JPWO2008044706A1 - 薄板状材料搬送装置 - Google Patents

Abstract

薄板状材料搬送装置（１０）は、ガラス基板（１２）の下面に対して空気を供給してガラス基板（１２）を非接触で支持するためのエアテーブル（２２）と、エアテーブル（２２）に正圧の空気を供給するための送風装置（２４）と、を有するエアテーブルユニット（１４）を備え、且つ、エアテーブルユニット（１４）は、搬送方向に細長く形成され、幅に対してほぼ３〜１０倍の長さ毎に一基の送風装置（２４）が配置され、送風装置（２４）は、エアテーブル（２２）の下側に接続して設けられた箱状の収容部（２４Ａ）及びこの収容部（２４Ａ）内に設けられた送風ファン（２８）とから構成されている。

Description

本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を非接触で支持するための薄板状材料搬送装置に関する。

液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのガラス基板は僅かな傷や埃でも品質に大きく影響するため、このようなガラス基板の搬送においてはガラス基板の表面に傷が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することが要求される。

一方、液晶ディスプレイでは、ガラス基板のサイズがますます大型化しており、例えば第８世代においては、Ｗ２２００ｍｍ×Ｌ２５００ｍｍという大きさに比べて厚さが０．５〜０．７ｍｍ程度と非常に薄い。このため、ガラス基板を水平に搬送する際に、その外周端部のみならず、これよりも内側の部分も支持しなければ中央部が大きく垂れ下がってしまう。

そこでガラス基板の搬送装置は、ガラス基板を全面においてできるだけ均等に支持し、平面に近い形状に保持して搬送するように工夫されている。

例えば、搬送方向及び搬送方向に対して垂直な幅方向に適宜なピッチで複数のローラを設置し、これら複数のローラでガラス基板を下方から支持して駆動する搬送装置が知られている。

このような搬送装置の一つとして、上面部に多数の給気孔が形成されたエアテーブルを用いてガラス基板を浮上させつつエアの圧力で駆動して非接触で搬送する搬送装置が知られている（例えば特開平１０−１３９１６０号公報、特開平１１−２６８８３０号公報、特開平１１−２６８８３１号公報参照）。

又、例えば特開２００３−６３６４３（’６４３）号公報、特開２００５−２９３５９（’３５９）号公報、特開２００５−２９３６０（’３６０）号公報に記載されるように、ガラス基板の幅方向の中央近傍にはエアテーブルを設置してガラス基板の中央部の垂れ下がりを抑制し、ガラス基板における搬送方向に垂直な幅方向の両端近傍を複数のローラで支持しガラス基板を所定の搬送方向に駆動するようにした搬送装置が知られている。

上記’６４３記載の板状体搬送装置は、エアテーブル毎に１基の送風ファンを設け、且つ上面の給気孔に近い位置に除塵フィルタを設けて、搬送する板状体の下側面に向けて清浄空気を供給するようにしている。

又、上記’３６０記載の搬送装置では、上記’３５９記載のテーブルユニットを、搬送方向に対して直交する幅方向で２分割して、その中間に空気の抜け道を構成するようにしている。

上記’３５９及び’３６０の場合、ほぼ正方形の１つのエアテーブルに１基の送風ファンが設けられ、エアテーブルは、ガラス基板の搬送方向に順次隣接して密に配置されている。

このため、送風の運動エネルギを圧力に変換すると、それだけ圧力が高くなって、エアテーブル上にガラス基板が無い場合、エアテーブル上面から室内の高い位置にまで空気流が形成されてしまい、クリーンルーム内においては、埃を舞い上げたりするという不都合が生じてしまう。なお、上記’３５９及び’３６０の搬送装置は、いずれも、搬送面の上側にカバーが設けられ、空気の吹き上げが防止されている。

