JP2002310925A - 板材検査方法および板材検査装置 - Google Patents

板材検査方法および板材検査装置

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JP2002310925A
JP2002310925A JP2001119732A JP2001119732A JP2002310925A JP 2002310925 A JP2002310925 A JP 2002310925A JP 2001119732 A JP2001119732 A JP 2001119732A JP 2001119732 A JP2001119732 A JP 2001119732A JP 2002310925 A JP2002310925 A JP 2002310925A
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JP2001119732A
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Michio Suzuki
陸夫 鈴木
Masayuki Anada
正幸 穴田
Osamu Sakurai
修 桜井
Kuniaki Ko
國彰 黄
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Corning Japan KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】設置床面積を広く必要としないようにする。検
査機構の設備に制約がないようにする。板材の内部の欠
陥の検査精度を高める。 【解決手段】移動する板材Pに光を透過してスクリーン
21bに投影された板材Pの像から板材Pの内部の欠陥
を検査する。板材Pに流体Aを噴射して板材Pを起立状
態に維持しておき、起立した板材Pを下端面で下支えし
ながら移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、液晶ガラス基板
等の脆弱性の板材の内部の欠陥の検査に係る技術分野に
属する。
【0002】
【従来の技術】 一般に、クリーンルームの内部で行わ
れる液晶ガラス基板からなる板材の検査では、板材の内
部の欠陥の検査、板材のエッジ(端縁)の欠陥の検査、
板材の表面(裏面)の欠陥の検査等が連続的に行われて
いる。。
【0003】従来、板材の内部の欠陥の検査技術につい
ては、例えば、移動する板材に光を透過してスクリーン
に投影された板材の像から板材の欠陥を検査することが
知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】 前述の従来の板材の
内部の欠陥の検査技術では、作業員が板材を手に持って
目視で検査しているため、板材が撓んで精密な検査が行
われないこと(欠陥を見逃すこと)があるという問題点
がある。
【0005】なお、板材の内部の欠陥の検査精度を高め
るには、例えば、特開2000−62950号公報に記
載の板材浮上技術を利用することが考えられる。
【0006】この板材浮上技術は、浮上装置によって下
方と側方とから空気を噴射して板材を定位置で水平状態
に浮上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレール
に沿って搬送方向へ移動させるものである。従って、こ
の板材浮上技術の搬送ラインの途中で板材に光を透過さ
せれば、板材の内部の欠陥の検査精度を高めることがで
きるはずである。
【0007】然しながら、この板材浮上技術では、板材
を水平に浮上させる浮上装置の設置床面積が広く必要に
なるため、板材が大型化すると設置が困難になるという
問題点がある。また、浮上装置の複数方向の多数箇所か
ら空気を噴射しないと、浮上した板材が撓んだり水平方
向へ滑動してしまうため、板材の裏面,側端面の周囲が
空気を噴射するノズル等で覆われて、板材の内部の欠陥
を検査する検査機構の設備が不能になってしまうという
問題点がある。
【0008】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、設置床面積を広く必要とせず、検査機構
の設備に制約がなく、板材の内部の欠陥の検査精度を高
めることができる板材検査方法と、この板材検査方法の
実施に好適な板材検査装置とを提供することを課題とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】 前述の課題を解決する
ため、本発明に係る板材検査方法は、移動する板材に光
を透過してスクリーンに投影された板材の像から板材の
