床面Fに設置されるフレーム構造の架台5に前述の角度
bを形成して支持されている。なお、流体噴射機構1の
エアブロア1eは、架台5に設置されている。
【0034】移動機構2は、モータ2aによって回転駆
動される駆動プーリ2bと駆動プーリ2bから離れた従
動プーリ2cとの間に搬送ベルト2dがエンドレスに掛
渡されている。搬送ベルト2dの表面の長さ方向には、
板材Pの下端面の滑落を阻止するための溝2eが刻設さ
れている。駆動プーリ2b,従動プーリ2c,搬送ベル
ト2dの間には、搬送ベルト2dの撓みを防止するガイ
ド2fが設けられている。
動される駆動プーリ2bと駆動プーリ2bから離れた従
動プーリ2cとの間に搬送ベルト2dがエンドレスに掛
渡されている。搬送ベルト2dの表面の長さ方向には、
板材Pの下端面の滑落を阻止するための溝2eが刻設さ
れている。駆動プーリ2b,従動プーリ2c,搬送ベル
ト2dの間には、搬送ベルト2dの撓みを防止するガイ
ド2fが設けられている。
【0035】この移動機構2は、前述のフレーム部材3
の下端部付近に取付ブラケット6で取付けられ、搬送方
向(横方向)に沿って一部がフレーム部材3から突出
(流体噴射機構1とほぼ同長)して配置されている。
の下端部付近に取付ブラケット6で取付けられ、搬送方
向(横方向)に沿って一部がフレーム部材3から突出
(流体噴射機構1とほぼ同長)して配置されている。
【0036】これ等のユニット化された流体噴射機構
1,移動機構2,フレーム部材3,架台5は、図7に示
すように、架台5の間に連結ブラケット7を取付けて搬
送方向に複数台が連結され、板材Pを長距離搬送するこ
とのできる搬送ラインが構成される。
1,移動機構2,フレーム部材3,架台5は、図7に示
すように、架台5の間に連結ブラケット7を取付けて搬
送方向に複数台が連結され、板材Pを長距離搬送するこ
とのできる搬送ラインが構成される。
【0037】この実施の形態によると、全体がフレーム
構造等からなるため、安価,軽量に製造することができ
る。
構造等からなるため、安価,軽量に製造することができ
る。
【0038】この実施の形態の運転使用では、移動機構
2の搬送ベルト2dに載せられた板材Pが流体噴射機構
1の流体噴射孔1bから噴射される流体Aによって転倒
を阻止されながら搬送されることになる。
2の搬送ベルト2dに載せられた板材Pが流体噴射機構
1の流体噴射孔1bから噴射される流体Aによって転倒
を阻止されながら搬送されることになる。
【0039】この実施の形態の作用,効果は、前述の本
発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
【0040】図8,図9は、本発明に係る板材搬送方法
および板材搬送装置の実施の形態(2)を示すものであ
る。
および板材搬送装置の実施の形態(2)を示すものであ
る。
【0041】まず、本発明に係る板材搬送方法の実施の
形態を説明する。
形態を説明する。
【0042】この実施の形態は、図8に示すように、板
材Pの表面,裏面の両面に流体Aをほぼ直交する角度a
で噴射して、板材Pを垂直の起立状態に維持しておき、
起立した板材Pを下端面で下支えしながら移動させるも
のである。
材Pの表面,裏面の両面に流体Aをほぼ直交する角度a
で噴射して、板材Pを垂直の起立状態に維持しておき、
起立した板材Pを下端面で下支えしながら移動させるも
のである。
【0043】この実施の形態によると、板材Pの表面側
の開放が消失する以外、前述の本発明に係る板材搬送方
法の実施の形態(1)と同様の作用,効果奏される。
の開放が消失する以外、前述の本発明に係る板材搬送方
法の実施の形態(1)と同様の作用,効果奏される。
【0044】さらに、この実施の形態によると、板材P
の表面,裏面の両面側に流体Aの噴射圧力が掛かって垂
直の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材P
がクリーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ず
ることがない。
の表面,裏面の両面側に流体Aの噴射圧力が掛かって垂
直の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材P
がクリーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ず
ることがない。
【0045】次ぎに、本発明に係る板材搬送装置の実施
の形態を説明する。
の形態を説明する。
【0046】この実施の形態は、図9に示すように、流
体噴射機構1,フレーム部材3を水平方向へ相対して配
置した構成になっている。なお、移動機構2は、一方の
フレーム部材3に取付けられている。また、架台5は、
背高の低い台車型に形成されている。
体噴射機構1,フレーム部材3を水平方向へ相対して配
置した構成になっている。なお、移動機構2は、一方の
フレーム部材3に取付けられている。また、架台5は、
背高の低い台車型に形成されている。
【0047】この実施の形態の作用,効果は、前述の本
発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
【0048】以上、図示した実施の形態の外に、液晶ガ
ラス基板以外の材質からなる板材Pの搬送に適用するこ
とも可能である。
ラス基板以外の材質からなる板材Pの搬送に適用するこ
とも可能である。
【0049】さらに、板材Pの材質に対応して噴射され
る流体Aを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
る流体Aを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
【0050】
【発明の効果】 以上のように、本発明に係る板材搬送
方法および板材搬送装置は、板材を起立状態で搬送する
ため、設置床面積が狭くなる効果がある。また、この効
果により、板材が大型化しても設置が困難になることが
ない効果が生ずる。
方法および板材搬送装置は、板材を起立状態で搬送する
ため、設置床面積が狭くなる効果がある。また、この効
果により、板材が大型化しても設置が困難になることが
ない効果が生ずる。
【0051】また、起立した板材の荷重を下支えし板材
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、精密な調整を
行うことなく搬送される板材の撓み,滑動が防止される
効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対