又、上記’３５９及び’３６０の搬送装置の場合は、送風ファンの設置数が多くなってしまうという問題点がある。

又、上記のような送風ファンは、その外径に比較して大きな面積のエアテーブルから空気を供給しなければならないので、高パワー、且つ高価なもの（例えばターボファン）を用いなければならないという問題点がある。

更に、’３６０の搬送装置では、搬送中のガラス基板の幅方向中央の盛り上がりを充分に防止できないという問題点がある。

又、一般にローラを備えるエアテーブルと駆動ユニットとを併用する搬送装置は、ガラス基板がエアテーブルにより浮上するためガラス基板とローラとの当接力が小さく、ガラス基板とローラとの摩擦力が小さい。従って、ガラス基板とローラとがスリップしやすいという問題がある。

尚、エアテーブルの上におけるガラス基板の下面の高さよりもローラの上端が高くなるように駆動ユニットを配置することでガラス基板とローラとの摩擦力を増大させることができるが、ガラス基板を平面に近い形状に保持できないという問題がある。又、ローラの回転の加速度及び減速度を小さくすればガラス基板とローラとのスリップをある程度抑制できるが、搬送効率が低下するという問題がある。

本発明者は、鋭意研究の結果、最小限の送風ファンの設置条件を見出して、搬送中に薄板状材料が途切れた場合でも、そこから、空気が室内に強く吹出すことが無い条件を見出した。

更に又、エアテーブルユニットとローラ等の駆動部材を有する薄板状材料搬送装置において、薄板状材料と駆動部材とのスリップが生じ難いようにできることを見出した。

即ち、以下の本発明により上記課題を解決することができる。

（１）搬送される薄板状材料の下面に対して気体を供給して該薄板状材料を非接触で支持するためのエアテーブルと、該エアテーブルに前記気体を供給するための送風装置と、を有するエアテーブルユニットを、前記薄板状材料の搬送方向及びこれと直交する幅方向に複数並べて構成された薄板状搬送装置であって、前記エアテーブルユニットは、幅方向に少なくとも４基配置され、各エアテーブルユニットの間には気体が流通可能な隙間が設けられ、且つ、各エアテーブルユニットは、前記搬送方向に細長く形成され、幅に対してほぼ３〜１０倍の長さ毎に一基の前記送風装置が配置され、前記エアテーブルは、上面部が略平坦な箱状体で前記薄板状材料の下面に対して前記気体を供給するための複数の給気孔が前記上面部に形成された構造であり、前記送風装置は、前記エアテーブルの下側に接続して設けられた箱状の収容部及びこの収容部内に設けられた送風ファンとから構成されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。

（２） 前記箱状の収容部の高さは、前記ファンの高さに対して３〜６倍とされ、且つ、前記ファンは、前記収容部内の上部に配置されことを特徴とする（１）に記載の薄板状材料搬送装置。

（３）前記フィルターが前記エアテーブルの中における前記上面部の下方近傍に設置されたことを特徴とする（１）又は（２）に記載の薄板状材料搬送装置。

（４）前記薄板状材料の下面に接触して該薄板状材料を所定の搬送方向に駆動するための駆動部材を有する駆動ユニットと、前記駆動部材の近傍に配置され、前記薄板状材料の下面に負圧を供給して前記薄板状材料を前記駆動部材の方向に付勢するための吸引ユニットと、を更に備えることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載薄板状材料搬送装置。

（５）前記吸引ユニットが前記エアテーブルユニットに結合され、該エアテーブルユニットの前記送風装置が前記吸引ユニットに前記負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねていることを特徴とする（４）に記載の薄板状材料搬送装置。

（６）前記吸引ユニットが負圧発生装置を備えていることを特徴とする（５）に記載の薄板状材料搬送装置。

（７）前記吸引ユニットの負圧発生装置と前記エアテーブルユニットの送風装置とが外部に開放された隙間を有して並設され、前記送風装置に前記負圧発生装置から排気される気体及び前記外部の気体の両方が供給されるように構成されたことを特徴とする（６）に記載の薄板状材料搬送装置。