内部の欠陥を検査する板材検査方法において、板材に流
体を噴射して板材を起立状態に維持しておき、起立した
板材を下端面で下支えしながら移動させることを特徴と
する手段を採用する。
【0010】この手段によると、板材を起立状態で搬送
することで設置床面積を狭くし、板材に流体噴射機構の
みを対面させることで板材の周囲を広く開放して検査機
構の設備を容易にし、起立した板材の荷重を下支えし板
材の転倒を流体の噴射圧力で阻止して板材の撓み,滑動
を防止することで板材の内部の欠陥の検査精度を高め
る。
【0011】さらに、前述の課題を解決するため、本発
明に係る板材検査装置は、搬送方向に沿って配置され搬
送される板材に流体を噴射して板材を起立させる流体噴
射機構と流体噴射機構の下方に配置され板材を下端面で
下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構とを備え
た搬送ユニットと、板材に光を透過してスクリーンに投
影された板材の像から板材の欠陥を検査する検査機構と
からなり、搬送ユニットは搬送方向へ複数台が連結さ
れ、検査機構は隣接する搬送ユニットの間を搬送される
板材に光を透過するライトと板材P透過した光により板
材の像を投影するスクリーンとスクリーンに投影された
板材の像を撮像するカメラとを備えてなる手段を採用す
る。
【0012】この手段によると、搬送ユニットの上方に
配置された流体噴射機構から板材に流体が噴射され、搬
送ユニットの下方に配置された移動機構で板材が下支え
されて移動され、隣接する搬送ユニットの間で検査機構
によって板材の内部の欠陥が検査される。
【0013】
【発明の実施の形態】 以下、本発明に係る板材検査方
法および板材検査装置の実施の形態を図面に基づいて説
明する。
【0014】図1〜図11は、本発明に係る板材検査方
法および板材検査装置の実施の形態(1)を示すもので
ある。
【0015】この実施の形態では、液晶ガラス基板から
なる板材Pをクリーンルームの内部で、板材の内部の欠
陥の検査、板材のエッジ(端縁)の欠陥の検査、板材の
表面(裏面)の欠陥の検査の3種類の検査を連続して実
施するものを示してある。
【0016】この実施の形態は、図3に示すように、搬
送ユニット1,検査機構2で構成されている。
【0017】搬送ユニット1は、図4〜図7に詳細に示
されるように、流体Aを板材Pに噴射する流体噴射機構
11と、板材Pの下端面を下支えして板材Pを移動させ
る移動機構12とを主要部として構成されている。
【0018】流体噴射機構11は、加圧された流体Aが
流通する角筒形の本体部11aの1つの面に一定間隔を
介して流体Aが噴射される小孔形の流体噴射孔11bが
複数列に多数個設けられている。本体部11aには、ホ
ース11c及びフィルタ−を介して流体Aの供給源であ
るエアブロアー11dが接続されている。
【0019】この流体噴射機構11は、方形のフレーム
部材13の上下のほぼ中央部に取付ブラケット14で取
付けられ、搬送方向(横方向)に沿って一部がフレーム
部材13から突出して配置されている。フレーム部材1
3は、設置床面Fに設置されるフレーム構造の架台15
に約5度の傾斜した角度aを形成して支持されている。
なお、流体噴射機構11のエアブロアー11dは、架台
15に設置されている。
【0020】移動機構12は、モータ12aによって回
転駆動される駆動プーリ12bと駆動プーリ12bから
離れた従動プーリ12cとの間に搬送ベルト12dがエ
ンドレスに掛渡されている。搬送ベルト12dの表面の
長さ方向には、板材Pの下端面の滑落を阻止するための
溝12eが刻設されている。駆動プーリ12b,従動プ
ーリ12c,搬送ベルト12dの間には、搬送ベルト2
dの撓みを防止するガイド12fが設けられている。
【0021】この移動機構12は、前述のフレーム部材
13の下端部付近に取付ブラケット16で取付けられ、
搬送方向(横方向)に沿って一部がフレーム部材13か
ら突出(流体噴射機構11とほぼ同長)して配置されて
いる。
【0022】この搬送ユニット1は、図3に示すよう
に、架台15の間に連結ブラケット17を取付けて少し
のスペースを介して搬送方向に複数台が連結され、板材
Pを長距離搬送することのできる検査のための搬送ライ
ン(検査ライン)が構成される。なお、隣接する搬送ユ
ニット1の流体噴射機構11同士,移動機構12同士の
間にもスペースが確保されている。また、構成された搬
送ラインの4番目の搬送ユニット1と5番目の搬送ユニ
ット1とは、流体噴射機構11の上下位置が異なってい
る。
【0023】なお、搬送ラインの連結の最前部の搬送ユ
ニット1は、図8に示すように、板材Pが供給される供
給側3から搬送ラインに板材Pを受取る専用台とされて
