JP6278786B2 - インクジェット式塗布ヘッドの清掃装置及び塗布液塗布装置 - Google Patents

Description

本発明はインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置及び塗布液塗布装置に関する。

インクジェット式塗布ヘッドの清掃装置として、特許文献１に記載の如く、塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を吸引して清掃する吸引清掃部材を有してなるものがある。吸引清掃部材は、吸引清掃ノズルの吸引口を塗布ヘッドの吐出口形成面に非接触状態で対向し、吸引口に作用させた吸引力により、塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を吸引して除去できる。

特開2004-306546号公報

しかしながら、このようなインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置では、塗布液が比較的高粘度のものであったり、塗布液が非常に乾燥し易いものであったりすると、塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を除去しきれずに、少量の塗布液が吐出口形成面に残ってしまうことが考えられる。

吸引清掃ノズルによる清掃後に、塗布液が塗布ヘッドの吐出口形成面に残ってしまうと、清掃を更に繰り返すうちに、塗布液が塗布ヘッドの吐出口形成面に堆積し、やがて吐出口からの塗布液の吐出量にばらつきを生じたり、吐出された塗布液がまっすぐ飛ばずに曲がってしまう等の吐出不良を生ずる。

本発明の課題は、インクジェット式塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を良好に除去することにある。

請求項１に係る発明は、塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を清掃する清掃部材を有するインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置において、前記清掃部材は、前記塗布ヘッドの前記吐出口形成面に非接触状態で対向し、吸引口が形成された吸引面と、この吸引面に連続し、当該吸引面から離れるにしたがって前記吐出口形成面から遠ざかるように延びる傾斜面とを備え、前記清掃部材の少なくとも前記傾斜面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記清掃部材と前記塗布ヘッドとを前記吐出口形成面に沿う方向を移動方向として相対移動させる移動装置と、を有してなるようにしたものである。

本発明によれば、インクジェット式塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を良好に除去することができる。

図１は一実施例に係る塗布液塗布装置の全体構成を示す模式正面図である。 図２は図１の模式平面図である。 図３は図１の模式側面図である。 図４は塗布ヘッドの清掃装置を示す模式構成図である。 図５は吸引清掃部材を示し、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、（Ｃ）は斜視図である。 図６は塗布ヘッドの吐出口形成面を示す模式平面図である。

塗布液塗布装置１は、図１〜図３に示す如く、ベース２を有する。このベース２上には、矢印Ｙ方向に沿って設けられた一対のガイドレール３を介して搬送テーブル４が移動可能に設けられる。

搬送テーブル４は、図示しない駆動機構によってガイドレール３の延設方向であるＹ軸方向（図示矢印Ｙ方向）に沿って往復移動される。この搬送テーブル４の上面には、塗布対象物としての基板Ｗが真空吸着や静電チャック等の吸着手段によって吸着保持される。ここで、基板Ｗは、例えば、表示パネルを製造するための矩形状のガラス基板が用いられる。

ベース２の略中央位置には、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向（図示矢印Ｘ方向）に沿って、搬送テーブル４を跨ぐ門型フレーム５が設けられる。この門型フレーム５は、一方の脚部と他方の脚部の間に掛け渡された平面視で矩形枠状の支持フレーム６を備える。この支持フレーム６には、複数、この実施形態においては３つの塗布ヘッド７がＸ軸方向に沿って千鳥状の配列で取付けられる。

塗布ヘッド７は、インクジェット方式の塗布ヘッドであり、その下面である吐出口形成面７ａには複数の吐出口７ｂ（図６参照）が矢印Ｘ方向に沿って直線状に配列されて設けられる。本実施例では、直線状をなす複数の吐出口７ｂの列が２列をなすように設けられている。吐出口７ｂは、それぞれ、塗布ヘッド７内において塗布液を蓄える液室（不図示）に連通する。液室には、圧電素子等の駆動素子（不図示）によって変形される可撓性の隔壁（不図示）が設けられる。この圧電素子によって隔壁が撓み変形されることによって引き起こされる液室内の容積変化によって、吐出口７ｂから塗布液が液滴状となって吐出される。

このような塗布ヘッド７は、圧電素子に印加する駆動電圧の大きさ変えることで吐出口７ｂから吐出させる液滴の量を調整することができ、駆動電圧の印加間隔を変更することで吐出周波数（吐出時間間隔）を調整することができる。

