KR102497947B1 - 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치 - Google Patents

Abstract

급기구(26) 및 배기구(30)를 갖는 하부 구성체(11)의 상면(14)과, 상부 구성체(10)의 하면(13)을 대향시켜서 배치하고, 대향하는 양면(13, 14)의 상호 간에 형성되는 처리 공간(15)에서 급기구(16)로부터 분출되어서 배기구(30)에 흡입되는 처리 가스(5)에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판(3)의 하면(3a)에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 급기구(26)와 배기구(30)를 유리판(3) 반송 방향으로 이격해서 위치시킨다. 그리고 하부 구성체(11)의 상면(14)은 배기구(30)로부터 급기구(26)까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부(22)가 배기구(30)의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부(18ab)보다 높게 되어 있다.

Description

유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치

본 발명은 불화 수소 등의 처리 가스를 사용하여 유리판에 에칭 처리를 실시하는 공정을 갖는 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치에 관한 것이다.

주지하는 바와 같이 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이, 필드 에미션 디스플레이 등으로 대표되는 플랫 패널 디스플레이(FPD)나 스마트폰, 태블릿형 PC 등의 모바일 기기, 그 밖의 각종 전자 디바이스 등에는 다양한 판 두께나 사이즈의 유리판이 장착되어 있다.

이 종류의 최종 제품인 유리판을 만들어 내기 위한 근본이 되는 유리판의 제조 공정에서는 정전기의 대전에 기인하는 문제가 발생할 수 있다. 예를 들면, 작업대 상에 유리판을 두고 소정의 처리를 실시할 때에는 정전기의 대전에 기인하여 유리판이 작업면에 부착하는 사태가 발생할 수 있다. 그 때문에 소정의 처리를 마친 유리판을 작업대로부터 박리시킬 때에는 상기 유리판의 파손을 초래할 수 있다.

이러한 문제의 대응책으로서 불화 수소 등의 처리 가스를 유리판에 블로잉해서 에칭 처리를 실시하고, 상기 유리판의 표면을 조화(粗化)시킴으로써 상술한 정전기의 대전에 기인하는 문제를 해결하고자 하는 시도가 추진되어 있다.

그 구체예로서 특허문헌 1에 의하면 일정 반송 경로를 따라 반송되는 유리판이 처리 공간을 통과할 때에 취출 노즐의 취출구로부터 분출되어서 흡인 노즐의 흡입구에 흡입되는 처리 가스에 의해 상기 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시하는 것이 개시되어 있다.

상세하게 설명하면 동 문헌에 개시된 에칭 장치에서는 상부 구성체(상측의 구성부)의 하면과, 하부 구성체(하측의 구성부)의 상면의 상호 간에 반송 중인 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시하기 위한 처리 공간이 형성된다. 이 경우 상부 구성체는 천정판만으로 형성된다. 한편, 하부 구성체는 유리판의 반송 방향 후방측(반송 경로의 상류측)에 배치된 취출 노즐과, 유리판의 반송 방향 전방측(반송 경로의 하류측)에 배치된 흡인 노즐과, 이 양 노즐 사이에 개재하여 설치된 바닥판을 일체화하여 형성된다. 그리고 하부 구성체인 취출 노즐과, 바닥판과, 흡인 노즐의 각 상면이 면일 상태로 된다. 따라서 하부 구성체의 고저차를 갖지 않는 상면에 처리 가스를 처리 공간에 분출하는 취출구와, 그것을 처리 공간으로부터 흡입하는 흡입구가 형성되어 있게 된다.

일본 국제공개 제 2011/105331호

그런데 특허문헌 1에 개시된 에칭 장치에서는 하부 구성체의 상면 전역이 고저차를 갖지 않는 평면으로 되어 있기 때문에 처리 공간에서 유리판에 에칭 처리를 실시할 때에는 이하에 나타내는 바와 같은 문제가 발생한다.

즉, 처리 공간에서 유리판의 하면을 따라 처리 가스가 흐를 때에는 하부 구성체의 상면에 있어서의 배기구를 향해서 처리 가스의 흐름 방향의 상류측과 하류측으로부터 공기가 유입된다. 그리고 상류측으로부터의 공기는 처리 가스와 흐름 방향이 동일하기 때문에 상류측으로부터의 공기와 처리 가스는 합류하여 유리판의 하면을 따라 흐른다. 이에 대해서 하류측으로부터의 공기는 처리 가스와 흐름 방향이 반대이며, 처리 공간에서의 처리 가스의 흐름 방향의 하류단 근방에서 처리 가스와 함께 배기구에 흡입된다.

