JP2003279495A - ガラス基板の検査装置 - Google Patents
ガラス基板の検査装置Info
- Publication number
- JP2003279495A JP2003279495A JP2002081461A JP2002081461A JP2003279495A JP 2003279495 A JP2003279495 A JP 2003279495A JP 2002081461 A JP2002081461 A JP 2002081461A JP 2002081461 A JP2002081461 A JP 2002081461A JP 2003279495 A JP2003279495 A JP 2003279495A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- inspection
- air
- inspection device
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、ガラス基板の検査精度が高く、しか
も、装置価格も低廉とすることができるガラス基板の検
査装置を提供する。 【解決手段】本発明のガラス基板１０の検査装置１は、
搬送駆動手段により搬送駆動されるガラス基板１０と、
ガラス基板１０の検査を行う検査機器２と、検査機器２
による検査位置の両側に位置する配置でガラス基板１０
の下面側に設置され、ガラス基板１０の下面側に対する
空気吐出及び空気吸引を行う一対の吐出吸引ユニット３
Ａ、３Ｂと、搬送駆動手段の搬送制御、一対の吐出吸引
ユニット３Ａ、３Ｂの空気吐出、空気吸引の制御を行う
制御部とを有するものである。
も、装置価格も低廉とすることができるガラス基板の検
査装置を提供する。 【解決手段】本発明のガラス基板１０の検査装置１は、
搬送駆動手段により搬送駆動されるガラス基板１０と、
ガラス基板１０の検査を行う検査機器２と、検査機器２
による検査位置の両側に位置する配置でガラス基板１０
の下面側に設置され、ガラス基板１０の下面側に対する
空気吐出及び空気吸引を行う一対の吐出吸引ユニット３
Ａ、３Ｂと、搬送駆動手段の搬送制御、一対の吐出吸引
ユニット３Ａ、３Ｂの空気吐出、空気吸引の制御を行う
制御部とを有するものである。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば集積回路等
の製造の基になるガラス基板の検査装置に関するもので
ある。
の製造の基になるガラス基板の検査装置に関するもので
ある。
【従来の技術】集積回路等の製造に使用されるフォトマ
スクに微細な回路パターンを焼き付ける際に用いられる
原画パターンは、平坦で寸法変化が少ないガラス基板に
焼き付け形成される。このようなガラス基板上の原画パ
ターンの寸法、形状は、設計通りであるか否かを高精度
に検査することが必要となる。以下に上述したようなガ
ラス基板の検査装置の従来例について図面を参照して説
明する。図７、図８は第１の従来例を示すものであり、
同図に示すガラス基板５１の検査装置は、空気吐出式の
構成であり、チャック５５により保持され検査基台５０
上を矢印方向に搬送されるガラス基板５１の下面側に、
前記検査基台５０に設けた多数の空気吐出孔５２から空
気を吐出し、ガラス基板５１の下面側に層流を形成して
ガラス基板５１を検査基台５０上に浮上させ、この状態
で、ガラス基板５１の上方に配置した撮像カメラ５３に
よりガラス基板５１の原画パターンが付されている検査
範囲５４を撮像し、検査を行うものである。しかし、こ
のガラス基板５１の検査装置の場合には、ガラス基板５
１の下面側に安定した層流を形成することは難しく、特
にガラス基板５１の寸法が１０００ｍｍ×１０００ｍｍ
というように大きい場合には、ガラス基板５１の下面側
の空気流は乱流となってしまう。この結果、ガラス基板
５１が微少振動してしまい、撮像カメラ５３に焦点ボケ
等の不都合が発生して検査範囲５４の検査精度が低下し
てしまうという問題がある。図９は第２の従来例を示す
ものであり、同図に示すガラス基板５１の検査装置は、
ローラ搬送式の構成であり、チャック５５により保持さ
れ矢印方向に搬送されるガラス基板５１の搬送に多数の
所定間隔で列設配置のローラ６１を用いる構成である。
ガラス基板５１の上方に配置した撮像カメラ５３により
ガラス基板５１の原画パターンが付されている検査範囲
５４を撮像し、検査を行うことは第２の従来例の場合と
同様である。しかし、このガラス基板５１の検査装置の
場合には、ローラ６１を用いることからコスト的には低
廉に構成可能であるものの、多数の所定間隔で列設配置
のローラ６１上をガラス基板５１が乗り越えていく際
に、ガラス基板５１の端縁がローラ６１に衝突する等し
てガラス基板５１が振動し、撮像カメラ５３に焦点ボケ
等の不都合が発生して検査範囲５４の検査精度が低下し
てしまうという問題がある。図１０は第３の従来例を示
すものであり、同図に示すガラス基板５１の検査装置
は、空気吐出及び吸引式の構成であり、チャック５５に
より保持され検査基台７０上を矢印方向に搬送される過
程では、ガラス基板５１の下面側に、前記検査基台７０
