JP5495065B2 - 板状体搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、板状体の下面に向けて空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段と、板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とを備え、前記送風式支持手段が、板状体の搬送経路の横幅内に位置する箇所に配設されている板状体搬送装置に関する。

かかる板状体搬送装置は、送風式支持手段にて板状体の下面に向けて空気を供給して板状体を非接触状態で支持し、その板状体に対して推進力付与手段にて搬送方向での推進力を付与して、板状体を搬送方向に沿って搬送するものである。そして、送風式支持手段を、板状体の搬送経路の横幅内に位置する箇所に配設して、板状体搬送装置を横幅方向にコンパクトなものとしている。
そして、このような板状体搬送装置において、従来では、送風式支持手段としてのファンフィルタユニットを設け、ファンフィルタユニットの上方にチャンバ部をファンフィルタユニットと上下方向に重なる状態で設けていた（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００５−０２９３５９号公報

上記した従来の板状体搬送装置では、搬送している板状体が破損すると、その破損した板状体の破片が異物としてチャンバ部上に落下し、異物がチャンバ部の噴出口からチャンバ空間内に侵入する場合がある。そして、そのチャンバ空間に侵入した異物は、そのまま下方に落下して送風式支持手段にまで侵入してしまう。送風式支持手段に異物が侵入してしまうと、その異物を除去するためには、送風式支持手段を取り外して異物を除去する必要があり、異物の除去作業が煩わしいものであった。特に、送風式支持手段をファンフィルタユニットにて構成した場合では、ファンフィルタユニットの除塵フィルタに異物が侵入してしまうため、破片を除去するためには、送風式支持手段を取り外して除塵フィルタを交換する等の作業を行わなければならず、異物の除去作業が煩わしいものであった。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、異物の除去作業が容易に行える板状体搬送装置を提供する点にある。

本発明にかかる板状体搬送装置は、板状体の下面に向けて空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段と、板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とを備え、前記送風式支持手段が、板状体の搬送経路の横幅内に位置する箇所に配設されているものであって、その第１特徴構成は、
前記送風式支持手段が、空気供給用の空気供給源と、前記空気供給源からの空気が圧入されるチャンバ空間を形成してこのチャンバ空間から上方に向けて空気を噴出する噴出口を備えたチャンバ部と、前記空気供給源から供給される空気を前記チャンバ空間に案内する状態で前記空気供給源と前記チャンバ部とを連通させる案内通路部と、前記噴出口から板状体の下面に噴出された空気を板状体の下面に沿って流動案内するべく前記チャンバ部に隣接する状態で配置された案内板部とを備えて構成され、前記空気供給源が、平面視において前記チャンバ部における前記噴出口と重複しないように、前記推進力付与手段が前記搬送方向で存在する範囲内で且つ前記チャンバ部に対して前記搬送方向と交差する横幅方向にずらした箇所に配設され、前記空気供給源が、縦軸心周りに回転する電動式の送風ファンと除塵フィルタとを一体的に組み付けて構成されたファンフィルタユニットにて構成されて、上方に向けて空気を供給するように配設されている点にある。

すなわち、空気供給源からの空気は、案内通路部を流動してチャンバ部のチャンバ空間に圧入され、その空気がチャンバ部の噴出口から上方に向けて噴出される。そして、噴出口から上方に向けて噴出された空気は板状体の下面に供給され、この板状体の下面に供給された空気は、案内板部と板状体との間の空間を案内板部の上面及び板状体の下面に沿って流動する。
つまり、チャンバ部が設けられている箇所では、チャンバ部から上方に向けて噴出された空気にて板状体の下面を非接触状態で支持することができ、また、案内板部が設けられている箇所では、その案内板部上に形成された空気の層にて板状体の下面を非接触状態で支持することができるため、チャンバ部が設けられている箇所だけでなく、チャンバ部の周囲の案内板部が設けられている箇所においても板状体を非接触状態で支持できる。
また、空気供給源からの空気は、案内通路部を流動してチャンバ部のチャンバ空間に圧入されるため、空気供給源から供給される空気に脈動が生じたとしても、その脈動をチャンバ空間のクッション作用により吸収されるので、噴出口から噴出される空気の脈動を抑えることができる。