応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、精密な調整を
行うことなく搬送される板材の撓み,滑動が防止される
効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対
応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
【0052】さらに、請求項2,請求項5として、板材
の起立状態がわずかに傾斜して板材の表面,裏面の一方
側が開放されるため、板材の供給側,回収側との受渡機
構や付属機器類の設備が容易になる効果がある。
の起立状態がわずかに傾斜して板材の表面,裏面の一方
側が開放されるため、板材の供給側,回収側との受渡機
構や付属機器類の設備が容易になる効果がある。
【0053】さらに、請求項3,請求項6として、板材
の表面,裏面の両面側に流体の噴射圧力が掛かって垂直
の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材がク
リーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ずるこ
とがない効果がある。
の表面,裏面の両面側に流体の噴射圧力が掛かって垂直
の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材がク
リーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ずるこ
とがない効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装
置の実施の形態(1)を示す基本原理の斜視図である。
置の実施の形態(1)を示す基本原理の斜視図である。
【図2】 図1の側面図である。
【図3】 図2の詳細図である。
【図4】 図3の要部の拡大図である。
【図5】 図3の他の要部の拡大断面図である。
【図6】 図3の正面図である。
【図7】 図6による搬送ラインの構成図である。
【図8】 本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装
置の実施の形態(2)を示す基本原理の側面図である。
置の実施の形態(2)を示す基本原理の側面図である。
【図9】 図8の詳細図である。
【符号の説明】 1 流体噴射機構 2 移動機構 3 フレーム部材 A 流体 P 板材
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【図2】
【図4】
【図5】
【図8】
【図3】
【図6】
【図7】
【図9】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 陸夫 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 (72)発明者 新海 正幸 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 (72)発明者 桜井 修 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 (72)発明者 筑間 剛志 千葉県松戸市飛台504番地 株式会社筑間 鉄工所内 Fターム(参考) 3F024 CA06 DA14 5F031 CA05 FA02 FA18 GA51 GA62 LA07 PA18 PA20
Claims (6)
- 【請求項1】 板材に流体を噴射して板材を起立状態に
維持しておき、起立した板材を下端面で下支えしながら
移動させる板材搬送方法。 - 【請求項2】 請求項1の板材搬送方法において、流体
は板材の表面,裏面のいずれかの一面に噴射され、板材
は流体の噴射側にわずかに傾斜した起立状態に維持され
ることを特徴とする板材搬送方法。 - 【請求項3】 請求項1の板材の板材搬送方法におい
て、流体は板材の表面,裏面の両面に均等な噴射圧力で
噴射され、板材は垂直の起立状態に維持されることを特
徴とする板材搬送方法。 - 【請求項4】 搬送方向に沿って配置され搬送される板
材に流体を噴射して板材を起立させる流体噴射機構と、
流体噴射機構の下方に配置され板材を下端面で下支えし
ながら搬送方向へ移動させる移動機構とを備えてなる板
材搬送装置。 - 【請求項5】 請求項3の板材搬送装置において、流体
噴射機構は板材の一面側にのみ配置され板材を流体の噴
射側にわずかに傾斜して起立させることを特徴とする板
材搬送装置。 - 【請求項6】 請求項3の板材搬送装置において、流体
噴射機構は板材の両面側に配置され両面側からの流体の
均等な噴射圧力で板材を垂直に起立させることを特徴と
する板材搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001119730A JP2002308423A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 板材搬送方法および板材搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001119730A JP2002308423A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 板材搬送方法および板材搬送装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005023875A Division JP4790279B2 (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 板材搬送方法および板材搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002308423A true JP2002308423A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=18969901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001119730A Pending JP2002308423A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 板材搬送方法および板材搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002308423A (ja) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004167833A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Kawaju Plant Kk | 板材の分断設備 |