尚、各塗布ヘッド７には、不図示の塗布液供給手段によって塗布液が供給される。この塗布液としては、例えば、配向膜を形成するための配向膜溶液やレジスト膜を形成するためのレジスト液等を用いることができる。

また、塗布液塗布装置１は、制御装置８を備える。制御装置８は、搬送テーブル４の移動、塗布ヘッド７からの塗布液の吐出等を制御する。更に、制御装置８は、記憶部８ａを備えており、この記憶部８ａには塗布液の塗布に必要な各種データが記憶される。尚、各種データとは、例えば、吐出口７ｂから所定量の液滴を吐出させるために設定された圧電素子に対する駆動電圧、基板Ｗ上における塗布液の液滴の塗布位置を示す塗布パターンデータ、搬送テーブル４の移動速度、気泡やごみ等による吐出口７ｂの詰まりを回復させるために塗布液を強制排出させるための圧送条件等である。尚、制御装置８は、後述するＸ軸方向移動装置２０、負圧供給手段３０、洗浄液供給手段４０等の駆動も制御する。

次に、塗布液塗布装置１の作動について説明する。
このような塗布液塗布装置１においては、基板Ｗに対する塗布液の塗布を行なうにあたり、まず、制御装置８の制御によって搬送テーブル４がガイドレール３上における基板Ｗの搬入／搬出作業位置（図１において破線で示す左端側の位置）に位置付けられる。そして、この位置において、搬送テーブル４上には、不図示の搬送ロボットによって基板Ｗが供給される。

搬送テーブル４上に供給された基板Ｗは、搬送テーブル４が備える吸着手段によって吸着保持される。

搬送テーブル４に基板Ｗが保持されると、制御装置８の制御によって搬送テーブル４がガイドレール３の反対側の端部（右端部）へ向けて記憶部８ａに記憶された移動速度での移動を開始する。

この搬送テーブル４の移動中、制御装置８はガイドレール３に付随して設けられたリニアエンコーダ等の位置検出器（不図示）の出力に基づいて搬送テーブル４の位置情報を取り込む。そして、制御装置８はこの位置情報に基づき、基板Ｗが塗布ヘッド７の下方を通過するタイミングに合せて各圧電素子に駆動電圧を印加することで塗布ヘッド７の各吐出口７ｂから予め設定された量の液滴を吐出させ、基板Ｗ上に所定の塗布パターンで塗布液の液滴を塗布する。

基板Ｗが塗布ヘッド７の下方を通過し、搬送テーブル４がガイドレール３の右側端部（図１において実線で示す位置）に到達したならば、搬送テーブル４の移動を停止させる。次いで、搬送テール４を左側端部へ向けて移動させ、基板Ｗの搬入／搬出作業位置に位置付ける。

搬送テーブル４が、搬入／搬出作業位置に位置付けられたならば、不図示の搬送ロボットによって、塗布が完了した基板Ｗを搬送テーブル４上から取出し、新たな基板Ｗを搬送テーブル４に供給する。

このような作業を繰返すことで、複数の基板Ｗに対する塗布液の塗布が順次行なわれる。

尚、基板Ｗに対する塗布液の塗布は、基板Ｗを塗布ヘッド７の下方を１回通過させることで行なう以外にも、２回以上の通過によって行なうようにしても良い。

このような塗布液塗布装置１では、吐出口７ｂから液滴の噴出特性を一定の特性に維持するために、清掃装置１０を用いて吐出口形成面７ａの定期的な清掃を行なっている。以下、清掃装置１０について詳述する。

清掃装置１０は、搬送テーブル４の移動方向（Ｙ軸方向）における一方の端部（図１、図２における右側の端部）に設けられる。清掃装置１０は、図４に示す如く、各塗布ヘッド７に対応する清掃部材としての吸引清掃ノズル１１を有する。吸引清掃ノズル１１は、塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａに付着した塗布液を吸引して清掃する。

ここで、各吸引清掃ノズル１１は、それぞれＸ軸方向移動装置２０に支持される。これらのＸ軸方向移動装置２０は、昇降駆動手段としてのエアシリンダ２１の作動ロッド２１ａの先端に固定支持された昇降板２２上に設けられる。エアシリンダ２１は、搬送テーブル４の側壁に固定された略Ｌ字状断面を有するブラケット部材２３に支持固定される。これにより、各吸引清掃ノズル１１は、搬送テーブル４の移動によってＹ軸方向に移動可能とされ、Ｘ軸方向移動装置２０の駆動によってＸ軸方向、即ち、吐出口７ｂの配列方向に沿って移動可能とされる。