いる。搬送ラインの連結の最後部の搬送ユニット1は、
図9に示すように、搬送ラインから板材Pが回収される
回収側4へ板材Pを渡す専用台とされている。搬送ライ
ンの連結の最前部の搬送ユニット1と供給側3との間に
は、図10に示すように、板材Pの受渡しを行う多軸ロ
ボットからなる供給受渡機構5が配置されている。搬送
ラインの連結の最後部の搬送ユニット1と回収側4との
間には、図10に示すように、板材Pの受渡しを行う回
収受渡機構6が配置されている。
【0024】検査機構2は、内部検査機構21,エッジ
検査機構22,表面検査機構23の3種類で構成されて
いる。
【0025】内部検査機構21は、板材Pの内部の欠陥
の検査を行うもので、板材Pに光を透過させるキセノン
ランプ等からなるライト21aと、板材Pを透過した光
により板材Pの像を投影するスクリーン21bと、スク
リーン21に投影された板材Pの像を撮像するCCDカ
メラ等からなるカメラ21cとを備えている。なお、カ
メラ21cには、図示しない画像解析手段が接続されて
いる。
【0026】この内部検査機構21は、板材Pが搬送ユ
ニット1(流体噴射機構11同士,移動機構12同士)
の間を搬送され板材Pの周囲に障害物の存在しない位置
で板材Pに光を透過する。
【0027】エッジ検査機構22は、板材Pのエッジ
(端縁)の欠陥の検査を行うもので、搬送される板材P
の搬送方向のエッジに固定位置からレーザ光を照射して
検査する第1検査機構22aと、搬送の停止された板材
Pの搬送方向と直交するエッジに板材Pの搬送方向と直
交する方向に走行しながらレーザ光を照射して検査する
第2検査機構22bとを備えている。
【0028】このエッジ検査機構22は、搬送ユニット
1の間のスペースを利用して設備されている。従って、
エッジ検査機構22の設備によって板材Pの搬送を阻害
することがない。
【0029】表面検査機構23は、板材Pの表面(裏
面)の欠陥の検査を行うもので、板材Pの表面(裏面)
に光を照射するハロゲンランプ23aと、ハロゲンラン
プ23を板材Pに対して移動させる移動部23bと、移
動部23b掴んで操作する取手23cとを備えている。
【0030】この表面検査機構23は、ハロゲンランプ
23aを作業員の手作業により移動させて目視による検
査を行うもので、流体噴射機構11の上下位置が異なっ
ている搬送ラインの4番目,5番目の搬送ユニット1に
設備されている(図3参照)。搬送ラインの4番目,5
番目の搬送ユニット1では、表面検査機構23で異なる
領域を分担して検査し、検査する領域から流体噴射機構
11を排除して目視の邪魔にならないようにしている。
なお、この搬送ラインの4番目,5番目の搬送ユニット
1には、先の内部検査機構21,エッジ検査機構22で
欠陥が発見された板材Pについての無用の検査作業を避
けるため、作業員に視覚的,聴覚的に告知するための表
示部7が備えられている。
【0031】この実施の形態によると、搬送ユニット1
がフレーム構造等からなるため、安価,軽量に製造する
ことができるとともに、検査機構2の設備のための取付
構造が簡素化される。また、搬送ユニット1が少しのス
ペースを介して連結され板材Pに対して流体噴射機構1
1のみが対面する構造であるため、検査機構2の設備に
制約がなくなる。
【0032】この実施の形態では、供給側3から供給さ
れた板材Pが供給受渡機構5によって搬送ラインの最前
部の搬送ユニット1に載せられ、板材Pが搬送ユニット
1で構成される搬送ラインを搬送される間に検査機構2
によって検査され、検査の完了した板材Pが搬送ライン
の最後部の搬送ユニット1から回収受渡機構6によって
回収側4に回収される。従って、搬送ラインで板材Pを
搬送しながら(一時的な停止はあるが)、板材Pについ
て種類の異なる検査を連続的に実行することができ、板
材Pの全ての検査を短時間で完了することができる。
【0033】搬送ラインでは、搬送ユニット1の移動機
構12の搬送ベルト12dに載せられた板材Pが流体噴
射機構11の流体噴射孔11bから噴射される流体Aに
よって転倒を阻止されながら搬送されることになる。従
って、板材Pが起立状態で搬送されるため、設置床面積
を狭くすることができ、板材Pが大型化しても設置が困
難になることはない。
【0034】また、搬送される板材Pは、下端面で荷重
の大部分が下支えされ裏面で流体Aの噴射圧力で荷重の
一部分(転倒力)が側支えされるため、板材Pの撓み,
転倒が防止される。従って、検査機構2の内部検査機構
21による板材Pの内部の欠陥の検査の際に、前述の従
来例のように板材Pが撓んで精密な検査が行われないこ
と(欠陥を見逃すこと)はなくなる。この結果、板材P
の内部の欠陥の検査精度が高くなる。
