TWI510422B - 板狀體搬送裝置 - Google Patents

Description

板狀體搬送裝置 發明領域

本發明係有關於一種板狀體搬送裝置，其具有：向板狀體之下面供給空氣而以非接觸狀態支持板狀體的送風式支持機構、及對於板狀體賦予搬送方向上之推進力的推進力賦予機構，且前述送風式支持機構係配設於位在板狀體搬送路徑橫幅內之處。

背景技術

上述板狀體搬送裝置係以送風式支持機構向板狀體之下面供給空氣而以非接觸狀態支持板狀體，對於板狀體以推進力賦予機構賦予搬送方向上之推進力，沿著搬送方向搬送板狀體者。而且，將送風式支持機構配設於位在板狀體搬送路徑之橫幅內之處，使板狀體搬送裝置可在橫幅方向上精緻化者。

並且，在如上述之板狀體搬送裝置中，迄今係設置作為送風式支持機構之風扇過濾單元，並在風扇過濾單元上方，以與風扇過濾單元重疊於上下方向的狀態設置腔室部(例如，參照專利文獻1)。

先行技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本公開公報特開2005-029359號公報

在上述習知之板狀體搬送裝置中，當所搬送之板狀體有破損時，該破損之板狀體破片或成為異物落下至腔室部上，有時異物可能會從腔室部之噴出口侵入至腔室空間內。並且，該侵入至腔室部之異物會直接落下至下方而甚至侵入至送風式支持機構。當異物侵入至送風式支持機構，則為了除去該異物，必須拆卸送風式支持機構來除去異物，而除去異物作業極為繁複。特別是以風扇過濾單元構成送風式支持機構時，異物會侵入至風扇過濾單元的除塵濾器，因此為了除去破片，必須進行拆卸送風式支持機構並交換除塵濾器等作業，使除去異物作業更為繁瑣。

本發明係有鑑於上述實情而做成者，目的在於提供一種容易進行異物除去作業的板狀體搬送裝置。

本發明之板狀體搬送裝置，係具有：送風式支持機構，係向板狀體之下面供給空氣，以非接觸狀態支持板狀體者；及推進力賦予機構，係對於板狀體賦予搬送方向上之推進力者，且前述送風式支持機構配設於位在板狀體搬送路徑之橫幅內之處者，前述送風式支持機構係構成為具備有：空氣供給用之空氣供給源；腔室部，係形成壓入來自於前述空氣供給源之空氣的腔室空間，並具備從該腔室空間向上方噴出空氣的噴出口者；引導通路部，係以將前述空氣供給源所供給之空氣引導至前述腔室空間的狀態下，使前述空氣供給源與前述腔室部連通者；及引導板部，係以鄰接於前述腔室部的狀態下配置成將從前述噴出口噴出至板狀體之下面的空氣沿著板狀體之下面進行引導者，且前述空氣供給源係以平面視角看來，與前述腔室部中之前述噴出口不重疊地配設在相對於前述腔室部於水平方向錯開處。

亦即，來自於空氣供給源的空氣會流動於引導通路部而被壓入腔室部的腔室空間，該空氣會從腔室部之噴出口向上方噴出。然後，從噴出口向上方噴出的空氣會被供給至板狀體的下面，被供給至板狀體下面的空氣會在引導板部與板狀體之間的空間沿著引導板部之上面及板狀體之下面流動。

也就是說，在設有腔室部處，可藉由從腔室部向上方噴出的空氣以非接觸狀態支持板狀體的下面，又，在設有引導板部處，可藉由形成於該引導板部上之空氣層以非接觸狀態支持板狀體的下面，因此，不僅是在設有腔室部處，連腔室部周圍設有引導板部處，亦可以非接觸狀態支持板狀體。

又，由於來自於空氣供給源的空氣係流動於引導通路部而被壓入腔室部的腔室空間，故即使空氣供給源所供給之空氣產生規律振動(pulsation)，其規律振動也會被腔室空間的緩衝作用(cushioning)吸收，因此可抑制從噴出口噴出之空氣的規律振動。

並且，空氣供給源係以平面視角看來，與腔室部中之 噴出口不重疊地配設在相對於腔室部於水平方向錯開處。因此，即使破損的板狀體破片等異物從噴出口侵入腔室空間內，該異物也不會直接落下至空氣供給源，故可使異物較難入侵空氣供給源。亦即，由於可將侵入之異物停留在腔室部，因此僅除去腔室空間內之異物即可，可易於進行異物除去作業。所以，可提供一種易於進行異物除去作業的板狀物搬送裝置。