そして、空気供給源が、平面視においてチャンバ部における噴出口と重複しないようにチャンバ部に対して水平方向にずらした箇所に配設されている。よって、破損した板状体の破片等の異物が噴出口からチャンバ空間内に侵入したとしても、その異物が直接空気供給源まで落下しないため、空気供給源に異物が侵入し難くできる。つまり、侵入した異物をチャンバ部に留めておくことができるため、チャンバ空間内の異物を除去するだけでよい等、異物の除去作業が容易に行える。従って、異物の除去作業が容易に行える板状体搬送装置を提供することができるに至った。
また、空気供給源の設置として、電動式の送風ファンと除塵フィルタとを一体的に組み付けたファンフィルタユニットを設置するだけでよいため、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、板状体搬送装置の製作の容易化を図ることができる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記チャンバ部が、前記搬送方向に沿って設けられ、前記案内板部が、前記チャンバ部に対して前記横幅方向の両側に隣接する状態で配置されている点にある。

すなわち、搬送方向に沿って設けられたチャンバ部の噴出口から上方に向けて空気が噴出されて空気が板状体の下面に供給され、その板状体の下面に供給された空気は、チャンバ部に対して横幅方向の両側に隣接する案内板部とその上方に位置する板状体との間の空間を、案内板部の上面及び板状体の下面に沿って横幅方向に沿って流動する。
よって、送風式支持手段による板状体に対する搬送方向での支持力の均一化を図ることができ、搬送方向に沿って板状体を搬送するときの撓みを抑制することができる。

説明を加えると、チャンバ部が設けられている箇所では、チャンバ部から上方に向けて噴出された空気にて板状体の下面が支持するのに対して、案内板部が設けられている箇所では、その案内板部上に形成された空気の層にて板状体の下面を支持するものであるため、チャンバ部が設けられている箇所と案内板部が設けられている箇所とでは、板状体の下面を支持する支持力が異なる。
このような支持力が異なるチャンバ部と案内板部とを搬送方向に並べて配置すると、搬送方向での位置により送風式支持手段による板状体に対する支持力が異なるため、搬送方向に沿って板状体を搬送したときに板状体が上下動し易い。
これに対して、チャンバ部と案内板部とを横幅方向に並べて配置することで、搬送方向での送風式支持手段による板状体に対する支持力が均一化されるため、搬送方向に沿って板状体を搬送したときに板状体が上下動し難く、板状体の撓みを抑制することができる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記送風式支持手段が、前記搬送方向と交差する横幅方向に一対並設され、前記一対の送風式支持手段の間に、前記案内板部上の空気を前記案内板部の下方の空間に排気する排気路が形成されている点にある。

すなわち、横幅方向に並設された一対の送風式支持手段の間に、案内板部上の空気を案内板部の下方の空間に排気する排気路が形成されており、この排気路から空気を排気することで、板状体の中間部の下方に空気が滞留し難くなる。よって、搬送される板状体は、中間部の下方に空気が滞留し難くなることによって、中間部の盛り上がりが抑制された水平姿勢に近い状態で搬送されることとなり、板状体に対する負荷を軽減させることができる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第４特徴構成は、第３特徴構成において、前記推進力付与手段として、板状体における前記横幅方向の一端部を接触支持して板状体に対して搬送方向での推進力を付与する一端側の推進力付与手段と、板状体における前記横幅方向の他端部を接触支持して板状体に対して搬送方向での推進力を付与する他端側の推進力付与手段との一対の推進力付与手段が備えられ、前記一対の送風式支持手段に備えられた案内板部の夫々が、前記横幅方向で前記排気路に近い内方側の案内板部を、前記横幅方向で前記排気路に遠い外方側の案内板部よりも前記横幅方向に幅狭に形成して構成されている点にある。

すなわち、一端側の推進力付与手段にて、板状体における横幅方向の一端部を接触支持し、他端側の推進力付与手段にて、板状体における横幅方向の他端部を接触支持して、一対の推進力付与手段にて、板状体における横幅方向の両端部を接触支持している。よって、一対の推進力付与手段にて板状体の横幅方向の両端部を接触支持することにより板状体を安定した状態で支持し、その支持した板状体の両端部に対して推進力が付与されるので、安定した状態で板状体を搬送方向に沿って搬送することができる。

