KR101552534B1 - 판상체 반송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 이물질의 제거 작업을 용이하게 행할 수 있는 판상체(板狀體) 반송(搬送) 장치를 제공한다. 판상체(1)의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체(1)를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(2)을, 공기 공급용의 공기 공급원(11)과, 위쪽을 향해 공기를 분출하는 분출구(13)를 구비한 챔버부(14)와, 공기 공급원(11)과 챔버부(14)를 연통시키는 안내 통로부(15)와, 챔버부(14)에 인접하는 상태로 배치된 안내판부(16)를 포함하여 구성하고, 공기 공급원(11)을, 평면에서 볼 때 챔버부(14)에서의 분출구(13)와 중복되지 않도록 챔버부(14)에 대하여 수평 방향으로 어긋난 개소에 설치한다.

Description

판상체 반송 장치{PLATE-SHAPED ARTICLE TRANSPORTING DEVICE}

본 발명은, 판상체(板狀體)의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 판상체에 대하여 반송(搬送) 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하고, 상기 송풍식 지지 수단은, 판상체의 반송 경로의 가로 폭 내에 위치하는 개소에 설치되어 있는 판상체 반송 장치에 관한 것이다.

이러한 판상체 반송 장치는, 송풍식 지지 수단에 의해 판상체의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체를 비접촉 상태로 지지하고, 그 판상체에 대하여 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향에서의 추진력을 부여하여, 판상체를 반송 방향을 따라 반송하는 것이다. 그리고, 송풍식 지지 수단을, 판상체의 반송 경로의 가로 폭 내에 위치하는 개소에 설치하여, 판상체 반송 장치를 가로 폭 방향에서 컴팩트한 것으로 하고 있다.

그리고, 이와 같은 판상체 반송 장치에 있어서, 종래에는, 송풍식 지지 수단으로서의 팬 필터 유닛을 설치하고, 팬 필터 유닛의 위쪽에 챔버부를 팬 필터 유닛과 상하 방향으로 중첩되는 상태로 설치하고 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

일본공개특허 제2005―029359호 공보

상기한 종래의 판상체 반송 장치에서는, 반송하고 있는 판상체가 파손되면, 그 파손된 판상체의 파편이 이물질로서 챔버부 상에 낙하하고, 이물질이 챔버부의 분출구로부터 챔버 공간 내에 침입하는 경우가 있다. 그리고, 그 챔버 공간에 침입한 이물질은, 그대로 아래쪽으로 낙하하여 송풍식 지지 수단에까지 침입하게 된다. 송풍식 지지 수단에 이물질이 침입하면, 그 이물질을 제거하기 위해서는, 송풍식 지지 수단을 분리해 내어 이물질을 제거할 필요가 있어, 이물질의 제거 작업이 번거로운 것이었다. 특히, 송풍식 지지 수단을 팬 필터 유닛에 의해 구성한 경우에, 팬 필터 유닛의 제진(除塵) 필터에 이물질이 침입하므로, 파편을 제거하기 위해, 송풍식 지지 수단을 분리하여 제진 필터를 교환하는 등의 작업을 행하지 않으면 안되므로, 이물질의 제거 작업이 번거로운 것이었다.

본 발명은, 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 이물질의 제거 작업을 용이하게 행할 수 있는 판상체 반송 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치는, 판상체의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하고, 상기 송풍식 지지 수단은, 판상체의 반송 경로의 가로 폭 내에 위치하는 개소에 설치되어 있는 것으로서,

상기 송풍식 지지 수단은, 공기 공급용의 공기 공급원과, 상기 공기 공급원으로부터의 공기가 압입(壓入)되는 챔버 공간을 형성하여 이 챔버 공간으로부터 위쪽을 향해 공기를 분출(噴出)하는 분출구를 구비한 챔버부와, 상기 공기 공급원으로부터 공급되는 공기를 상기 챔버 공간으로 안내하는 상태로 상기 공기 공급원과 상기 챔버부를 연통시키는 안내 통로부와, 상기 분출구로부터 판상체의 하면으로 분출된 공기를 판상체의 하면을 따라 안내할 수 있도록 상기 챔버부에 인접하는 상태로 배치된 안내판부를 포함하여 구성되며, 상기 공기 공급원은, 평면에서 볼 때 상기 챔버부에서의 상기 분출구와 중복되지 않도록 상기 챔버부에 대하여 수평 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있다.

즉, 공기 공급원으로부터의 공기는, 안내 통로부를 유동(流動)하여 챔버부의 챔버 공간에 압입되고, 그 공기가 챔버부의 분출구로부터 위쪽을 향해 분출된다. 그리고, 분출구로부터 위쪽을 향해 분출된 공기는 판상체의 하면에 공급되고, 이 판상체의 하면에 공급된 공기는, 안내판부와 판상체와의 사이의 공간을 안내판부의 상면 및 판상체의 하면을 따라 유동한다.

즉, 챔버부가 설치되어 있는 개소에서는, 챔버부로부터 위쪽을 향해 분출된 공기에 의해 판상체의 하면을 비접촉 상태로 지지할 수 있고, 또한 안내판부가 설치되어 있는 개소에서는, 그 안내판부 상에 형성된 공기의 층에 의해 판상체의 하면을 비접촉 상태로 지지할 수 있으므로, 챔버부가 설치되어 있는 개소뿐아니라, 챔버부의 주위의 안내판부가 설치되어 있는 개소에 있어서도 판상체를 비접촉 상태로 지지할 수 있다.

또한, 공기 공급원으로부터의 공기는, 안내 통로부를 유동하여 챔버부의 챔버 공간에 압입되므로 공기 공급원으로부터 공급되는 공기에 맥동(脈動; pulsation)이 생겼다고 해도, 그 맥동을 챔버 공간의 쿠션 작용(cushioning)에 의해 흡수하므로, 분출구로부터 분출되는 공기의 맥동을 억제할 수 있다.

그리고, 공기 공급원이, 평면에서 볼 때 챔버부에서의 분출구와 중복되지 않도록 챔버부에 대하여 수평 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있다. 따라서, 파손된 판상체의 파편 등의 이물질이 분출구로부터 챔버 공간 내에 침입했다고 해도, 그 이물질이 직접 공기 공급원까지 낙하하지 않으므로, 공기 공급원에 이물질이 쉽게 침입하지 않게 된다. 즉, 침입한 이물질을 챔버부에 머무르게 할 수 있으므로, 챔버 공간 내의 이물질을 제거하는 것만으로 되는 등, 이물질의 제거 작업을 용이하게 행할 수 있다. 따라서, 이물질의 제거 작업을 용이하게 행할 수 있는 판상체 반송 장치를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시예에 있어서는, 상기 챔버부가, 상기 반송 방향을 따라 연장되도록 설치되고, 상기 안내판부가, 상기 챔버부에 대하여 상기 반송 방향과 교차하는 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 상태로 배치되고, 상기 공기 공급원이, 상기 챔버부에 대하여 상기 가로 폭 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 반송 방향을 따라 설치된 챔버부의 분출구로부터 위쪽을 향해 공기가 분출되어 공기가 판상체의 하면에 공급되고, 그 판상체의 하면에 공급된 공기는, 챔버부에 대하여 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 안내판부와 그 위쪽에 위치하는 판상체와의 사이의 공간을, 안내판부의 상면 및 판상체의 하면을 따라 가로 폭 방향을 따라 유동한다.

따라서, 송풍식 지지 수단에 의한 판상체에 대한 반송 방향에서의 지지력의 균일화를 도모할 수 있어, 반송 방향을 따라 판상체를 반송할 때의 판상체의 휨(deflection)을 억제할 수 있다.

설명을 추가하면, 챔버부가 설치되어 있는 개소에서는, 챔버부로부터 위쪽을 향해 분출된 공기에 의해 판상체의 하면이 지지하는 것에 대하여, 안내판부가 설치되어 있는 개소에서는, 그 안내판부 상에 형성된 공기의 층에 의해 판상체의 하면을 지지하는 것이므로, 챔버부가 설치되어 있는 개소와 안내판부가 설치되어 있는 개소는, 판상체의 하면을 지지하는 지지력이 상이하다.

이와 같은 지지력이 상이한 챔버부와 안내판부를 반송 방향으로 배열하여 배치하면, 반송 방향에서의 위치에 따라 송풍식 지지 수단에 의한 판상체에 대한 지지력이 상이하므로, 반송 방향을 따라 판상체를 반송했을 때 판상체가 상하 이동하기 쉽다.

이에 대하여, 챔버부와 안내판부를 가로 폭 방향으로 배열하여 배치함으로써, 반송 방향에서의 송풍식 지지 수단에 의한 판상체에 대한 지지력이 균일화되므로, 반송 방향을 따라 판상체를 반송했을 때 판상체가 쉽게 상하 이동하지 않으므로, 판상체의 휨을 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시예에 있어서는, 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 반송 방향과 교차하는 가로 폭 방향으로 한쌍 병설되고, 상기 한쌍의 송풍식 지지 수단의 사이에, 상기 안내판부 상의 공기를 상기 안내판부의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기로가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 가로 폭 방향으로 병설된 한쌍의 송풍식 지지 수단의 사이에, 안내판부 상의 공기를 안내판부의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기로가 형성되어 있고, 이 배기로로부터 공기를 배기함으로써, 판상체의 중간부의 아래쪽에 공기가 쉽게 체류하지 않게 된다. 따라서, 반송되는 판상체는, 중간부의 아래쪽에 공기가 쉽게 체류하지 않게 되는 것에 의해, 중간부가 부풀어 오르는 것이 억제된 수평 자세에 가까운 상태로 반송되게 되어, 판상체에 대한 부하를 경감시킬 수 있다.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시예에 있어서는, 상기 추진력 부여 수단으로서, 판상체에서의 상기 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하여 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 일단측의 추진력 부여 수단과, 판상체에서의 상기 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하여 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 타단측의 추진력 부여 수단과의 한쌍의 추진력 부여 수단이 포함되고, 상기 한쌍의 송풍식 지지 수단에 구비된 안내판부의 각각은, 상기 가로 폭 방향에서 상기 배기로에 가까운 내측의 안내판부를, 상기 가로 폭 방향에서 상기 배기로에서 먼 외측의 안내판부보다 상기 가로 폭 방향으로 협폭(狹幅)으로 형성하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 일단측의 추진력 부여 수단에 의해, 판상체에서의 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하고, 타단측의 추진력 부여 수단에 의해, 판형체에서의 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하여, 한쌍의 추진력 부여 수단에 의해, 판상체에서의 가로 폭 방향의 양 단부를 접촉 지지하고 있다. 따라서, 한쌍의 추진력 부여 수단에 의해 판상체의 가로 폭 방향의 양 단부를 접촉 지지함으로써 판상체를 안정된 상태로 지지하고, 그 지지한 판상체의 양 단부에 대하여 추진력이 부여되므로, 안정된 상태로 판상체를 반송 방향을 따라 반송할 수 있다.

그리고, 한쌍의 송풍식 지지 수단에 구비된 안내판부의 각각은, 내측의 안내판부를 외측의 안내판부보다 가로 폭 방향으로 협폭으로 형성하여 구성되어 있으므로, 결과적으로 챔버부는 배기로 측으로 치우친 상태로 배치되게 되어, 챔버부로부터 분출된 공기를 판상체에서의 가로 폭 방향의 중앙 가까이의 하면에 공급할 수 있다. 따라서, 한쌍의 송풍식 지지 수단에 의해 판상체의 가로 폭 방향의 중앙 가까이의 하면에 공기를 공급함으로써, 한쌍의 추진력 부여 수단에 의한 판상체에 대한 접촉 압력의 저감을 억제하면서, 판상체의 가로 폭 방향의 중간부를 판상체의 느슨함을 억제하도록 지지할 수 있으므로, 판상체는 안정된 자세로 지지된 상태로 반송되게 되어, 판상체의 반송을 원활하게 행할 수 있다.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시예에 있어서는, 상기 챔버부는, 그 하면부 또는 측면부에 유지보수용 개구가 형성되고, 또한 이 유지보수용 개구를 개폐할 수 있는 커버 부재를 구비하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 챔버부에 유지보수용 개구가 형성되고, 그 유지보수용 개구를 개폐할 수 있는 커버 부재를 구비하여 구성되어 있으므로, 통상 시에는, 커버 부재에 의해 유지보수용 개구를 닫아 두고, 유지보수 작업을 행할 때는, 커버 부재를 여는 것에 의해, 유지보수용 개구로부터 챔버 공간 내에 대하여 유지보수 작업을 행할 수 있다.

따라서, 챔버부에 이물질이 침입한 경우에는, 커버 부재를 열어 유지보수용 개구로부터 이물질을 제거할 수 있어, 이물질의 제거 작업을 용이하게 행할 수 있다.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시예에 있어서는, 상기 공기 공급원이, 위쪽을 향해 공기를 공급하는 공급면을 구비하여 구성되며, 상기 안내 통로부가, 그 한쪽의 단부가 상기 공기 공급원의 공급면과 접속되고, 다른 쪽의 단부가 상기 챔버부의 측면부와 접속되고, 또한 상하 방향의 통로 폭을 상기 챔버부측으로 갈수록 광폭으로 형성하고 있는 것이 바람직하다.

즉, 공기 공급원으로부터 위쪽을 향해 공급된 공기를, 안내 통로부에 의해 챔버부 측으로 안내하여 챔버부의 챔버 공간에 압입시킬 수 있다. 그리고, 안내 통로부에 의해 안내되는 공기량은, 챔버부측의 어떤 공기 공급원으로부터 공급되는 공기가 합류함으로써 많아지지만, 안내 통로부의 상하 방향의 통로 폭이 챔버부측으로 갈수록 광폭으로 형성되어 있고, 챔버부측으로 갈수록 서서히 증대하는 공기를 챔버부측으로 갈수록 서서히 광폭으로 되는 안내 통로부에 의해 안내함으로써, 공기를 챔버부까지 원활하게 유동시키기 쉬운 것으로 된다.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시예에 있어서는, 상기 공기 공급원은, 전동식의 송풍팬과 제진 필터를 일체로 조립하여 구성된 팬 필터 유닛에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 공기 공급원의 설치로서, 전동식의 송풍 팬과 제진 필터를 일체로 조립된 팬 필터 유닛을 설치하는 것만으로 되므로, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단한 것으로 되어, 판상체 반송 장치의 제작의 용이화를 도모할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시예에 있어서는, 상기 공기 공급원은, 가로 측면에서 볼 때 상기 챔버부와 중복되지 않도록 상기 챔버부에 대하여 상하 방향의 하방측으로 어긋난 개소에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시예에 있어서는, 상기 안내판부의 외측의 단부(端部)에 돌출부가 구비되고, 상기 돌출부는, 반송되는 판상체의 하면보다 아래쪽에 위치하는 높이에, 상기 안내판부의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하고, 또한 반송 방향을 따라 직선형으로 연속적으로 연장되도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.

도 1은 판상체 반송 장치의 사시도이다.
도 2는 판상체 반송 장치의 종단(縱斷) 정면도이다.
도 3은 송풍식 지지 수단의 종단 정면도이다.
도 4는 챔버부의 종단 정면도이다.
도 5는 다른 실시예의 송풍식 지지 수단의 종단 정면도이다.

이하, 본 발명에 관한 판상체 반송 장치를, 판상체로서 직사각형의 기판, 상세하게는, 평판 디스플레이(flat―panel display)용의 유리 기판을 반송하도록 구성한 경우에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 판상체 반송 장치(H)는, 유리 기판(1)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(2)과, 유리 기판(1)의 하면을 접촉 지지하여 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(3)을 포함하여 구성되어 있다. 그리고, 판상체 반송 장치(H)는, 송풍식 지지 수단(2) 및 추진력 부여 수단(3)을 구비한 판상체 반송 유닛(U)을 반송 방향으로 복수대 병설하여 구성되어 있다.

추진력 부여 수단(3)은, 유리 기판(1)의 하면에서의 반송 방향과 직교하는 가로 폭 방향의 단부를 접촉 지지하는 회전 롤러(6)를 반송 방향을 따라 복수 개 병설하고, 각각의 회전 롤러(6)를 그에 대응하는 전동 모터(7)에 의해 별개로 회전 구동시켜, 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성되어 있다. 이와 같은 구성 대신에, 1개의 전동 모터에 의해, 기어 기구를 통하여 복수 개의 회전 롤러를 회전 구동시키는 것도 가능하다.

또한, 추진력 부여 수단(3)으로서, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하여 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 일단측의 추진력 부여 수단(3)과, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하여 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 타단측의 추진력 부여 수단(3)과의 한쌍의 추진력 부여 수단(3)이 구비되어 있다. 그리고, 이들 한쌍의 추진력 부여 수단(3)에 의해, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 양 단부를 아래쪽으로부터 접촉 지지하고, 또한 그 양 단부에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 되어 있다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(2)은, 평면에서 볼 때, 한쌍의 추진력 부여 수단(3) 사이에 설치되어 있다. 그리고, 송풍식 지지 수단(2)은, 유리 기판(1)의 반송 경로의 가로 폭 내에 전체가 위치하는 개소에 설치되어, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 중간부에 청정 공기를 공급하여 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지하도록 되어 있다.

즉, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 판상체 반송 장치(H)는, 유리 기판(1)의 가로 폭 방향의 양 단부를 추진력 부여 수단(3)에 의해 접촉 지지하고, 유리 기판(1)의 가로 폭 방향의 중앙부를 송풍식 지지 수단(2)에 의해 비접촉 지지한 상태로, 추진력 부여 수단(3)에 의해 유리 기판(1)의 가로 폭 방향의 양 단부에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여함으로써, 유리 기판(1)을 반송 방향을 따라 반송하도록 구성되어 있다.

〔송풍식 지지 수단〕

다음에, 송풍식 지지 수단(2)에 대하여 설명한다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(2)은, 공기 공급용의 공기 공급원(11)과, 챔버부(14)와, 안내 통로부(15)와, 안내판부(16)를 구비하여 구성되어 있다. 챔버부(14)는, 공기 공급원(11)으로부터의 공기가 압입되는 챔버 공간(12)을 형성하고 있고, 이 챔버 공간(12)으로부터 위쪽을 향해 공기를 분출하는 분출구(13)를 구비하고 있다. 안내 통로부(15)는, 공기 공급원(11)으로부터 공급되는 공기를 챔버부(14)에 안내한다. 안내판부(16)는, 분출구(13)로부터 유리 기판(1)의 하면을 향해 분출된 공기를 유리 기판(1)의 하면을 따라 유동 안내할 수 있도록 챔버부(14)에 인접하는 상태로 설치되어 있다. 여기서 「압입」이라는 표현은, 공기 공급원(11)으로부터 챔버 공간(12) 내에 도입된 공기의 압력이, 챔버부(14)의 외부보다 높아지도록 도입된다는 의미에서 사용된다. 이 압력 때문에, 공기는 분출구(13)로부터 분출된다.

송풍식 지지 수단(2)은, 공기 공급원(11)으로부터 공급된 공기를, 안내 통로부(15)를 통하여 반송 방향을 따라 설치된 챔버부(14)에 안내하고, 챔버부(14)에 있어서 맥동이 억제된 공기를 분출구(13)로부터 위쪽을 향해 분출하도록 구성되어 있다.

그리고, 송풍식 지지 수단(2)에 의해 유리 기판(1)을 비접촉 지지하고 있는 상태에서는, 분출구(13)로부터 위쪽을 향해 분출된 공기는 유리 기판(1)의 하면을 향해 공급되고, 이 유리 기판(1)의 하면을 향해 공급된 공기는, 안내판부(16)와 유리 기판(1)과의 사이의 공간을 안내판부(16)의 상면 및 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동한다.

이와 같이 공기를 유동시켜 안내판부(16)와 유리 기판(1)과의 사이에 공기의 층을 형성함으로써, 유리 기판(1)의 하면을 향해 공기를 분출하는 챔버부(14)가 설치되어 있는 개소에 있어서 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지할뿐아니라, 그 옆쪽의 안내판부(16)이 설치되어 있는 개소에 있어서도 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지 가능하도록 되어 있다.

송풍식 지지 수단(2)은, 서로 간격을 둔 상태로 가로 폭 방향으로 한쌍 배열되어 구비되어 있고, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2) 사이에, 안내판부(16) 상의 공기를 안내판부(16)의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기로(17)[중앙부의 배기로(17a)라고 하는 경우가 있고, 본원의 배기로에 상당함]가 형성되어 있다. 또한, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2)의 각각은, 추진력 부여 수단(3)에 대하여 서로 간격을 둔 상태로 구비되어 있고, 송풍식 지지 수단(2)과 추진력 부여 수단(3)과의 사이에도 안내판부(16) 상의 공기를 안내판부(16)의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기로(17)[단부의 배기로(17b)라고 하는 경우가 있음]가 형성되어 있다.

또한, 송풍식 지지 수단(2)은, 연속하는 상태로 반송 방향으로 병설되어 있고, 반송 방향으로 인접하는 챔버부(14)끼리의 사이나 반송 방향으로 인접하는 안내판부(16)끼리의 사이에는 간극은 형성되어 있지 않다.

다음에, 송풍식 지지 수단(2)의 각 부에 대하여 설명을 가하지만, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2)은, 폭방향에서의 중앙 위치에 있어서 반송 방향을 따라 연장되는 가상선에 대하여 대칭적으로 구성되어 있는 것 이외에는 동일하게 구성되어 있으므로, 가로 폭 방향의 한쪽에 위치하는 송풍식 지지 수단(2)에 대하여 설명하고, 다른 쪽에 위치하는 송풍식 지지 수단(2)에 대해서는 설명을 생략한다. 또한, 송풍식 지지 수단(2)의 각 부에 대하여 설명하는 데 있어서, 가로 폭 방향에서의 중앙부의 배기로(17a)가 형성되어 있는 측을 내측, 가로 폭 방향에서의 단부의 배기로(17b)가 형성되어 있는 측을 외측이라고 하여 설명하는 경우가 있다.

〔공기 공급원〕

공기 공급원(11)은, 전동식의 송풍팬(9)과 제진 필터(10)를 일체로 조립하여 구성된 팬 필터 유닛에 의해 구성되어 있고, 송풍팬(9)이 세로축심 주위로 회전하고, 그 송풍팬(9)의 위쪽을 덮도록 제진 필터(10)가 설치되어 있다. 이와 같이 공기 공급원(11)을 배치함으로써, 송풍팬(9)을 회전 구동시킴으로써 공기 공급원(11)의 아래쪽의 공기를 급기(給氣)하고, 그 급기한 공기를 제진 필터(10)를 통해 공기 공급원(11)의 위쪽으로 청정 공기로서 배기하여, 위쪽을 향해 공기를 공급하도록 배치되어 있다.

또한, 공기 공급원(11)은, 평면에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있고, 공기 공급원(11)의 가로 폭 방향에서의 폭은, 송풍식 지지 수단(2)의 가로 폭 방향에서의 폭의 1/2~1/3 정도이며, 공기 공급원(11)의 반송 방향에서의 폭은, 송풍식 지지 수단(2)의 반송 방향의 폭의 1/2 정도이다.

공기 공급원(11)은, 이 공기 공급원(11)의 공급면(상면)에 형성된 공급구(18)가 평면에서 볼 때 챔버부(14)에서의 분출구(13)와 중복되지 않도록 챔버부(14)에 대하여 가로 폭 방향의 외측으로 어긋난 개소에 설치되어 있다. 또한, 공기 공급원(11)은, 가로 측면에서 볼 때 챔버부(14)와 중복되지 않도록 챔버부(14)에 대하여 상하 방향의 하방측으로 어긋난 개소에 설치되어 있다.

이와 같이 설치된 공기 공급원(11)은, 그 가로 폭 방향의 내측 단부의 상단이, 챔버부(14)의 가로 폭 방향의 외측 단부의 하단에 근접하는 상태로 설치되어 있다. 또한, 공기 공급원(11)의 내측 단부와 챔버부(14)의 외측 단부는 평면에서 볼 때 중복되어 있다.

〔안내 통로부〕

안내 통로부(15)는, 공기 공급원(11)의 공급구(18)와 챔버부(14)의 외측의 가로 측면에 형성된 도입구(19)를 연통시키는 상태로 설치된 덕트(duct)에 의해 구성되어 있다.

설명을 추가하면, 안내 통로부(15)의 한쪽의 단부는, 공급구(18)의 주위에 위치하는 공기 공급원(11)의 프레임체와 접속됨으로써 공기 공급원(11)의 공급면과 접속되고, 안내 통로부(15)의 다른 쪽의 단부는, 도입구(19)의 주위에 위치하는 챔버부(14)의 측판과 접속됨으로써, 챔버부(14)의 외측의 가로 측면부(14a)와 접속되어 있다.

안내 통로부(15)의 상면 부분은, 가로 폭 방향의 내측으로 갈수록 높게 위치하도록 경사형으로 형성되어 있고, 반송 방향에서 볼 때의 안내 통로부(15)의 형상이 삼각형상으로 형성되어 있다. 이와 같이 형성된 안내 통로부(15)는, 반송 방향에서 볼 때의 상하 방향의 통로 폭이 가로 폭 방향에서 외측[공기 공급원(11)의 외측 단부측]보다 내측[챔버부(14) 측]으로 갈수록 광폭으로 형성되어 있다. 즉, 안내 통로부(15)의 통로 폭은, 공기의 통기량이 많아지는 가로 폭 방향의 내측으로 갈수록 광폭으로 되도록 형성되어 있다.

또한, 안내 통로부(15)의, 반송 방향에서의 전단(前端)에 배치된 전면(前面) 부분과 후단(後端)에 배치된 후면(後面) 부분은, 가로 폭 방향을 따른 자세로 연직(鉛直)으로 세워 설치되어 서로 평행하게 형성되어 있고, 안내 통로부(15)는, 평면에서 볼 때의 가로 폭 방향의 폭이 외측과 내측에서 같은 폭으로 형성되어 있다. 또한, 안내 통로부(15)의 반송 방향에서의 통로 폭은, 공급구(18)이나 도입구(19)의 반송 방향에서의 폭과 같은 폭으로 형성되어 있다.

〔챔버부〕

도 4에 나타낸 바와 같이, 챔버부(14)는, 반송 방향으로 옆으로 넘어진 자세의 사각 상자형으로 형성되어, 반송 방향을 따라 형성되어 있고, 그 내부 공간에 의해 챔버 공간(12)이 형성되어 있다. 즉, 챔버부(14)의 내부 공간을 형성하는 상면부(14b)와 한쌍의 가로 측면부(14a)와 하면부(14c)가 반송 방향으로 연장되어 있다.

챔버부(14)에서의 상면부(14b)는, 펀칭 메탈(punching metal)에 의해 구성되어 있고, 이 펀칭 메탈에 형성되어 있는 구멍에 의해 분출구(13)가 형성되어 있다. 이와 같이, 챔버부(14)의 상부에는, 위쪽을 향해 공기를 분출하는 분출구(13)가 다수 형성되어 있고, 챔버부(14)의 상부에, 반송 방향을 따라 구비되어 공기 공급원(11)으로부터 공급된 공기를 위쪽을 향해 분출하기 위해 복수 개의 분출구(13)에 의해 구성된 공기 분출부(20)가 구비되어 있다.

챔버부(14)의, 반송 방향에서의 전단에 배치된 전면 부분과 후단에 배치된 후면 부분은, 가로 폭 방향을 따른 자세로 연직으로 세워 설치되어 서로 평행하게 형성되어 있다.

그리고, 챔버부(14)는, 안내 통로부(15)에 의해 안내되어 온 공기를, 도입구(19)로부터 챔버 공간(12) 내에 도입하고, 그 도입한 공기의 맥동을 억제한 상태에서, 복수 개의 분출구(13)로부터 위쪽을 향해 분출하도록 구성되어 있다.

도입구(19)는, 챔버부(14)의 하면부(14c)로부터 설정 높이만큼 높은 개소에 형성되어 있고, 챔버부(14)의 하면부(14c)와 도입구(19)와의 사이에는 단차(段差)가 형성되어 있다.

하면부(14c)는, 가로 폭 방향의 외측 부분의 상면이, 평탄면으로 형성되고, 가로 폭 방향의 내측 부분의 상면이, 외측으로 갈수록 위쪽에 위치하는 경사면으로 형성되어 있다.

그리고, 챔버부(14)에는, 하면부(14c)로부터 내측의 가로 측면부(14a)에 걸쳐 유지보수용 개구(21)가 형성되고, 또한 이 유지보수용 개구(21)를 개폐 가능한 커버 부재(22)를 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 커버 부분(22)은, 나비 볼트 등에 의해 구성된 고정 부재에 의해 챔버부(14)에 고정되어 있고, 공구를 사용하지 않고 착탈(着脫)하여 유지보수용 개구(21)를 개폐 가능하도록 구성되어 있다.

즉, 챔버부(14)는, 파손된 유리 기판(1)의 파편 등의 이물질이 분출구(13)로부터 챔버 공간(12) 내에 침입했다고 해도, 그 이물질을 챔버부(14)의 하면부(14c), 특히, 하면부(14c)에서의 아래쪽으로 팽출(膨出)하는 가로 폭 방향의 외측 부분에서 캐치(catch)할 수 있다. 그리고, 안내 통로부(15)가 챔버부(14)의 가로 측면부(14a)와 접속되어 있고, 또한 도입구(19)와 하면부(14c)와의 사이에 단차가 형성되어 있으므로, 안내 통로부(15)에 이물질이 침입하는 것을 방지할 수 있고, 이로써, 공기 공급원(11)에 이물질이 침입하는 것을 방지할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 챔버부(14)의 하면부(14c)에 캐치된 이물질은, 커버 부재(22)를 분리해 내어 유지보수용 개구(21)를 개구시킴으로써, 챔버 공간(12) 내의 이물질을 유지보수용 개구(21)를 통해 외부로 인출할 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 챔버부(14)에는, 공기 공급원(11)으로부터 공급되는 공기의 공급량이 설정량 이하로 된 것을 검출하는 풍량 검출 수단(24)이 구비되어 있다.

이 풍량 검출 수단(24)은, 반송 방향을 따른 축심 주위로 요동(搖動) 가능하게 현수(懸垂) 지지된 요동체(25)와, 투광기(投光器)와, 수광기(受光器)에 의해 구성되어 있는 검출체(26)을 구비하여 구성되어 있고, 요동체(25) 및 검출체(26)는, 챔버부(14)에서의 외측의 가로 측면부(14a)의 도입구(19)보다 위쪽 개소에 지지되어 있다. 또한, 요동체(25)는, 연직 자세로 하단이 도입구(19)의 상단 보다 아래쪽에 위치하도록 형성되어 있고, 공기 공급원(11)이 작동하여 공기 공급원(11)으로부터 공기가 공급되면, 요동체(25)는 연직 자세로부터 내측으로 요동한 경사 자세로 전환되도록 되어 있다.

그리고, 공기 공급원(11)으로부터 적절히 공기가 공급되고 있는 상태에서는, 요동체(25)가 설정 각도 이상으로 요동함으로써, 검출체(26)는 요동체(25)를 검출하는 검출 상태로 되도록 되어 있다. 또한, 제진 필터(10)의 막힘 등에 의해 공기 공급원(11)으로부터 적절히 공기가 공급되지 않아, 공급되는 공기의 공급량이 설정량[예를 들면, 반송하는 유리 기판(1)이 아래쪽으로 휘어져 송풍식 지지 수단(2)에 접촉할 우려가 있는 공급량] 이하로 된 상태에서는, 요동체(25)가 설정 각도 이하 밖에 요동하지 않으므로, 검출체(26)는 요동체(25)를 검출하지 않는 비검출 상태로 되도록 되어 있다.

〔안내판부〕

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 안내판부(16)는, 챔버부(14)[공기 분출부(20)]로부터 유리 기판(1)의 하면을 향해 분출된 공기를 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 안내할 수 있도록 챔버부(14)에 대하여 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 상태로 한쌍 배치되어 있다. 그리고, 한쌍의 안내판부(16)의 한쪽에서의 외측의 단부에 돌출부(27)가 구비되고, 돌출부(27)는, 반송되는 유리 기판(1)의 하면보다 아래쪽에 위치하는 높이에 안내판부(16)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하고, 또한 반송 방향을 따라 직선형으로 연속적으로 연장되도록 형성되어 있다.

설명을 추가하면, 한쌍의 안내판부(16)의 각각은, 그 상면이 반송되는 유리 기판(1)의 하면을 따르도록 수평 자세로 설치되어 있다. 또한, 챔버부(14)는, 그 상면이 반송되는 유리 기판(1)의 하면을 따르도록 형성되어 있고, 한쌍의 안내판부(16)과 챔버부(14)는, 각각의 상면이 면일치로 되는 상태로 배치되어 있다.

그리고, 한쌍의 안내판부(16) 중 챔버부(14)의 외측에 인접하는 외측의 안내판부(16b)는, 그 가로 폭 방향의 외측의 단부가, 추진력 부여 수단(3)의 근방까지 연장되어 있고, 챔버부(14)의 내측에 인접하는 내측의 안내판부(16a)는, 그 가로 폭 방향의 내측 단부가, 판상체 반송 장치(H)의 가로 폭 방향의 중앙부의 근방까지 연장되어 있다.

또한, 내측의 안내판부(16a)는, 외측의 안내판부(16b)보다 가로 폭 방향으로 협폭으로 형성되어 있다. 이와 같이 한쌍의 안내판부(16)의 가로 폭을 형성함으로써, 챔버부(14)는, 단부의 배기로(17b)보다 중앙부의 배기로(17a) 측으로 치우친 상태로 배치되게 되어, 챔버부(14)로부터 분출된 공기가 유리 기판(1)의 중앙 가까이의 하면에 공급하도록 되어 있다.

또한, 내측의 안내판부(16a)의 가로 폭 방향의 폭은, 챔버부(14)의 가로 폭 방향의 폭의 1/3~1/4 정도의 폭으로 형성되고, 외측의 안내판부(16b)의 가로 폭 방향의 폭은, 챔버부(14)의 가로 폭 방향의 폭의 2.5배 정도의 폭으로 형성되어 있다.

그리고, 돌출부(27)는, 외측의 안내판부(16b)에서의 외측의 단부에, 반송 방향을 따라 안내판부(16)의 전체 폭에 걸쳐 구비되어 있다. 또한, 내측의 안내판부(16a)에는 돌출부(27)는 구비되어 있지 않다.

즉, 챔버부(14)로부터 단부의 배기로(17b)까지의 거리는, 챔버부(14)로부터 중앙부의 배기로(17a)까지의 거리보다 길므로, 챔버부(14)로부터 분출된 공기는 내측으로 유동하고 쉽고, 외측으로는 쉽게 유동하지 않게 된다. 그러나, 챔버부(14)로부터 외측으로 유동한 공기는, 돌출부(27)의 존재에 의해 단부의 배기로(17b)로부터 쉽게 배기되지 않으므로, 챔버부(14)의 외측에 있어서도 공기의 층을 형성하기 쉽게 되도록 되어 있다.

안내판부(16)에는, 안내판부(16)의 상면보다 위쪽으로 돌출하는 상태로, 또한 반송되는 유리 기판(1)에 대하여 아래쪽으로 이격(離隔)되는 상태로 지지체(28)가 형성되어 있고, 송풍식 지지 수단(2)의 고장 등에 의해 송풍식 지지 수단(2)의 지지력이 저하된 경우 등에 의해 아래쪽으로 휜 유리 기판(1)을, 지지체(28)에 의해 안내판부(16)의 상면보다 위쪽으로 지지할 수 있도록 구성되어 있다.

그리고, 지지체(28)는, 회전 가능한 수지제의 볼체(ball body)에 의해 구성되어 있고, 내측의 안내판부(16a)에서의 내측의 단부, 외측의 안내판부(16b)에서의 가로 폭 방향의 중앙부, 및 외측의 안내판부(16b)에서의 내측의 단부의 각각에, 반송 방향을 따라 설정 간격을 두고 설치되어 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는, 공기 공급원(11)은, 이 공기 공급원(11)의 공급면에 형성된 공급구(18)가 평면에서 볼 때 챔버부(14)에서의 분출구(13)와 중복되지 않도록 챔버부(14)에 대하여 가로 폭 방향의 외측으로 어긋난 개소에 설치되어 있다. 따라서, 파손된 유리 기판(1)의 파편 등의 이물질이 분출구(13)로부터 챔버 공간(12) 내에 침입했다고 해도, 그 이물질을 챔버부(14)의 하면부(14c)에 의해 캐치할 수 있어, 안내 통로부(15)에 이물질이 침입하는 것을 방지할 수 있고, 이로써, 공기 공급원(11)에 이물질이 침입하는 것을 방지할 수 있도록 구성되어 있다.

〔다른 실시예〕

(1) 상기 실시예에서는, 내측의 안내판부(16a)를 외측의 안내판부(16b)보다 가로 폭 방향으로 협폭으로 형성하여 구성하였지만, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 내측의 안내판부(16a)를 외측의 안내판부(16b)보다 가로 폭 방향으로 광폭(廣幅)으로 형성하여 구성해도 되고, 또한 내측의 안내판부(16a)와 외측의 안내판부(16b)와의 가로 폭 방향의 폭을 같은 폭으로 형성하여 구성해도 된다.

(2) 상기 실시예에서는, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2)을, 서로 간격을 둔 상태로 설치하여 한쌍의 송풍식 지지 수단(2) 사이에 배기로(17)가 형성되도록 배치하였으나, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2)을, 밀접시킨 상태로 설치하여 한쌍의 송풍식 지지 수단(2) 사이에 배기로(17)가 형성되지 않도록 배치해도 된다.

또한, 송풍식 지지 수단(2)을, 가로 폭 방향으로 한쌍 병설하여 구성하였지만, 도 5의 (c)에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(2)을, 가로 폭 방향으로 복수 개 병설하지 않아도 되고, 또한 송풍식 지지 수단(2)을, 가로 폭 방향으로 다수 병설하여 구성해도 된다.

(3) 상기 실시예에서는, 챔버부(14)를, 그 하면부(14c) 또는 가로 측면부(14a)에 유지보수용 개구(21)를 형성하고, 또한 유지보수용 개구(21)를 개폐 가능한 커버 부재(22)를 구비하여 구성하였지만, 챔버부(14)를, 그 상면부(14b)에 유지보수용 개구(21)를 형성하고, 상면부(14b)를 구성하는 펀칭 메탈을 개폐 조작에 구비하여 구성해도 된다.

(4) 상기 실시예에서는, 공기 공급원(11)을, 위쪽을 향해 공기를 공급하도록 배치하고, 안내 통로부(15)를, 그 한쪽의 단부를 공기 공급원(11)의 상면부와 접속하였으나, 공기 공급원(11)을, 가로 폭 방향의 내측을 향해 공기를 공급하도록 배치하고, 안내 통로부(15)를, 그 한쪽의 단부를 공기 공급원(11)의 내측의 가로 측면부와 접속해도 된다.

또한, 상기 실시예에서는, 안내 통로부(15)의 다른 쪽의 단부를, 챔버부(14)의 측면부와 접속하였으나, 안내 통로부(15)의 다른 쪽의 단부를, 챔버부(14)의 하면부와 접속해도 된다.

(5) 상기 실시예에서는, 챔버부(14)를 반송 방향을 따라 설치하고, 안내판부(16)를 챔버부(14)에 대하여 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 상태로 설치하고, 공기 공급원(11)을, 챔버부(14)에 대하여 가로 폭 방향으로 어긋난 개소에 설치하였으나, 챔버부(14)를 가로 폭 방향을 따라 설치하고, 안내판부(16)를 챔버부(14)에 대하여 반송 방향의 양측에 인접하는 상태로 설치하고, 공기 공급원(11)을 챔버부(14)에 대하여 반송 방향으로 어긋난 개소에 설치해도 된다.

(6) 상기 실시예에서는, 공기 공급원(11)을, 팬 필터 유닛에 의해 구성하였지만, 공기 공급원(11)을, 압축기 등에 의해 구성해도 된다.

(7) 상기 실시예에서는, 추진력 부여 수단(3)으로서, 일단측의 추진력 부여 수단(3)과 타단측의 추진력 부여 수단(3)을 설치하였으나, 추진력 부여 수단(3)으로서, 일단측의 추진력 부여 수단(3) 또는 타단측의 추진력 부여 수단(3) 중 어느 한쪽의 추진력 부여 수단(3)만을 설치해도 되고, 또한 추진력 부여 수단(3)으로서, 유리 기판(1)에서의 가로 폭 방향의 중간부를 접촉 지지하여 판상체에 대하여 추진력을 부여하는 중앙측의 추진력 부여 수단(3)을 설치해도 된다.

(8) 상기 실시예에서는, 챔버부(14)의 상면부(14b)를 펀칭 메탈에 의해 구성하고, 펀칭 메탈에 형성되어 있는 구멍에 의해 분출구(13)를 형성하였으나, 챔버부(14)의 상면부(14b)의 전체를 개구시키고, 그 개구에 의해 분출구(13)를 형성해도 된다.

1: 판상체
2: 송풍식 지지 수단
3: 추진력 부여 수단
9: 송풍 팬
10: 제진 필터
11: 공기 공급원
12: 챔버 공간
13: 분출구
14: 챔버부
15: 안내 통로부
16: 안내판부
16a: 내측의 안내판부
16b: 외측의 안내판부
17a: 배기로
21: 유지보수용 개구
22: 커버 부재

Claims (9)

1. 판상체(板狀體)의 하면을 향해 공기를 공급하여 상기 판상체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단;
   상기 판상체에 대하여 반송(搬送) 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단
   을 포함하고,
   상기 송풍식 지지 수단은, 상기 판상체의 반송 경로의 가로 폭 내에 위치하는 개소에 설치되어 있는 판상체 반송 장치로서,
   상기 송풍식 지지 수단은,
   공기 공급용의 공기 공급원;
   상기 공기 공급원으로부터의 공기가 압입(壓入)되는 챔버 공간을 형성하고, 상기 챔버 공간으로부터 위쪽을 향해 공기를 분출(噴出)하는 분출구를 구비한 챔버부;
   상기 공기 공급원으로부터 공급되는 공기를 상기 챔버 공간으로 안내하는 상태로 상기 공기 공급원과 상기 챔버부를 연통시키는 안내 통로부;
   상기 분출구로부터 상기 판상체의 하면으로 분출된 공기를 상기 판상체의 하면을 따라 안내할 수 있도록 상기 챔버부에 인접하는 상태로 배치된 안내판부
   를 포함하여 구성되며,
   상기 공기 공급원은, 평면에서 볼 때 상기 챔버부에서의 상기 분출구와 중복되지 않도록 상기 챔버부에 대하여 수평 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있고,
   상기 챔버부는, 상기 챔버부의 하면부 또는 측면부에 유지보수용 개구가 형성되고, 또한 상기 유지보수용 개구를 개폐할 수 있는 커버 부재를 구비하여 구성되어 있는, 판상체 반송 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 챔버부는, 상기 반송 방향을 따라 연장되도록 설치되고,
   상기 안내판부는, 상기 챔버부에 대하여 상기 반송 방향과 교차하는 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 상태로 배치되고,
   상기 공기 공급원은, 상기 챔버부에 대하여 상기 가로 폭 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있는, 판상체 반송 장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 송풍식 지지 수단은, 상기 반송 방향과 교차하는 가로 폭 방향으로 한쌍 병설되고,
   상기 한쌍의 송풍식 지지 수단의 사이에, 상기 안내판부 상의 공기를 상기 안내판부의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기로가 형성되어 있는, 판상체 반송 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 추진력 부여 수단으로서, 상기 판상체에서의 상기 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하여 상기 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 일단측의 추진력 부여 수단과, 상기 판상체에서의 상기 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하여 상기 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 타단측의 추진력 부여 수단과의 한쌍의 추진력 부여 수단을 포함하고,
   상기 한쌍의 송풍식 지지 수단에 구비된 안내판부의 각각은, 상기 가로 폭 방향에서 상기 배기로에 가까운 내측의 안내판부를, 상기 가로 폭 방향에서 상기 배기로로부터 먼 외측의 안내판부보다 상기 가로 폭 방향으로 협폭(狹幅)으로 형성하여 구성되어 있는, 판상체 반송 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 공기 공급원은, 위쪽을 향해 공기를 공급하도록 배치되고,
   상기 안내 통로부는, 상기 안내 통로부의 한쪽의 단부(端部)가 상기 공기 공급원의 상면부와 접속되고, 다른 쪽의 단부가 상기 챔버부의 측면부와 접속되고, 또한 상하 방향의 통로 폭을 상기 챔버부측으로 갈수록 광폭으로 형성하고 있는, 판상체 반송 장치.
6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 공기 공급원은, 전동식의 송풍팬과 제진(除塵) 필터를 일체로 조립하여 구성된 팬 필터 유닛에 의해 구성되어 있는, 판상체 반송 장치.
7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 공기 공급원은, 가로 측면에서 볼 때 상기 챔버부와 중복되지 않도록 상기 챔버부에 대하여 상하 방향의 하방측으로 어긋난 개소에 설치되어 있는, 판상체 반송 장치.
8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 안내판부의 외측의 단부에 돌출부가 구비되고, 상기 돌출부는, 반송되는 판상체의 하면보다 아래쪽에 위치하는 높이에, 상기 안내판부의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하고, 또한 반송 방향을 따라 직선형으로 연속적으로 연장되도록 형성되어 있는, 판상체 반송 장치.
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