JP2014038915A - 基板の乾燥装置、及びその方法 - Google Patents
基板の乾燥装置、及びその方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014038915A JP2014038915A JP2012179632A JP2012179632A JP2014038915A JP 2014038915 A JP2014038915 A JP 2014038915A JP 2012179632 A JP2012179632 A JP 2012179632A JP 2012179632 A JP2012179632 A JP 2012179632A JP 2014038915 A JP2014038915 A JP 2014038915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- substrate
- glass substrate
- drying apparatus
- cleaning liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】ガラス基板上の洗浄液の液切れ性が良好なガラス基板の乾燥装置等を提供する。
【解決手段】洗浄後の基板2を傾斜させつつ搬送し、基板2に対して気体9を噴射する気体吹付手段30を基板2とともに移動させつつ、基板2に対して気体9を噴射する基板2の乾燥方法であって、前記気体9を間歇的に、及び/又は増減させて噴射量が制御されることを特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】洗浄後の基板2を傾斜させつつ搬送し、基板2に対して気体9を噴射する気体吹付手段30を基板2とともに移動させつつ、基板2に対して気体9を噴射する基板2の乾燥方法であって、前記気体9を間歇的に、及び/又は増減させて噴射量が制御されることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明は基板を乾燥するための乾燥装置、及びその方法であって、特に、洗浄処理されたカラーフィルタ(ガラス基板)を乾燥する乾燥装置等に関する。
従来から、カラー液晶ディスプレイパネルに用いられるカラーフィルタ等のガラス基板を洗浄し、その洗浄後の洗浄液をエアーナイフで除去する洗浄装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に示す乾燥装置は、洗浄されたガラス基板を水平状態で搬送しつつ、当該ガラス基板に対してエアーナイフを移動しながら気体を吹き付けることで洗浄液を除去するものである。
ところで、カラーフィルタ等のガラス基板に形成されるパターンは、近年では微細化されており、エアーナイフにより一方向から気体を吹き付ける従来の手法では洗浄液が当該パターンとガラス基板との境に留まり除去できずに残ってしまう場合がある。
また、水平状態で搬送されるガラス基板に対して気体を吹き付けた場合、洗浄液が上方へと舞ってしまい、完全にガラス基板の外部へと吹き飛ばせずに、洗浄液を除去しきれないことがある。
本発明は、このような問題の解消を一つの課題とし、その目的の一例は、ガラス基板上の洗浄液の液切れ性が良好なガラス基板の乾燥装置等を提供するものである。
上記課題を解決するため、請求項1に記載の基板(2)の乾燥装置(10)は、洗浄後の基板に付着した洗浄液(7)を除去して前記基板を乾燥させる乾燥装置であって、前記基板を傾斜して搬送する搬送手段(11、15)と、前記基板に対して気体を吹き付ける気体吹付手段(30)と、当該気体吹付手段を前記基板の搬送速度に追随して搬送経路上を移動させる移動手段(35)と、前記気体吹付手段により吹き付ける気体の噴射タイミング又は噴射量を制御する制御手段(50)と、を具備し、前記制御手段は、前記気体を間歇的に、及び/又は増減させて噴射量を制御することを特徴とする。
また、請求項2に記載の基板の乾燥装置は、請求項1に記載の基板の乾燥装置において、前記気体吹付手段は、複数のエアーナイフ(30A、30B)を備え、各前記エアーナイフは、前記基板に対して異なる方向から気体を吹き付けることを特徴とする。
また、請求項3に記載の基板の乾燥装置は、請求項2に記載の基板の乾燥装置において、前記エアーナイフは、搬送方向に対して直交する方向に線対称となるように傾けて設けられている2組のエアーナイフであることを特徴とする。
また、請求項3に記載の基板の乾燥装置は、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板の乾燥装置において、前記移動手段は、前記基板の搬送速度より遅い速度で前記気体吹付手段を移動させることを特徴とする。