そして、一対の送風式支持手段に備えられた案内板部の夫々が、内方側の案内板部を外方側の案内板部よりも横幅方向に幅狭に形成して構成されているため、結果的にチャンバ部は排気路側に偏った状態で配置されることとなり、チャンバ部から噴出された空気を板状体における横幅方向の中央近くの下面に供給することができる。よって、一対の送風式支持手段にて板状体の横幅方向の中央近くの下面に空気を供給することによって、一対の推進力付与手段による板状体に対する接触圧の低減を抑えながら、板状体の横幅方向の中間部を板状体の弛みを抑えるように支持することができるため、板状体は安定した姿勢で支持された状態で搬送されることとなり、板状体の搬送を円滑に行うことができる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記チャンバ部が、その下面部又は側面部にメンテナンス用開口が形成され、かつ、このメンテナンス用開口を開閉自在な蓋部材を備えて構成されている点にある。

すなわち、チャンバ部にメンテナンス用開口が形成され、そのメンテナンス用開口を開閉自在な蓋部材を備えて構成されているため、通常時は、蓋部材にてメンテナンス用開口を閉じておき、メンテナンス作業を行うときは、蓋部材を開くことで、メンテナンス用開口からチャンバ空間内に対してメンテナンス作業を行うことができる。
よって、チャンバ部に異物が侵入した場合は、蓋部材を開いてメンテナンス用開口から異物を除去することができ、異物の除去作業を容易に行うことができる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記空気供給源が、上方に向けて空気を供給する供給面を備えて構成され、前記案内通路部が、その一方の端部が前記空気供給源の供給面に接続され、他方の端部が前記チャンバ部の側面部に接続され、かつ、上下方向の通路幅を前記チャンバ部側ほど幅広に形成されている点にある。

すなわち、空気供給源から上方に向けて供給された空気を、案内通路部にてチャンバ部側に案内してチャンバ部のチャンバ空間に圧入させることができる。そして、案内通路部にて案内される空気量は、チャンバ部側どの空気供給源から供給される空気が合流することで多くなるが、案内通路部の上下方向の通路幅がチャンバ部側ほど幅広に形成されており、チャンバ部側ほど徐々に増大する空気をチャンバ部側ほど徐々に幅広になる案内通路部にて案内することで、空気をチャンバ部まで円滑に流動させ易いものとなる。

板状体搬送装置の斜視図 板状体搬送装置の縦断正面図 送風式支持手段の縦断正面図 チャンバ部の縦断正面図 別実施形態の送風式支持手段の縦断正面図

以下、本発明に係る板状体搬送装置を、板状体として矩形状の基板、詳しくは、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板を搬送するように構成した場合について図面に基づいて説明する。
図１に示すように、板状体搬送装置Ｈは、ガラス基板１の下面に向けて清浄空気を供給してガラス基板１を非接触状態で支持する送風式支持手段２と、ガラス基板１の下面を接触支持してガラス基板１に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段３とを備えて構成されている。尚、板状体搬送装置Ｈは、送風式支持手段２及び推進力付与手段３を備えた板状体搬送ユニットＵを搬送方向に複数台並設して構成されている。

推進力付与手段３は、ガラス基板１の下面における搬送方向と直交する横幅方向の端部を接触支持する回転ローラ６を搬送方向に沿って複数並設し、複数の回転ローラ６を複数の電動モータ７にて各別に回転駆動させてガラス基板１に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されている。

また、推進力付与手段３として、ガラス基板１の下面における横幅方向の一端部を接触支持してガラス基板１に対して搬送方向での推進力を付与する一端側の推進力付与手段３と、ガラス基板１の下面における横幅方向の他端部を接触支持してガラス基板１に対して搬送方向での推進力を付与する他端側の推進力付与手段３との一対の推進力付与手段３が備えられている。そして、これら一対の推進力付与手段３にて、ガラス基板１の下面における横幅方向の両端部を下方から接触支持し、且つ、その両端部に対して搬送方向での推進力を付与するようになっている。