（８）前記駆動部材は、前記搬送される薄板状材料の幅方向両端に下方から接触する位置に配置され、前記吸引ユニットは、前記複数のエアテーブルユニットのうち、幅方向両端位置のエアテーブルユニットと前記駆動部材との間の位置で前記薄板状材料の下面に負圧を印加するようにされたことを特徴とする（４）乃至（７）のいずれかに記載薄板状材料搬送装置。

この薄板状材料搬送装置のエアテーブルユニットは、搬送方向に細長に形成されていて、その幅に対してほぼ３〜１０倍の長さ毎に１基の送風ファンが配置されるので、フィルタにおける圧力損失が少なく均一化され、薄板状材料の搬送が途切れた場合の上方への空気の吹き上げが少なくなる、高性能且つ高価な送風ファンを必要以上に多数設ける必要が無く、装置を低コストで製造することができる。

この薄板状材料搬送装置は、薄板状材料をローラやベルト等の駆動部材の方向に付勢するための吸引ユニットを備えているので、薄板状材料と駆動部材との当接力を高め、薄板状材料と駆動部材との摩擦力を増大させることができる。これにより、薄板状材料と駆動部材とのスリップを抑制できる。

従って、例えばエアテーブルの上における薄板状材料の下面の高さと駆動部材の上端とが等しい高さになるように駆動ユニットを配置し、薄板状材料を平面に近い形状に保持しても薄板状材料と駆動部材とのスリップを抑制できる。

更に、薄板状材料と駆動部材との摩擦力が大きいのでローラの回転の加速度及び減速度をそれだけ大きく設定でき、搬送効率の向上に寄与する。

尚、吸引ユニットをエアテーブルユニットに結合し、エアテーブルユニットの送風装置が吸引ユニットに負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねるようにしてもよい。送風装置は気体を吸気してから排気するので負圧発生装置として利用できる。このようにすることで、吸引ユニットと外部の負圧供給設備との配管も不要となり、設置スペースの抑制に寄与する。又、送風装置が負圧発生装置を兼ねることで部分点数を低減でき、一層のコンパクト化及びコスト低減を図ることができる。

又、吸引ユニットが負圧発生装置を備えていてもよい。このように吸引ユニットが負圧発生装置を備えている場合も吸引ユニットと外部の負圧供給設備との配管が不要であるので、設置のためのスペースを小さくできる。又、エアテーブルユニットによる浮上力と吸引ユニットによる吸引力とを独立して制御することができる。更に、仮に、吸引ユニットの上面と薄板状材料の下面との隙間が著しく小さくなり、負圧発生装置から排気される気体の量が著しく減少しても、負圧発生装置と送風装置とが独立して設置されていれば送風装置への気体の供給が抑制されることはない。従って、エアテーブルユニットによる充分な浮上力が得られる。

又、吸引ユニットの負圧発生装置とエアテーブルユニットの送風装置とを外部に開放された隙間を有して並設し、送風装置に負圧発生装置から排気される気体及び外部の気体の両方が供給されるように構成してもよい。このようにすることで、送風装置に効率良く気体を供給でき、エアテーブルユニットの浮上力を増大させる効果が得られる。

本発明の第１実施形態に係る薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す一部断面図を含む前面図 同薄板状材料搬送装置のエアテーブルユニット及び吸引ユニットの構造を拡大して示す前断面図 同薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す斜視図 同薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す側面図 本発明の第２実施形態に係る薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す一部断面図を含む前面図 同薄板状材料搬送装置のエアテーブルユニット及び吸引ユニットの構造を拡大して示す前断面図 同薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す側面図 本発明の第３実施形態に係る薄板状材料搬送装置のエアテーブルユニット及び吸引ユニットの構造を拡大して示す前断面図 本発明の第４実施形態に係る薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す一部断面図を含む前面図