本發明之板狀體搬送裝置的實施形態中，前述腔室部宜設置成沿著前述搬送方向延伸，前述引導板部宜以對於前述腔室部於與前述搬送方向交叉之橫幅方向兩側鄰接的狀態配置，前述空氣供給源宜配設在相對於前述腔室部於前述橫幅方向錯開處。

亦即，從沿著搬送方向設置之腔室部的噴出口向上方噴出空氣而將空氣供給至板狀體的下面，該供給至板狀體下面的空氣會在對於腔室部於橫幅方向兩側鄰接的引導板部與位於其上方的板狀體之間的空間，沿著引導板部的上面及板狀體的下面沿著橫幅方向流動。

因此，可達成送風式支持機構對於板狀體在搬送方向上之支持力均一化，而可抑制沿著搬送方向搬送板狀體時之板狀體撓曲(deflection)。

附加說明如下，相對於在設有腔室部處，以從腔室部向上方噴出之空氣支持板狀體的下面，在設有引導板部處，係以形成於該引導板部上之空氣層支持板狀體的下面，故在設有腔室部處與設有引導板部處，支持板狀體之下面的支持力不同。

當於搬送方向排列配置如上述般支持力不同的腔室部與引導板部時，因在搬送方向上的位置所致，會使得送風式支持機構對板狀體的支持力不同，因此沿著搬送方向搬送板狀體時，板狀體會容易上下移動。

相對於此，藉由將腔室部與引導板部排列配置於橫幅方向，搬送方向上之送風式支持機構對於板狀體的支持力會均一化，故沿著搬送方向搬送板狀體時，板狀體不易上下移動，可抑制板狀體的撓曲。

本發明之板狀體搬送裝置的實施形態中，前述送風式支持機構宜於與前述搬送方向交叉之橫幅方向並列設有一對，在前述一對之送風式支持機構之間，宜形成有將前述引導板部上之空氣排至前述引導板部下方之空間的排氣路徑。

亦即，在橫幅方向並列設有一對之送風式支持機構之間，形成有將引導板部上之空氣排至引導板部下方之空間的排氣路徑，藉由從該排氣路徑排出空氣，空氣會不易滯留於板狀體中間部的下方。因此，所搬送之板狀體由於在中間部的下方不易滯留空氣，可抑制中間部的隆起，以接近水平姿態的狀態進行搬送，而可減輕對板狀體的負荷。

本發明之板狀體搬送裝置的實施形態中，宜具備一端側之推進力賦予機構、及另一端側之推進力賦予機構的一對推進力賦予機構，作為前述推進力賦予機構，前述一端側之推進力賦予機構係接觸支持板狀體中之前述橫幅方向的一端部且對於板狀體賦予搬送方向上之推進力者，前述另一端側之推進力賦予機構係接觸支持板狀體中之前述橫幅方向的另一端部且對於板狀體賦予搬送方向上之推進力者，前述一對送風式支持機構所具備之各引導板部宜分別構成為：將在前述橫幅方向上靠近前述排氣路徑之內方側引導板部形成為比起在前述橫幅方向上遠離前述排氣路徑之外方側引導板部，在前述橫幅方向上寬度較窄。

亦即，以一端側之推進力賦予機構接觸支持板狀體中之橫幅方向之一端部，以另一端側之推進力賦予機構接觸支持板狀體中之橫幅方向之另一端部，以一對推進力賦予機構接觸支持板狀體中之橫幅方向之兩端部。因此，藉由以一對推進力賦予機構接觸支持板狀體之橫幅方向之兩端部，而以安定的狀態支持板狀體，對於所支持之板狀體兩端部賦予推進力，故可以安定的狀態沿著搬送方向搬送板狀體。

而且，由於一對送風式支持機構所具備之各引導板部分別構成為：將內方側之引導板部形成為比起外方側之引導板部，在前述橫幅方向上寬度較窄，因此以結果而言，腔室部會配置成較靠近排氣路側的狀態，而可將腔室部所噴出之空氣供給至板狀體之橫幅方向之中央附近的下面。所以，藉由以一對送風式支持機構將空氣供給至板狀體之橫幅方向之中央附近的下面，可一面抑制一對推進力賦予機構對板狀體之接觸壓降低、一面可抑制板狀體的彎弛地支持板狀體之橫幅方向的中間部，故可以安定的姿勢支持板狀體的狀態來進行搬送，而可順暢地進行板狀體的搬送。

本發明之板狀體搬送裝置的實施形態中，前述腔室部宜於其下面部或側面部形成維修用開口，並且，宜具備開閉自如之蓋構件來構成該維修用開口。

亦即，由於在腔室部形成維修用開口，並且，具備開閉自如之蓋構件來構成該維修用開口，故平常可藉由蓋構件關閉維修用開口，而在進行維修作業時，藉由開啟蓋構件，可從維修用開口對於腔室空間內進行維修作業。