図２に示すように、送風式支持手段２は、平面視において、一対の推進力付与手段３の間に配設されている。そして、送風式支持手段２は、ガラス基板１の搬送経路の横幅内に全体が位置する箇所に配設されて、ガラス基板１の下面における横幅方向の中間部に清浄空気を供給してガラス基板１を非接触状態で支持するようになっている。
つまり、図２に示すように、板状体搬送装置Ｈは、ガラス基板１の横幅方向の両端部を推進力付与手段３にて接触支持し、ガラス基板１の横幅方向の中央部を送風式支持手段２にて非接触支持した状態で、推進力付与手段３にてガラス基板１の横幅方向の両端部に対して搬送方向での推進力を付与することで、ガラス基板１を搬送方向に沿って搬送するように構成されている。

〔送風式支持手段〕
次に、送風式支持手段２について説明する。
図３に示すように、送風式支持手段２は、空気供給用の空気供給源１１と、空気供給源１１からの空気が圧入されるチャンバ空間１２を形成してこのチャンバ空間１２から上方に向けて空気を噴出する噴出口１３を備えたチャンバ部１４と、空気供給源１１から供給される空気をチャンバ部１４に案内する案内通路部１５と、噴出口１３からガラス基板１の下面に向けて噴出された空気をガラス基板１の下面に沿って流動案内するべくチャンバ部１４に隣接する状態で配設された案内板部１６とを備えて構成されている。

送風式支持手段２は、空気供給源１１から供給した空気を、案内通路部１５を通って搬送方向に沿って設けられたチャンバ部１４に案内し、チャンバ１４において脈動が抑えられた空気を噴出口１３から上方に向けて噴出するように構成されている。
そして、送風式支持手段２にてガラス基板１を非接触支持している状態では、噴出口１３から上方に向けて噴出された空気はガラス基板１の下面に向けて供給され、このガラス基板１の下面に向けて供給された空気は、案内板部１６とガラス基板１との間の空間を案内板部１６の上面及びガラス基板１の下面に沿って横幅方向に流動する。
このように空気を流動させて案内板部１６とガラス基板１との間に空気の層を形成することで、ガラス基板１の下面に向けて空気を噴出するチャンバ部１４が設けられている箇所においてガラス基板１を非接触状態で支持するだけでなく、その横側方の案内板部１６が設けられている箇所においてもガラス基板１を非接触状態で支持できるようになっている。

送風式支持手段２は、互いに間隔を空けた状態で横幅方向に一対並べて備えられており、一対の送風式支持手段２の間に、案内板部１６上の空気を案内板部１６の下方の空間に排気する排気路１７（中央部の排気路１７ａと称する場合があり、本願の排気路に相当する）が形成されている。また、一対の送風式支持手段２の夫々は、推進力付与手段３に対して互いに間隔を空けた状態で備えられており、送風式支持手段２と推進力付与手段３との間にも案内板部１６上の空気を案内板部１６の下方の空間に排気する排気路１７（端部の排気路１７ｂと称する場合がある）が形成されている。
ちなみに、送風式支持手段２は、連続する状態で搬送方向に並設されており、搬送方向に隣接するチャンバ部１４同士の間や搬送方向に隣接する案内板部１６同士の間には隙間は形成されていない。

次に、送風式支持手段２の各部について説明を加えるが、一対の送風式支持手段２は幅方向に対称に構成されている点以外は同様に構成されているため、横幅方向の一方側に位置する送風式支持手段２について説明し、他方側に位置する送風式支持手段２については説明を省略する。また、送風式支持手段２の各部について説明するにあたり、横幅方向における中央部の排気路１７ａが形成されている側を内方側、横幅方向における端部の排気路１７ｂが形成されている側を外方側と称して説明する場合がある。