以下本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

図１に示されるように、本発明の第１実施形態に係る薄板状材料搬送装置１０は、例えば大型のＬＣＤ用のガラス基板（薄板状材料）１２を非接触で支持するためのエアテーブルユニット１４と、ガラス基板１２の下面に接触してガラス基板１２を所定の搬送方向に駆動するための複数のローラ（駆動部材）１６を有する駆動ユニット１８と、ローラ１６の近傍に配置されガラス基板１２の下面に負圧を供給してガラス基板１２をローラ１６の方向に付勢するための吸引ユニット２０と、を備え、エアテーブルユニット１４の構造に特徴を有している。又、薄板状材料搬送装置１０は吸引ユニット２０を備えることを特徴としている。

エアテーブルユニット１４は、ガラス基板１２の下面に対して空気（気体）を供給してガラス基板１２を非接触で支持するためのエアテーブル２２と、エアテーブル２２に正圧の空気を供給するための送風装置２４と、を有している。

図２に示されるように、エアテーブル２２は、上面部２６が略平坦な略直方体の箱状体でガラス基板１２の下面に対して空気を供給するための複数の給気孔２６Ａが上面部２６に形成された構造である。

尚、図３に示されるように、エアテーブル２２は、ガラス基板１２の搬送方向（図３中に矢印で示される方向）に長い略直方体である。

又、エアテーブルユニット１４は、薄板状材料搬送装置１０に複数（本第１実施形態では８台）備えられている。具体的には、それぞれ４台のエアテーブルユニット１４からなる２組が搬送方向に隣接して設置されている。各組の４台のエアテーブルユニット１４は搬送方向に対して垂直な幅方向に並んで設置されている。

上面部２６は、具体的には、厚さが０．５〜３ｍｍの板材である。上面部２６の材料としては、ステンレス、アルミ、各種合金等を用いることができる。

送風装置２４は、図２に拡大して示されるように上下に連通口２５Ａ、２５Ｂを有する円形箱状の収容部２４Ａと、この収容部２４Ａ内に配置された送風ファン２８と、を備えて構成されている。この実施例では、送風ファン２８は軸流ファンであり、図示されないモータによって駆動される。送風装置２４は、エアテーブル２２の下側に設置され、上側の連通口２５Ａにおいて、エアテーブル２２に直結されている。尚、図４に示されるように、本第１実施形態では、各エアテーブル２２について２台の送風装置２４が搬送方向に離間して設置されている。又、エアテーブル２２の幅方向には各送風装置２４が幅方向に整列して配置されている。

収容部２４Ａの幅方向の内法は、送風装置２４における送風ファン２８の外径に対して、約１〜１．８倍とされている。又、収容部２４Ａの搬送方向の寸法は、エアテーブル２２の搬送方向の長さの約１／１０とされ、２つの収容部２４Ａは、エアテーブル２２の搬送方向の長さの１／２毎に均等に配置されている。即ち、収容部２４Ａは、搬送方向にはその５倍の長さ毎に１基配置されている。

収容部２４Ａは、その軸方向（図２、４、５において上下方向）の長さが、送風ファン２８の厚さの約３〜６倍とされていて、送風ファン２８は収容部２４Ａ内での高さ方向のほぼ中央に配置され、且つ、収容部２４Ａの平断面形状は、送風ファン２８の外周を囲む円形とされていて、収容部２４Ａの内周と送風ファン２８の外周との隙間は、送風ファン２８の回転が阻害されない範囲で最小とされている。

エアテーブルユニット１４は、幅方向に４基配置され、各エアテーブルユニット１４の間には気体が流通可能な隙間１３が設けられている。

エアテーブル２２の上面部２６と送風装置２４との間には、フィルター３０が設置されている。より詳細にはフィルター３０は、エアテーブル２２の中における上面部２６の下方近傍に設置されている。フィルター３０の材料としては例えばクリーンルームの空気濾過用のＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）やＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air Filter）と同様の材料を用いることができる。