また、請求項5に記載の基板の乾燥方法は、洗浄後の基板を傾斜させつつ搬送し、前記基板に対して気体を噴射する気体吹付手段を前記基板とともに移動させつつ、前記基板に対して前記気体を噴射する基板の乾燥方法であって、前記気体を間歇的に、及び/又は増減させて噴射量が制御されることを特徴とする。
本発明によれば、洗浄されたガラス基板に付着する洗浄液をほぼ完全に除去することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。本実施形態の乾燥装置10は、ガラス基板2に対して洗浄処理及び乾燥処理を施して搬出する装置である。なお、便宜的に、図2に示す乾燥装置10の上下方向を、乾燥装置10の上下方向と表し、乾燥装置10の左右方向を、前後方向と表すものとする。
ガラス基板2は、図1に示すように、基台11によって所定方向に傾けられた姿勢で保持されつつ図1中の矢印Aの方向に駆動ローラ15によって搬送される。ガラス基板2に対しては、図2に示すように、洗浄用ノズル20によって薬液や純水等の洗浄液7が噴射され、ガラス基板2の表面の洗浄が行われる。その後、ガラス基板2には、乾燥用ノズル30(本願の気体吹付手段)によって所定の圧力に加圧された空気や不活性ガスなどの気体9が吹き付けられ、ガラス基板2に付着している洗浄液7が吹き飛ばされてガラス基板2が乾燥される。
以下、本実施形態の乾燥装置10について詳述する。
本実施形態の乾燥装置10は、図3及び図4に示すように、図示しないフレームに所定の角度α傾けられて取り付けられた基台11と、この基台11の傾斜方向下端部に設けられた駆動ローラ15と、この基台11のガラス基板2の搬送方向上流側に設けられる洗浄用ノズル20と、下流側に設けられる乾燥用ノズル30と、を備えている。
基台11は、軸方向に所定の長さを有し、平行に配置される一対の基体11a、11bと、この基体11a、11b間に架け渡されるようにして取り付けられ、前記ガラス基板2を下方から支持する複数の支持体13と、を備えている。支持体13は、基体11a、11bの軸方向に等間隔に配置され、この支持体13には、複数の搬送用コロ14が自身の軸方向において等間隔に回転自在に設けられており、この搬送コロ14によってガラス基板2は図2中の矢印Aの方向に移動可能となっている。
駆動ローラ15は、ガラス基板2を傾斜状態で保持するとともに、図2中の矢印Aの方向へ搬送する搬送手段として機能し、複数の駆動ローラ15が図示しないベルト等の動力伝達機構部を介してモータに連結されている。このモータは、制御部50により駆動制御され、駆動ローラ15の回転速度が制御されることによってガラス基板2の搬送速度が制御される。
洗浄用ノズル20は、一対の基体11a、11bに架け渡されるようにして取り付けられている。この洗浄用ノズル20は、ガラス基板2の搬送方向に対して直交する方向に延びる管状部材の下端部に図示しないスリットを設け、このスリットにより下方に向けて洗浄液7をスプレー状に吹き付ける。なお、図示しないが、洗浄液7は、図示しないが洗浄液7を収容する洗浄液収容体から管状部材に供給され、制御部50によりその供給量が制御され、洗浄液7が規定量噴射される。
乾燥用ノズル30は、ガラス基板2の搬送方向上流側に設けられる第1のエアーナイフ30Aと、下流側に設けられる第2のエアーナイフ30Bと、を備え、各エアーナイフ30A、30Bは、図2中の矢印に示すように、それぞれガラス基板2に対して所定の角度で異なる方向へと気体9を吹き付け、この気体9の圧力によりガラス基板2上の洗浄液7を吹き飛ばすことで乾燥させる。
これら第1及び第2のエアーナイフ30A、30Bは、図2及び図3に示すように、軸方向に所定の長さを有し、その長手方向をガラス基板2の搬送方向に対して所定の角度で傾斜して配置される。第1及び第2のエアーナイフ30A、30Bは、傾斜した状態でガラス基板2の幅方向全長に渡る長さを有し、ガラス基板2の上面に対向する端面にはその軸方向のほぼ全長にわたって開口部32が形成されている。
この開口部32は、図2に示すように、先端が先細り形状に形成され、その先端部32aにはスリット状に形成された吐出口33を備え、図示しない気体供給源から供給される気体9を図示しない噴射機構部を介して所定の圧力又は噴射量で噴射する。なお、この気体9は、制御部50により噴射機構部が制御されることにより気体9の圧力や噴射量が決定される。
図3に示すように、第1のエアーナイフ30Aに形成されている開口部32は、ガラス基板2の搬送方向の順方向に向けて気体9が噴射されるように設けられている。一方、第2のエアーナイフ30Bに形成されている開口部32は、ガラス基板2の搬送方向と逆方向に向けて気体9が噴射されるように設けられている。