の両端側に設けた２列の多数の空気吐出孔７２から空気
を吐出し、ガラス基板５１の下面側に層流を形成してガ
ラス基板５１を検査基台７０上に浮上させる。また、撮
像カメラ５３によりガラス基板５１の原画パターンが付
されている検査範囲５４を撮像し、検査を行う過程で
は、両端の２列の多数の空気吐出孔７２の中間位置に設
けている多数の吸引孔７３から空気吸引を行いガラス基
板５１を検査基台７０上面に吸着する。しかし、このガ
ラス基板５１の検査装置の場合には、検査範囲５４の検
査精度を高めることが可能であるものの、空気の吐出及
び吸引の双方を行う構成であるため装置価格が高くなっ
てしまうという問題があり、更に、検査機器として光透
過型の撮像機器しか使用できず、光反射型の撮像機器又
は発光部、受光部からなる光透過型の撮像機器のどちら
にも対応できないという問題があった。
スクに微細な回路パターンを焼き付ける際に用いられる
原画パターンは、平坦で寸法変化が少ないガラス基板に
焼き付け形成される。このようなガラス基板上の原画パ
ターンの寸法、形状は、設計通りであるか否かを高精度
に検査することが必要となる。以下に上述したようなガ
ラス基板の検査装置の従来例について図面を参照して説
明する。図７、図８は第１の従来例を示すものであり、
同図に示すガラス基板５１の検査装置は、空気吐出式の
構成であり、チャック５５により保持され検査基台５０
上を矢印方向に搬送されるガラス基板５１の下面側に、
前記検査基台５０に設けた多数の空気吐出孔５２から空
気を吐出し、ガラス基板５１の下面側に層流を形成して
ガラス基板５１を検査基台５０上に浮上させ、この状態
で、ガラス基板５１の上方に配置した撮像カメラ５３に
よりガラス基板５１の原画パターンが付されている検査
範囲５４を撮像し、検査を行うものである。しかし、こ
のガラス基板５１の検査装置の場合には、ガラス基板５
１の下面側に安定した層流を形成することは難しく、特
にガラス基板５１の寸法が１０００ｍｍ×１０００ｍｍ
というように大きい場合には、ガラス基板５１の下面側
の空気流は乱流となってしまう。この結果、ガラス基板
５１が微少振動してしまい、撮像カメラ５３に焦点ボケ
等の不都合が発生して検査範囲５４の検査精度が低下し
てしまうという問題がある。図９は第２の従来例を示す
ものであり、同図に示すガラス基板５１の検査装置は、
ローラ搬送式の構成であり、チャック５５により保持さ
れ矢印方向に搬送されるガラス基板５１の搬送に多数の
所定間隔で列設配置のローラ６１を用いる構成である。
ガラス基板５１の上方に配置した撮像カメラ５３により
ガラス基板５１の原画パターンが付されている検査範囲
５４を撮像し、検査を行うことは第２の従来例の場合と
同様である。しかし、このガラス基板５１の検査装置の
場合には、ローラ６１を用いることからコスト的には低
廉に構成可能であるものの、多数の所定間隔で列設配置
のローラ６１上をガラス基板５１が乗り越えていく際
に、ガラス基板５１の端縁がローラ６１に衝突する等し
てガラス基板５１が振動し、撮像カメラ５３に焦点ボケ
等の不都合が発生して検査範囲５４の検査精度が低下し
てしまうという問題がある。図１０は第３の従来例を示
すものであり、同図に示すガラス基板５１の検査装置
は、空気吐出及び吸引式の構成であり、チャック５５に
より保持され検査基台７０上を矢印方向に搬送される過
程では、ガラス基板５１の下面側に、前記検査基台７０
の両端側に設けた２列の多数の空気吐出孔７２から空気
を吐出し、ガラス基板５１の下面側に層流を形成してガ
ラス基板５１を検査基台７０上に浮上させる。また、撮
像カメラ５３によりガラス基板５１の原画パターンが付
されている検査範囲５４を撮像し、検査を行う過程で
は、両端の２列の多数の空気吐出孔７２の中間位置に設
けている多数の吸引孔７３から空気吸引を行いガラス基
板５１を検査基台７０上面に吸着する。しかし、このガ
ラス基板５１の検査装置の場合には、検査範囲５４の検
査精度を高めることが可能であるものの、空気の吐出及
び吸引の双方を行う構成であるため装置価格が高くなっ
てしまうという問題があり、更に、検査機器として光透
過型の撮像機器しか使用できず、光反射型の撮像機器又
は発光部、受光部からなる光透過型の撮像機器のどちら
にも対応できないという問題があった。
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来装
置の場合には、検査精度が低かったり、検査精度は高い
ものの装置価格が高くなるという問題があった。そこ
で、本発明はガラス基板の検査精度が高く、しかも、装
置価格も低廉とすることができ、光反射型の撮像機器又
光透過型の撮像機器のどちらにも対応できるガラス基板
の検査装置を提供することを目的とするものである。
置の場合には、検査精度が低かったり、検査精度は高い
ものの装置価格が高くなるという問題があった。そこ
で、本発明はガラス基板の検査精度が高く、しかも、装
置価格も低廉とすることができ、光反射型の撮像機器又
光透過型の撮像機器のどちらにも対応できるガラス基板
の検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板の検