〔空気供給源〕
空気供給源１１は、電動式の送風ファン９と除塵フィルタ１０とを一体的に組み付けて構成されたファンフィルタユニットにて構成されており、送風ファン９が縦軸芯周りに回転し、その送風ファン９の上方を覆うように除塵フィルタ１０が配設されている。このように空気供給源１１を配置することで、送風ファン９を回転駆動させることにより空気供給源１１の下方の空気を給気し、その給気した空気を除塵フィルタ１０を通して空気供給源１１の上方に清浄空気として排気して、上方に向けて空気を供給するように配置されている。
ちなみに、空気供給源１１は、平面視で矩形状に形成されており、空気供給源１１の横幅方向での幅は、送風式支持手段２の横幅方向での幅の１／２〜１／３程度であり、空気供給源１１の搬送方向での幅は、送風式支持手段２の搬送方向の幅の１／２程度である。

空気供給源１１は、この空気供給源１１の供給面（上面）に形成された供給口１８が平面視においてチャンバ部１４における噴出口１３と重複しないようにチャンバ部１４に対して横幅方向の外方側にずらした箇所に配設されている。また、空気供給源１１は、横側面視においてチャンバ部１４と重複しないようにチャンバ部１４に対して上下方向の下方側にずらした箇所に配設されている。
このように設けられた空気供給源１１は、その横幅方向の内方側端部の上端が、チャンバ部１４の横幅方向の外方側端部の下端に近接する状態で設けられている。ちなみに、空気供給源１１の内方側端部とチャンバ部１４の外方側端部とは平面視で重複している。

〔案内通路部〕
案内通路部１５は、空気供給源１１の供給口１８とチャンバ部１４の外方側の横側面に形成された導入口１９とを連通する状態で設けられたダクトにて構成されている。
説明を加えると、案内通路部１５の一方の端部は、供給口１８の周囲に位置する空気供給源１１の枠体に接続することで空気供給源１１の供給面に接続され、案内通路部１５の他方の端部は、導入口１９の周囲に位置するチャンバ部１４の側板に接続することでチャンバ部１４の外方側の横側面部１４ａに接続されている。

案内通路部１５の上面部分は、横幅方向の内方側ほど高く位置するように傾斜状に形成されており、搬送方向視での案内通路部１５の形状が三角形状に形成されている。このように形成された案内通路部１５は、搬送方向視での上下方向の通路幅が横幅方向で外方側（チャンバ部１４側）より内方側（空気供給源１１の外方側端部側）ほど幅広に形成されている。つまり、案内通路部１５の通路幅は、空気の通気量が多くなる横幅方向の内方側ほど幅広になるように形成されている。
ちなみに、案内通路部１５の前面部分と後面部分とは、横幅方向に沿う姿勢で鉛直に立設されて互いに平行となるように形成されており、案内通路部１５は、平面視での横幅方向の幅が外方側と内方側とで同じ幅に形成されている。また、案内通路部１５の搬送方向での通路幅は、供給口１８や導入口１９の搬送方向での幅と同じ幅に形成されている。

〔チャンバ部〕
チャンバ部１４は、搬送方向に倒した横倒れ姿勢の四角箱状に形成されて、搬送方向に沿って設けられており、その内部空間にてチャンバ空間１２が形成されている。
チャンバ部１４における上面部１４ｂは、パンチングメタルにて構成されており、このパンチングメタルに形成されている孔にて噴出口１３が形成されている。このように、チャンバ部１４の上部には、上方に向けて空気を噴出する噴出口１３が多数形成されており、チャンバ部１４の上部に、搬送方向に沿って備えられて空気供給源１１から供給された空気を上方に向けて噴出する空気噴出部２０が備えられている。
そして、チャンバ部１４は、案内通路部１５にて案内されてきた空気を、導入口１９からチャンバ空間１２内に導入し、その導入した空気の脈動を抑えた状態で、複数の噴出口１３から上方に向けて噴出するように構成されている。

導入口１９は、チャンバ部１４の下面部１４ｃから設定高さ高い箇所に形成されており、チャンバ部１４の下面部１４ｃと導入口１９との間には段差が形成されている。
下面部１４ｃは、横幅方向の外方側部分の上面が、平坦面に形成され、横幅方向の内方側部分の上面が、外方側ほど上方に位置する傾斜面に形成されている。