【0035】なお、検査機構2の内部検査機構21によ
る板材Pの内部の欠陥の検査では、図11に示すよう
に、搬送ユニット1(流体噴射機構11同士,移動機構
12同士)の間で可能なかぎり板材Pに角度をもたせて
光を透過させると、板材Pからの光の反射を低減してス
クリーン21bに投影される像を明瞭にすることができ
る。また、図示しない画像解析手段は、スクリーン21
bに投影された像を一定の基準に沿って厳密に解析す
る。従って、板材Pの内部の欠陥の検査内容が安定す
る。なお、検査機構2の内部検査機構21によると、板
材Pの表面(裏面)の凹凸の欠陥をも検査することが可
能である。
【0036】なお、板材Pの撓み,転倒の防止が板材P
の下端面での荷重の大部分の下支えと裏面での流体Aの
噴射圧力による荷重の一部分(転倒力)の側支えとによ
って奏されるため、流体Aの噴射圧力を単に板材Pの転
倒が阻止されるように調整するだけでよく、流体Aの噴
射圧力を精密に調整しなくてもすむため、板材Pの大き
さに対応する運転調整が容易になる。なお、板材Pが下
端面を支持する周囲部材以外と非接触となるため、搬送
途中での板材Pの損傷,破損が防止される。
【0037】図12は、本発明に係る板材検査方法およ
び板材検査装置の実施の形態(2)を示すものである。
【0038】この実施の形態は、搬送ユニット1の流体
噴射機構11,フレーム部材13を水平方向へ相対して
配置した構成になっている。なお、搬送ユニット1の移
動機構12は、一方のフレーム部材13に取付けられて
いる。また、搬送ユニット1の架台15は、背高の低い
台車型に形成されている。
【0039】この実施の形態によると、板材Pの表面,
裏面の両面に流体Aをほぼ直交する角度で噴射して、板
材Pを垂直の起立状態に維持しておき、起立した板材P
を下端面で下支えしながら移動させることになる。従っ
て、板材Pの表面,裏面の両面側に流体Aの噴射圧力が
掛かって垂直の起立状態が強力に維持されるため、搬送
中の板材Pがクリーンルームの空調の気流等によってぶ
れ等を生ずることがなくなる。
【0040】以上、図示した実施の形態の外に、液晶ガ
ラス基板以外の材質からなる板材Pの搬送に適用するこ
とも可能である。
【0041】さらに、板材Pの材質に対応して噴射され
る流体Aを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
【0042】
【発明の効果】 以上のように、本発明に係る板材検査
方法および板材検査装置は、板材を起立状態で搬送する
ため、設置床面積が狭くなる効果がある。また、この効
果により、板材が大型化しても設置が困難になることが
ない効果が生ずる。
【0043】また、搬送される板材に搬送ユニットの流
体が噴射される部分(流体噴射機構)のみを対面させて
板材の周囲を広く開放しているため、板材の内部の欠陥
の検査を行う検査機構の設備の制約がなくなる効果があ
る。
【0044】また、板材が下端面で荷重の大部分が下支
えされ裏面で流体の噴射圧力で荷重の一部分(転倒力)
が側支えされて板材の撓み,転倒が防止されるため、板
材の内部の欠陥の検査精度が高くなる効果がある。
【0045】また、起立した板材の荷重を下支えし板材
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、精密な調整を
行うことなく搬送される板材の撓み,滑動が防止される
効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対
応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る板材検査方法および板材検査装
置の実施の形態(1)を示す基本原理の斜視図である。
【図2】 図1の側面図である。
【図3】 図1の全体の正面図である。
【図4】 図3の要部の拡大側面図である。
【図5】 図4の要部の拡大図である。
【図6】 図4の他の要部の拡大断面図である。
【図7】 図4の正面図である。
【図8】 図3への板材の供給例を示す側面図である。
【図9】 図3からの板材の回収例を示す側面図であ
る。
【図10】 図8,図9の平面図である。
【図11】 図3の要部の簡略化した平面図である。
【図12】 本発明に係る板材検査方法および板材検査
装置の実施の形態(2)を示す側面図である。
【符号の説明】
1 搬送ユニット 11 流体噴射機構 12 移動機構 2 検査機構 21 内部検査機構 21a ライト 21b スクリーン 21c カメラ 3 供給側 4 回収側 5 供給受渡機構 6 回収受渡機構 A 流体 P 板材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年4月19日(2001.4.1
