JP2008273729A - 浮上ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】浮上ユニット10は、上面側に搬送路面Fを形成している多孔質板76と、多孔質板76の裏面側に直付けされたチャンバー36とを備えている。チャンバー36には、チャンバー幅方向中央側の吸引室56と、チャンバー幅方向両側の噴出室58、60とが隔壁部54L、54Rによって区画されている。隔壁部54L、54Rには、水などの冷却媒体が流れる流路53が形成されている。また、浮上ユニット10は、噴出室58、60に加圧空気を供給するとともに吸引室56を吸引するエジェクタを備えている。
【選択図】図8
Description
しかし、この冷却装置を設けることによって、FPD製造工程の設備が大型化するという弊害があった。
まず、第1実施形態について説明する。図1〜図3には、本実施形態に係る浮上ユニット10が組み込まれた露光装置12が示されている。なお、本実施形態では露光装置を例に挙げて説明するが、検査装置、測定装置、欠陥修復装置などにも本発明を適用することが可能であり、本発明の適用範囲は露光装置に限られない。
この露光装置12は、レール14と横材16で長枠状に構成された組付けフレーム18を備えている。組付けフレーム18は、ポスト20で枠状のベースフレーム22の上方に支持されている。ベースフレーム22には、キャスタ24とストッパ26が取付けられており、露光装置12が作業エリア内で移動設置可能となっている。
図7に示すように、浮上ユニット10を構成するエジェクタ29は、上側にチャンバー36を載せている基体29Bを備えている。基体29Bの内部には、図1に示すチューブ34が接続され加圧空気(圧縮空気)が供給される加圧流体供給口29Cと、加圧流体供給口29Cから流入した空気を噴出させるためのノズル部29Nと、ノズル部29Nの下流側に配置されたディフューザ29Dと、が設けられている。
図4〜図9に示すように、浮上ユニット10を構成するチャンバー36は、断面が長方形状の長い筒体であり、特に図7、図8に示すように、内側に設けられた2つの隔壁部54L、54Rで内部空間が、幅方向中央側の吸引室56と、幅方向両側の噴出室58,60とに区画されている。そして、チャンバー36の端面に側板62(図5参照)を接合することで、チャンバー36の吸引室56、噴出室58,60は気密空間となる。吸引室56の底壁には負圧供給口56Mが形成され、噴出室58,60の底壁にはそれぞれ正圧供給口60M1,60M2が形成されている。
隔壁部54Lには、長手方向に沿って、冷却媒体(例えば水)が流れる流路53が形成されている。この流路53は、図8に示すように、浮上ユニット10のワーク搬送上流端側に配置されている調整部材30よりもやや搬送方向下流側の位置で下方に向けられていて、下方端に給水口53Iが形成されて給水管55(図1も参照)が接続されている。また、流路53は、浮上ユニット10のワーク搬送下流端側に配置されているエジェクタ29よりもやや搬送方向上流側の位置で下方に向けられていて、下方端に排水口が形成されて排水管57(図1参照)が接続されている。これにより、流路53のワーク搬送方向上流側のほうがワーク搬送方向下流側よりも冷却効果が大きくなっている。
このように溝部が形成されたチャンバー36の天井壁には、板状に加工された多孔質板76が接合される。この多孔質板76は、例えば多孔質カーボン、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂などを使用することが出来るが、多孔質カーボンを使用すると、軽量化の向上、機械的強度の向上、製造費の低廉化、表面の平坦度向上を図れるとともに、ガラス基板Pと接触してしまった場合に、ガラス基板Pの損傷を少なくすることができる。
次に、第1実施形態に係る浮上ユニット10の作用、効果を説明する。
これにより、ガラス基板Pを冷却する冷却装置を浮上ユニット10とは別個に設ける必要がないので、露光装置の設備を小型化することができる。また、浮上領域内に冷却領域を設け、又は浮上領域と露光領域との間に冷却領域を設ける場合と比較しても、露光装置の小型化を図ることができる。また、多孔質板76を直接に冷却するよりもチャンバー36を介して冷却するほうが構成を簡易にし易いので、装置構成を簡単にすることができる。
これにより、吸引室56からの吸引を吸引室56の上方で吸引孔78から行うとともに、噴出室58、60からの噴出を噴出室58、60の上方で行うという簡易な装置構成としても、ワーク(ガラス基板P)の中心位置を多孔質板76の幅方向中央位置として搬送した際に、浮上力と吸引力のバランスを取り易く、ガラス基板Pの浮上高さを規制し易い。また、2つの隔壁部54L、54Rでチャンバー内を1つの吸引室56と2つの噴出室58、60とに効率良く区画することができる。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明では第2実施形態に関係する部分を説明し、浮上ユニット10と同様のことについては説明を省略する。
次に、第3実施形態について説明する。図13は、本実施形態に係る浮上ユニット110の短手方向に沿って吸引孔78を通過する垂直断面における断面形状を示す側面断面図である。
これにより、各吸気孔からの吸引流量を個別に確実に制御することが可能になる。
次に、第4実施形態について説明する。図14〜図16は本実施形態に係る浮上ユニット130が示されている。図14〜図16に示すように、本実施形態に係る浮上ユニット130では、チャンバー136と、チャンバー136の搬送方向上流端部又は搬送方向下流端部に組み込まれているエジェクタ129と、流体通過体からなる多孔質板176と、が設けられている。