査装置は、搬送駆動手段により搬送駆動される検査対象
であるガラス基板と、前記ガラス基板の検査を行う検査
機器と、前記検査機器による検査位置の両側に位置する
配置でガラス基板の下面側に設置され、前記ガラス基板
の下面側に対する空気吐出及び空気吸引を行う一対の吐
出吸引ユニットと、前記搬送駆動手段の搬送制御、一対
の吐出吸引ユニットの空気吐出、空気吸引の制御を行う
制御部とを有することを特徴とするものである。前記搬
送駆動手段は、ガラス基板を進行方向とこれに直交する
方向の双方向に駆動する構成としている。本発明によれ
ば、低廉価格に構成できる分割小規模構成の一対の吐出
吸引ユニットからガラス基板に向けて空気吐出を行うこ
とでこのガラス基板は上面から浮上した状態で搬送で
き、ガラス基板搬送時の下面保護を図れる。また、ガラ
ス基板を一対の吐出吸引ユニットの上面に吸着した状態
で検査機器による検査エリアの検査を高精度で行うこと
が可能となる。また、Ｘ方向、Ｙ方向に矩形ジグザグ状
に搬送駆動することにより、検査機器による検査エリア
の領域を拡大することができる。さらに検査機器として
も種類の多様化を図れる。更に、前述のように構成した
本発明によれば、前記検査機器として、光反射型の撮像
機器又は発光部及び受光部からなる光透過型の撮像機器
のいずれをも使用することができる。
査装置は、搬送駆動手段により搬送駆動される検査対象
であるガラス基板と、前記ガラス基板の検査を行う検査
機器と、前記検査機器による検査位置の両側に位置する
配置でガラス基板の下面側に設置され、前記ガラス基板
の下面側に対する空気吐出及び空気吸引を行う一対の吐
出吸引ユニットと、前記搬送駆動手段の搬送制御、一対
の吐出吸引ユニットの空気吐出、空気吸引の制御を行う
制御部とを有することを特徴とするものである。前記搬
送駆動手段は、ガラス基板を進行方向とこれに直交する
方向の双方向に駆動する構成としている。本発明によれ
ば、低廉価格に構成できる分割小規模構成の一対の吐出
吸引ユニットからガラス基板に向けて空気吐出を行うこ
とでこのガラス基板は上面から浮上した状態で搬送で
き、ガラス基板搬送時の下面保護を図れる。また、ガラ
ス基板を一対の吐出吸引ユニットの上面に吸着した状態
で検査機器による検査エリアの検査を高精度で行うこと
が可能となる。また、Ｘ方向、Ｙ方向に矩形ジグザグ状
に搬送駆動することにより、検査機器による検査エリア
の領域を拡大することができる。さらに検査機器として
も種類の多様化を図れる。更に、前述のように構成した
本発明によれば、前記検査機器として、光反射型の撮像
機器又は発光部及び受光部からなる光透過型の撮像機器
のいずれをも使用することができる。
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図１
乃至図４を参照して説明する。本実施の形態に係る検査
装置１は、図１、図２に示すように後述する搬送駆動手
段２１により図中の矢印Ｘ方向に搬送駆動される検査対
象であるガラス基板１０と、ガラス基板１０の検査を行
うために配置されている例えばＣＣＤカメラのような検
査機器２と、前記ガラス基板１０の下面側で、かつ、検
査機器２による検査位置の両側に位置する配置で例えば
５０乃至１００ｍｍの間隔Ｌをもって並んで設置された
各々小形箱型形状（直方体形状）の一対の吐出吸引ユニ
ット３Ａ、３Ｂとを有している。前記検査機器２は、図
１に示すように、これを複数個構成としても良い。一方
の吐出吸引ユニット３Ａは、図２に示すように、ユニッ
ト本体４の下面から上面に貫通する多数の吐出孔５を矢
印Ｘ方向と直交する矢印Ｙ方向に２列平行配置で、か
つ、ユニット本体４の長辺に沿って穿設している。ま
た、上記２列平行配置の吐出孔５の中間位置には矢印Ｙ
方向に凹溝６が設けられ、かつ、凹溝６からユニット本
体４の下面に貫通する多数の吸引孔７を設けている。他
方の吐出吸引ユニット３Ｂも、前記一方の吐出吸引ユニ
ット３Ａと同様に構成されている。更に、前記一対の吐
出吸引ユニット３Ａ、３Ｂにおける各吐出孔５の下端に
は、図２に示すように、配管群１１を介してエア吐出系
（エアレギュレータ）８、吐出用ポンプＰ１が接続さ
れ、また、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂにおける
各吸引孔７の下端には、配管群１２を介してエア吸引系
（エアレギュレータ）９、吸引用ポンプＰ２が接続され
ている。検査機器２としては、前記ガラス基板１０面か
らの光の反射光を受光して撮像を行う光反射型に構成し
ているＣＣＤカメラ、ＣＣＤラインセンサの他、図３に
示すようにガラス基板１０の上下両側に配置される発光
部１３及び受光部（ＣＣＤラインセンサ）１４からなる
光透過型に構成している検査機器２’を用いることがで
きる。図４は、本実施の形態の検査装置１の制御系を示
すものであり、搬送駆動手段２１の搬送制御、一対の吐
出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの空気吐出、空気吸引の制御
を行う制御部２０を有している。搬送駆動手段２１は、