因此，當異物侵入腔室部時，可開啟蓋構件從維修用開口除去異物，而可輕易地進行異物除去作業。

本發明之板狀體搬送裝置的實施形態中，前述空氣供給源宜構成為具備向上方供給空氣之供給面，而前述引導通路部其一方之端部宜連接於前述空氣供給源之供給面，另一方之端部宜連接於前述腔室部的側面部，並且，宜將上下方向之通路寬度形成為越靠近前述腔室部側越寬。

亦即，可使從空氣供給源向上方所供給的空氣，以引導通路部引導至腔室部側，而壓入腔室部的腔室空間。而且，雖然以引導通路部所引導的空氣量越靠近腔室部側，由空氣供給源所供給之空氣就會合流而越多，但藉由將引導通路部上下方向的通路寬度形成為越靠近腔室部側越寬，以越靠近腔室部側越慢慢變寬的引導通路部引導越靠近腔室部側越慢慢增大的空氣，可使空氣易於平順地流動至腔室部。

本發明之板狀體搬送裝置的實施形態中，前述空氣供 給源宜由一體地組裝電動式送風扇與除塵濾器而構成的風扇過濾單元所構成。

亦即，空氣供給源的設置可僅設置由一體地組裝電動式送風扇與除塵濾器而構成的風扇過濾單元，故送風式支持機構的設置極為簡單，因此可達到板狀體搬送裝置的製程簡單化。

又，本發明之板狀體搬送裝置的實施形態中，前述空氣供給源宜以橫側面視角看來，與前述腔室部不重疊地配設在相對於前述腔室部錯開至上下方向之下方側之處。

此外，本發明之板狀體搬送裝置的實施形態中，宜在前述引導板部之外方側端部具備有突條部，前述突條部宜形成為在較所搬送之板狀體之下面位於下方的高度，從前述引導板部之上面向上方突出，且沿著搬送方向連續地延伸成直線狀。

圖式簡單說明

第1圖係板狀體搬送裝置的立體圖。

第2圖係板狀體搬送裝置的縱截正面圖。

第3圖係送風式支持機構的縱截正面圖。

第4圖係腔室部的縱截正面圖。

第5(a)~(c)圖係其他實施形態之送風式支持機構的縱截正面圖。

用以實施發明之較佳形態

以下，根據圖示，說明將本發明之板狀體搬送裝置構成為搬送作為板狀體之矩形基板(更詳細而言，係平板顯示器(flat-panel display)用之玻璃基板)的情形。

如第1圖所示，板狀體搬送裝置H係構成為具備有：送風式支持機構2，係向玻璃基板1之下面供給清淨空氣而以非接觸狀態支持玻璃基板1者；及推進力賦予機構3，係接觸支持玻璃基板1之下面而對玻璃基板1賦予搬送方向上的推進力者。另外，板狀體搬送裝置H係於搬送方向並列設置複數台具有送風式支持機構2及推進力賦予機構3之板狀體搬送單元U而構成。

推進力賦予機構3係構成為：沿著搬送方向並列設置複數之旋轉輥6，以分別對應各旋轉輥6之電動馬達7各別旋轉驅動各旋轉輥6，對於玻璃基板1賦予搬送方向上之推進力，而前述旋轉輥6係接觸支持在玻璃基板1之下面中與搬送方向直交之橫幅方向的端部者。也可藉由一個電動馬達透過齒輪機構使複數之旋轉輥旋轉驅動，來代替上述構成。

又，推進力賦予機構3具有如下述之一對推進力賦予機構3：一端側之推進力賦予機構3，接觸支持玻璃基板1下面中之橫幅方向的一端部而對於玻璃基板1賦予搬送方向上之推進力；另一端側之推進力賦予機構3，接觸支持玻璃基板1下面中之橫幅方向的另一端部而對於玻璃基板1賦予搬送方向上之推進力。而且，以該等一對推進力賦予機構3，從下方接觸支持玻璃基板1下面中之橫幅方向的兩端部，並且對於該等兩端部賦予搬送方向上之推進力。

如第2或3圖所示，從平面視角看來，送風式支持機構2係配設於一對推進力賦予機構3之間。而且，送風式支持機構2係配設於玻璃基板1搬送路徑之橫幅內全體所在之處，並對於玻璃基板1下面之橫幅方向的中間部供給清淨空氣，以非接觸狀態支持玻璃基板1。

