JP2008140987A - 半導体ウエハー及び液晶ガラスエアー浮上搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハー及び液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置で、その搬送路下部に搬送路に向け被搬送物押出方向噴気流を噴出する噴気噴出手段を有するファンフィルターユニットを配し、前記被搬送物を浮上搬送すると共に、被搬送物周囲を清浄噴気流で囲うことによって、清浄空気の流れの雰囲気中で所定高さの浮上搬送を行う。
【選択図】図3
Description
また、被搬送物の周囲をクリーンな環境に保つことを課題の一つとして、被搬送物を浮上させるための流体をヘパフィルターを介して吹出させることにより、被搬送物の浮上と同時に被搬送物周囲へのクリーンエアの供給を可能としている。
更に、被搬送物端面への気流の吹き付けにより、被搬送物の所定方向へのガイドを可能とすることを課題としている。
請求項2記載の発明にあっては、被搬送物に清浄空気を吹き当てることによって、被搬送物を押しやるための手段として、請求項1記載の浮上搬送装置においてフィルターユニットの上部に、グリル或いは傾斜スリット板を、被搬送物端部に斜め気流が当たるよう置いている。
請求項3記載の発明にあっては、請求項1記載の発明において、噴気流噴出手段を、シート状濾材を連続したV字状に屈折し、V字を構成する一辺を他辺より長くして、フィルターを通過した清浄空気が流出する方向に向けて開く開口部を通るV字空間の中心線を傾斜させることにより清浄気流の吹出方向を斜めとしたフィルターを設け、被搬送物端部に斜め気流が当たるようフィルターをフィルターユニットに配している。
請求項4記載の発明にあっては、請求項1記載の発明において、ファンフィルターユニットの清浄空気吹出部周囲及び被搬送物搬送空間をカバーで囲うことにより、被搬送物搬送空間の空気を清浄化している。
ガラス基板,ウエハー等の被搬送物2を上面に載置し所定方向に搬送するためのファンフィルターユニット3の複数を、所定長になるまで連続しフレーム4上に支持している。ファンフィルターユニット3内にはファンフィルターユニット3外から空気を取り入れるファン5と該空気を瀘過し清浄空気としてフィルターユニット3外に噴出するヘパフィルター6が設けられている。
図7に示す如く、ファンフィルターユニット3の清浄空気噴出部位と、被搬送物2の下位に両部位の差圧を検知する差圧計21を設ける。
2 被搬送物
3 ファンフィルターユニット
4 フレーム
5 ファン
6 ヘパフィルター
6a V字状空間
6b 開口部
7 濾材
8 ローラーベアリング
9 傾斜スリット板
10 スリット
16 エンドストッパー
17 中間ストッパー
18 遮蔽板
19 カバー
20 清浄空気
21 差圧計
Claims (4)
- 半導体ウエハー及び液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、その搬送路下部に、搬送路に向け被搬送物押出方向噴気流を噴出する噴気噴出手段を有するファンフィルターユニットを配し、前記被搬送物を浮上搬送すると共に、被搬送物周囲を清浄噴気流で囲うことを特徴とするエアー浮上搬送装置。
- フィルターユニットの上部に、グリル或いは傾斜スリット板を、被搬送物端部に斜め気流が当たるよう置いたことを特徴とする請求項1記載の浮上搬送装置。
- シート状濾材を連続したV字状に屈折し、V字を構成する一辺を他辺より長くして、フィルターを通過した清浄空気が流出する方向に向けて開く開口部を通るV字空間の中心線を傾斜させることにより清浄気流の吹出方向を斜めとしたフィルターを設け、被搬送物端部に斜め気流が当たるようフィルターを配したことを特徴とする請求項1記載のエアー浮上搬送装置。
- ファンフィルターユニットの清浄空気吹出部周囲及び被搬送物搬送空間をカバーで囲うことにより、被搬送物搬送空間の空気を清浄化することを特徴とする請求項1記載のエアー浮上搬送物装置。
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Cited By (8)
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KR101146605B1 (ko) * | 2010-03-26 | 2012-05-16 | 주식회사 태성기연 | 판유리 이송장치 |
JP2012121641A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Daifuku Co Ltd | 板状体搬送装置 |
CN102583054A (zh) * | 2011-01-06 | 2012-07-18 | 株式会社太星技研 | 空气供给装置 |
JP2012136340A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Taesung Engineering Co Ltd | エア供給装置 |
JP2012186325A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Zebiosu:Kk | 非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置 |
JP2014227273A (ja) * | 2013-05-23 | 2014-12-08 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送システム |
JP2017005269A (ja) * | 2009-03-06 | 2017-01-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
CN114671217A (zh) * | 2020-12-24 | 2022-06-28 | 志圣工业股份有限公司 | 自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备 |
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10700213B2 (en) | 2009-03-06 | 2020-06-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP2017005269A (ja) * | 2009-03-06 | 2017-01-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US9991396B2 (en) | 2009-03-06 | 2018-06-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US10236391B2 (en) | 2009-03-06 | 2019-03-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US11309430B2 (en) | 2009-03-06 | 2022-04-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US11715801B2 (en) | 2009-03-06 | 2023-08-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
KR101146605B1 (ko) * | 2010-03-26 | 2012-05-16 | 주식회사 태성기연 | 판유리 이송장치 |
JP2012121641A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Daifuku Co Ltd | 板状体搬送装置 |
JP2012136340A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Taesung Engineering Co Ltd | エア供給装置 |
CN102583054A (zh) * | 2011-01-06 | 2012-07-18 | 株式会社太星技研 | 空气供给装置 |
JP2012186325A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Zebiosu:Kk | 非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置 |
JP2014227273A (ja) * | 2013-05-23 | 2014-12-08 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送システム |
CN114671217A (zh) * | 2020-12-24 | 2022-06-28 | 志圣工业股份有限公司 | 自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备 |
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