吸引清掃ノズル１１は、図４、図５に示す如く、吸引面１２と傾斜面１３とを備える。尚、吸引清掃ノズル１１は、その上面１１ａが長方形状に形成され、長辺方向を塗布ヘッド７の吐出口７ｂの配列方向であるＸ軸方向、換言すれば、塗布ヘッド７の吐出口形成面７Ａの長辺方向に沿わせて配置される。

吸引面１２は、吸引口１２ａが開口して形成される水平な平坦面状をなし、塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａを清掃するときには吐出口形成面７ａに僅かな隙間Ｇを介して非接触状態で対向する。吐出口１２ａには、負圧供給手段３０が供給する負圧に基づく吸引力が作用される。吸引口１２ａは本実施例ではスリット状（丸孔状等の他の形状でも可）をなす。本実施例では吸引口１２ａの長手方向を吸引清掃ノズル１１の長辺方向（Ｘ軸方向）に対して45度の角度で傾斜させ、吸引口１２ａのＸ軸方向における長さは塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａの短辺（Ｘ軸方向）の長さと同等もしくは若干長く形成される。但し、吸引口１２ａの長手方向は吸引清掃ノズル１１の長辺方向（Ｘ軸方向）に直交させても良いし、90度や45度以外の角度で傾斜させても良い。

尚、負圧供給手段３０は、図４に示す如く、負圧を発生させる真空ポンプ３１と、真空ポンプ３１と吸引清掃ノズル１１の吸引口１２ａとをつなぐ真空配管３２と、吸引口１２ａへの負圧を供給／停止するための電磁開閉弁３３と、吸引口１２ａに供給する負圧の大きさを調整する電空レギュレータ３４と、吸引口１２ａによって吸引した気体と塗布液とを分離する気液分離器３５とを備える。気液分離器３５の底部には、電磁開閉弁３５ａを備えた排液管３５ｂが接続されており、気液分離器３５内に溜まった塗布液を排出できるようになっている。

傾斜面１３は、吸引清掃ノズル１１の長辺方向（Ｘ軸方向）において吸引面１２に連続し、該吸引面１２から離れるに従って塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａから遠ざかるように下り勾配をなして延びる平坦面に形成される。傾斜面１３には、洗浄液供給手段４０により洗浄液が供給される。洗浄液供給手段４０は、吸引清掃ノズル１１が吐出口形成面７ａを清掃するに先立ち、所定量の洗浄液を傾斜面１３（又は後述する貯液部１４）に供給済としておいても良いし、吸引清掃ノズル１１による吐出口形成面７ａの清掃動作中に洗浄液を傾斜面１３（又は後述する貯液部１４）に供給し続けるものでも良い。尚、洗浄液としては、塗布液に含まれる溶媒を用いることができる。

尚、洗浄液供給手段４０は、洗浄液タンク４１内の洗浄液を圧送するポンプ４２と、ポンプ４２と吸引清掃ノズル１１に設けられた供給口４３とをつなぐ供給配管４４と、供給口４３に対して洗浄液を供給／停止するための電磁開閉弁４５と、供給口４３に供給する洗浄液の量を調整する流量調整弁４６とを備える。

ここで、吸引清掃ノズル１１は、前述のＸ軸方向移動装置２０により、塗布ヘッド７に形成した複数の吐出口７ｂの配列方向（Ｘ軸方向）に沿って前進移動（図４において、左方向に移動）しつつ清掃動作するものであり、傾斜面１３は吸引清掃ノズル１１の前記前進移動方向（吸引清掃ノズル１１の長辺方向）における吸引面１２の前方側に設けられる。

従って、清掃装置１０にあっては、吸引清掃ノズル１１が塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａに対して非接触状態で前進移動されると、吸引面１２に形成された吸引口１２ａに作用する吸引力によって、吐出口形成面７ａに付着した塗布液が吸引されて除去される。

このとき、吸引清掃ノズル１１の吸引面１２と塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａとの隙間Ｇには、吸引力によって、吸引口１２ａに向かう空気の流れが生じている。この気流によって、吸引面１２に連続している傾斜面１３に供給される洗浄液は、該傾斜面１３と吐出口形成面７ａとの間に形成される徐々に狭くなるくさび状流路を通って流速を上げ、ひいては該吸引面１２と吐出口形成面７ａとの隙間Ｇを通って吸引口１２ａへと引き込まれる。これにより、洗浄液が吸引清掃ノズル１１の傾斜面１３上、ひいては吸引面１２上で吐出口形成面７ａに対して流れ、吐出口形成面７ａに付着した塗布液は洗浄液のこの流れの勢いで洗い流され、吸引口１２ａへと吸い込まれる。このとき、傾斜面１３は、平坦面であるから、洗浄液は傾斜面１３に沿って吸引口１２へと円滑に流れるものとなり、吐出口形成面７ａに付着した塗布液を効率良く洗い流すことができる。

しかも、洗浄液には、傾斜面１３に沿って吐出口形成面７ａに向かう流れも生じているので、このように流れる洗浄液は、吐出口形成面７ａに衝突する。この衝突による衝撃が吐出口形成面７ａに付着している塗布液に及び、塗布液の洗浄除去力を上げることができる。このような傾斜面１３は、吸引孔１２ａに作用する負圧によって洗浄液を吸込むことを考慮すると、その勾配は、好ましくは、10度〜60度の範囲であり、更に好ましくは、30度〜45度の範囲である。

更に、吸引清掃ノズル１１は、洗浄液が供給される傾斜面１３を、吸引口１２ａが形成されている吸引面１２に対して、清掃動作時における該吸引清掃ノズル１１の前進移動方向の前方側に位置させている。従って、傾斜面１３に供給された洗浄液は、吸引面１２と吐出口形成面７ａとの隙間Ｇを通って吸引面１２の吸引口１２ａに吸引される前段階で、必ず吐出口形成面７ａに接触する。これにより、吐出口形成面７ａに付着した塗布液はまず傾斜面１３上の洗浄液に浸漬して溶け込むものになり、洗浄液が溶け込んだ塗布液は粘度が低下されることになり、これによっても塗布液の洗浄除去力を上げることができる。

尚、吸引清掃ノズル１１は、傾斜面１３の一部に中央傾斜部１３ａを有している。中央傾斜部１３ａは、図５に示す如く、傾斜面１３のうちで、吸引清掃ノズル１１の移動方向に交差する方向、つまり、幅方向の両端部分１３ｂに挟まれる中央部分に設けられており、吸引面１２に連続し、傾斜面１３における両端部分１３ｂの傾斜よりも緩やかな傾斜（緩傾斜）をなすものとされている。尚、この中央傾斜部１３ａから後述する凹部１５（凹部１５と傾斜面１３とが交わる直線）に至る部分は、傾斜面１３における両端部分１３ｂの傾斜よりも急な傾斜の傾斜部１３ｃとされている。

これにより、吸引清掃ノズル１１の傾斜面１３のうち、幅中央部分に設けられた緩傾斜の中央傾斜部１３ａは、該傾斜面１３における他の部分に比し、中央傾斜部１３ａと塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａとの間に形成されるくさび状流路をより狭いものにする。従って、中央傾斜部１３ａを通過する洗浄液の流速は傾斜面１３における両側部分１３ｂを通過する洗浄液の流速よりも高速になる。他方、塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａに付着する塗布液は、吐出口７ｂが中央に配列されていることと、塗布液の表面張力の影響等により、吸引清掃ノズル１１が塗布ヘッド７に対して移動する方向に交差する方向における該吐出口形成面７ａの中央部に集まる傾向にある。よって、吸引清掃ノズル１１の中央傾斜部１３ａを通過する洗浄液の流れが、上述のように高速化することにより、塗布ヘッド７における吐出口形成面７ａの中央部に付着している多量の塗布液を効果的に洗浄除去できるものになる。

また、吸引清掃ノズル１１は、傾斜面１３を含む、洗浄液の貯液部１４を備える。吸引清掃ノズル１１は、上面１１ａにおいて、清掃時の移動方向における傾斜面１３の前方側に連続する位置に凹部１５を設け、傾斜面１３と凹部１５を貯液部１４とする。即ち、貯液部１４は、傾斜面１３及び凹部１５と、傾斜面１３及び凹部１５の幅方向（吸引清掃ノズル１１の移動方向と交差する方向）の両側部に立ち上がる壁部１６とで形成される。本実施例では、凹部１５の底部にスリット状（丸孔状等の他の形状でも可）の洗浄液供給口４３を開口している。図４において、Ｌは貯液部１４に貯められた洗浄液を示す。