エアテーブル２２の中における上面部２６とフィルター３０の間には、メッシュ部材３２が設置されている。メッシュ部材３２は、線径が０．１〜１．５ｍｍの針金状又は糸状の部材が所定のピッチで編まれた構成である。メッシュ部材３２の材料としては、具体的にはステンレス、アルミ、各種合金、樹脂等を用いることができる。

吸引ユニット２０は、薄板状材料搬送装置１０に複数（本第１実施形態では４台）備えられている。

各吸引ユニット２０は、上面部３４が略平坦な箱状体でガラス基板１２の下面に対して負圧を供給するための複数の吸引孔３２Ａが上面部３４に形成された構造である。

これら４台の吸引ユニット２０は、それぞれ幅方向両側に設置された４台のエアテーブルユニット１４に結合されている。より詳細には、各吸引ユニット２０は、エアテーブルユニット１４に結合された２台の送風装置２４のうちの一方に結合されている。これらの送風装置２４は、吸引ユニット２０に負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねている。尚、送風装置２４は空気を吸気してから排気するので負圧発生装置として利用できる。

吸引ユニット２０は、上面部３４が幅方向両側のエアテーブルユニット１４の上面部２６と駆動ユニット１８のローラ１６との間に配置されるように設置されている。

駆動ユニット１８は、ガラス基板１２に幅方向の両端において接触するように８台のエアテーブルユニット１４の幅方向両側に一対備えられている。

ローラ１６は、搬送方向に適宜なピッチで複数設置されている。各ローラ１６は、ガラス基板１２の下面に接触するローラ部１６Ａ及びこれよりも幅方向外側に設置されたフランジ部１６Ｂを備え、図示しない回転駆動源に連結されている。尚、本第１実施形態では駆動ユニット１８は、ローラ１６のローラ部１６Ａの上端がエアテーブル２２の上面部２６の上面よりもガラス基板１２の浮上量だけ数ｍｍ程度高くなるように設置されている。

次に、薄板状材料搬送装置１０の作用について説明する。

薄板状材料搬送装置１０は、エアテーブルユニット１４における送風装置２４がエアテーブル２２の下側に設置されているので、送風装置２４から供給される空気をエアテーブル２２の上方に効率良く送ることができる。

まず、送風装置２４の送風ファン２８の外周と収容部２４Ａの内周との隙間が小さく、且つ、収容部２４Ａの高さが送風ファン２８の厚さの３〜６倍とされているので、送風ファン２８の回転により発生した風（空気流）は送風ファン２８の外側を通って逆流したりすることなく連通口２５Ａから箱状のエアテーブル２２内に流入する。

ここで、流入した空気流には、フィルター３０により圧損が生じるが、図４のように、収容部２４Ａはその搬送方向の長さに対してほぼ５倍の長さ毎に１基の送風装置２４が設けられているので、圧損が少ない。即ち、エアテーブル２２内に大きな圧力上昇を生じることなく、そのままエアテーブル２２の給気孔２６Ａから上方に供給される。

従って、カバーで被わなくても、ガラス基板１２の搬送が途切れた場合に、室内に強く空気が吹き上がることがない。

又、上記エアテーブル２２の幅方向の内法が送風ファン２８の外径の１．８倍を超えると、空気流の幅方向の拡散が大きくなり、ガラス基板１２を浮上させるためには、送風ファン２８の回転速度を高くする必要が生じ、このため圧損による圧力差が大きくなり、ガラス基板１２の搬送が途切れた場合に、室内に強く空気が吹き上がってしまう。又１倍より小さいと、空気流が絞られ、給気孔２６Ａの空気流の速度が過大となってしまう。

収容部２４Ａを、その搬送方向の長さに対して３倍未満の長さ毎に設けると、送風装置２４の数が過剰になる。試行錯誤の結果、ほぼ３〜１０倍にすると最も効率がよかった。又、１０倍を超えるとガラス基板の浮上が困難であった。