ガラス基板１０をＸ方向に駆動するＸ方向駆動部２２
と、ガラス基板１０をＹ方向に駆動するＹ方向駆動部２
３とを有している。また、前記制御部２０は、エアコン
トローラ２４を介して前記吐出用ポンプＰ１、吸引用ポ
ンプＰ２の吐出、吸引制御を行うようになっている。更
に、制御部２０は検査機器２の動作制御をも行うように
なっている。次に、図５を参照して本実施の形態のガラ
ス基板１０の検査装置１の動作について説明する。前記
ガラス基板１０を一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂ上
においてＸ方向に搬送する場合には、図５左欄に図示す
るように、前記制御部２０によりエアコントローラ２４
を介して吐出用ポンプＰ１を駆動し、一対の吐出吸引ユ
ニット３Ａ、３Ｂの各吐出孔５からガラス基板１０の下
面側に空気吐出を行う。これにより、ガラス基板１０は
一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの上面から浮上した
状態で前記Ｘ方向駆動部２２により搬送されることにな
り、ガラス基板１０の下面側に傷等が付くことを防止で
き、ガラス基板１０の下面保護を図ることができる。ま
た、前記ガラス基板１０の検査エリア１０ａを一対の吐
出吸引ユニット３Ａ、３Ｂ上において検査する場合に
は、図５右欄に図示するように、前記制御部２０により
エアコントローラ２４を介して吸引用ポンプＰ２を駆動
し、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの各吸引孔７か
ら空気吸引を行う。これにより、ガラス基板１０は一対
の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの上面に吸着されて位置
決め固定される状態となり、振動を極力排除した状態下
で、検査機器２による検査エリア１０ａの検査を高精度
で行うことが可能となる。本実施の形態に係る検査装置
１によれば、このような状態で検査機器２による検査エ
リア１０ａの領域範囲のみを高精度で検査することが可
能となることから、この面からコスト安価となる。ま
た、本実施の形態に係る検査装置１は、前記ガラス基板
１０の下面側で、かつ、検査機器２による検査位置の両
側に位置する配置で例えば５０乃至１００ｍｍの間隔Ｌ
をもって並んで設置された一対の吐出吸引ユニット３
Ａ、３Ｂとを具備した構成としているので、検査機器２
としては、前記ガラス基板１０面からの光の反射光を受
光して撮像を行う光反射型に構成しているＣＣＤカメ
ラ、ＣＣＤラインセンサの他、図３に示すようにガラス
基板１０の上下両側に配置される発光部１３及び受光部
（ＣＣＤラインセンサ）１４からなる光透過型に構成し
ている検査機器２’を用いることができ、光反射型の撮
像機器又光透過型の撮像機器のどちらにも対応できる。
図６は検査装置１におけるガラス基板１０の搬送形態の
応用例を示すものであり、前記制御部２０によりＸ方向
駆動部２２、Ｙ方向駆動部２３を所定のタイミングで交
互に駆動し、ガラス基板１０をＸ方向、Ｙ方向に矩形ジ
グザグ状に搬送駆動する。このようなガラス基板１０の
搬送を行えば、Ｘ方向のみに搬送駆動する場合に比べ前
記検査機器２により検査する検査エリア１０ａの領域を
拡大することが可能となる。なお、前記検査機器２とし
て単独配置の構成の他、ガラス基板１０の寸法、検査エ
リア１０ａの寸法に応じて複数台の検査機器２をＹ方向
に列設した構成とすることもできる。また、前記一対の
吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの両外側に搬送補助用のロ
ーラ（図示せず）を配置した構成とすることもでき、こ
の場合でもローラは検査エリア１０ａから離れた位置と
なるので、振動等の悪影響をガラス基板１０に与えるこ
とはない。
乃至図４を参照して説明する。本実施の形態に係る検査
装置１は、図１、図２に示すように後述する搬送駆動手
段２１により図中の矢印Ｘ方向に搬送駆動される検査対
象であるガラス基板１０と、ガラス基板１０の検査を行
うために配置されている例えばＣＣＤカメラのような検
査機器２と、前記ガラス基板１０の下面側で、かつ、検
査機器２による検査位置の両側に位置する配置で例えば
５０乃至１００ｍｍの間隔Ｌをもって並んで設置された
各々小形箱型形状（直方体形状）の一対の吐出吸引ユニ
ット３Ａ、３Ｂとを有している。前記検査機器２は、図
１に示すように、これを複数個構成としても良い。一方
の吐出吸引ユニット３Ａは、図２に示すように、ユニッ
ト本体４の下面から上面に貫通する多数の吐出孔５を矢
印Ｘ方向と直交する矢印Ｙ方向に２列平行配置で、か
つ、ユニット本体４の長辺に沿って穿設している。ま
た、上記２列平行配置の吐出孔５の中間位置には矢印Ｙ
方向に凹溝６が設けられ、かつ、凹溝６からユニット本
体４の下面に貫通する多数の吸引孔７を設けている。他
方の吐出吸引ユニット３Ｂも、前記一方の吐出吸引ユニ
ット３Ａと同様に構成されている。更に、前記一対の吐
出吸引ユニット３Ａ、３Ｂにおける各吐出孔５の下端に
は、図２に示すように、配管群１１を介してエア吐出系