9)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 板材検査方法および板材検査装
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、液晶ガラス基板
等の脆弱性の板材の内部の欠陥の検査に係る技術分野に
属する。
【0002】
【従来の技術】 一般に、クリーンルームの内部で行わ
れる液晶ガラス基板からなる板材の検査では、板材の内
部の欠陥の検査、板材のエッジ(端縁)の欠陥の検査、
板材の表面(裏面)の欠陥の検査等が連続的に行われて
いる。。
【0003】従来、板材の内部の欠陥の検査技術につい
ては、例えば、移動する板材に光を透過してスクリーン
に投影された板材の像から板材の欠陥を検査することが
知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】 前述の従来の板材の
内部の欠陥の検査技術では、作業員が板材を手に持って
目視で検査しているため、板材が撓んで精密な検査が行
われないこと(欠陥を見逃すこと)があるという問題点
がある。
【0005】なお、板材の内部の欠陥の検査精度を高め
るには、例えば、特開2000−62950号公報に記
載の板材浮上技術を利用することが考えられる。
【0006】この板材浮上技術は、浮上装置によって下
方と側方とから空気を噴射して板材を定位置で水平状態
に浮上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレール
に沿って搬送方向へ移動させるものである。従って、こ
の板材浮上技術の搬送ラインの途中で板材に光を透過さ
せれば、板材の内部の欠陥の検査精度を高めることがで
きるはずである。
【0007】然しながら、この板材浮上技術では、板材
を水平に浮上させる浮上装置の設置床面積が広く必要に
なるため、板材が大型化すると設置が困難になるという
問題点がある。また、浮上装置の複数方向の多数箇所か
ら空気を噴射しないと、浮上した板材が撓んだり水平方
向へ滑動してしまうため、板材の裏面,側端面の周囲が
空気を噴射するノズル等で覆われて、板材の内部の欠陥
を検査する検査機構の設備が不能になってしまうという
問題点がある。
【0008】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、設置床面積を広く必要とせず、検査機構
の設備に制約がなく、板材の内部の欠陥の検査精度を高
めることができる板材検査方法と、この板材検査方法の
実施に好適な板材検査装置とを提供することを課題とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】 前述の課題を解決する
ため、本発明に係る板材検査方法は、移動する板材に光
を透過してスクリーンに投影された板材の像から板材の
内部の欠陥を検査する板材検査方法において、板材に流
体を噴射して板材を起立状態に維持しておき、起立した
板材を下端面で下支えしながら移動させることを特徴と
する手段を採用する。
【0010】この手段によると、板材を起立状態で搬送
することで設置床面積を狭くし、板材に流体噴射機構の
みを対面させることで板材の周囲を広く開放して検査機
構の設備を容易にし、起立した板材の荷重を下支えし板
材の転倒を流体の噴射圧力で阻止して板材の撓み,滑動
を防止することで板材の内部の欠陥の検査精度を高め
る。
【0011】さらに、前述の課題を解決するため、本発
明に係る板材検査装置は、搬送方向に沿って配置され搬
送される板材に流体を噴射して板材を起立させる流体噴
射機構と流体噴射機構の下方に配置され板材を下端面で
下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構とを備え
た搬送ユニットと、板材に光を透過してスクリーンに投
影された板材の像から板材の欠陥を検査する検査機構と
からなり、搬送ユニットは搬送方向へ複数台が連結さ
れ、検査機構は隣接する搬送ユニットの間を搬送される
板材に光を透過するライトと板材P透過した光により板
材の像を投影するスクリーンとスクリーンに投影された
板材の像を撮像するカメラとを備えてなる手段を採用す
る。
【0012】この手段によると、搬送ユニットの上方に
配置された流体噴射機構から板材に流体が噴射され、搬
送ユニットの下方に配置された移動機構で板材が下支え
されて移動され、隣接する搬送ユニットの間で検査機構
によって板材の内部の欠陥が検査される。
【0013】
【発明の実施の形態】 以下、本発明に係る板材検査方
法および板材検査装置の実施の形態を図面に基づいて説