つまり、各エアーナイフ30A、30Bの開口部32からは上記ガラス基板2の表面に気体9がそれぞれ逆方向に、しかもガラス基板2の搬送方向に対して所定の角度で噴射されるようになっている。本実施形態では、ガラス基板2の搬送方向に対する気体9の噴射角度は、基体11a、11bに対する各エアーナイフ30A、30Bの取付角度によって規定されるが、開口部32の角度のみを別体として設けてそれぞれのエアー噴射角度を調整可能にしても構わない。
各エアーナイフ30A、30Bを固定した場合、ガラス基板2は所定の速度で搬送されるため、ガラス基板2には短時間しか気体9があたらず、十分に気体9があたらずに洗浄液7が飛びきらないおそれがある。そこで、本実施形態の乾燥装置10は、各エアーナイフ30A、30Bから噴射される気体9のガラス基板2との接触時間を延ばすため、搬送されるガラス基板2に追随するようにしてエアーナイフ30A、30Bをガラス基板2の移動とともに移動させる移動機構部35(本願の移動手段)を設けている。
移動機構部35は、図示しないが、基体11a、11b上に取り付けられ、ガラス基板2の搬送方向に延びるガイド体と、このガイド体を介して各エアーナイフ30A、30Bを移動させるアクチュエータと、を備え、制御部50によりアクチュエータを駆動制御して、各エアーナイフ30A、30Bを移動させる。なお、各エアーナイフ30A、30Bは、ガラス基板2の搬送速度とほぼ同じ速度、具体的には、若干遅い速度で移動制御されることが好ましい。これにより、ガラス基板2の全面に対して気体9を長い時間接触させることができる。
また、各エアーナイフ30A、30Bの駆動タイミングを制御するために、ガラス基板2の搬送経路上には、ガラス基板2の位置を検出する位置検出手段36が設けられている。位置検出手段36は、例えば、光電センサであり、搬送経路における第1のエアーナイフ30Aの上流側に設けられる第1のセンサ36aと、搬送経路における第1のエアーナイフ30Aと第2のエアーナイフ30Bの間に設けられる第2のセンサ36bと、を備え、各センサ36a、36bは、ガラス基板2の位置を検出して、その結果を制御部50に出力する。制御部50は、各エアーナイフ30A、30Bを搬送されるガラス基板2に対応して移動させるために、各センサ36a、36bにより検出された結果に基づいて移動機構部35を駆動制御する。
制御部50(本願の制御手段)は、主として演算機能を有するCPU(Central Processing Unit)、作業用RAM、及び各種データやプログラムを記憶するROMを備えて構成されている。そしてCPUが、例えばROMに記憶された各種プログラムを実行することにより、各部を制御するとともに乾燥装置10の全体を統括制御する。具体的には、制御部50は、駆動ローラ15を駆動するモータ、エアーナイフ30A、30Bから気体9を噴射する噴射機構部、洗浄用ノズルから洗浄液7を噴射する噴射機構部、エアーナイフ30A、30Bを移動する移動機構部35等と電気的に接続され、上述したように、駆動ローラ15の駆動制御、移動機構部35の駆動制御、各エアーナイフ30A、30Bによる気体の噴射量(風量)制御、洗浄用ノズルによる洗浄液7の噴射量(流量)制御等を行う。
本実施形態の乾燥装置10は、上述したようにガラス基板2が傾斜されることで、洗浄液7を基台11の下方向へと押し流すとともに、気体9を所定の方向からガラス基板2に吹き付けることによって洗浄液7をガラス基板2の下方向外部へと吹き飛ばし(排出させ)、ガラス基板2の表面を乾燥させる。
また、本実施形態の乾燥装置10は、位置検出手段36としての光電センサ36aを搬送経路におけるエアーナイフ30Aの上流側に配置する。光電センサ36aは、ガラス基板2の位置を検出して、その結果を制御部50に出力し、制御部50はこの検出結果に基づいてエアーナイフ30Aを移動させるとともに、気体9を噴出させる。
次に、上記乾燥装置10を用いた洗浄液7の除去処理(乾燥処理)について説明する。
(1)まず、前工程において所定の処理が施されたガラス基板2が制御部50によって駆動制御された駆動ローラ15によって下流側へと搬送される。
このガラス基板2は、図5(a)に示すように、例えば、0.1〜0.5mmの厚みを有し、その表面には所定のパターン70が形成されており、このパターン70は約数十μmの突起71を有している。よって、ガラス基板2の表面が洗浄液7により洗浄されると、この突起71とガラス基板2の表面との境目に有する隅部75に特に洗浄液7が溜まる。
(2)次に、ガラス基板2が洗浄用ノズル20の下方に搬送されると、制御部50によって洗浄用ノズル20からガラス基板2の表面に対して洗浄液7が噴射され、ガラス基板2が洗浄される。