JP2004174308A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Kawaju Plant Kk | 板材の洗浄設備 |
JP2005047675A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
WO2006064925A1 (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-22 | Corning Japan K.K. | 板材収納方法および装置 |
US7108474B2 (en) | 2003-04-14 | 2006-09-19 | Daifuku Co., Ltd. | Apparatus for transporting plate-shaped work piece |
KR100797572B1 (ko) | 2006-09-07 | 2008-01-24 | 주식회사 에스에프에이 | 수직형 기판 이송장치 |
US7329299B2 (en) | 2003-07-08 | 2008-02-12 | Daifuku Co., Ltd. | Plate-shaped work piece transporting apparatus |
US7344350B2 (en) | 2003-08-21 | 2008-03-18 | Daifuku Co., Ltd. | Transporting apparatus with air-supplying support means and drive-force application means |
JP2009046308A (ja) * | 2008-10-24 | 2009-03-05 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2009105447A (ja) * | 2009-02-09 | 2009-05-14 | Kawasaki Plant Systems Ltd | 板材の洗浄設備およびその高圧液スプレー洗浄装置 |
JP2009167099A (ja) * | 2009-04-28 | 2009-07-30 | Kawasaki Plant Systems Ltd | 板材の分断ユニット |
US7891066B2 (en) | 2004-02-18 | 2011-02-22 | Kawasaki Plant Systems Kabushiki Kaisha | Plate material vertical processing line |
JP2011529439A (ja) * | 2008-07-31 | 2011-12-08 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス鉛直処理装置 |
TWI395702B (zh) * | 2008-11-25 | 2013-05-11 | Corning Inc | 用於運送玻璃片的方法與用於其中的非接觸軸承 |
JP2015051859A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 坂東機工株式会社 | ガラス板のエアーコンベア |
US9114935B2 (en) | 2011-08-12 | 2015-08-25 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Plate member conveying apparatus and method of conveying plate member |
JP2016167617A (ja) * | 2008-09-26 | 2016-09-15 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスシートを搬送するための液体噴出ベアリング |
CN114558864A (zh) * | 2022-03-03 | 2022-05-31 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种玻璃旋转设备 |
-
2001
- 2001-04-18 JP JP2001119730A patent/JP2002308423A/ja active Pending
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004167833A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Kawaju Plant Kk | 板材の分断設備 |
JP2004174308A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Kawaju Plant Kk | 板材の洗浄設備 |
US7108474B2 (en) | 2003-04-14 | 2006-09-19 | Daifuku Co., Ltd. | Apparatus for transporting plate-shaped work piece |
US7329299B2 (en) | 2003-07-08 | 2008-02-12 | Daifuku Co., Ltd. | Plate-shaped work piece transporting apparatus |
JP2005047675A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
US7344350B2 (en) | 2003-08-21 | 2008-03-18 | Daifuku Co., Ltd. | Transporting apparatus with air-supplying support means and drive-force application means |
US7891066B2 (en) | 2004-02-18 | 2011-02-22 | Kawasaki Plant Systems Kabushiki Kaisha | Plate material vertical processing line |
KR101200187B1 (ko) * | 2004-12-13 | 2012-11-13 | 이시카와지마-하리마 헤비 인더스트리즈 컴퍼니 리미티드 | 판재 수납 방법 및 장치 |