明する。
【0014】図1〜図11は、本発明に係る板材検査方
法および板材検査装置の実施の形態(1)を示すもので
ある。
【0015】この実施の形態では、液晶ガラス基板から
なる板材Pをクリーンルームの内部で、板材の内部の欠
陥の検査、板材のエッジ(端縁)の欠陥の検査、板材の
表面(裏面)の欠陥の検査の3種類の検査を連続して実
施するものを示してある。
【0016】この実施の形態は、図3に示すように、搬
送ユニット1,検査機構2で構成されている。
【0017】搬送ユニット1は、図4〜図7に詳細に示
されるように、流体Aを板材Pに噴射する流体噴射機構
11と、板材Pの下端面を下支えして板材Pを移動させ
る移動機構12とを主要部として構成されている。
【0018】流体噴射機構11は、加圧された流体Aが
流通する角筒形の本体部11aの1つの面に一定間隔を
介して流体Aが噴射される小孔形の流体噴射孔11bが
複数列に多数個設けられている。本体部11aには、ホ
ース11c及びフィルタ−11dを介して流体Aの供給
源であるエアブロアー11が接続されている。
【0019】この流体噴射機構11は、方形のフレーム
部材13の上下のほぼ中央部に取付ブラケット14で取
付けられ、搬送方向(横方向)に沿って一部がフレーム
部材13から突出して配置されている。フレーム部材1
3は、設置床面Fに設置されるフレーム構造の架台15
に約5度の傾斜した角度aを形成して支持されている。
なお、流体噴射機構11のエアブロアー11は、架台
15に設置されている。
【0020】移動機構12は、モータ12aによって回
転駆動される駆動プーリ12bと駆動プーリ12bから
離れた従動プーリ12cとの間に搬送ベルト12dがエ
ンドレスに掛渡されている。搬送ベルト12dの表面の
長さ方向には、板材Pの下端面の滑落を阻止するための
溝12eが刻設されている。駆動プーリ12b,従動プ
ーリ12c,搬送ベルト12dの間には、搬送ベルト2
dの撓みを防止するガイド12fが設けられている。
【0021】この移動機構12は、前述のフレーム部材
13の下端部付近に取付ブラケット16で取付けられ、
搬送方向(横方向)に沿って一部がフレーム部材13か
ら突出(流体噴射機構11とほぼ同長)して配置されて
いる。
【0022】この搬送ユニット1は、図3に示すよう
に、架台15の間に連結ブラケット17を取付けて少し
のスペースを介して搬送方向に複数台が連結され、板材
Pを長距離搬送することのできる検査のための搬送ライ
ン(検査ライン)が構成される。なお、隣接する搬送ユ
ニット1の流体噴射機構11同士,移動機構12同士の
間にもスペースが確保されている。また、構成された搬
送ラインの4番目の搬送ユニット1と5番目の搬送ユニ
ット1とは、流体噴射機構11の上下位置が異なってい
る。
【0023】なお、搬送ラインの連結の最前部の搬送ユ
ニット1は、図8に示すように、板材Pが供給される供
給側3から搬送ラインに板材Pを受取る専用台とされて
いる。搬送ラインの連結の最後部の搬送ユニット1は、
図9に示すように、搬送ラインから板材Pが回収される
回収側4へ板材Pを渡す専用台とされている。搬送ライ
ンの連結の最前部の搬送ユニット1と供給側3との間に
は、図10に示すように、板材Pの受渡しを行う多軸ロ
ボットからなる供給受渡機構5が配置されている。搬送
ラインの連結の最後部の搬送ユニット1と回収側4との
間には、図10に示すように、板材Pの受渡しを行う回
収受渡機構6が配置されている。
【0024】検査機構2は、内部検査機構21,エッジ
検査機構22,表面検査機構23の3種類で構成されて
いる。
【0025】内部検査機構21は、板材Pの内部の欠陥
の検査を行うもので、板材Pに光を透過させるキセノン
ランプ等からなるライト21aと、板材Pを透過した光
により板材Pの像を投影するスクリーン21bと、スク
リーン21に投影された板材Pの像を撮像するCCDカ
メラ等からなるカメラ21cとを備えている。なお、カ
メラ21cには、図示しない画像解析手段が接続されて
いる。
【0026】この内部検査機構21は、板材Pが搬送ユ
ニット1(流体噴射機構11同士,移動機構12同士)
の間を搬送され板材Pの周囲に障害物の存在しない位置
で板材Pに光を透過する。
【0027】エッジ検査機構22は、板材Pのエッジ
(端縁)の欠陥の検査を行うもので、搬送される板材P
の搬送方向のエッジに固定位置からレーザ光を照射して
検査する第1検査機構22aと、搬送の停止された板材
Pの搬送方向と直交するエッジに板材Pの搬送方向と直
交する方向に走行しながらレーザ光を照射して検査する
第2検査機構22bとを備えている。
【0028】このエッジ検査機構22は、搬送ユニット