(3)次に、第1のセンサ36aがガラス基板2を検出すると、その検出結果を受信した制御部50は、第1のエアーナイフ30Aを搬送されるガラス基板2に対応して移動させつつ、ガラス基板2の表面に対して気体9を噴射させる。さらに、第2のセンサ36bがガラス基板2を検出すると、その検出結果を受信した制御部50は、第1のエアーナイフ30Aからの気体9の噴射を停止させ、第2のエアーナイフ30Bを搬送されるガラス基板2に対応して移動させつつ、ガラス基板2の表面に対して気体9を噴射させて、洗浄液7を吹き飛ばしてガラス基板2の表面を乾燥させる。
第1のエアーナイフ30Aは、ガラス基板2の搬送方向下方へと斜め方向に気体9を吹き付ける一方で、第2のエアーナイフ30Bは、ガラス基板2の搬送方向と逆方向の下方へと斜め方向に気体9を吹き付ける。洗浄液7は、各エアーナイフ30A、30Bにより、気体9の噴射方向へと押し流されて、パターン70の突起71を超えて吹き飛ばされる。
ここで、図5(b)に示すように、例えば、ガラス基板2のパターン70が格子状に形成されている場合、上方隅部60cは、ガラス基板2を傾斜して搬送することにより洗浄液7がほぼ除去される一方で、下方隅部60a、60bには、洗浄液7が溜まる。本実施形態では、ガラス基板2の搬送方向上流側の下方隅部60aは第1のエアーナイフ30Aにより洗浄液7が除去され、搬送方向下流側の下方隅部60bは第2のエアーナイフ30Bにより洗浄液7が除去される。すなわち、本実施形態に示す第1及び第2のエアーナイフ30A、30Bによれば、上述したように格子状に形成されたパターン70内に留まる洗浄液7をほぼ完全に除去し、ガラス基板2を乾燥させることができる。
(4)最後に、次工程へとガラス基板2が搬送され、本実施形態の乾燥装置10では、このような動作が順次行われることで、ガラス基板の洗浄・乾燥処理が行われる。
以上に説明したように本実施形態の乾燥装置10によれば、ガラス基板2の傾斜搬送と、第1及び第2のエアーナイフ30A、30Bによる逆方向への気体9の噴射により、洗浄されたガラス基板2に付着する洗浄液7をほぼ完全に除去することが可能である。
(他の実施形態)
本実施形態の乾燥装置10Aは、上述した実施形態の乾燥装置10と、各エアーナイフ30A、30Bによる気体9の噴射制御が異なるものである。具体的には、上述した実施形態の乾燥装置10が気体9を一定の噴射量で噴射するのに対して、本実施形態の乾燥装置10Aは、気体9の噴射を間歇的に行う点、及び気体9の噴射量を変化させる点で異なる。
本実施形態の乾燥装置10Aは、上述した実施形態の乾燥装置10と、各エアーナイフ30A、30Bによる気体9の噴射制御が異なるものである。具体的には、上述した実施形態の乾燥装置10が気体9を一定の噴射量で噴射するのに対して、本実施形態の乾燥装置10Aは、気体9の噴射を間歇的に行う点、及び気体9の噴射量を変化させる点で異なる。
また、上記実施形態が2本のエアーナイフ30A、30Bを用いて、各エアーナイフ30A、30Bを互いに異なる方向(対向する方向)に向けて気体9を噴出させる形態であるのに対して、本実施形態は1本のエアーナイフ(例えば、30A)で乾燥処理を行う点で異なる。
以下、本実施形態の乾燥装置10Aについて図6乃至図8を用いて詳述する。
図6に示すように、本実施形態の乾燥装置10Aは、図示しないフレームに所定の角度α傾けられて取り付けられた基台11と、この基台11の一端部に設けられた駆動ローラ15と、この基台11の上流側に設けられる洗浄用ノズル20と、下流側に設けられる乾燥用ノズル30と、を備えている。また、乾燥装置10は、制御部50を備え、この制御部50により乾燥装置全体の電気的な制御が行われる。
乾燥用ノズル30は、洗浄用ノズル20の下流側に配置されるエアーナイフ30Aを備え、ガラス基板2の下方に向けて気体9を噴き付け、この気体9の圧力によりガラス基板2上に付着する洗浄液7を吹き飛ばすことで除去し、乾燥させる。
なお、エアーナイフ30Aの構成は、上述した第1のエアーナイフ30Aと同じなのでその説明は省略する。
このエアーナイフ30Aに形成されている開口部32は、ガラス基板2の搬送方向と直交する方向であって傾斜方向下方に向けて気体9が噴射されるように配置されている。
そして、制御部50は、図7に示すように、噴射のON・OFF制御により、一定の噴射量の噴出制御と停止制御を交互に行い、ガラス基板2に対して間歇的に気体9を噴射させる。このようにエアーナイフ30Aにより噴射される気体9が間歇的に噴射されるようにして、ガラス基板2への気体9の接触圧力を変化させることで、洗浄液7の除去効果を高める。
また、制御部50は、上記間歇的な噴射制御とともに、図8に示すように、気体9の噴射量を一定の周期で交互に増減制御して、ガラス基板2に接触する気体9の噴射量を変化させる。このようにエアーナイフ30Aにより噴射される気体9の噴射量が変化するようにして、ガラス基板2への気体9の接触圧力を変化させことで、洗浄液7の除去効果を高める。