亦即，如第2或3圖所示，板狀體搬送裝置H構成為：以推進力賦予機構3接觸支持玻璃基板1之橫幅方向的兩端部，以送風式支持機構2非接觸支持玻璃基板1之橫幅方向中央部的狀態，以推進力賦予機構3對於玻璃基板1之橫幅方向的兩端部賦予搬送方向上的推進力，藉此，沿著搬送方向搬送玻璃基板1。

[送風式支持機構]

接著，說明送風式支持機構2。

如第3圖所示，送風式支持機構2係構成為具備空氣供給用的空氣供給源11、腔室部14、引導通路部15、及引導板部16。腔室部14形成有壓入來自於空氣供給源11之空氣的腔室空間12，且腔室部14具有從該腔室空間12向上方噴出空氣的噴出口13。引導通路部15將空氣供給源11所供給之空氣引導至腔室部14。引導板部16係以鄰接於腔室部14之狀態配設成可引導從噴出口13向玻璃基板1下面噴出之空氣沿著玻璃基板1之下面流動。在此，使用「壓入」此表現是根據以下意思：由空氣供給源11導入腔室空間12內之空氣壓力高於腔室部14外部地被導入。由於該壓力，空氣會從噴出口13被噴出。

送風式支持機構2係構成為：將由空氣供給源11所供給之空氣，通過引導通路部15引導至沿著搬送方向設置的腔室部14，在腔室部14使規律振動被抑制住之空氣從噴出口13向上方噴出。

並且，在以送風式支持機構2非接觸地支持玻璃基板1的狀態下，從噴出口13向上方噴出的空氣朝著玻璃基板1的下面被供給，朝著該玻璃基板1之下面而被供給的空氣沿著引導板部16之上面及玻璃基板1之下面依橫幅方向流動於引導板部16與玻璃基板1之間的空間。

藉由如上述般使空氣流動而在引導板部16與玻璃基板1之間形成空氣層，不僅可在設有向玻璃基板1下面噴出空氣之腔室部14處以非接觸狀態支持玻璃基板1，在設有其橫側方之引導板部16處也可以非接觸狀態支持玻璃基板1。

送風式支持機構2係以彼此空出間隔的狀態於橫幅方向排列成一對，在一對送風式支持機構2之間，形成有將引導板部16上之空氣排至引導板部16下方空間的排氣路徑17(有時也稱為中央部之排氣路徑17a，相當於本發明之排氣路徑)。又，一對送風式支持機構2分別係以相對於推進力賦予機構3互相隔開間隔之狀態而設置，在送風式支持機構2與推進力賦予機構3之間也形成有將引導板部16上之空氣排至引導板部16下方空間的排氣路徑17(有時稱為端部的排氣路徑17b)。

附帶一提，送風式支持機構2係以連續之狀態並列設置於搬送方向，在搬送方向上相鄰接之腔室部4之間或於搬送方向上相鄰接之引導板部16之間不形成隙縫。

接著，對於送風式支持機構2之各部位進行說明，由於一對送風式支持機構2除了在寬度方向之中央位置相對於沿著搬送方向延伸的假想線構成為對稱之外，皆為相同構成，故說明位於橫幅方向之一方側的送風式支持機構2，省略說明位於另一方側之送風式支持機構2。又，說明送風式支持機構2之各部份時，有時將形成有橫幅方向上中央部之排氣路徑17a側稱為內方側，形成有橫幅方向上端部之排氣路徑17b側稱為外方側而進行說明。

[空氣供給源]

空氣供給源11係以一體地安裝電動式送風扇9與除塵濾器10而構成的風扇過濾單元所構成，送風扇9係繞著縱軸芯旋轉，覆蓋該送風扇9上方地配設有除塵濾器10。藉由如上述般配置空氣供給源11，配置成藉由旋轉驅動送風扇9而供給空氣供給源11之下方空氣，該所供給之空氣通過除塵濾器10作為清淨空氣排至空氣供給源11上方，而朝上方供給空氣。

附帶一提，空氣供給源11係從平面視角看來形成為矩形，空氣供給源11在橫幅方向上的寬度為送風式支持機構2在橫幅方向上寬度的1/2～1/3左右，空氣供給源11在搬送方向上的寬度為送風式支持機構2在搬送方向上寬度的1/2左右。

空氣供給源11係使形成於該空氣供給源11之供給面(上面)的供給口18從平面視角看來不與腔室部14之噴出口13重複地配設在相對於腔室部14往橫幅方向之外方側錯開之處。又，空氣供給源11係從橫側面視角看來不與腔室部14重疊地配設在相對於腔室部14錯開至上下方向之下方側之處。

