JP2009032984A - 浮上搬送ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る浮上搬送ユニットはチャンバー36を備えている。チャンバー36の天井壁にはチャンバー内の気密空間に連通する通気孔が形成されている。また、本発明に係る浮上搬送ユニットは、下側がこの天井壁に固定され、上側には保護膜77が形成されて搬送路面Fを形成している多孔質板76を備えている。そして、浮上搬送ユニットは、上記気密空間に気体を供給し、通気孔と多孔質板76の空隙とを通じて搬送路側から気体を噴出させる。
【選択図】図6
Description
これにより、多孔質体の軽量化を図ることができる。また、多孔質体の導電性による静電気アースの機能も付加することができる。
これにより、保護膜の軽量化を図ることができるとともに、保護膜の形成が容易になる。
これにより、使用条件に応じ、保護膜へ適切な機能を与えることが可能となる。
これにより、保護膜の強度向上を図ることができる。また、保護膜の導電性による静電気アースの機能も付加することができる。
これにより、使用条件に応じ、保護膜へ適切な機能を与えることが可能となる。
これにより、光の反射率を低下させることができるので、露光プロセスで反射率の低い搬送路が要求されるラインに適した浮上搬送ユニットとすることができる。
これにより、保護膜の導電性による静電気アースの機能が付加される。また、光の反射率を低下させることができるので、露光プロセスで反射率の低い搬送路が要求されるラインに適した浮上搬送ユニットとすることができる。
これにより、浮上搬送ユニットで搬送される被搬送体を効果的に浮上させることができる。
これにより、浮上搬送ユニットで搬送される被搬送体(ワーク)を更に効果的に浮上させることができる。
36 チャンバー
72 通気孔
74 通気孔
76 多孔質板(多孔質体)
77 保護膜
F 搬送路面(搬送路)
Claims (10)
- 気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する通気孔が形成されているチャンバーと、
下側が前記天井壁に固定され、上側には保護膜が形成されて搬送路を形成している多孔質体と、
前記気密空間に気体を供給し、前記通気孔と前記多孔質体の空隙とを通じて前記搬送路側から気体を噴出させる気体供給手段と、
を有することを特徴とする浮上搬送ユニット。 - 前記多孔質体がグラファイトを含んで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記保護膜が樹脂で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、フラン樹脂、フッ素樹脂、ナイロンから選ばれる少なくとも1種の樹脂で構成されることを特徴とする請求項3に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記保護膜が金属又は金属化合物で構成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記金属又は前記金属化合物が、Ni、Zn、Cr、Cu、Ag、Fe、Sn、Mgから選ばれる少なくとも1種の元素を含むことを特徴とする請求項5に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記金属又は前記金属化合物によって、前記保護膜として黒色メッキ膜又は針状メッキ膜が形成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記保護膜が、ガラス状炭素又はダイヤモンドライクカーボンのうちの少なくとも1種で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記多孔質体の通気率が0.2〜6.0cm2/sの範囲内であることを特徴とする請求項1〜8のうち何れか1項に記載の浮上搬送ユニット。
- 前記多孔質体の気孔率が5〜25vol%であることを特徴とする請求項1〜9のうち何れか1項に記載の浮上搬送ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007196596A JP2009032984A (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 浮上搬送ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007196596A JP2009032984A (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 浮上搬送ユニット |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009032984A5 JP2009032984A5 (ja) | 2010-09-16 |
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ID=40403161
Family Applications (1)
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JP2007196596A Pending JP2009032984A (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 浮上搬送ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009032984A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103035556A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-04-10 | 山东凯胜电子股份有限公司 | 接触式智能卡模块载带气动悬浮装置 |
CN108639758A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-10-12 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | 一种气浮过渡装置及液晶屏输送装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005089130A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置又は搬送システム |
JP2005347689A (ja) * | 2004-06-07 | 2005-12-15 | Tanken Seal Seiko Co Ltd | 吸着体 |
JP2007031053A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Ckd Corp | 非接触支持装置の検査方法 |
-
2007
- 2007-07-27 JP JP2007196596A patent/JP2009032984A/ja active Pending
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