なお、これらの気体9の噴射制御は、どちらか一方の制御方式で単独で行ってもよいが、組み合わせることによりさらに洗浄液7の除去効果を高めることができる。
次に、本実施形態の乾燥装置を用いた洗浄液の除去処理(乾燥処理)について説明する。
(1)まず、前工程において所定の処理が施されたガラス基板2が制御部50によって駆動制御された駆動ローラ15によって下流側へと搬送される。
(2)次に、ガラス基板2が洗浄用ノズル20の下方に搬送されると、制御部50によって洗浄用ノズル20からガラス基板2の表面に対して洗浄液7が噴射され、ガラス基板2が洗浄される。
(3)次に、光電センサ36aがガラス基板2を検出すると、その検出結果を受信した制御部50は、エアーナイフ30Aを搬送されるガラス基板2に対応して移動させつつ、ガラス基板2の表面に対して気体9を噴射させ、洗浄液7を吹き飛ばしてガラス基板2の表面を乾燥させる。
エアーナイフ30Aは、ガラス基板2に対して、ガラス基板2の傾斜方向下側に向けて気体9が吹き付けられる。また、気体9は上述したように、間歇的に、且つ、その噴射量を変化させながら噴射される。これにより、洗浄液7は、気体9の噴射方向へと押し流されて、パターン70の突起71を超えて吹き飛ばされる。
(4)最後に、次工程へとガラス基板2が搬送され、本実施形態の乾燥装置10では、このような動作が順次行われることで、ガラス基板2の洗浄・乾燥処理が行われる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々変更可能である。例えば、本実施形態と他の実施形態とを組み合わせて乾燥装置10として適用しても構わない。具体的には、2本のエアーナイフ30A、30Bを用いて逆方向に気体9を噴射させるとともに、間歇的に気体9を噴射させ、さらにその噴射量を変化させる。また、第1の実施形態では対向するように2本のエアーナイフ30A、30Bで気体9を噴射させるように構成されているが、1本のエアーナイフを下方向で回動させる構成としても構わない。
2 ガラス基板
7 洗浄液
9 気体
10 乾燥装置
11 基台
15 駆動ローラ
30A、30B エアーナイフ
35 移動機構部
7 洗浄液
9 気体
10 乾燥装置
11 基台
15 駆動ローラ
30A、30B エアーナイフ
35 移動機構部
Claims (5)
- 洗浄後の基板に付着した洗浄液を除去して前記基板を乾燥させる乾燥装置であって、
前記基板を傾斜して搬送する搬送手段と、
前記基板に対して気体を吹き付ける気体吹付手段と、
当該気体吹付手段を前記基板の搬送速度に追随して搬送経路上を移動させる移動手段と、
前記気体吹付手段により吹き付ける気体の噴射タイミング又は噴射量を制御する制御手段と、
を具備し、
前記制御手段は、
前記気体を間歇的に、及び/又は増減させて噴射量を制御することを特徴とする基板の乾燥装置。 - 前記気体吹付手段は、複数のエアーナイフを備え、
各前記エアーナイフは、前記基板に対して異なる方向から気体を吹き付けることを特徴とする請求項1に記載の基板の乾燥装置。 - 前記エアーナイフは、搬送方向に対して直交する方向に線対称となるように傾けて設けられている2組のエアーナイフであることを特徴とする請求項2に記載の基板の乾燥装置。
- 前記移動手段は、前記基板の搬送速度より遅い速度で前記気体吹付手段を移動させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板の乾燥装置。
- 洗浄後の基板を傾斜させつつ搬送し、前記基板に対して気体を噴射する気体吹付手段を前記基板とともに移動させつつ、前記基板に対して前記気体を噴射する基板の乾燥方法であって、前記気体を間歇的に、及び/又は増減させて噴射量が制御されることを特徴とする基板の乾燥方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012179632A JP2014038915A (ja) | 2012-08-13 | 2012-08-13 | 基板の乾燥装置、及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012179632A JP2014038915A (ja) | 2012-08-13 | 2012-08-13 | 基板の乾燥装置、及びその方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014038915A true JP2014038915A (ja) | 2014-02-27 |
Family