（エアレギュレータ）８、吐出用ポンプＰ１が接続さ
れ、また、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂにおける
各吸引孔７の下端には、配管群１２を介してエア吸引系
（エアレギュレータ）９、吸引用ポンプＰ２が接続され
ている。検査機器２としては、前記ガラス基板１０面か
らの光の反射光を受光して撮像を行う光反射型に構成し
ているＣＣＤカメラ、ＣＣＤラインセンサの他、図３に
示すようにガラス基板１０の上下両側に配置される発光
部１３及び受光部（ＣＣＤラインセンサ）１４からなる
光透過型に構成している検査機器２’を用いることがで
きる。図４は、本実施の形態の検査装置１の制御系を示
すものであり、搬送駆動手段２１の搬送制御、一対の吐
出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの空気吐出、空気吸引の制御
を行う制御部２０を有している。搬送駆動手段２１は、
ガラス基板１０をＸ方向に駆動するＸ方向駆動部２２
と、ガラス基板１０をＹ方向に駆動するＹ方向駆動部２
３とを有している。また、前記制御部２０は、エアコン
トローラ２４を介して前記吐出用ポンプＰ１、吸引用ポ
ンプＰ２の吐出、吸引制御を行うようになっている。更
に、制御部２０は検査機器２の動作制御をも行うように
なっている。次に、図５を参照して本実施の形態のガラ
ス基板１０の検査装置１の動作について説明する。前記
ガラス基板１０を一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂ上
においてＸ方向に搬送する場合には、図５左欄に図示す
るように、前記制御部２０によりエアコントローラ２４
を介して吐出用ポンプＰ１を駆動し、一対の吐出吸引ユ
ニット３Ａ、３Ｂの各吐出孔５からガラス基板１０の下
面側に空気吐出を行う。これにより、ガラス基板１０は
一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの上面から浮上した
状態で前記Ｘ方向駆動部２２により搬送されることにな
り、ガラス基板１０の下面側に傷等が付くことを防止で
き、ガラス基板１０の下面保護を図ることができる。ま
た、前記ガラス基板１０の検査エリア１０ａを一対の吐
出吸引ユニット３Ａ、３Ｂ上において検査する場合に
は、図５右欄に図示するように、前記制御部２０により
エアコントローラ２４を介して吸引用ポンプＰ２を駆動
し、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの各吸引孔７か
ら空気吸引を行う。これにより、ガラス基板１０は一対
の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの上面に吸着されて位置
決め固定される状態となり、振動を極力排除した状態下
で、検査機器２による検査エリア１０ａの検査を高精度
で行うことが可能となる。本実施の形態に係る検査装置
１によれば、このような状態で検査機器２による検査エ
リア１０ａの領域範囲のみを高精度で検査することが可
能となることから、この面からコスト安価となる。ま
た、本実施の形態に係る検査装置１は、前記ガラス基板
１０の下面側で、かつ、検査機器２による検査位置の両
側に位置する配置で例えば５０乃至１００ｍｍの間隔Ｌ
をもって並んで設置された一対の吐出吸引ユニット３
Ａ、３Ｂとを具備した構成としているので、検査機器２
としては、前記ガラス基板１０面からの光の反射光を受
光して撮像を行う光反射型に構成しているＣＣＤカメ
ラ、ＣＣＤラインセンサの他、図３に示すようにガラス
基板１０の上下両側に配置される発光部１３及び受光部
（ＣＣＤラインセンサ）１４からなる光透過型に構成し
ている検査機器２’を用いることができ、光反射型の撮
像機器又光透過型の撮像機器のどちらにも対応できる。
図６は検査装置１におけるガラス基板１０の搬送形態の
応用例を示すものであり、前記制御部２０によりＸ方向
駆動部２２、Ｙ方向駆動部２３を所定のタイミングで交
互に駆動し、ガラス基板１０をＸ方向、Ｙ方向に矩形ジ
グザグ状に搬送駆動する。このようなガラス基板１０の
搬送を行えば、Ｘ方向のみに搬送駆動する場合に比べ前
記検査機器２により検査する検査エリア１０ａの領域を
拡大することが可能となる。なお、前記検査機器２とし
て単独配置の構成の他、ガラス基板１０の寸法、検査エ
リア１０ａの寸法に応じて複数台の検査機器２をＹ方向
に列設した構成とすることもできる。また、前記一対の
吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの両外側に搬送補助用のロ
ーラ（図示せず）を配置した構成とすることもでき、こ
の場合でもローラは検査エリア１０ａから離れた位置と
なるので、振動等の悪影響をガラス基板１０に与えるこ
とはない。
【発明の効果】本発明によれば、低廉価格に構成でき、
ガラス基板搬送時の下面保護を図ることができ、光反射
型の撮像機器又光透過型の撮像機器のどちらにも対応で
きる高精度な検査を実現できるガラス基板の検査装置を
提供することができる。
ガラス基板搬送時の下面保護を図ることができ、光反射