エアテーブルユニット１４は、幅方向に４基配置され、各エアテーブルユニット１４の間には気体が流通可能な隙間１３が設けられているので、ガラス基板１２の幅方向中央部が搬送中に盛り上がってしまうことが抑制される。なお、エアテーブルユニット１４は幅方向に少なくとも４基配置されるものであればよい。

幅方向に３基の場合は、幅方向２基よりも、中央の盛り上がりが大きく、４基以上とする必要がある。

又、エアテーブル２２の上面部２６と送風装置２４との間にフィルター３０が設置されているので、ガラス基板１２の下面に異物が除去されたクリーンな空気を供給することができる。特に、フィルター３０がエアテーブル２２の中における上面部２６の下側近傍に設置されているので、異物が除去された直後のクリーンな空気がガラス基板１２の下面に確実に供給される。

又、薄板状材料搬送装置１０は、ガラス基板１２をローラ１６の方向に付勢するための吸引ユニット２０を備えているので、ガラス基板１２とローラ１６との当接力を高め、ガラス基板１２とローラ１６との摩擦力を増大させることができる。これにより、ガラス基板１２とローラ１６とのスリップを抑制できる。

従って、エアテーブル２２の上で浮上するガラス基板１２の下面の高さとローラ１６のローラ部１６Ａの上端とが等しい高さになるように駆動ユニット１８を設置し、ガラス基板１２を平面に近い形状に保持してもガラス基板１２とローラ１６とのスリップが抑制される。

更に、ガラス基板１２とローラ１６との摩擦力が大きいのでローラ１６の回転の加速度及び減速度をそれだけ大きく設定でき、搬送効率の向上に寄与する。

又、吸引ユニット２０がエアテーブルユニット１４に結合され、エアテーブルユニット１４の送風装置２４が吸引ユニット２０に負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねているので部分点数が少なく、コンパクト化及びコスト低減に寄与する。又、吸引ユニット２０と外部の負圧供給設備との配管が不要であるので、この点でも設置のためのスペースを小さくできる。

又、薄板状材料搬送装置１０は、駆動ユニット１８がガラス基板１２の下面に接触してガラス基板１２を搬送方向に駆動するので、空気の圧力だけで駆動力を付与する搬送装置と比較すると、ガラス基板１２を支持するだけの空気を供給するのみで足りるので、装置の製造コストの低減に寄与すると共に空気の供給量が少なくて足りるのでクリーンルーム内の空気の乱れが抑制される。更に、エアの複雑な制御が不要であるので、構造が簡単である。

次に、本発明の第２実施形態について説明する。

前記第１実施形態に係る薄板状材料搬送装置１０は、各吸引ユニット２０が各エアテーブルユニット１４の２台の送風装置２４のうちの一方に結合され、これらの送風装置２４が吸引ユニット２０に負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねているのに対し、図５〜図７に示されるように本第２実施形態に係る薄板状材料搬送装置５０は、各吸引ユニット５２がエアテーブルユニット１４に結合されておらず、それぞれ負圧発生装置５４を備えている。他の構成については、前記第１実施形態と同様であるので、同様の構成については図１〜図４と同一符号を用いることとし説明を省略する。

尚、負圧発生装置５４は、送風装置２４と同様にファンを備える構造であり、幅方向の内側に空気を排気するようになっている。

このように、各吸引ユニット５２がエアテーブルユニット１４に結合されておらず、それぞれ負圧発生装置５４を備えているので、エアテーブルユニット１４によるガラス基板１２を浮上させる力と吸引ユニット５２によるガラス基板１２をローラ１６に付勢する力とを独立して制御することができる。従って、ガラス基板１２の大きさや剛性に応じた、より精密な浮上力、ローラ１６への付勢力の調整が可能である。

更に、仮に、吸引ユニット５２の上面とガラス基板１２の下面との隙間が著しく小さくなり、負圧発生装置５４から排気される空気の量が著しく減少しても、負圧発生装置５４と送風装置２４とが独立して設置されているので送風装置２４への空気の供給が抑制されることはない。従って、エアテーブルユニット１４による充分な浮上力が得られる。