如上所設之空氣供給源11其橫幅方向之內方側端部上端係設置成接近腔室部14之橫幅方向之外方側端部下端的狀態。附帶一提，空氣供給源11之內方側端部與腔室部14之外方側端部在平面視角看來為重疊。

〔引導通路部〕

引導通路部15係以設置成連通空氣供給源11之供給口18與形成在腔室部14之外方側橫側面之導入口19的狀態的導管來構成。

說明如下，引導通路部15之一方端部係藉由連接位於供給口18周圍之空氣供給源11框體而連接於空氣供給源11之供給面，引導通路部15之另一方端部係藉由連接位在導入口19周圍之腔室部14側板而連接於腔室部14外方側之橫側面部14a。

引導通路部15的上面部分係形成為越靠近橫幅方向之內方側位置越高的傾斜狀，從搬送方向看來之引導通路部15的形狀形成為三角形。如上述所形成之引導通路部15形成為從搬送方向看來之上下方向通路寬度在橫幅方向上從外方側(空氣供給源11之外方側端部側)越往內方側(腔室部14側)寬度越寬。亦即，引導通路部15之通路寬度係形成為空氣之通氣量越多之橫幅方向內方側為越寬。

附帶一提，引導通路部15在搬送方向中配置於前端的 前面部分與配置於後端之後面部分係指以沿著橫幅方向的方式鉛直地直立設置而互相平行地形成，引導通路部15在平面視角看來之橫幅方向寬度在外方側與內方側形成為相同寬度。又，引導通路部15在搬送方向上的通路寬度形成為供給口18或導入口19在搬送方向上的寬度為相同寬度。

〔腔室部〕

如第4圖所示，腔室部14形成為倒向搬送方向之橫倒式四角箱形，沿著搬送方向而設置，以其內部空間形成腔室空間12。亦即，形成腔室部14內部空間之上面部14b、一對橫側面部14a與下面部14c係延伸於搬送方向。

腔室部14之上面部14b係以沖孔金屬所構成，以形成於該沖孔金屬之孔形成噴出口13。如此一來，在腔室部14的上部，形成有多數向上方噴出空氣的噴出口13，在腔室部14的上部，具有由複數噴出口13所構成之空氣噴出部20，係沿著搬送方向而具備並用於將空氣供給源11所供給之空氣向上方噴出者。

腔室部14之搬送方向上的配置在前端之前面部分與配置於後端之後面部分係形成為以沿著橫幅方向之狀態鉛直地直立設置而互相平行。

並且，腔室部14係構造成將由引導通路部15所引導來的空氣從導入口19導入腔室空間12內，在抑制所導入之空氣之規律振動的狀態下，從複數噴出口13向上方噴出。

導入口19形成於距離腔室部14之下面部14c高為設定高度處，且在腔室部14之下面部14c與導入口19之間形成段差。

下面部14c在橫幅方向之外方側部分的上表面形成為平坦面，而在橫幅方向之內方側部分的上表面形成為越外方側越位於上方的傾斜面。

並且，在腔室部14從下面部14c至內方側之橫側面部14a形成有維修用開口21，並且，具備可自由開閉該維修用開口21之蓋構件22。而且，蓋構件22以蝶形螺栓等所構成之固定構件固定於腔室部14，並構成為不使用工具即可裝卸而可開閉維修用開口21。

亦即，腔室部14即使有破損的玻璃基板1碎片等異物從噴出口13侵入腔室空間12內，也可以腔室部14之下面部14c、特別是下面部14c之向下方膨出的橫幅方向上外方側部分接住該異物。並且，由於引導通路部15連接於腔室部14之橫側面部14a、以及在導入口19與下面部14c之間形成有段差，因此可防止異物侵入引導通路部15，藉此，構成為可防止異物侵入空氣供給源11。並且，構成為被腔室部14之下面部14c接住的異物藉由取下蓋構件22而打開維修用開口21，可透過維修用開口21將腔室空間12內的異物取出至外部。

又，在腔室部14具有風量檢測機構24，可檢測出由空氣供給源11所供給之空氣供給量已變成設定量以下。

該風量檢測機構24構成為具備有繞著沿著搬送方向之軸心自由搖動地垂吊支持的搖動體25、及以投光器與受光器構成的檢測體26，搖動體25及檢測體26較腔室部14中之外方側橫側面部14a的導入口19被支持於上方處。又，搖動體25係以鉛直狀態設置成下端較導入口19之上端位於下方，當空氣供給源11動作而從空氣供給源11供給空氣時，搖動體25會從鉛直狀態切換成往內方側搖動的傾斜狀態。