型の撮像機器又光透過型の撮像機器のどちらにも対応で
きる高精度な検査を実現できるガラス基板の検査装置を
提供することができる。
【図１】本発明の実施の形態のガラス基板の検査装置を
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図２】本実施の形態のガラス基板の概略断面図であ
る。
る。
【図３】本実施の形態の撮像機器の他例を示す説明図で
ある。
ある。
【図４】本実施の形態のガラス基板の検査装置の制御系
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図５】本実施の形態のガラス基板の検査装置の動作説
明図である。
明図である。
【図６】本実施の形態の検査装置におけるガラス基板の
搬送形態の応用例を示す説明図である。
搬送形態の応用例を示す説明図である。
【図７】第１の従来例のガラス基板の検査装置を示す概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図８】第１の従来例のガラス基板の検査装置の断面図
である。
である。
【図９】第２の従来例のガラス基板の検査装置を示す概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図１０】第３の従来例のガラス基板の検査装置を示す
概略斜視図である。
概略斜視図である。
１ 検査装置
２ 検査機器
２’ 検査機器
３Ａ 吐出吸引ユニット
３Ｂ 吐出吸引ユニット
４ ユニット本体
５ 吐出孔
６ 凹溝
７ 吸引孔
１０ ガラス基板
１０ａ 検査エリア
１１ 配管群
１２ 配管群
１３ 発光部
２０ 制御部
２１ 搬送駆動手段
２２ Ｘ方向駆動部
２３ Ｙ方向駆動部
２４ エアコントローラ
Ｐ１ 吐出用ポンプ
Ｐ２ 吸引用ポンプ
Claims (3)
- 【請求項１】搬送駆動手段により搬送駆動される検査対
象であるガラス基板と、 前記ガラス基板の検査を行う検査機器と、 前記検査機器による検査位置の両側に位置する配置でガ
ラス基板の下面側に設置され、前記ガラス基板の下面側
に対する空気吐出及び空気吸引を行う一対の吐出吸引ユ
ニットと、 前記搬送駆動手段の搬送制御、一対の吐出吸引ユニット
の空気吐出、空気吸引の制御を行う制御部と、 を有することを特徴とするガラス基板の検査装置。 - 【請求項２】前記搬送駆動手段は、ガラス基板を進行方
向とこれに直交する方向の双方向に駆動することを特徴
とする請求項１記載のガラス基板の検査装置。 - 【請求項３】前記検査機器は、光反射型の撮像機器又は
発光部及び受光部からなる光透過型の撮像機器であるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載のガラス基板の検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002081461A JP4130552B2 (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | ガラス基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002081461A JP4130552B2 (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | ガラス基板の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003279495A true JP2003279495A (ja) | 2003-10-02 |
| JP4130552B2 JP4130552B2 (ja) | 2008-08-06 |
Family
ID=29230082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002081461A Expired - Fee Related JP4130552B2 (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | ガラス基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4130552B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006077905A1 (ja) * | 2005-01-24 | 2006-07-27 | Tokyo Electron Limited | ステージ装置および塗布処理装置 |
| JP2006266351A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Ckd Corp | 非接触支持装置 |
| JP2006266722A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Olympus Corp | 基板検査システム及び基板検査方法 |
| JP2006266352A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Ckd Corp | 非接触支持装置 |