WO2006064925A1 (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-22 | Corning Japan K.K. | 板材収納方法および装置 |
JP2006168857A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Corning Japan Kk | 板材収納方法および装置 |
KR100797572B1 (ko) | 2006-09-07 | 2008-01-24 | 주식회사 에스에프에이 | 수직형 기판 이송장치 |
JP2011529439A (ja) * | 2008-07-31 | 2011-12-08 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス鉛直処理装置 |
JP2016167617A (ja) * | 2008-09-26 | 2016-09-15 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスシートを搬送するための液体噴出ベアリング |
JP2009046308A (ja) * | 2008-10-24 | 2009-03-05 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
US8511461B2 (en) | 2008-11-25 | 2013-08-20 | Corning Incorporated | Gas-ejecting bearings for transport of glass sheets |
TWI395702B (zh) * | 2008-11-25 | 2013-05-11 | Corning Inc | 用於運送玻璃片的方法與用於其中的非接觸軸承 |
US8757359B2 (en) | 2008-11-25 | 2014-06-24 | Corning Incorporated | Gas-ejecting bearings for transport of glass sheets |
JP4606498B2 (ja) * | 2009-02-09 | 2011-01-05 | カワサキプラントシステムズ株式会社 | 板材の洗浄設備およびその高圧液スプレー洗浄装置 |
JP2009105447A (ja) * | 2009-02-09 | 2009-05-14 | Kawasaki Plant Systems Ltd | 板材の洗浄設備およびその高圧液スプレー洗浄装置 |
JP2009167099A (ja) * | 2009-04-28 | 2009-07-30 | Kawasaki Plant Systems Ltd | 板材の分断ユニット |
US9114935B2 (en) | 2011-08-12 | 2015-08-25 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Plate member conveying apparatus and method of conveying plate member |
JP2015051859A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 坂東機工株式会社 | ガラス板のエアーコンベア |
CN114558864A (zh) * | 2022-03-03 | 2022-05-31 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种玻璃旋转设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2002308423A (ja) | 板材搬送方法および板材搬送装置 | |
KR101067709B1 (ko) | 자기부상방식 판유리 이송장치 | |
JP4501713B2 (ja) | エア浮上搬送装置 | |
JP2006206324A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2004345744A (ja) | 空気浮上装置および空気浮上式搬送装置 | |
JP2003063643A (ja) | 薄板の搬送方法及び装置 | |
TW418426B (en) | Floating carrier device and floating carrier system | |
JP3682396B2 (ja) | 薄板状材の定点搬送装置 | |
JP2010126295A (ja) | 薄板状材料の搬送方法及び装置 | |
KR200339636Y1 (ko) | 평판자재의 공기부상 이송장치 | |
JP2001196438A (ja) | 薄板状材の搬送装置 | |
TWI295658B (en) | Transporting apparatus | |
JP2008140987A (ja) | 半導体ウエハー及び液晶ガラスエアー浮上搬送装置 | |
JP4629007B2 (ja) | 薄板状材料搬送用エアテーブル及び薄板状材料搬送装置 | |
JP4229670B2 (ja) | 薄板状材の搬送方法及び装置 | |
WO2013161375A1 (ja) | 搬送装置 | |
KR101051416B1 (ko) | 판유리 이송장치 | |
JP4171293B2 (ja) | 薄板状材の搬送方法及び装置 | |
JP4412577B2 (ja) | 大型薄板用コンテナー | |
JP4790279B2 (ja) | 板材搬送方法および板材搬送装置 | |
KR101610215B1 (ko) | 반송 장치 | |
JPH11180554A (ja) | 基板搬送用ハンド及び基板搬送装置 | |
JP2002310925A (ja) | 板材検査方法および板材検査装置 | |
JP4461960B2 (ja) | 基板保管搬送装置、基板搬入システム、基板搬出システム及び基板搬入/搬出システム | |
JP4246507B2 (ja) | 大型薄板用コンテナーおよび大型薄板給排装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041130 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20050126 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050301 |