而且，在從空氣供給源11適當地供給空氣的狀態下，搖動體25會搖動設定角度以上，檢測體26會呈檢測搖動體25的檢測狀態。又，在因為除塵濾器10塞住等原因，空氣供給源11無法適當地供給空氣，所供給之空氣供給量呈預定量(例如，所搬送之玻璃基板1朝下方彎曲，有接觸到送風式支持機構2之虞的供給量)以下的狀態時，搖動體25僅會搖動設定角度以下的角度，檢測體26會呈未檢測出搖動體25的非檢測狀態。

[引導板部]

如第2或3圖所示，引導板部16係以相對於腔室部14於橫幅方向的兩側鄰接的狀態配置有一對，以將從腔室部14(空氣噴出部20)向玻璃基板1下面噴出的空氣沿著玻璃基板1的下面引導至橫幅方向。並且，在一對引導板部16之一方中的外方側端部具有突條部27，突條部27係形成為在位於較所搬送之玻璃基板1下面為下方的高度，從引導板部16之上面突出於上方且沿著搬送方向連續地延伸成直線狀。

附加說明如下，一對引導板部16分別以水平狀態設置成其上面沿著所搬送之玻璃基板1的下面。附帶一提，腔室部14係設置成其上面沿著所搬送之玻璃基板1的下面，一對引導板部16與腔室部14係配置成各上面呈一平面的狀態。

並且，一對引導板部16中之鄰接於腔室部14外方側的外方側引導板部16b，其橫幅方向之外方側端部延伸設置至推進力賦予機構3的附近，鄰接於腔室部14內方側的內方側引導板部16a，其橫幅方向之內方側端部延伸設置至板狀體搬送裝置H的橫幅方向中央部的附近。

又，內方側引導板部16a較外方側引導板部16b形成為在橫幅方向上為寬度較窄。藉由如上述般形成一對引導板部16之橫幅，腔室部14會配置成較端部排氣路徑17b更偏向中央部排氣路徑17a側的狀態，從腔室部14噴出之空氣會供給至玻璃基板1中央附近的下面。

附帶一提，內方側引導板部16a之橫幅方向的寬度形成為腔室部14橫幅方向寬度的1/3~1/4左右，外方側引導板部16b之橫幅方向的寬度形成為腔室部14橫幅方向寬度的2.5倍左右。

而且，突條部27係於外方側引導板部16b中之外方側端部，沿著搬送方向包含引導板部16全幅而具備。附帶一提，在內方側引導板部16a不具備突條部27。

亦即，從腔室部14至端部排氣路徑17b為止的距離由於較從腔室部14至中央部排氣路徑17a為止的距離長，故從腔室部14噴出之空氣易於流動至內方側，而難以流動至外方側。但是，由於從腔室部14流動至外方側的空氣藉由突條部27的存在而難以從端部排氣路徑17b排氣，故即使在腔室部14的外方側也容易形成空氣層。

在引導板部16，以從引導板部16上面向上方突出的狀 態、且相對於所搬送之玻璃基板1於下方分離的狀態設有支持體28，構成為當因為送風式支持機構2故障等緣故，送風式支持機構2的支持力變弱等情形而向下方彎曲的玻璃基板1，可藉由支持體28支持於較引導板部16之上面還上方。

並且，支持體28係以可自由旋轉之樹脂製球體所構成，分別沿著搬送方向隔著設定間隔而分別設置於內方側引導板部16a中之內方側的端部、外方側引導板部16b中之橫幅方向的中央部、及外方側引導板部16b中之內方側的端部。

如以上說明，本實施形態中，空氣供給源11係形成於該空氣供給源11之供給面的供給口18從平面視角看來，不與腔室部14中之噴出口13重疊地相對於腔室部14於橫幅方向之外方側錯開而配設。因此，即使破損的玻璃基板1之破片等異物從噴出口13侵入腔室空間12內，該異物也可由腔室部14之下面部14c接住，可防止異物侵入引導通路部15，藉此，構成為可防止異物侵入空氣供給源11。

〔其他實施形態〕

(1)在上述實施形態中，係將內方側引導板部16a形成為較外方側引導板部16b在橫幅方向上的寬度較窄，但亦可如第5(a)圖所示，將內方側引導板部16a形成為較外方側引導板部16b在橫幅方向上的寬度為寬，又，亦可將內方側引導板部16a與外方側引導板部16b在橫幅方向上的寬度形成為同樣寬度。

(2)在上述實施形態中，係將一對送風式支持機構2以彼此隔著間隔的狀態設置並配置成在一對送風式支持機構2之間形成有排氣路徑17，但亦可如第5(b)圖所示，將一對送風式支持機構2以密接的狀態設置並配置成在一對送風式支持機構2之間不形成有排氣路徑17。