次に、本発明の第３実施形態について説明する。

図８に示されるように本第３実施形態に係る薄板状材料搬送装置６０は、前記第２実施形態に係る薄板状材料搬送装置５０に対し、吸引ユニット６２の負圧発生装置６４とエアテーブルユニット１４の送風装置２４とが外部に開放された隙間を有して並設され、送風装置２４に負圧発生装置６４から排気される空気及び外部の空気の両方が供給されるように構成されている。他の構成については、前記第２実施形態と同様であるので、同様の構成については図６等と同一符号を用いることとし説明を省略する。

具体的には、負圧発生装置６４は前記負圧発生装置５４と同様の構造であり、そのファンが送風装置２４のファンと同軸的に配置されるように送風装置２４の下に設置され、送風装置２４に向けて上方に空気を排気するようになっている。

このように送風装置２４に負圧発生装置６４から排気される空気が供給されることで、送風装置２４に効率良く空気を供給でき、エアテーブルユニット１４の浮上力を増大させる効果が得られる。又、前記第２実施形態と同様に、仮に、吸引ユニット６２の上面部３４とガラス基板１２の下面との隙間が著しく小さくなり、負圧発生装置６４から排気される空気の量が著しく減少しても、負圧発生装置６４と送風装置２４とが独立して設置されているので送風装置２４への空気の供給が抑制されることはない。従って、エアテーブルユニット１４の充分な浮上力が得られる。

次に、本発明の第４実施形態について説明する。

図９に示されるように本第４実施形態に係る薄板状材料搬送装置７０は、前記第１実施形態に係る薄板状材料搬送装置１０に対し、吸引ユニット２０を省略したものである。他の構成については前記第１実施形態と同様であるので、同様の構成については図１と同一符号を用いることとし説明を省略する。

このように吸引ユニット２０を省略した場合も、エアテーブルユニット１４が送風装置２４を備えているので、クリーンエアの設備やブロアを備える給気設備等の外部の給気設備と連結するための配管が不要であり、設置スペース及び設置コストの抑制等の前記第１〜第３実施形態と同様の効果が得られる。

又、前記第１〜第５実施形態において薄板状材料搬送装置１０、５０、６０、７０、８０はエアテーブルユニット１４、８６を８台備えているが、ガラス基板１２の長さ、幅等に応じて７台以下のエアテーブルユニットを備える構成としてもよく、９台以上のエアテーブルユニットを備える構成としてよい。

又、前記第１〜第５実施形態において、エアテーブルユニット１４、８６は搬送方向に長い形状であるが、ガラス基板１２の長さ、幅等に応じて例えば、エアテーブルユニット１４、８６は搬送方向の長さと幅方向の長さとが等しい形状としてもよく、幅方向に長い形状としてもよい。

又、前記第１〜第４実施形態において、エアテーブルユニット１４は、それぞれ２台の正圧発生装置２４を備えているが、例えばエアテーブルユニットの形状等に応じて各エアテーブルユニットに正圧発生装置を１台だけ備えてもよく、３台以上の正圧発生装置を備えてもよい。

又、前記第１〜第５実施形態において、駆動ユニット１８は、ローラ１６のローラ部１６Ａの上端がエアテーブル２２の上面部２６の上面よりもガラス基板１２の浮上量だけ高くなるように設置されているが、ガラス基板１２の長さ、幅等に応じて例えば、ローラ１６のローラ部１６Ａ上端がエアテーブル２２の上面部２６の上面に対しガラス基板１２の浮上量よりも若干（例えば数ｍｍ程度）高くなるように駆動ユニット１８を設置してもよい。

又、前記第１〜第４実施形態において、薄板状材料搬送装置１０、５０、６０、７０は、複数のローラ（駆動部材）１６を有する駆動ユニット１８を備えているが、例えばベルト（駆動部材）を有する駆動ユニットを備える構成としてもよい。又、駆動用のローラとベルトとが並設された駆動ユニットを備える構成としてもよい。