| CN1318151C (zh) * | 2004-02-05 | 2007-05-30 | 东京毅力科创株式会社 | 涂敷膜形成装置及涂敷膜形成方法 |
| JP2009002954A (ja) * | 2007-05-23 | 2009-01-08 | Lasertec Corp | 基板保持装置 |
| JP2010120747A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Ihi Corp | 薄板の浮上搬送状態検出方法及びその装置 |
| KR101030120B1 (ko) * | 2008-07-09 | 2011-04-20 | (주)티에스티아이테크 | 기판 인쇄 장치 |
| JP2011191412A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Ntn Corp | チャック装置、基板観察装置、および欠陥修正装置 |
| CN108387258A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-08-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于柔性基板的光学自动检测装置 |
-
2002
- 2002-03-22 JP JP2002081461A patent/JP4130552B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1318151C (zh) * | 2004-02-05 | 2007-05-30 | 东京毅力科创株式会社 | 涂敷膜形成装置及涂敷膜形成方法 |
| WO2006077905A1 (ja) * | 2005-01-24 | 2006-07-27 | Tokyo Electron Limited | ステージ装置および塗布処理装置 |
| JP2006199483A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Tokyo Electron Ltd | ステージ装置および塗布処理装置 |
| CN102358516B (zh) * | 2005-01-24 | 2014-06-18 | 东京毅力科创株式会社 | 载物台装置及涂敷处理装置 |
| CN102358516A (zh) * | 2005-01-24 | 2012-02-22 | 东京毅力科创株式会社 | 载物台装置及涂敷处理装置 |
| US7908995B2 (en) | 2005-01-24 | 2011-03-22 | Tokyo Electron Limited | Stage apparatus and application processing apparatus |
| JP2006266722A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Olympus Corp | 基板検査システム及び基板検査方法 |
| JP4494262B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2010-06-30 | シーケーディ株式会社 | 非接触支持装置 |
| JP4491364B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2010-06-30 | シーケーディ株式会社 | 非接触支持装置 |
| JP2006266352A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Ckd Corp | 非接触支持装置 |
| JP2006266351A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Ckd Corp | 非接触支持装置 |
| JP2009002954A (ja) * | 2007-05-23 | 2009-01-08 | Lasertec Corp | 基板保持装置 |
| TWI465713B (zh) * | 2007-05-23 | 2014-12-21 | Lasertec Corp | 基板保持裝置 |
| KR101030120B1 (ko) * | 2008-07-09 | 2011-04-20 | (주)티에스티아이테크 | 기판 인쇄 장치 |
| JP2010120747A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Ihi Corp | 薄板の浮上搬送状態検出方法及びその装置 |
| TWI421487B (zh) * | 2008-11-20 | 2014-01-01 | Ihi Corp | And a method of detecting the state of the object to be conveyed |