そして、チャンバ部１４には、下面部１４ｃから内方側の横側面部１４ａに亘ってメンテナンス用開口２１が形成され、かつ、このメンテナンス用開口２１を開閉自在な蓋部材２２を備えて構成されている。そして、蓋部分２２は、蝶ボルト等にて構成された固定部材にてチャンバ部１４に固定されており、工具を使わずに着脱してメンテナンス用開口２１を開閉できるように構成されている。

つまり、チャンバ部１４は、破損したガラス基板１の破片等の異物が噴出口１３からチャンバ空間１２内に侵入したとしても、その異物をチャンバ部１４の下面部１４ｃ、特に、下面部１４ｃにおける下方に膨出する横幅方向の外方側部分にて受け止めることができる。そして、案内通路部１５がチャンバ部１４の横側面部１４ａに接続されていること、及び、導入口１９と下面部１４ｃとの間に段差が形成されていることから、案内通路部１５に異物が侵入することを防止でき、ひいては、空気供給源１１に異物が侵入することを防止できるように構成されている。そして、チャンバ部１４の下面部１４ｃに受け止められた異物は、蓋部材２２を取り外してメンテナンス用開口２１を開口させることにより、チャンバ空間１２内の異物をメンテナンス用開口２１を通して外部に取り出すことができるように構成されている。

また、チャンバ部１４には、空気供給源１１から供給される空気の供給量が設定量以下になったことを検出する風量検出手段２４が備えられている。
この風量検出手段２４は、搬送方向に沿う軸芯周りに揺動自在に吊り下げ支持された揺動体２５と、投受光器にて構成されている検出体２６とを備えて構成されており、揺動体２５及び検出体２６は、チャンバ部１４における外方側の横側面部１４ａの導入口１９より上方箇所に支持されている。また、揺動体２５は、鉛直姿勢で下端が導入口１９の上端より下方に位置するように設けられており、空気供給源１１が作動して空気供給源１１から空気が供給されると、揺動体２５は鉛直姿勢から内方側に揺動した傾斜姿勢に切り換わるようになっている。

そして、空気供給源１１から適切に空気が供給されている状態では、揺動体２５が設定角度以上に揺動することで、検出体２６は揺動体２５を検出する検出状態となるようになっている。また、除塵フィルタ１０の目詰まり等により空気供給源１１から適切に空気が供給されず、供給される空気の供給量が設定量（例えば、搬送するガラス基板１が下方に撓んで送風式支持手段２に接触する虞のある供給量）以下となった状態では、揺動体２５が設定角度以下しか揺動しないことで、検出体２６は揺動体２５を検出しない非検出状態となるようになっている。

〔案内板部〕
案内板部１６は、チャンバ部１４（空気噴出部２０）からガラス基板１の下面に向けて噴出された空気をガラス基板１の下面に沿って横幅方向に案内するべくチャンバ部１４に対して横幅方向の両側に隣接する状態で一対配置されている。そして、一対の案内板部１６の一方における外方側の端部に突条部２７が備えられ、突条部２７は、搬送されるガラス基板１の下面より下方に位置する高さに案内板部１６の上面から上方に突出し且つ搬送方向に沿って形成されている。

説明を加えると、一対の案内板部１６の夫々は、その上面が搬送されるガラス基板１の下面に沿うように水平姿勢で設けられている。ちなみに、チャンバ部１４は、その上面が搬送されるガラス基板１の下面に沿うように設けられており、一対の案内板部１６とチャンバ部１４とは、夫々の上面が面一となる状態で配置されている。

そして、一対の案内板部１６のうちのチャンバ部１４の外方側に隣接する外方側の案内板部１６ｂは、その横幅方向の外方側の端部が、推進力付与手段３の近傍まで延設されており、チャンバ部１４の内方側に隣接する内方側の案内板部１６ａは、その横幅方向の内方側の端部が、横幅方向に隣接する送風式支持手段２の近傍まで延設されている。

また、内方側の案内板部１６ａは、外方側の案内板部１６ｂより横幅方向に幅狭に形成されている。このように一対の案内板部１６の横幅を形成することにより、チャンバ部１４は、端部の排気路１７ｂよりも中央部の排気路１７ａ側に偏った状態で配置されることとなり、チャンバ部１４から噴出された空気がガラス基板１の中央近くの下面に供給するようになっている。
ちなみに、内方側の案内板部１６ａの横幅方向の幅は、チャンバ部１４の横幅方向の幅の１／３〜１／４程度の幅に形成され、外方側の案内板部１６ｂの横幅方向の幅は、チャンバ部１４の横幅方向の幅の２．５倍程度の幅に形成されている。

そして、突条部２７は、外方側の案内板部１６ｂにおける外方側の端部に、搬送方向に沿って案内板部１６の全幅に亘って備えられている。ちなみに、内方側の案内板部１６ａには突条部２７は備えられていない。
つまり、チャンバ部１４から端部の排気路１７ｂまでの距離は、チャンバ部１４から中央部の排気路１７ａまでの距離より長いため、チャンバ部１４から噴出された空気は内方側に流動し易く、外方側には流動し難いこととなる。しかし、チャンバ部１４から外方側に流動した空気は、突条部２７の存在により端部の排気路１７ｂから排気され難くなるため、チャンバ部１４の外方側においても空気の層を形成し易くなるようになっている。

案内板部１６には、案内板部１６の上面より上方に突出する状態で且つ搬送されるガラス基板１に対して下方に離間する状態で支持体２８が設けられており、送風式支持手段２の故障等により送風式支持手段２の支持力が低下した場合等により下方に撓んだガラス基板１を、支持体２８にて案内板部１６の上面より上方で支持できるように構成されている。
そして、支持体２８は、回転自在な樹脂製のボール体にて構成されており、内方側の案内板部１６ａにおける内方側の端部、外方側の案内板部１６ｂにおける横幅方向の中央部、及び、外方側の案内板部１６ｂにおける内方側の端部の夫々に、搬送方向に沿って設定間隔おきに設置されている。

以上説明した通り、本実施形態では、空気供給源１１は、この空気供給源１１の供給面に形成された供給口１８が平面視においてチャンバ部１４における噴出口１３と重複しないようにチャンバ部１４に対して横幅方向の外方側にずらした箇所に配設されている。よって、破損したガラス基板１の破片等の異物が噴出口１３からチャンバ空間１２内に侵入したとしても、その異物をチャンバ部１４の下面部１４ｃにて受け止めることができ、案内通路部１５に異物が侵入することを防止でき、ひいては、空気供給源１１に異物が侵入することを防止できるように構成されている。

〔別実施形態〕
（１） 上記実施形態では、内方側の案内板部１６ａを外方側の案内板部１６ｂよりも横幅方向に幅狭に形成して構成したが、図５（ａ）に示すように、内方側の案内板部１６ａを外方側の案内板部１６ｂよりも横幅方向に幅広に形成して構成してもよく、また、内方側の案内板部１６ａと外方側の案内板部１６ｂとの横幅方向の幅を同じ幅に形成して構成してもよい。

（２） 上記実施形態では、一対の送風式支持手段２を、互いに間隔を空けた状態で設けて一対の送風式支持手段２の間に排気路１７が形成されるように配置したが、図５（ｂ）に示すように、一対の送風式支持手段２を、密接させた状態で設けて一対の送風式支持手段２の間に排気路１７が形成されないように配置してもよい。
また、送風式支持手段２を、横幅方向に一対並設して構成したが、図５（ｃ）に示すように、送風式支持手段２を、横幅方向に複数並設しなくてもよく、また、送風式支持手段２を、横幅方向に多数並設して構成してもよい。

（３） 上記実施形態では、チャンバ部１４を、その下面部１４ｃ又は側面部１４ａにメンテナンス用開口２１を形成し、且つ、メンテナンス用開口２１を開閉自在な蓋部材２２を備えて構成したが、チャンバ部１４を、その上面部１４ｂにメンテナンス用開口２１を形成し、上面部１４ｂを構成するパンチングメタルを開閉操作に備えて構成してもよい。

（４） 上記実施形態では、案内通路部１５の他方の端部を、チャンバ部１４の側面部に接続したが、案内通路部１５の他方の端部を、チャンバ部１４の下面部に接続してもよい。

