JP4494262B2 - 非接触支持装置 - Google Patents
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前記高精度浮上部のワーク搬送方向に沿った両側に設けられ、浮上量を一定とする浮上精度が高精度浮上部より低い状態でワークを浮上させる低精度浮上部(浮上テーブル3、多孔質浮上部4)と、
前記高精度浮上部に設けられ、ワークの浮上量を非接触で検出する検出手段(レーザ変位計38)と
を備えたこと特徴とする非接触支持装置。
前記高精度浮上部の両側に隣接して配置され、加圧気体を多孔質体から噴出させて浮上力を生成し、その浮上力によりワークを浮上させる一対の多孔質浮上部と、
前記多孔質浮上部に前記高精度浮上部とは反対側で隣接して配置され、加圧気体を噴出孔から噴出させてワークを浮上させる一対の単純浮上部(浮上テーブル3)と、
前記高精度浮上部に設けられ、ワークの浮上量を非接触で検出する検出手段(レーザ変位計38)と
を備えたことを特徴とする非接触支持装置。
Claims (7)
- 加圧気体の噴出部と吸引部とで構成され、噴出部から噴出する加圧気体によって生成する浮上力と、吸引部で生成する吸引力とを同時にワークに作用させてワークを浮上させる高精度浮上部と、
前記高精度浮上部のワーク搬送方向に沿った両側に設けられ、浮上量を一定とする浮上精度が高精度浮上部より低い状態でワークを浮上させる低精度浮上部と、
前記高精度浮上部に設けられ、ワークの浮上量を非接触で検出する検出手段と、
を備えるとともに、
前記高精度浮上部は、前記噴出部を設けた噴出ブロックと、前記吸引部を設けた吸引ブロックと、前記検出手段を内蔵又は前記検出手段の一部を構成する検出用ブロックとを集めた集合体で構成され、前記各ブロックの外形を同一形状に形成したことを特徴とする非接触支持装置。 - 前記低精度浮上部を少なくとも2つの浮上部で構成し、各浮上部の中では前記高精度浮上部に近いほど相対的に浮上精度が高くなるように構成したことを特徴とする請求項1に記載の非接触支持装置。
- 加圧気体の噴出部と吸引部とで構成され、噴出部から噴出する加圧気体によって生成する浮上力と、吸引部で生成する吸引力とを同時にワークに作用させてワークを浮上させる高精度浮上部と、
前記高精度浮上部の両側に隣接して配置され、加圧気体を多孔質体から噴出させて浮上力を生成し、その浮上力によりワークを浮上させる一対の多孔質浮上部と、
前記多孔質浮上部に前記高精度浮上部とは反対側で隣接して配置され、加圧気体を噴出孔から噴出させてワークを浮上させる一対の単純浮上部と、
前記高精度浮上部に設けられ、ワークの浮上量を非接触で検出する検出手段と、
を備えるとともに、
前記高精度浮上部は、前記噴出部を設けた噴出ブロックと、前記吸引部を設けた吸引ブロックと、前記検出手段を内蔵又は前記検出手段の一部を構成する検出用ブロックとを集めた集合体で構成され、前記各ブロックの外形を同一形状に形成したことを特徴とする非接触支持装置。 - 前記高精度浮上部の上方をワークの作業領域とし、その作業領域への導入前の位置で浮上量が検出されるように前記検出手段を設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の非接触支持装置。
- 前記検出手段を前記作業領域の近傍に設けたことを特徴とする請求項4に記載の非接触支持装置。
- 前記噴出ブロック、前記吸引ブロック及び前記検出用ブロックを、それぞれ組換え可能に設けたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の非接触支持装置。
- 前記各ブロックを、流路が形成されたベース上で同ベースに対して着脱自在に設けたことを特徴とする請求項6に記載の非接触指示装置。
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