1の間のスペースを利用して設備されている。従って、
エッジ検査機構22の設備によって板材Pの搬送を阻害
することがない。
【0029】表面検査機構23は、板材Pの表面(裏
面)の欠陥の検査を行うもので、板材Pの表面(裏面)
に光を照射するハロゲンランプ23aと、ハロゲンラン
プ23を板材Pに対して移動させる移動部23bと、移
動部23b掴んで操作する取手23cとを備えている。
【0030】この表面検査機構23は、ハロゲンランプ
23aを作業員の手作業により移動させて目視による検
査を行うもので、流体噴射機構11の上下位置が異なっ
ている搬送ラインの4番目,5番目の搬送ユニット1に
設備されている(図3参照)。搬送ラインの4番目,5
番目の搬送ユニット1では、表面検査機構23で異なる
領域を分担して検査し、検査する領域から流体噴射機構
11を排除して目視の邪魔にならないようにしている。
なお、この搬送ラインの4番目,5番目の搬送ユニット
1には、先の内部検査機構21,エッジ検査機構22で
欠陥が発見された板材Pについての無用の検査作業を避
けるため、作業員に視覚的,聴覚的に告知するための表
示部7が備えられている。
【0031】この実施の形態によると、搬送ユニット1
がフレーム構造等からなるため、安価,軽量に製造する
ことができるとともに、検査機構2の設備のための取付
構造が簡素化される。また、搬送ユニット1が少しのス
ペースを介して連結され板材Pに対して流体噴射機構1
1のみが対面する構造であるため、検査機構2の設備に
制約がなくなる。
【0032】この実施の形態では、供給側3から供給さ
れた板材Pが供給受渡機構5によって搬送ラインの最前
部の搬送ユニット1に載せられ、板材Pが搬送ユニット
1で構成される搬送ラインを搬送される間に検査機構2
によって検査され、検査の完了した板材Pが搬送ライン
の最後部の搬送ユニット1から回収受渡機構6によって
回収側4に回収される。従って、搬送ラインで板材Pを
搬送しながら(一時的な停止はあるが)、板材Pについ
て種類の異なる検査を連続的に実行することができ、板
材Pの全ての検査を短時間で完了することができる。
【0033】搬送ラインでは、搬送ユニット1の移動機
構12の搬送ベルト12dに載せられた板材Pが流体噴
射機構11の流体噴射孔11bから噴射される流体Aに
よって転倒を阻止されながら搬送されることになる。従
って、板材Pが起立状態で搬送されるため、設置床面積
を狭くすることができ、板材Pが大型化しても設置が困
難になることはない。
【0034】また、搬送される板材Pは、下端面で荷重
の大部分が下支えされ裏面で流体Aの噴射圧力で荷重の
一部分(転倒力)が側支えされるため、板材Pの撓み,
転倒が防止される。従って、検査機構2の内部検査機構
21による板材Pの内部の欠陥の検査の際に、前述の従
来例のように板材Pが撓んで精密な検査が行われないこ
と(欠陥を見逃すこと)はなくなる。この結果、板材P
の内部の欠陥の検査精度が高くなる。
【0035】なお、検査機構2の内部検査機構21によ
る板材Pの内部の欠陥の検査では、図11に示すよう
に、搬送ユニット1(流体噴射機構11同士,移動機構
12同士)の間で可能なかぎり板材Pに角度をもたせて
光を透過させると、板材Pからの光の反射を低減してス
クリーン21bに投影される像を明瞭にすることができ
る。また、図示しない画像解析手段は、スクリーン21
bに投影された像を一定の基準に沿って厳密に解析す
る。従って、板材Pの内部の欠陥の検査内容が安定す
る。なお、検査機構2の内部検査機構21によると、板
材Pの表面(裏面)の凹凸の欠陥をも検査することが可
能である。
【0036】なお、板材Pの撓み,転倒の防止が板材P
の下端面での荷重の大部分の下支えと裏面での流体Aの
噴射圧力による荷重の一部分(転倒力)の側支えとによ
って奏されるため、流体Aの噴射圧力を単に板材Pの転
倒が阻止されるように調整するだけでよく、流体Aの噴
射圧力を精密に調整しなくてもすむため、板材Pの大き
さに対応する運転調整が容易になる。なお、板材Pが下
端面を支持する周囲部材以外と非接触となるため、搬送
途中での板材Pの損傷,破損が防止される。
【0037】図12は、本発明に係る板材検査方法およ
び板材検査装置の実施の形態(2)を示すものである。
【0038】この実施の形態は、搬送ユニット1の流体
噴射機構11,フレーム部材13を水平方向へ相対して
配置した構成になっている。なお、搬送ユニット1の移
動機構12は、一方のフレーム部材13に取付けられて
いる。また、搬送ユニット1の架台15は、背高の低い
台車型に形成されている。
【0039】この実施の形態によると、板材Pの表面,
裏面の両面に流体Aをほぼ直交する角度で噴射して、板
材Pを垂直の起立状態に維持しておき、起立した板材P
を下端面で下支えしながら移動させることになる。従っ
て、板材Pの表面,裏面の両面側に流体Aの噴射圧力が
掛かって垂直の起立状態が強力に維持されるため、搬送
中の板材Pがクリーンルームの空調の気流等によってぶ
れ等を生ずることがなくなる。
【0040】以上、図示した実施の形態の外に、液晶ガ
ラス基板以外の材質からなる板材Pの搬送に適用するこ
とも可能である。
【0041】さらに、板材Pの材質に対応して噴射され
る流体Aを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とする
ことも可能である。
【0042】
【発明の効果】 以上のように、本発明に係る板材検査
方法および板材検査装置は、板材を起立状態で搬送する
ため、設置床面積が狭くなる効果がある。また、この効
果により、板材が大型化しても設置が困難になることが
ない効果が生ずる。
【0043】また、搬送される板材に搬送ユニットの流
体が噴射される部分(流体噴射機構)のみを対面させて
板材の周囲を広く開放しているため、板材の内部の欠陥
の検査を行う検査機構の設備の制約がなくなる効果があ
る。
【0044】また、板材が下端面で荷重の大部分が下支
えされ裏面で流体の噴射圧力で荷重の一部分(転倒力)
が側支えされて板材の撓み,転倒が防止されるため、板
材の内部の欠陥の検査精度が高くなる効果がある。
【0045】また、起立した板材の荷重を下支えし板材
の転倒を流体の噴射圧力で阻止するため、精密な調整を
行うことなく搬送される板材の撓み,滑動が防止される
効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対
応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る板材検査方法および板材検査装
置の実施の形態(1)を示す基本原理の斜視図である。
【図2】 図1の側面図である。
【図3】 図1の全体の正面図である。
【図4】 図3の要部の拡大側面図である。
【図5】 図4の要部の拡大図である。
【図6】 図4の他の要部の拡大断面図である。
【図7】 図4の正面図である。
【図8】 図3への板材の供給例を示す側面図である。
【図9】 図3からの板材の回収例を示す側面図であ
る。
【図10】 図8,図9の平面図である。
【図11】 図3の要部の簡略化した平面図である。
【図12】 本発明に係る板材検査方法および板材検査
装置の実施の形態(2)を示す側面図である。
【符号の説明】 1 搬送ユニット 11 流体噴射機構 12 移動機構 2 検査機構 21 内部検査機構 21a ライト 21b スクリーン 21c カメラ 3 供給側 4 回収側 5 供給受渡機構 6 回収受渡機構 A 流体 P 板材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桜井 修 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 (72)発明者 黄 國彰 静岡県小笠郡大須賀町大渕12117 コーニ ングジャパン株式会社静岡工場内 Fターム(参考) 2G051 AA84 AA90 AB05 AB06 AC12 CA04 CB02 DA03 DA06 DA17 2G086 EE10 2H090 JB02 JC18 JD01 JD13

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 移動する板材に光を透過してスクリーン
    に投影された板材の像から板材の内部の欠陥を検査する
    板材検査方法において、板材に流体を噴射して板材を起
    立状態に維持しておき、起立した板材を下端面で下支え
    しながら移動させることを特徴とする板材検査方法。
  2. 【請求項2】 搬送方向に沿って配置され搬送される板
    材に流体を噴射して板材を起立させる流体噴射機構と流
    体噴射機構の下方に配置され板材を下端面で下支えしな
    がら搬送方向へ移動させる移動機構とを備えた搬送ユニ
    ットと、板材に光を透過してスクリーンに投影された板
    材の像から板材の欠陥を検査する検査機構とからなり、
    搬送ユニットは搬送方向へ複数台が連結され、検査機構
    は隣接する搬送ユニットの間を搬送される板材に光を透
    過するライトと板材P透過した光により板材の像を投影
    するスクリーンとスクリーンに投影された板材の像を撮
    像するカメラとを備えてなる板材検査装置。
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