但し、吸引清掃ノズル１１は、凹部１５を備えることは必須ではなく、少なくとも吸引面１２及び傾斜面１３を備えるものであれば良い。凹部１５を設けない場合には、洗浄液供給口４３は傾斜面１３に開口するようにすると良い。このとき、洗浄液供給口４３は、傾斜面１３の頂上側、中腹、麓側のいずれに設けても良いが、中腹よりも上側に設けた方が、麓側に供給した場合に比べて、吸引面１２までの距離が短く、吐出口形成面７ａに洗浄液を供給し易くなるので好ましい。

また、貯液部１４は、少なくとも傾斜面１３を含むものであれば良い。また、貯液部１４は、少なくとも、吸引清掃ノズル１１が塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａを清掃動作する１回分に必要とされる量の洗浄液を貯留可能にする容積を備える。

これにより、洗浄液供給手段４０によって吸引清掃ノズル１１の傾斜面１３に供給された洗浄液は、貯液部１４に貯留されることになって、図４にＬで示す如くに洗浄液Ｌ自身の表面張力によって盛り上がる広い液面をもって安定的かつ確実に傾斜面１３の上方に位置する塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａに接触する。吐出口形成面７ａに付着した塗布液は、まず傾斜面１３上で盛り上がる上述の洗浄液に、安定的かつ確実に浸漬して溶け込むものになり、塗布液の洗浄除去力を一層上げるものになる。

尚、貯液部１４において洗浄液Ｌの盛り上がる形状を得るには、洗浄液Ｌ自身の表面張力が大きいほど好ましいが、それだけではなく、貯液部１４と洗浄液Ｌとの接触角を高くすることも有効な手段である。したがって、吸引清掃ノズル１１の上面１１ａにおける貯液部１４の周辺部分に撥液処理を施し、上面１１ａと洗浄液Ｌとの接触角を高めることによって、洗浄液Ｌを貯液部１４で充分に盛り上がらせることができる。

ここで、貯液部１４が、吸引清掃ノズル１１による１回分の清掃動作に必要とされる量の洗浄液を貯留可能にしている。そのため、吸引清掃ノズル１１による１回の清掃動作において、上述した洗浄液に対する塗布液の浸漬溶込み作用を、吸引清掃ノズル１１が相対移動していく塗布ヘッド７における吐出形成面７ａの全域に不足なく及ぼすことができる。

以下、清掃装置１０による塗布ヘッド７の清掃動作について説明する。
(1)吐出口形成面７ａを清掃するに際しては、まず、搬送テーブル４を基板Ｗの搬入／搬出作業位置（図１において破線で示す左端側の位置）に位置付ける。この状態で、搬送テーブル４に一体的に支持された清掃装置１０が、各塗布ヘッド７との対向位置（真下）に位置付けられるようになっている。記憶部８ａには清掃動作を行なう条件が設定されており、制御装置８は、記憶部８ａに設定された条件に該当したときに、吸引装置１０に清掃を行なわせるべく、搬送テーブル４を搬入／搬出作業位置に位置付ける。ここで、清掃動作を行なう条件としては、塗布ヘッド７において、「基板Ｗに対する塗布液の塗布を実行した後」、「気泡等による吐出口７ｂの詰まり等を回復させるための塗布液の強制排出を実行した後」、或いは、「塗布液の吐出を休止させる待機時間が所定の時間以上継続したときに吐出口７ｂの塗布液の乾燥を防止するためのダミー吐出を実行した後」等が挙げられる。

(2)搬送テーブル４を搬入／搬出作業位置、即ち、清掃装置１０が各塗布ヘッド７との対向位置に位置付けられると、制御装置８によってエアシリンダ２１が駆動され、昇降板２２が図１に示す状態の待機位置からその位置から上昇した作業位置まで移動される。昇降板２２が作業位置へ位置付けられた状態において、吸引清掃ノズル１１の吸引面１２と吐出口形成面７ａとの間には、図４に示す如く、上下方向（Ｚ軸方向）において僅かな隙間Ｇ（例えば、0.5mm）が形成される。またこの段階では、吸引清掃ノズル１１は、図３に示す位置（図４に破線長方形で示す位置）である、吐出口７ｂのＸ軸方向における塗布ヘッド７の一方の脇（吐出口形成面７ａにおける吐出口７ｂの配列方向の一方側の端部から外側に外れた位置）に位置する清掃開始位置に位置付けられている。

(3)吸引清掃ノズル１１が上述の清掃開始位置に位置付けられた状態で、洗浄液供給手段４０により吸引清掃ノズル１１の洗浄液供給口４３から貯液部１４に、例えば、１回分の清掃動作に必要な量の洗浄液を供給する。貯液部１４に洗浄液を供給し終えたら、負圧供給手段３０により吸引清掃ノズル１１の吸引面１２の吸引口１２ａに吸引力を作用させながら、Ｘ軸方向移動装置２０が駆動され、吸引清掃ノズル１１がＸ軸方向における塗布ヘッド７の一方の脇から他方の脇に向けて移動する。図４に示す例においては、吸引清掃ノズル１１は、塗布ヘッド７に対する破線で示される右側の脇から左側の脇へと水平移動する。尚、実線で示す位置は、吐出口形成面７ａの清掃途中の位置である。

吸引清掃ノズル１１の水平移動中、吸引口１２ａに作用させた吸引力によって、塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａに付着した塗布液を吸引して除去する。このとき、吸引面１２と吐出口形成面７ａとの隙間には、吸引力によって、吸引口１２ａに向かう空気の流れが生じているので、この気流によって、貯液部１４に貯められた洗浄液が傾斜面１３上を経て吸引面１２と吐出口形成面７ａとの隙間を通って、吸引口１２ａへと引き込まれる。

このとき、洗浄液は吐出口形成面７ａに接して流れるので、吐出口形成面７ａに付着した塗布液は、洗浄液の流れで洗い流され、吸引面１２へと吸い込まれる。

しかも、洗浄液には、傾斜面１３に沿って吐出口形成面７ａの方向へ向かう流れも生じているので、このように流れる洗浄液は、吐出口形成面７ａに衝突する。この衝突による衝撃によって、吐出口形成面７ａに付着した塗布液の洗浄力が上がる。

更に、傾斜面１３及び凹部１５が吸引清掃ノズル１１の移動方向において吸引面１２の前方側に位置しているので、貯液部１４に貯められた洗浄液を、吸引口１２ａに吸引する前に吐出口形成面７ａに接触させることができ、吐出口形成面７ａに付着した塗布液を洗浄液に溶け込ませることができ、これによっても塗布液の洗浄力が上がる。

吸引清掃ノズル１１の吸引口１２ａに吸引された塗布液は、気液分離器３５へと送られる。気液分離器３５へ送られた塗布液は、その底部に貯められる。

(4)吸引清掃ノズル１１が塗布ヘッド７に対する左側の脇に到達したら、言い換えれば、吸引口１２ａが吐出口形成面７ａの下から完全に外れたら、Ｘ軸方向移動装置２０による吸引清掃ノズル１１の移動を停止する。同時に、負圧供給手段３０による吸引口１２ａへの吸引力の付与も解除する。そして、エアシリンダ２１を駆動させて昇降板２１を待機位置まで下降させるとともに、Ｘ軸方向移動装置２０を駆動させて吸引清掃ノズル１１を図２に示す待機位置へと移動させ、次の清掃動作に待機させる。

以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、貯液部１４は吸引清掃ノズル１１による複数回の清掃動作に必要とされる分量の洗浄液を貯留しても良いし、吸引清掃ノズル１１は傾斜面１３に洗浄液を供給しながら清掃動作しても良い。また、洗浄液を傾斜面１３に供給しながら清掃を行なうときには、貯液部１４の凹み面１５及び／又は壁部１６をなくし、傾斜面１３の下端付近に洗浄液の供給口４３を設けるだけでも良い。

更に、傾斜部１３及び貯液部１４は、吸引口１２ａによって吐出口形成面７ａを清掃するときの移動方向に関して吸引面１２の前方側に設けたものとしたが、これに限られるものではなく、移動方向後方側に設けるようにしても良く、また、移動方向前方側と移動方向後方側の両方に設けるようにしても良い。

また、中央傾斜部１３ａは、傾斜面１３の両端部分１３ｂよりも緩い傾斜をなすものとしたが、これに限られるものではなく、水平面、例えば、吸引面１２と同一平面をなす水平面としても良い。

また、中央傾斜部１３ａにおける吸引面１２とは反対側に連続する傾斜部１３ｃは、凹部１５と傾斜面１３との交線につながる急な傾斜面としたが、これに限られるものではなく、例えば、傾斜面１３の両端部分１３ｂと平行な傾斜面としても良いし、両端部分１３ｂよりも緩い傾斜面としても良い。

また、傾斜面１３を平坦な傾斜面であるものとしたが、凹状や凸状の曲面や階段状等の起伏を有する傾斜面であっても良い。

また、凹部１５における幅方向の壁部１６は、吸引清掃ノズル１１の上面１１ａまでの高さとしたが、これに限られるものではなく、吸引清掃ノズル１１の上面１１ａよりも高く突出させ、例えば、吸引面１２と同じ高さとしても良い。このようにすれば、洗浄液の表面張力が小さい場合であっても、洗浄液を吐出面１２、ひいては吐出口形成面に確実に到達させることができる。

また、吸引清掃ノズル１１の吸引口１２ａは、スリット状に限られるものではなく、円形の吸引孔を複数個、直線状に配列したものや、矩形状の吸引口を複数個、直線状に配列したもの、或いは、長尺な凹部の底部に一つ又は複数の吸引口を形成したものであっても良く、更には、吸引清掃ノズル１１の移動方向に複数並列に設けても良い。

また、吸引清掃ノズル１１を吐出口形成面７ａに対して、吐出口７ｂの配列方向に移動させるものとしたが、これに限られるものではなく、吐出口７ｂの配列方向に直交する方向等、吐出口７ｂの配列方向とは交差する方向に移動させながら吐出口形成面７ａを清掃するようにしても良い。

また、塗布ヘッド７に対して吸引清掃ノズル１１を移動させるものとしたが、吸引清掃ノズル１１を固定配置した状態で、塗布ヘッド７を移動させるようにしても良い。

本発明によれば、インクジェット式塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を良好に除去することができる。

１ 塗布液塗布装置
７ 塗布ヘッド
７ａ 吐出口形成面
７ｂ 吐出口
１０ 清掃装置
１１ 吸引清掃ノズル（吸引清掃部材）
１２ 吸引面
１２ａ 吸引口
１３ 傾斜面
１３ａ 中央傾斜部
１４ 貯液部
２０ Ｘ軸方向移動装置（移動装置）
３０ 負圧供給手段
４０ 洗浄液供給手段
４３ 洗浄液供給口
Ｌ 洗浄液
Ｗ 基板（塗布対象物）

Claims (6)

1. 塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を清掃する清掃部材を有するインクジェッ
   ト式塗布ヘッドの清掃装置において、
   前記清掃部材は、前記塗布ヘッドの前記吐出口形成面に非接触状態で対向し、吸引口が形成された吸引面と、この吸引面に連続し、当該吸引面から離れるにしたがって前記吐出口形成面から遠ざかるように延びる傾斜面とを備え、
   前記清掃部材の少なくとも前記傾斜面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
   前記清掃部材と前記塗布ヘッドとを前記吐出口形成面に沿う方向を移動方向として相対移動させる移動装置と、を有してなることを特徴とするインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。
2. 前記塗布ヘッドが、前記吐出口形成面に複数の吐出口を一方向に配列して形成してなり、
   前記清掃部材は、前記塗布ヘッドに形成した前記複数の吐出口の配列方向に沿って移動しつつ清掃動作し、前記傾斜面が、前記清掃部材の移動方向における前記吸引面の前方側に設けられてなる請求項１に記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。
3. 前記清掃部材が、前記傾斜面を含む、前記洗浄液の貯液部を備える請求項１又は２に記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。
4. 前記貯液部が、前記清掃部材によって前記塗布ヘッドの前記吐出口形成面を清掃動作する１回分に必要とされる前記洗浄液を貯留可能にする容積を備える請求項３に記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。
5. 前記清掃部材の前記傾斜面が、前記移動方向に交差する方向における前記傾斜面の両端部分に挟まれる中央部分を、前記両端部分の傾斜面よりも緩やかな、前記吸引面に連続する傾斜面としてなる請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。
6. インクジェット式塗布ヘッドを用いて塗布対象物の塗布面に塗布液を塗布する塗布液塗布装置であって、
   請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置を備えた塗布液塗布装置。

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