次に、第5実施形態について説明する。図17に示すように、本実施形態では、第4実施形態に比べ、エジェクタ心臓部を2つ配置したエジェクタ229をエジェクタ129に代えて設けている。
次に、第6実施形態について説明する。図18、図19に示すように、本実施形態に係る浮上ユニット310は、第1実施形態に比べ、チャンバー36に代えてチャンバー336を備えている。このチャンバー336は、チャンバー36に比べ、図19に示すように、吸引室56と噴出室60とを区画している隔壁部354Lの構成、及び、吸引室56と噴出室58とを区画している隔壁部354Rの構成が異なる。隔壁部354L、354Rには、冷却媒体が流れる流路が形成されていない。
29 エジェクタ(負圧発生手段)
29I 真空吸引口(流体吸引口)
29S 加圧流体排出路
29D ディフューザ(流体噴出口)
36 チャンバー
40 浮上ユニット
42 エジェクタ(負圧発生手段)
53 流路
54L、R 隔壁部
56 吸引室
58 噴出室
60 噴出室
61L、R フィン
63L、R フィン
65L、R 隔壁部
76 多孔質板(流体通過体)
78 吸引孔
82 多孔質板(流体通過体)
96 吸引孔
110 浮上ユニット
116 チャンバー
120 浮上ユニット
129 エジェクタ(負圧発生手段)
129S 加圧流体排出路
129I1 真空吸引口(流体吸引口)
129I2 真空吸引口(流体吸引口)
130 浮上ユニット
136 チャンバー
157 噴出室
158 吸引室
160 吸引室
176 多孔質板(流体通過体)
229 エジェクタ
310 浮上ユニット
336 チャンバー
354L、R 隔壁部
342 冷却部(冷却装置)
F 搬送路面
Claims (6)
- 加圧流体が供給されることにより、流体吸引口から吸引するとともに流体噴出口から加圧流体を排出する負圧発生手段と、
前記流体噴出口から排出された加圧流体を被搬送物が搬送される際の搬送路面の裏面側に供給する加圧流体排出路と、
前記搬送路面を形成するとともに、前記加圧流体排出路から供給された加圧流体を前記搬送路面側に通過させる流体通過体と、
前記搬送路面の所定位置に開口するように前記流体通過体を貫通し、前記流体吸引口による負圧によって吸気される少なくとも1つの吸引孔と、
前記流体通過体を冷却する冷却手段と、
を有することを特徴とする浮上ユニット。 - 前記吸引孔に連通するとともに前記流体吸引口によって負圧とされる吸引室と、前記加圧流体排出路から加圧流体が供給されて前記流体通過体に向けて加圧流体を噴出する噴出室と、が形成されていて前記流体通過体の裏面側に配置されているチャンバーを備え、
前記冷却手段で前記チャンバーを冷却することによって前記流体通過体を冷却することを特徴とする請求項1に記載の浮上ユニット。 - 前記吸引室と前記噴出室とを区画する隔壁部に、冷却媒体が流れる流路が前記冷却手段として形成されていることを特徴とする請求項2に記載の浮上ユニット。
- 前記隔壁部には、前記吸引室及び前記噴出室にそれぞれ延び出すフィンが形成されていることを特徴とする請求項3に記載の浮上ユニット。
- 前記チャンバーの底側外方に配置され、前記チャンバーとの間で熱伝達が行われる冷却装置を前記冷却手段として設けたことを特徴とする請求項2に記載の浮上ユニット。
- 前記チャンバーの天井壁には、前記噴出室から噴出された加圧流体を分散させる溝部が形成されていることを特徴とする請求項2〜5のうち何れか1項に記載の浮上ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007122678A JP2008273729A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | 浮上ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007122678A JP2008273729A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | 浮上ユニット |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008273729A true JP2008273729A (ja) | 2008-11-13 |
JP2008273729A5 JP2008273729A5 (ja) | 2010-06-24 |
Family
ID=40052221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007122678A Pending JP2008273729A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | 浮上ユニット |
Country Status (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104176497A (zh) * | 2013-05-23 | 2014-12-03 | 先进科技新加坡有限公司 | 使用气体流动固定物体的传送设备 |
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-
2007
- 2007-05-07 JP JP2007122678A patent/JP2008273729A/ja active Pending
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