又、駆動ユニットを省略し、搬送方向に空気を噴射するようにエアテーブルの給気孔を傾斜させて上面板に形成し、エアテーブルが噴射する空気で被搬送物を駆動するようにしてもよい。尚、エアテーブルが供給する空気で被搬送物を駆動する場合は、吸引ユニットは省略してもよい。

又、前記第１〜第４実施形態において、エアテーブルユニット１４、８６からガラス基板１２の下面に供給する気体は空気であるが、例えば、窒素ガス、希ガス等の他の気体をガラス基板１２の下面に供給してもよい。

又、前記第１〜第４実施形態は、ガラス基板１２を搬送するためのものであるが、面積に比較して板厚の薄い、いわゆる薄板状材料であれば、他の材料の搬送にも本発明は適用可能である。例えば、金属薄板状材料、樹脂の薄板状材料等の撓みを生じ易い材料の搬送の場合に適用可能である。

産業上の利用の可能性

本発明は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料の搬送に用いることができる。

Claims (8)

1. 搬送される薄板状材料の下面に対して気体を供給して該薄板状材料を非接触で支持するためのエアテーブルと、該エアテーブルに前記気体を供給するための送風装置と、を有するエアテーブルユニットを、前記薄板状材料の搬送方向及びこれと直交する幅方向に複数並べて構成された薄板状搬送装置であって、
   前記エアテーブルユニットは、幅方向に少なくとも４基配置され、各エアテーブルユニットの間には気体が流通可能な隙間が設けられ、
   且つ、各エアテーブルユニットは、前記搬送方向に細長く形成され、幅に対してほぼ３〜１０倍の長さ毎に一基の前記送風装置が配置され、
   前記エアテーブルは、上面部が略平坦な箱状体で前記薄板状材料の下面に対して前記気体を供給するための複数の給気孔が前記上面部に形成された構造であり、
   前記送風装置は、前記エアテーブルの下側に接続して設けられた箱状の収容部及びこの収容部内に設けられた送風ファンとから構成されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
2. 請求項１において、
   前記箱状の収容部の高さは、前記ファンの高さに対して３〜６倍とされ、且つ、前記ファンは、前記収容部内の上部に配置されことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
3. 請求項１又は２において、
   前記フィルターが前記エアテーブルの中における前記上面部の下方近傍に設置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
4. 請求項１乃至３のいずれかににおいて、
   前記薄板状材料の下面に接触して該薄板状材料を所定の搬送方向に駆動するための駆動部材を有する駆動ユニットと、前記駆動部材の近傍に配置され、前記薄板状材料の下面に負圧を供給して前記薄板状材料を前記駆動部材の方向に付勢するための吸引ユニットと、を更に備えることを特徴とする薄板状材料搬送装置。
5. 請求項４において、
   前記吸引ユニットが前記エアテーブルユニットに結合され、該エアテーブルユニットの前記送風装置が前記吸引ユニットに前記負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねていることを特徴とする薄板状材料搬送装置。
6. 請求項５において、
   前記吸引ユニットが負圧発生装置を備えていることを特徴とする薄板状材料搬送装置。
7. 請求項６において、
   前記吸引ユニットの負圧発生装置と前記エアテーブルユニットの送風装置とが外部に開放された隙間を有して並設され、前記送風装置に前記負圧発生装置から排気される気体及び前記外部の気体の両方が供給されるように構成されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
8. 請求項４乃至７のいずれかにおいて、
   前記駆動部材は、前記搬送される薄板状材料の幅方向両端に下方から接触する位置に配置され、前記吸引ユニットは、前記複数のエアテーブルユニットのうち、幅方向両端位置のエアテーブルユニットと前記駆動部材との間の位置で前記薄板状材料の下面に負圧を印加するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。

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