（５） 上記実施形態では、推進力付与手段３として、一端側の推進力付与手段３と他端側の推進力付与手段３とを設けたが、推進力付与手段３として、一端側の推進力付与手段３又は他端側の推進力付与手段３のいずれか一方の推進力付与手段３のみを設けてもよく、また、推進力付与手段３として、ガラス基板１における横幅方向の中間部を接触支持して板状体に対して推進力を付与する中央側の推進力付与手段３を設けてもよい。

（６） 上記実施形態では、チャンバ部１４の上面部１４ｂをパンチングメタルにて構成し、パンチングメタルに形成されている孔にて噴出口１３を形成したが、チャンバ部１４の上面部１４ｂの全体を開口させ、その開口にて噴出口１３を形成してもよい。

１ 板状体
２ 送風式支持手段
３ 推進力付与手段
９ 送風ファン
１０ 除塵フィルタ
１１ 空気供給源
１２ チャンバ空間
１３ 噴出口
１４ チャンバ部
１５ 案内通路部
１６ 案内板部
１６ａ 内方側の案内板部
１６ｂ 外方側の案内板部
１７ａ 排気路
２１ メンテナンス用開口
２２ 蓋部材

Claims (6)

1. 板状体の下面に向けて空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段と、
   板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とを備え、
   前記送風式支持手段が、板状体の搬送経路の横幅内に位置する箇所に配設されている板状体搬送装置であって、
   前記送風式支持手段が、
   空気供給用の空気供給源と、
   前記空気供給源からの空気が圧入されるチャンバ空間を形成してこのチャンバ空間から上方に向けて空気を噴出する噴出口を備えたチャンバ部と、
   前記空気供給源から供給される空気を前記チャンバ空間に案内する状態で前記空気供給源と前記チャンバ部とを連通させる案内通路部と、
   前記噴出口から板状体の下面に噴出された空気を板状体の下面に沿って流動案内するべく前記チャンバ部に隣接する状態で配置された案内板部とを備えて構成され、
   前記空気供給源が、平面視において前記チャンバ部における前記噴出口と重複しないように、前記推進力付与手段が前記搬送方向で存在する範囲内で且つ前記チャンバ部に対して前記搬送方向と交差する横幅方向にずらした箇所に配設され、
   前記空気供給源が、縦軸心周りに回転する電動式の送風ファンと除塵フィルタとを一体的に組み付けて構成されたファンフィルタユニットにて構成されて、上方に向けて空気を供給するように配設されている板状体搬送装置。
2. 前記チャンバ部が、前記搬送方向に沿って設けられ、
   前記案内板部が、前記チャンバ部に対して前記横幅方向の両側に隣接する状態で配置されている請求項１記載の板状体搬送装置。
3. 前記送風式支持手段が、前記搬送方向と交差する横幅方向に一対並設され、
   前記一対の送風式支持手段の間に、前記案内板部上の空気を前記案内板部の下方の空間に排気する排気路が形成されている請求項２記載の板状体搬送装置。
4. 前記推進力付与手段として、板状体における前記横幅方向の一端部を接触支持して板状体に対して搬送方向での推進力を付与する一端側の推進力付与手段と、板状体における前記横幅方向の他端部を接触支持して板状体に対して搬送方向での推進力を付与する他端側の推進力付与手段との一対の推進力付与手段が備えられ、
   前記一対の送風式支持手段に備えられた案内板部の夫々が、前記横幅方向で前記排気路に近い内方側の案内板部を、前記横幅方向で前記排気路から遠い外方側の案内板部よりも前記横幅方向に幅狭に形成して構成されている請求項３記載の板状体搬送装置。
5. 前記チャンバ部が、その下面部又は側面部にメンテナンス用開口が形成され、かつ、このメンテナンス用開口を開閉自在な蓋部材を備えて構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
6. 前記空気供給源が、上方に向けて空気を供給するように配置され、
   前記案内通路部が、その一方の端部が前記空気供給源の上面部に接続され、他方の端部が前記チャンバ部の側面部に接続され、かつ、上下方向の通路幅を前記チャンバ部側ほど幅広に形成されている請求項１〜５の何れか１項記載の板状体搬送装置。

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