又，雖將送風式支持機構2構成為於橫幅方向並列設置一對，但亦可如第5(c)圖所示，將送風式支持機構2於橫幅方向上不並列設置複數個，又，也可將送風式支持機構2於橫幅方向並列設置多數個。

(3)在上述實施形態中，係將腔室部14構成為在該下面部14c或橫側面14a形成維修用開口21，且使維修用開口21具備可自由開閉之蓋構件22，但亦可將腔室部14構成為在其上面部14b形成維修用開口21，而開閉操作構成上面部14b的沖孔金屬。

(4)在上述實施形態中，係將空氣供給源11配置成向上方供給空氣，將引導通路部15其一方之端部連接於空氣供給源11的上面部，但亦可將空氣供給源11配置成向橫幅方向之內方側供給空氣，將引導通路部15其一方之端部連接於空氣供給源11的內方側橫側面部。

又，在上述實施形態中，係將引導通路部15另一方之端部連接於腔室部14的側面部，但亦可將引導通路部15另一方之端部連接於腔室部14的下面部。

(5)在上述實施形態中，係將腔室部14沿著搬送方向設置，將引導板部16以相對於腔室部14於橫幅方向兩側鄰接的狀態配設，將空氣供給源11配設於相對於腔室部14在橫幅方向上錯開處，但亦可將腔室部14沿著橫幅方向設置，將引導板部16以相對於腔室部14於搬送方向兩側鄰接的狀態配設，將空氣供給源11配設於相對於腔室部14在搬送方向上錯開處。

(6)在上述實施形態中，係以風扇過濾單元構成空氣供給源11，但亦可以壓縮機等構成空氣供給源11。

(7)在上述實施形態中，係設置一端側之推進力賦予機構3與另一端側之推進力賦予機構3作為推進力賦予機構3，但亦可僅設置一端側之推進力賦予機構3或另一端側之推進力賦予機構3中任一方之推進力賦予機構3作為推進力賦予機構3，又，也可設置接觸支持玻璃基板1中之橫幅方向中間部、對於板狀體賦予推進力之中央側推進力賦予機構3，來作為推進力賦予機構3。

(8)在上述實施形態中，係以沖孔金屬構成腔室部14之上面部14b，以形成於沖孔金屬之孔形成噴出口13，但也可使腔室部14之上面部14b全體開口，以該開口形成噴出口13。

1‧‧‧玻璃基板

2‧‧‧送風式支持機構

3‧‧‧推進力賦予機構

4‧‧‧空氣層

6‧‧‧旋轉輥

7‧‧‧電動馬達

9‧‧‧送風扇

10‧‧‧除塵濾器

11‧‧‧空氣供給源

12‧‧‧腔室空間

13‧‧‧噴出口

14‧‧‧腔室部

14a‧‧‧橫側面部

14b‧‧‧上面部

14c‧‧‧下面部

15‧‧‧引導通路部

16‧‧‧引導板部

16a‧‧‧內方側引導板部

16b‧‧‧外方側引導板部

17‧‧‧排氣路徑

17a‧‧‧中央部排氣路徑

17b‧‧‧端部排氣路徑

18‧‧‧供給口

19‧‧‧導入口

20‧‧‧空氣噴出部

21‧‧‧維修用開口

22‧‧‧蓋構件

24‧‧‧風量檢測機構

25‧‧‧搖動體

26‧‧‧檢測體

27‧‧‧突條部

28‧‧‧支持體

H‧‧‧板狀體搬送裝置

U‧‧‧板狀體搬送單元

第1圖係板狀體搬送裝置的立體圖。

第2圖係板狀體搬送裝置的縱截正面圖。

第3圖係送風式支持機構的縱截正面圖。

第4圖係腔室部的縱截正面圖。

第5(a)～(c)圖係其他實施形態之送風式支持機構的縱截正面圖。

1‧‧‧玻璃基板

3‧‧‧推進力賦予機構

6‧‧‧旋轉輥

7‧‧‧電動馬達

9‧‧‧送風扇

10‧‧‧除塵濾器

11‧‧‧空氣供給源

12‧‧‧腔室空間

13‧‧‧噴出口

14‧‧‧腔室部

15‧‧‧引導通路部

16‧‧‧引導板部

16a‧‧‧內方側引導板部

16b‧‧‧外方側引導板部

17‧‧‧排氣路徑

17a‧‧‧中央部排氣路徑

17b‧‧‧端部排氣路徑

18‧‧‧供給口

19‧‧‧導入口

20‧‧‧空氣噴出部

24‧‧‧風量檢測機構

27‧‧‧突條部

28‧‧‧支持體

Claims (10)