| JP2011191412A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Ntn Corp | チャック装置、基板観察装置、および欠陥修正装置 |
| CN108387258A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-08-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于柔性基板的光学自动检测装置 |
| CN108387258B (zh) * | 2018-03-22 | 2024-01-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于柔性基板的光学自动检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4130552B2 (ja) | 2008-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6810297B2 (en) | System and methods for imaging employing a levitating conveyor | |
| JP4554397B2 (ja) | ステージ装置および塗布処理装置 | |
| JP4307872B2 (ja) | 基板検査装置 | |
| JP4318714B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JP2006199483A (ja) | ステージ装置および塗布処理装置 | |
| JP4789399B2 (ja) | 浮上ユニット | |
| US20140020714A1 (en) | Non-contact multi-transfer apparatus and method for removing dust by using the same | |
| TWI353894B (en) | A spreading device and a method for spreading liqu | |
| JP2009075102A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| JP2007052137A (ja) | ワーク搬送装置とそれを備えた画像形成装置並びにワーク搬送方法 | |
| JP2005132626A (ja) | 搬送装置、塗布システム、及び検査システム | |
| JP2003279495A (ja) | ガラス基板の検査装置 | |
| JP2008218781A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2008076170A (ja) | 基板検査装置 | |
| JP5303129B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
| JP2010195592A (ja) | 浮上ユニット及び基板検査装置 | |
| JP2010120747A (ja) | 薄板の浮上搬送状態検出方法及びその装置 | |
| KR102525265B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
| JP2009022823A (ja) | 検査装置および基板処理システム | |
| KR100837436B1 (ko) | 기판 검사 및 측정 장치 | |
| KR101079501B1 (ko) | 반송 검사 장치 및 반송 장치 | |
| JP5400082B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
| JP2006058496A (ja) | 基板測定装置及び基板搬送装置並びに基板測定装置を備えた画像形成装置と基板測定方法 | |
| JP2011033953A (ja) | 基板搬送装置および表示パネルモジュール組立装置 | |
| JP2004251723A (ja) | 搬送検査装置及び搬送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050318 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071030 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071227 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080422 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080522 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4130552 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140530 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |