JP4606498B2 - 板材の洗浄設備およびその高圧液スプレー洗浄装置 - Google Patents
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上記搬送部の搬送経路に沿って配置され、上記板材の側面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記立てられた状態の板材にその両面側からそれぞれ高圧液スプレーを噴射するための高圧液スプレー部であって、板材の両面側に配置されて上下方向に移動可能に構成された高圧液スプレーノズルを有する高圧液スプレー部と、
上記高圧液スプレー部における板材搬送方向の上流及び下流の両側で、且つ板材の両面側それぞれに配設された上下流体ガイドであって、上記高圧液スプレーノズルの上下動軌道に近接するとともに、板材の面の上下方向に沿って上下に隣接して並んだ複数個の上下流体ガイドとを備えている。
上記板材の側面に流体圧を作用させることによってこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路に配設された、上記板材に洗浄液を供給するための洗浄液供給部を有する洗剤洗浄装置と、
上記搬送経路におけるこの洗剤洗浄装置の下流側に配設された、前述した高圧液スプレー洗浄装置のうちのいずれか一の高圧液スプレー洗浄装置と、
上記搬送経路における該高圧液スプレー洗浄装置の下流側において、立てられた状態の板材にその両面側からそれぞれ、板材の上方から下方に対応するように延設された、膜状気流を板材に向けて噴射する水切り部を備えてなる水切り装置と
を備えている。
2・・・・ベルトコンベア
3・・・・洗剤洗浄装置
4・・・・高圧液スプレー洗浄装置
5・・・・仕上げ洗浄装置
6・・・・水切り装置
8・・・・流体ガイド
9・・・・枠部材
10・・・・ガイド板
11・・・・流体噴出部
11a・・・第一流体噴出部
11b・・・第二流体噴出部
11c・・・流体噴出ノズル
12・・・・洗剤供給管
13・・・・洗剤ノズル
14・・・・エアカーテン部材
15・・・・給気管
16・・・・エアノズル
17・・・・水受けチャネル
18・・・・排水管
19・・・・高圧液スプレー部材
20・・・・高圧液スプレーノズル
20a・・・(高圧液スプレーノズル)の回転軸
20c・・・バランスウエイト
21・・・・リニアガイド機構
22・・・・移動式流体ガイド
23・・・・上下流体ガイド
24・・・・水洗部材
25・・・・給水管
26・・・・水ノズル
27・・・・流体ガイド
28、29・・・・水洗部材
30・・・・水切り部材
31・・・・給水管
32・・・・水ノズル
33・・・・エアナイフフレーム
34・・・・スリット
35・・・・隔離板
41・・・・ノズル支持フレーム
41a・・・(ノズル支持フレームの)ノズル支持部
41b・・・(ノズル支持フレームの)基部
41c・・・ヒンジ
42・・・・ベースフレーム
43・・・・(固定具の)ノブ
G・・・・板ガラス
L・・・・(板ガラスの)パスライン
Claims (6)
- 立てられた状態の板材の下端を支持し、該立てられた状態の板材を水平方向に搬送する搬送部を有する支持装置と、
上記搬送部の搬送経路に沿って配置され、上記板材の側面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記立てられた状態の板材にその両面側からそれぞれ高圧液スプレーを噴射するための高圧液スプレー部であって、板材の両面側に配置されて上下方向に移動可能に構成された高圧液スプレーノズルを有する高圧液スプレー部と、
上記高圧液スプレー部における板材搬送方向の上流及び下流の両側で、且つ板材の両面側それぞれに配設された上下流体ガイドであって、上記高圧液スプレーノズルの上下動軌道に近接するとともに、板材の面の上下方向に沿って上下に隣接して並んだ複数個の上下流体ガイドとを備えており、
上記板材の両面側に配置された高圧液スプレーノズル同士が、該高圧液スプレーノズルから板材に向けて噴射する高圧液スプレーの圧力が板材の両面でバランスするように板材を挟んで対向して配置され、
該高圧液スプレーノズルに隣接して、該高圧液スプレーノズルと一体で上下方向に移動可能な移動式流体ガイドが配設されてなる板材の高圧液スプレー洗浄装置。 - 上記高圧液スプレーノズルが、洗浄対象の板材の面に実質的に垂直方向の回転軸心回りに回転するように構成されてなる請求項1記載の板材の高圧液スプレー洗浄装置。
- 上記高圧液スプレーノズルが、上記回転軸心を中心に対向して設けられたバランスウエイトと一体的に回転するように構成されてなる請求項2記載の板材の高圧液スプレー洗浄装置。
- 板材の搬送方向に見た上流端側に、立てられた状態の板材の上下方向に沿って水洗部が配設されており、該水洗部は、立てられた状態で搬送される上記板材の両面全面に順次流体が流れるように吹き付ける上下方向に配列された複数個の水噴射ノズルを有してなる請求項1記載の板材の高圧液スプレー洗浄装置。
- 立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
上記板材の側面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路に配設された、上記板材に洗浄液を供給するための洗浄液供給部を有する洗剤洗浄装置と、
上記搬送経路における該洗剤洗浄装置の下流側に配設された請求項1〜4のうちいずれか一の項に記載の高圧液スプレー洗浄装置と、
上記搬送経路における該高圧液スプレー洗浄装置の下流側において、立てられた状態の板材にその両面側からそれぞれ、板材の上方から下方に対応するように延設された、膜状気流を板材に向けて噴射する水切り部を備えてなる水切り装置と
を備えてなる板材の洗浄設備。 - 上記高圧液スプレー洗浄装置と水切り装置との間に仕上げ洗浄装置が配設されており、該仕上げ洗浄装置が上記搬送装置の両側に上記流体ガイドを有してなる請求項5記載の板材の洗浄設備。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009026924A JP4606498B2 (ja) | 2009-02-09 | 2009-02-09 | 板材の洗浄設備およびその高圧液スプレー洗浄装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009105447A JP2009105447A (ja) | 2009-05-14 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4606498B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012111618A1 (ja) * | 2011-02-18 | 2012-08-23 | シャープ株式会社 | 基板乾燥装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56152239A (en) * | 1980-04-26 | 1981-11-25 | Kuresen Sangyo Kk | Cleaning and drying device and cartridge used therefor |
JPH0498484U (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-26 | ||
JPH10118583A (ja) * | 1996-10-24 | 1998-05-12 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状物の洗浄装置 |
JPH10147966A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Toyota Motor Corp | 洋式便器用洗浄装置 |
JP2002308423A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Corning Japan Kk | 板材搬送方法および板材搬送装置 |
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JPS56152239A (en) * | 1980-04-26 | 1981-11-25 | Kuresen Sangyo Kk | Cleaning and drying device and cartridge used therefor |
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JPH10147966A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Toyota Motor Corp | 洋式便器用洗浄装置 |
JP2002308423A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Corning Japan Kk | 板材搬送方法および板材搬送装置 |
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