ID=50286825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012179632A Pending JP2014038915A (ja) | 2012-08-13 | 2012-08-13 | 基板の乾燥装置、及びその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014038915A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180069643A (ko) * | 2016-12-15 | 2018-06-25 | 엘지전자 주식회사 | 유연필름의 표면 세정장치 |
CN112903718A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-06-04 | 山西光兴光电科技有限公司 | 玻璃基板破片检测系统及方法 |
CN113670053A (zh) * | 2021-09-08 | 2021-11-19 | 蚌埠凯盛工程技术有限公司 | 用于高速玻璃清洗机的动态追踪式风刀系统和吹干方法 |
CN113670052A (zh) * | 2021-09-08 | 2021-11-19 | 蚌埠凯盛工程技术有限公司 | 一种往复循环式风刀干燥系统及其使用方法 |
-
2012
- 2012-08-13 JP JP2012179632A patent/JP2014038915A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180069643A (ko) * | 2016-12-15 | 2018-06-25 | 엘지전자 주식회사 | 유연필름의 표면 세정장치 |
KR102667944B1 (ko) * | 2016-12-15 | 2024-05-23 | 엘지전자 주식회사 | 유연필름의 표면 세정장치 |
CN112903718A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-06-04 | 山西光兴光电科技有限公司 | 玻璃基板破片检测系统及方法 |
CN113670053A (zh) * | 2021-09-08 | 2021-11-19 | 蚌埠凯盛工程技术有限公司 | 用于高速玻璃清洗机的动态追踪式风刀系统和吹干方法 |
CN113670052A (zh) * | 2021-09-08 | 2021-11-19 | 蚌埠凯盛工程技术有限公司 | 一种往复循环式风刀干燥系统及其使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6336801B2 (ja) | 基板乾燥装置 | |
WO2013118550A1 (ja) | 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置 | |
JP2014038915A (ja) | 基板の乾燥装置、及びその方法 | |
KR20150009179A (ko) | 터널식 용기 세정장치 | |
JP2013031962A (ja) | ノズル面清掃装置 | |
JP2014038914A (ja) | 基板の乾燥装置、及びその方法 | |
JP6436975B2 (ja) | インクジェットヘッド洗浄装置および方法 | |
JP2004216568A (ja) | 板材の縦型加工ライン | |
JP3180143U (ja) | 塗布ノズル洗浄装置 | |
JP6720659B2 (ja) | 基材の液切り装置 | |
JP6060140B2 (ja) | 乾式指紋洗浄装置 | |
JP2004174308A (ja) | 板材の洗浄設備 | |
JP4620573B2 (ja) | 板材の洗浄設備およびその高圧液スプレー洗浄装置 | |
JP2006148144A (ja) | 板材の洗浄設備およびその水切り装置 | |
JP3901635B2 (ja) | 板材の酸処理設備 | |
JP6278786B2 (ja) | インクジェット式塗布ヘッドの清掃装置及び塗布液塗布装置 | |
JP2014114085A (ja) | 基板浮上装置および基板浮上装置の洗浄方法 | |
CN109843822A (zh) | 玻璃基板的制造方法 | |
CN104668217A (zh) | 基板处理装置 | |
WO2020059796A1 (ja) | 浮上搬送装置 | |
KR102201882B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP3182815U (ja) | 塗布ノズル洗浄装置 | |
KR20130131924A (ko) | 디스플레이 기판 세정장치 | |
JP2009198676A (ja) | ガラス基板の乾燥方法および乾燥装置 | |
JP6047359B2 (ja) | 基板洗浄装置 |