1. 一種板狀體搬送裝置，係具有：送風式支持機構，係配設於位在板狀體搬送路徑之橫幅內之處，向板狀體之下面供給空氣，以非接觸狀態支持板狀體者；及推進力賦予機構，係對板狀體賦予搬送方向上之推進力者，且具有以下特徵：前述送風式支持機構係具備下列元件而構成者：空氣供給用之空氣供給源；腔室部，係形成有源自於前述空氣供給源空氣係被壓入其中的腔室空間，並具備從該腔室空間朝向上方噴出空氣的噴出口；引導通路部，係以將前述空氣供給源所供給之空氣引導至前述腔室空間的狀態下，使前述空氣供給源與前述腔室部連通；及引導板部，係以鄰接於前述腔室部的狀態下配置成將從前述噴出口噴出至板狀體之下面的空氣沿著板狀體之下面進行引導者，且前述空氣供給源配設於在前述搬送方向呈交叉之橫幅方向上相對於前述腔室部呈錯開處，俾使其以平面視角看來是與前述腔室部中之前述噴出口不重疊，前述空氣供給源係由風扇過濾單元所構成，該風扇過濾單元是一體地組裝電動式送風扇與除塵濾器而構 成，該空氣供給源係被配置成：藉由前述送風扇係繞著縱軸芯旋轉且前述除塵濾器以覆蓋前述送風扇之上方的方式，使得該空氣供給源之下方空氣作供氣並將該供氣之空氣通過前述除塵濾器，作為清淨空氣，排氣至前述空氣供給源之上方，並朝向上方供給空氣。
2. 如申請專利範圍第1項之板狀體搬送裝置，其中前述腔室部係設置成沿著前述搬送方向延伸，前述引導板部係以對於前述腔室部於與前述搬送方向交叉之橫幅方向兩側鄰接的狀態配置。
3. 如申請專利範圍第2項之板狀體搬送裝置，其中前述送風式支持機構係於與前述搬送方向交叉之橫幅方向並列設有一對，在前述一對之送風式支持機構之間，形成有將前述引導板部上之空氣排氣至前述引導板部下方之空間的排氣路徑。
4. 如申請專利範圍第3項之板狀體搬送裝置，其中具備一端側之推進力賦予機構、及另一端側之推進力賦予機構的一對推進力賦予機構，作為前述推進力賦予機構，前述一端側之推進力賦予機構係接觸支持板狀體中之前述橫幅方向的一端部且對於板狀體賦予搬送方向上之推進力者，前述另一端側之推進力賦予機構係接觸支持板狀體中之前述橫幅方向的另一端部且對於板狀體賦予搬送方向上之推進力者， 前述一對送風式支持機構所具備之各引導板部分別構成為：將在前述橫幅方向上靠近前述排氣路徑之內方側引導板部形成為比起在前述橫幅方向上遠離前述排氣路徑之外方側引導板部，在前述橫幅方向上寬度較窄。
5. 如申請專利範圍第1~4項中任一項之板狀體搬送裝置，其中前述腔室部於其下面部或側面部形成維修用開口，並且具備開閉自如之蓋構件來構成該維修用開口。
6. 如申請專利範圍第1~4項中任一項之板狀體搬送裝置，其中前述引導通路部其一方之端部係連接於前述空氣供給源的上面部，另一方之端部係連接於前述腔室部的側面部，並且將上下方向之通路寬度形成為越靠近前述腔室部側越寬。
7. 如申請專利範圍第1~4項中任一項之板狀體搬送裝置，其中前述空氣供給源係配設在上下方向之下方側且相對於前述腔室部呈錯開之處，以使其在橫側面視角看來是與前述腔室部不重疊。
8. 如申請專利範圍第1~4項中任一項之板狀體搬送裝置，在前述引導板部之外方側端部具備有突條部，前述突條部係形成為在較所搬送之板狀體之下面更位於下方的高度，從前述引導板部之上面向上方突出，且沿著搬送方向連續地延伸成直線狀。
9. 如申請專利範圍第1~4項中任一項之板狀體搬送裝置， 前述空氣供給源被配設成在平面視角上是與前述引導板部重疊。
10. 如申請專利範圍第1~4項中任一項之板狀體搬送裝置，其中前述引導通路其一邊之端部連接至前述空氣供給源的上面部，另一邊之端部連接至前述腔室部的側面部，且上下方向的通路寬度形成為越朝向前述腔室部側越寬，前述腔室部構成為將引導通路部所引導而至的空氣，從前述腔室部之導入口導入到前述腔室部之腔室空間，前述導入口形成於距離前述腔室部之下面部為設定高度之高處，並在前述腔室部之前述下面部與前述導入口之間形成段差。