JP4814050B2 - 浮上搬送ユニット - Google Patents
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Description
これにより、各吸引孔からの吸引量を個別に確実に制御することが可能になる。
これにより、吸引室からの加圧流体の吸引をより急速で効率的に行うことができる。
まず、第1実施形態について説明する。図1〜図3には、本実施形態に係る浮上搬送ユニット10が組み込まれた露光装置12が示されている。なお、本実施形態では露光装置を例に挙げて説明するが、検査装置などにも本発明を適用することが可能であり、本発明の適用範囲は露光装置に限られない。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明では第2実施形態に関係する部分を説明し、浮上搬送ユニット10と同様のことについては説明を省略する。
次に、第3実施形態について説明する。図12は、本実施形態に係る浮上搬送ユニット110の短手方向に沿って吸引孔78を通過する垂直断面における断面形状を示す側面断面図である。
次に、第4実施形態について説明する。図13〜図15は本実施形態に係る浮上搬送ユニット130が示されている。図13〜図15に示すように、本実施形態に係る浮上搬送ユニット130では、チャンバー136と、チャンバー136の搬送方向上流端部又は搬送方向下流端部に組み込まれているエジェクタ129と、流体通過体からなる多孔質板176と、が設けられている。
次に、第5実施形態について説明する。図16に示すように、本実施形態では、第4実施形態に比べ、エジェクタ心臓部を2つ配置したエジェクタ229をエジェクタ129に代えて設けている。
29 エジェクタ(負圧発生手段)
29I 真空吸引口(流体吸引口)
29S 加圧流体排出路
29D ディフューザ(流体噴出口)
40 浮上搬送ユニット
42 エジェクタ(負圧発生手段)
56 吸引室
58 噴出室
60 噴出室
66 サークル溝部(溝部)
76 多孔質板(流体通過体)
78 吸引孔
82 多孔質板(流体通過体)
96 吸引孔
110 浮上搬送ユニット
120 浮上搬送ユニット
129 エジェクタ(負圧発生手段)
129S 加圧流体排出路
129I1 真空吸引口(流体吸引口)
129I2 真空吸引口(流体吸引口)
130 浮上搬送ユニット
157 噴出室
158 吸引室
160 吸引室
176 多孔質板(流体通過体)
229 エジェクタ
F 搬送路面
Claims (7)
- 気密空間とされた少なくとも1つの吸引室と、気密空間とされ、前記吸引室とは区画された少なくとも1つの噴出室とを有するチャンバーと、
加圧流体を前記噴出室に供給する加圧流体排出路と、
前記加圧流体が供給されることにより、前記吸引室に連通する流体吸引口から吸引するとともに流体噴出口から前記加圧流体を前記加圧流体排出路に排出する負圧発生手段と、
前記チャンバー上に配置され、被搬送物の搬送路面を形成するとともに、前記噴出室から供給される加圧流体を前記搬送路面側に通過させて、前記被搬送物を浮上させる流体通過体と、
前記吸引室に連通し、前記搬送路面の所定位置に開口するように前記流体通過体を貫通し、前記流体吸引口による負圧によって吸気されることにより前記被搬送物を吸引して前記被搬送物の浮上量を規制する少なくとも1つの吸引孔と、
を有することを特徴とする浮上搬送ユニット。 - 前記流体通過体側の前記チャンバー表面には、加圧流体を前記流体通過体の裏面側で分散させる溝部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記流体通過体の裏面側には、前記加圧流体排出路から供給される加圧流体を分散させる溝部が形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記流体通過体の裏面が平坦化面として形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のうち何れか1項に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記吸引孔が複数形成されていて、
前記吸引室は複数の前記吸引孔に連通していることを特徴とする請求項1〜請求項4のうち何れか1項に記載の浮上搬送ユニット。 - 前記吸引孔が複数形成されていて、
前記吸引孔が前記流体吸引口にそれぞれ接続するように前記負圧発生手段が前記吸引孔と同数設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項5のうち何れか1項に記載の浮上搬送ユニット。 - 前記吸引室が複数形成されていて、
前記吸引室にそれぞれ接続する前記負圧発生手段が前記吸引室と同数設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項6のうち何れか1項に記載の浮上搬送ユニット。
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