이 경우에 하부 구성체의 상면 전역이 고저차를 갖지 않는 평면이면 상류측으로부터의 공기의 흐름에 부여되는 유통 저항(통로 저항)은 극히 작아진다. 그 때문에 다량의 공기가 상류측으로부터 처리 공간으로 유입하여 유리판의 하면을 따라 흐르는 처리 가스를 희박화시킨다. 그 결과, 유리판의 하면에 대한 처리 가스에 의한 조화 능력이 부족하여 요구에 따른 유리판의 하면의 조화가 곤란해져 조화 처리에 불균일이 발생하는 등의 문제를 초래할 수 있다.

또한, 이러한 문제에 대해서는 처리 가스의 유량을 증가시키는 것이 고려되지만, 이 종류의 단순한 방법으로는 유리판의 상면측으로 돌아 들어가는 처리 가스의 유량이 부당하게 증가하고, 유리판의 상면에 에칭 결함이 발생하는 등의 치명적인 문제가 발생할 수 있다.

이상의 관점으로부터 본 발명의 과제는 유리판의 상면측으로 돌아 들어가는 처리 가스의 유량을 부당하게 증가시키는 일 없이 유리판의 하면에 대한 처리 가스에 의한 조화 능력을 향상시키는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 의한 방법은 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과, 상부 구성체의 하면을 대향시켜서 배치하고, 대향하는 양면의 상호 간에 형성되는 처리 공간에서 급기구로부터 분출되어 배기구에 흡입되는 처리 가스에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 급기구와 배기구를 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시킨 유리판의 제조 방법에 있어서, 하부 구성체의 상면은 배기구로부터 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부보다 높게 되어 있는 것으로 특징지어진다. 여기에서 「수평 방향으로 반송되는 유리판」이란 유리판이 비경사 방향인 수평 방향으로 반송되는 경우뿐만 아니라 유리판이 수평면에 대해서 상하로 30° 이하의 각도로 경사한 방향으로 반송되는 경우도 포함한다(이하, 마찬가지). 또한, 이들 경우에 있어서의 유리판의 자세는 유리판이 반송 방향의 양측방에 대해서 비경사 상태가 되는 자세뿐만 아니라 유리판이 반송 방향의 일측방으로부터 타측방에 대해서 30° 이하의 각도로 경사 상태가 되는 자세도 포함한다(이하, 마찬가지). 또한, 「최고위의 상면부」란 해당하는 영역에 있어서 가장 높은 위치에 존재하는 상면부를 의미한다(이하, 마찬가지).

이러한 구성에 의하면 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측으로부터 배기구에 흡입되는 공기(약칭해서 상류측으로부터의 공기)는 급기구로부터 배기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부에 의해 상대적으로 큰 유통 저항(통로 저항)이 부여된다. 이에 대해서 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측으로부터 배기구에 흡입되는 공기(약칭해서 하류측으로부터의 공기)는 상대적으로 작은 유통 저항이 부여되는 것에 머무른다. 이 경우, 상류측으로부터의 공기는 급기구로부터 상방을 향해서 분출되고, 또한 유리판의 하면을 따라 유통되어서 배기구에 흡입되는 처리 가스의 흐름과 합류한다. 이 상류측으로부터의 공기의 유량은 하부 구성체의 상면 전역이 평면인 경우와 비교해서 감소함과 아울러, 하류측으로부터의 공기의 유량보다 매우 적어진다. 그 때문에 유리판의 하면을 따라 흐르는 처리 가스는 이것에 합류되는 상류측으로부터의 공기에 의해 희박화되기 어려워진다. 그 결과, 유리판의 하면에 대한 처리 가스에 의한 조화 능력이 향상되어 요구에 따라 유리판의 하면의 조화가 실현되어 조화 처리에 불균일이 발생하는 등의 문제가 회피된다. 게다가, 조화 능력을 높이기 위해서 처리 가스의 유량을 증가시킬 필요가 없어지기 때문에 유리판의 상면측으로 돌아 들어가는 처리 가스가 증량되는 일도 없다. 따라서 유리판의 상면에 에칭 결함이 발생하는 사태를 회피한 후에 유리판의 하면에 대한 조화 능력을 높이는 것이 가능해진다.

상기 방법에 있어서 하부 구성체의 상면은 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부보다 높게 되어 있어도 좋다.

이렇게 하면 상류측으로부터의 공기는 급기구로부터 배기구까지의 영역과 급기구의 상류측의 영역의 2개의 영역에 있어서의 최고위의 상면부에 의해 상대적으로 큰 유통 저항(통로 저항)이 부여된다. 게다가 이 2개의 영역에 있어서의 최고위의 상면부의 상호 간 간극을 실질적인 급기구로 할 수 있고, 이 실질적인 급기구는 유리판의 하면에 가까워지게 된다. 이것에 의해서도 처리 가스의 유량을 증가시키는 일 없이 유리판의 하면에 대한 처리 가스에 의한 조화 능력을 높인다는 효과를 얻을 수 있기 때문에 상술한 작용과의 상승적 작용에 의해 상기 효과가 배증된다.

이 경우의 방법에 있어서 하부 구성체의 상면은 배기구로부터 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부와 동일 높이로 되어 있어도 좋다.

이렇게 하면 상술한 2개 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 동일 높이이기 때문에 이 양자의 상면부의 상호 간 간극인 실질적인 급기구가 효율 좋게 유리판의 하면에 가까워지게 된다. 따라서 상술한 상승 효과를 효율 좋게 얻을 수 있다.

한편, 앞선 방법에 있어서 하부 구성체의 상면은 배기구로부터 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부보다 높게 되어 있어도 좋다.

이렇게 하면 상류측으로부터의 공기가 처리 가스의 흐름과 합류하는 영역에 있어서의 최고위의 상면부에 의해 상류측으로부터의 공기에 대해서 상대적으로 큰 유통 저항(통로 저항)이 낭비 없이 부여된다. 따라서 앞선 방법에 의한 효과와 실질적으로 동등의 효과를 낭비 없이 얻을 수 있다.

이 경우의 방법에 있어서 하부 구성체의 상면은 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부와 동일 높이로 되어 있어도 좋다.

이렇게 하면 하부 구성체의 상면에 있어서의 급기구의 상류측의 영역을 배기구의 하류측의 영역과 마찬가지로 종래와 같은 낮은 면인 채로서 두어도 상술한 효과를 향수할 수 있다. 이에 따라 하부 구성체에 추가하는 개량 개소가 삭감되어서 제작 비용의 저렴화가 도모된다.

이상의 방법에 있어서 배기구로부터 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부와 에칭 처리가 실시되어 있는 유리판의 하면의 상하 방향 이격 치수가 유리판의 상면과 상부 구성체의 하면의 상하 방향 이격 치수보다 짧은 것이 바람직하다.

이렇게 하면 배기구로부터 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부에 의해 보다 한층 확실하게 상대적으로 큰 유통 저항(통로 저항)이 부여된다. 따라서 상술한 효과의 확보가 보다 한층 확실하게 된다.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 의한 장치는 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과, 상부 구성체의 하면을 대향시켜서 배치하고, 대향하는 양면의 상호 간에 형성되는 처리 공간에서 급기구로부터 분출되어서 배기구에 흡입되는 처리 가스에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 급기구와 배기구를 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시킨 유리판의 제조 장치에 있어서 하부 구성체의 상면은 배기구로부터 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부보다 높게 되어 있는 것으로 특징지어진다.

이 유리판의 제조 장치는 앞선 방법과 실질적으로 동일한 구성 요건을 구비하고 있다. 따라서 이 장치에 대한 설명 사항도 앞선 방법에 대한 설명 사항과 실질적으로 동일하게 되기 때문에 여기에서는 그 설명을 생략한다.

(발명의 효과)

본 발명에 의하면 유리판의 상면측으로 돌아 들어가는 처리 가스의 유량을 부당하게 증가시키는 일 없이 유리판의 하면에 대한 처리 가스에 의한 조화 능력을 높일 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치의 전체 개략 구성을 나타내는 종단 정면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치의 구성 요소인 급기구의 주변 구조를 나타내는 요부 확대 종단 정면도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 정면도이다.
도 7은 도 1의 일부 구성을 나타내는 부분 확대 종단 정면도이다.
도 8은 도 1의 구성에 있어서의 일부를 변형한 예의 전체 구성을 나타내는 종단 정면도이다.
도 9는 도 8의 일부 구성을 나타내는 부분 확대 정면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 의한 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치에 대해서 첨부 도면을 참조해서 설명한다.

<제 1 실시형태>

우선, 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치의 전체 개략 구성을 설명한다. 도 1은 그 전체 개략 구성을 나타내는 종단 정면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는 도 1에 있어서의 지면과 직교하는 방향을 폭 방향이라고 한다. 동 도면에 나타내는 바와 같이 유리판의 제조 장치(1)는 반입구(2a)로부터 챔버(2) 내로 반입한 유리판(3)을 수평 방향으로 반송하면서 챔버(2) 내에 있어서의 유리판(3)의 반송 경로 상에 설치한 처리 에리어(4)에서 처리 가스(5)로서의 불화 수소에 의해 에칭 처리를 실시하는 구성으로 되어 있다. 그리고 에칭 처리 후의 유리판(3)은 반출구(2b)로부터 챔버(2) 외로 반출된다.

챔버(2)는 그 외형이 폭 방향으로 장척인 직육면체형상으로 형성되어 그 내부 공간으로부터의 처리 가스(5)의 유출을 방지하고 있다. 그리고 이 챔버(2)의 측벽부(2c)에 상술한 반입구(2a)와 반출구(2b)가 형성되어 있다. 또한, 챔버(2)의 재질은 처리 가스(5)(불화 수소)에 대한 내식성이 우수한 폴리염화비닐이다.

처리 에리어(4)에는 수평 방향으로 반송되는 유리판(3)에 대해서 처리 가스(5)를 블로잉함으로써 에칭 처리를 실시하기 위한 에칭 장치(6)가 배치되어 있다. 이 에칭 장치(6)는 챔버(2)의 천정벽(2d)과 사이에 간극(7)이 형성되도록 챔버(2)의 저부(2e)에 설치되어 있다.

또한, 이 유리판의 제조 장치(1)는 챔버(2) 내외에 배치되어서 유리판(3)을 수평 방향으로 일직선형상을 따라 반송하는 복수의 반송 롤러(8)를 구비하고 있다. 이들 반송 롤러(8)는 반송 경로를 따르는 방향으로 복수 배치되어 있을 뿐만 아니라 폭 방향으로도 복수 배치되어 있다(도 3 참조).

도 2는 에칭 장치(6)의 구성을 상세하게 설명하기 위한 확대 종단 정면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는 도 2에 있어서의 지면과 직교하는 방향을 폭 방향으로 한다. 또한, 도 2에 나타내는 화살표(A) 방향은 유리판(3)의 반송 방향이며, 이 화살표(A) 방향을 간단히 반송 방향이라고 한다. 또한, 본 실시형태에서는 유리판(3)의 반송 방향과, 후술하는 처리 공간(15)에서의 처리 가스(5)의 흐름 방향이 동일하며, 상기 처리 가스(5)의 흐름 방향의 상류측을 간단히 상류측이라고 하고, 그 흐름 방향의 하류측을 간단히 하류측이라고 한다. 따라서 도 2에 있어서의 우측이 상류측(반송 방향 후방측)이며, 좌측이 하류측(반송 방향 전방측)이다.

도 2에 나타내는 바와 같이 에칭 장치(6)는 상측에 배치된 상부 구성체(10)와, 하측에 배치된 하부 구성체(11)를 갖고, 이 양 구성체(10, 11)는 폭 방향의 양단에서 연결벽(12)에 의해 연결 일체화되어 있다. 그리고 상부 구성체(10)의 하면(13)과 하부 구성체(11)의 상면(14)의 상호 간에 반송되는 유리판(3)의 하면에 대해서 처리 가스(5)에 의한 에칭 처리를 실시하기 위한 처리 공간(15)이 형성되어 있다. 또한, 상부 구성체(10) 및 하부 구성체(11)의 재질은 폴리염화비닐이다. 또한, 상부 구성체(10)와 하부 구성체(11)에는 처리 가스(5)에 의한 결로의 발생을 방지하기 위한 가열 부재(16)(예를 들면, 히터 등)가 내장되어 있다.

상부 구성체(10)는 한 장의 평판형상을 이루는 천정판(17)으로 구성되며, 이 천정판(17)의 하면, 즉 상부 구성체(10)의 하면(13)은 단일의 평면이다. 따라서 천정판(17)의 하면(13)은 요철을 갖지 않는다. 즉, 천정판(17)은 폭 방향(길이 방향)의 양단부만이 연결벽(12)에 볼트 등으로 고정되어 있기 때문에 천정판(17)의 하면(13)에는 볼트 또는 볼트 구멍 등의 존재에 의한 요철이 형성되어 있지 않다. 그리고 이 천정판(17)의 하면(13)은 반송되는 유리판(3)의 하면(3a) 및 상면(3b)과 평행하다.

하부 구성체(11)는 평판형상을 이루는 바닥판(18)과 바닥판(18)의 하부에 고정 된 급배기구체(19)를 갖는다. 바닥판(18)의 상하류 방향 중앙부보다 상류측 부근 위치에는 처리 공간(15)에 통하는 급기 구멍(20)이 형성된다. 또한, 급배기구체(19)의 상하류 방향 중앙부보다 상류측 부근 위치에는 급기 구멍(20)에 통하는 급기로(21)가 형성된다. 이 경우, 도시하지 않지만, 급기 구멍(20)은 상부가 좁혀져서 통로 면적이 작게 된 급기 소구멍부를 갖고 있어도 좋다. 그리고 바닥판(18)의 상면(18a)은 천정판(17)의 하면(13)과 평행하다.

바닥판(18)의 상부에는 상하류 방향의 중앙부 근방 영역에 평판형상의 메인 판형상체(22)가 재치 고정되어 있다. 메인 판형상체(22)의 상류측의 단면은 급기 구멍(20)의 하류측의 내측면과 대략 면일 상태로 되어 있다. 따라서, 메인 판형상체(22)의 상류측의 단면과 급기 구멍(20) 사이에는 단차가 형성되어 있지 않다. 또한, 바닥판(18)의 상부에는 상하류 방향의 중앙부보다 상류측의 영역에 평판형상의 보조 판형상체(23)가 재치 고정되어 있다. 보조 판형상체(23)의 하류측의 단면은 급기 구멍(20)의 상류측의 내측면과 대략 면일 상태로 되어 있다. 따라서 보조 판형상체(23)의 하류측의 단면과 급기 구멍(20) 사이에도 단차가 형성되어 있지 않다. 본 실시형태에서는 메인 판형상체(22)의 상면부(22a)와 보조 판형상체(23)의 상면부(23a)가 동일 높이 위치에 존재하고 있다. 그리고 메인 판형상체(22)의 상류측의 단면과 보조 판형상체(23)의 하류측의 단면 사이의 간극(24)이 바닥판(18)의 급기 구멍(20)에 통하고 있다. 따라서 처리 가스(5)를 상방으로 유도해서 처리 공간(15)에 분출시키기 위한 급기용 통로(25)는 상술한 간극(24)과, 급기 구멍(20)과, 급기로(21)로 구성된다. 그리고 이 급기용 통로(25)의 상단부, 즉 상술한 간극(24)의 상단부가 하부 구성체(11)의 상면(14)에 형성된 급기구(26)가 된다.

바닥판(18)의 상하류 방향 중앙부보다 하류측 부근 위치에는 처리 공간(15)에 통하는 배기 구멍(27)이 형성된다. 또한, 급배기구체(19)의 상하류 방향 중앙부보다 하류측 부근 위치에는 배기 구멍(27)에 통하는 배기로(28)가 형성된다. 따라서 처리 가스(5)를 처리 공간(15)으로부터 하방으로 흡입해서 회수하기 위한 회수용 통로(29)는 배기 구멍(27)과 배기로(28)로 구성된다. 그리고 이 회수용 통로(29)의 상단 개구부가 바닥판(18)의 상면(18a), 즉 하부 구성체(11)의 상면(14)에 형성된 배기구(30)가 된다. 여기에서 처리 공간(15)은 엄밀하게는 상부 구성체(10)의 하면(13)과 하부 구성체(11)의 상면(14) 사이에 있어서의 급기구(26)와 배기구(30)의 상호 간 이격 범위 내에 형성되는 공간이다. 또한, 급배기구체(19)에 있어서의 급기로(21)의 하단 및 배기로(28)의 하단은 챔버(2)의 바닥벽(2f)에 형성된 관통 구멍(31, 32)을 각각 통하여 챔버(2) 외의 관로(도시 생략)에 통하고 있다.

이 경우에 있어서 메인 판형상체(22)의 하류측의 단면은 배기구(30)로부터 상류측으로 약간 이격해서 위치하고 있다. 따라서 메인 판형상체(22)와 배기구(30) 사이에는 메인 판형상체(22)의 하류측의 단면인 단차(단차 형성면)(22b)가 형성되어 있다. 여기에서 급기구(26)로부터 배기구(30)까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부는 메인 판형상체(22)의 상면부(22a), 즉 전역이 평면으로 된 상면부(22a)이다. 또한, 배기구(30)의 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부는 바닥판(18)에 있어서의 배기구(30)의 하류측의 부분 상면(18ab), 즉 상기 전역이 평면으로 된 부분 상면(18ab)이다. 그리고 상면부(22a)와 부분 상면(18ab)은 상부 구성체(10)의 하면(13)과 평행하다. 상면부(22a)는 부분 상면(18ab)보다 높게 되어 있다. 이 경우의 고저차 치수(H)는 부분 상면(18ab)과, 유리판(3)의 하면(3a)의 상하 방향 이격 치수(S1)의 10~90%가 바람직하며, 30~70%가 보다 바람직하다.

한편, 보조 판형상체(23)의 상류측의 단면은 바닥판(18)의 상류측의 단면으로부터 하류측으로 이격해서 위치하고 있다. 따라서 보조 판형상체(23)와 바닥판(18)의 상류측의 단면 사이에는 보조 판형상체(23)의 상류측의 단면인 단차(단차 형성면)(23b)가 형성되어 있다. 여기에서 급기구(26)의 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부는 보조 판형상체(23)의 상면부(23a), 즉 전역이 평면으로 된 상면부(23a)이다. 이 상면부(23a)도 배기구(30)의 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 부분 상면(18ab)보다 높게 되어 있어 상면부(23a)와 부분 상면(18ab)의 고저차 치수는 상술한 메인 판형상체(22)의 경우와 동일하다.

본 실시형태에서는 하부 구성체(11)의 상면(14)이 다음과 같이 구성된다. 즉, 급기구(26)로부터 배기구(30)까지의 영역에 있어서의 상면부는 메인 판형상체(22)의 평면으로 이루어지는 상면부(22a)와, 단차(22b)와, 바닥판(18)의 평면으로 이루어지는 부분 상면(18ac)으로 구성된다. 또한, 급기구(26)의 상류측의 영역에 있어서의 상면부는 보조 판형상체(23)의 평면으로 이루어지는 상면부(23a)와, 단차(23b)와, 바닥판(18)의 평면으로 이루어지는 부분 상면(18ad)으로 구성된다. 또한, 배기구(30)의 하류측의 영역에 있어서의 상면부는 바닥판(18)의 평면으로 이루어지는 부분 상면(18ab)만으로 구성된다.

도 3은 바닥판(18) 및 그 상방 주변부를 급기용 통로(25)의 흐름 중심 축선을 포함하는 형태로 절단한 확대 종단 측면도이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이 바닥판(18)에 형성되어 있는 급기 구멍(20)과, 메인 판형상체(22) 및 보조 판형상체(23)의 상호 간에 형성되어 있는 급기구(26)는 모두 폭 방향으로 장척인 슬롯형상으로 형성된다. 이들 급기 구멍(20) 및 급기구(26)의 폭 방향 치수는 모두 유리판(3)의 폭 방향 치수보다 길게 되어 있다. 또한, 도시하지 않지만 바닥판(18)에 형성되어 있는 배기 구멍(27) 및 배기구(30)도 모두가 폭 방향으로 장척인 슬롯형상으로 형성된다. 그리고 이들 배기 구멍(27) 및 배기구(30)의 폭 방향 치수도 모두가 유리판(3)의 폭 방향 치수보다 길게 되어 있다.

도 4는 바닥판(18)에 형성된 급기 구멍(20)의 상부의 주변 구조를 나타내는 요부 확대 종단 정면도이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이 급기 구멍(20)의 상하류 방향 치수(L)는 상기 급기 구멍(20)의 상하 방향 중간에 위치해서 폭 방향으로 복수 설치된 스페이서(33)(도 3도 참조)에 의해 일정 치수가 되도록 조절되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는 급기 구멍(20)은 바닥판(18)을 상류측 부위에서 분할한 각 분할 바닥판의 대향 단면 간의 간극이며, 이 간극의 크기가 스페이서(33)에 의해 조정되어 있다.

여기에서 급기 구멍(20)의 상단 개구부로부터 스페이서(33)까지의 깊이 치수(B)는 10~100㎜의 범위 내로 하는 것이 바람직하다. 이 깊이 치수(B)가 지나치게 짧으면 스페이서(33)의 존재에 의해 급기 구멍(20) 내의 처리 가스(5)의 흐름에 흐트러짐이 발생하고, 에칭 처리에 의한 유리판(3)의 하면(3a)의 조화에 불균일이 발생할 우려가 있다. 이에 대해서 깊이 치수(B)가 지나치게 길면 급기구(26)의 상하류 방향 치수(L)를 미세 조절하는 것이 곤란해진다. 그 때문에 급기구(26)로부터 처리 공간(15)으로의 처리 가스(5)의 공급량이 과대 또는 과소가 되어서 유리판(3)의 하면(3a)을 소망의 표면 거칠기로 조화할 수 없을 우려가 있다. 따라서 급기 구멍(20)의 상단 개구부로부터 스페이서(33)까지의 깊이 치수(B)는 상기 수치 범위 내에 있는 것이 바람직하다.

이어서, 이상의 구성을 구비한 유리판의 제조 장치(1)의 작용, 즉 유리판의 제조 방법에 대해서 설명한다.

도 5는 에칭 장치(6)의 특히 상부의 구성을 상세하게 나타내는 확대 종단 정면도이다. 동 도면에 화살표가 부착된 실선으로 나타내는 경로는 처리 가스(5)의 대체적인 유통 경로이며, 동 도면에 화살표가 부착된 점선으로 나타내는 경로는 공기의 대체적인 유통 경로이다. 이들의 유통 경로를 참작하면 처리 가스(5)는 급기구(26)로부터 상방을 향해서 분출되고, 또한 유리판(3)의 하면(3a)을 따라 하류측을 향해서 흐른 후에 배기구(30)에 흡입된다. 이에 따라 에칭 장치(6) 외방의 상류측으로부터 처리 공간(15)을 향해서 흐르는 공기(이하, 상류측으로부터의 공기라고 한다)(34)는 처리 가스(5)와 합류해서 유리판(3)의 하면(3a)을 따라 흐른 후에 배기구(30)에 흡입된다. 또한, 에칭 장치(6) 외방의 하류측으로부터 처리 공간(15)을 향해서 흐르는 공기(이하, 하류측으로부터의 공기라고 한다)(35)는 처리 가스(5)의 흐름의 하류단 주변에서 처리 가스(5)와 접촉 또는 충돌하여 배기구(30)에 흡입된다. 이러한 처리 가스(5)와 공기(34, 35)의 유통이 행해짐으로써 유리판(3)의 하면(3a)에 대해서 적정한 에칭 처리가 실시된다.

이 경우에 있어서 상류측으로부터의 공기(34)는 보조 판형상체(23)와 메인 판형상체(22)가 방해부가 되는 것에 기인하여 상대적으로 큰 유통 저항(통로 저항)이 부여된 상태로 처리 가스(5)와 합류하여 유리판(3)의 하면(3a)을 따라 흐른다. 이에 대해서 하류측으로부터 공기(35)는 상기와 같은 방해부가 존재하지 않는 점에서 상대적으로 작은 유통 저항이 부여되는 것에 머무른다. 따라서 상류측으로부터의 공기(34)의 유량은 하부 구성체(11)의 상면(14) 전역이 평면인 경우와 비교해서 감소함과 아울러, 하류측으로부터의 공기(35)의 유량보다 대폭으로 적어진다. 그 때문에 유리판(3)의 하면(3a)을 따라 흐르는 처리 가스(5)는 이것에 합류되는 상류측으로부터의 공기(34)에 의해 희박화되기 어려워진다. 또한, 보조 판형상체(23)의 상면부(23a)와 메인 판형상체(22)의 상면부(22a)는 동일 높이 위치에 존재하는 것에 기인하여 급기구(26)가 유리판(3)의 하면(3a)에 가까워지고 있다.

이들의 상승 효과에 의해 유리판(3)의 하면(3a)에 대한 처리 가스(5)에 의한 조화 능력이 높아져 요구에 따른 유리판(3)의 하면(3a)의 조화가 실현되어 조화 처리에 불균일이 발생하는 등의 문제가 회피된다. 게다가 조화 능력을 높이기 위해서 처리 가스(5)의 유량을 증가시킬 필요가 없어지기 때문에 유리판(3)의 상면(3b)측으로 돌아 들어가는 처리 가스(5)가 증량될 일도 없다. 따라서 유리판(3)의 상면(3b)에 에칭 결함이 발생하는 사태를 회피한 후에 유리판(3)의 하면(3a)에 대한 조화 능력을 높일 수 있다.

<제 2 실시형태>

이어서, 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치(그 제조 방법)에 대해서 설명한다. 또한, 이 제 2 실시형태의 설명에 있어서 상기 제 1 실시형태에서 이미 설명한 구성 요소에 대해서는 참조 도면에 동일 부호를 붙임으로써 중복되는 설명을 생략하고, 여기에서는 제 1 실시형태와의 상위점에 대해서만 설명한다.

도 6에 나타내는 바와 같이 이 제 2 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치(1)가 상기 제 1 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치(1)와 상위하고 있는 점은 하부 구성체(11)의 상부에 보조 판형상체가 설치되어 있지 않고, 메인 판형상체(22)만이 재치 고정되어 있는 점이다. 따라서 하부 구성체(11)의 상면(14)은 메인 판형상체(22)의 상면부(22a)와, 그것보다 낮은 위치에 존재하는 바닥판(18)의 상류측의 부분 상면(18ad), 및 바닥판(18)의 하류측의 부분 상면(18ab, 18ac)과, 단차(22b)로 구성된다. 이 바닥판(18)의 3개의 부분 상면(18ab, 18ac, 18ad)은 동일 높이 위치에 존재하고 있다. 또한, 처리 가스(5)를 상방으로 유도해서 처리 공간(15)에 분출시키기 위한 급기용 통로(25)는 바닥판(18)에 형성된 급기 구멍(20)과 급배기구체(19)에 형성된 급기로(21)로 구성된다. 그리고 이 급기용 통로(25)의 상단 개구부, 즉 급기 구멍(20)의 상단 개구부가 하부 구성체(11)의 상면(14)에 형성된 급기구(26)가 된다.

이 제 2 실시형태에 의한 유리판의 제조 장치(1)에 의하면 상류측으로부터의 공기(34)는 메인 판형상체(22)가 방해부가 되는 것에 기인하여 상대적으로 큰 유통 저항(통로 저항)이 부여된 상태로 처리 가스(5)와 합류하여 유리판(3)의 하면(3a)을 따라 흐른다. 이에 대해서 하류측으로부터 공기(35)는 상기와 같은 방해부가 존재하지 않는 점에서 상대적으로 작은 유통 저항이 부여되는 것에 머무른다. 따라서 상류측으로부터의 공기(34)의 유량은 하부 구성체(11)의 상면(14) 전역이 평면인 경우와 비교해서 감소함과 아울러, 하류측으로부터의 공기(35)의 유량보다 대폭으로 적어진다. 그 때문에 유리판(3)의 하면(3a)을 따라 흐르는 처리 가스(5)는 이것에 합류되는 상류측으로부터의 공기(34)에 의해 희박화되기 어려워진다. 그 결과, 급기구(26)는 유리판(3)의 하면(3a)에 가까워지지 않지만, 상기 제 1 실시형태의 경우와 대략 동질 동등의 효과를 얻을 수 있다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 하부 구성체(11)의 상부에 메인 판형상체(22)와, 이것과 상면 높이가 동일한 보조 판형상체(23)를 재치 고정하거나 또는 메인 판형상체(22)만을 재치 고정한 경우를 예시했다. 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니며, 메인 판형상체(22)와 보조 판형상체(23)의 쌍방을 재치 고정한 후에 메인 판형상체(22)의 상면부(22a)의 높이 위치를 보조 판형상체(23)의 상면부(23a) 높이 위치보다 높게 해도 좋다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 메인 판형상체(22)가 하류측에서 배기구(30)로부터 이격하고, 상류측에서 급기구(26)에 도달하도록 배치되어 있지만, 상류측에서 급기구(26)로부터 이격하고, 하류측에서 배기구(30)에 도달하도록 배치되어 있어도 좋고, 또는 상류측 및 하류측의 쌍방에서 급기구(26) 및 배기구(30)로부터 이격하고, 또는 상류측 및 하류측의 쌍방에서 급기구(26) 및 배기구(30)에 도달하도록 배치되어 있어도 좋다. 또한, 보조 판형상체(23)에 대한 급기구(26)와 바닥판(18)의 상류측의 단면 사이의 위치 관계에 대해서는 상술한 메인 판형상체(22)에 대한 급기구(26)와 배기구(30) 사이의 위치 관계를 마찬가지로 적용 가능하다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 메인 판형상체(22)의 상면부(22a)와 보조 판형상체(23)의 상면부(23a)가 모두 평면으로 되어 있지만, 어느 한쪽 또는 쌍방의 상면이 상방으로 볼록, 또는 상방으로 오목이 되도록 만곡, 또는 굴곡진 곡면이어도 좋다. 그 경우에는 곡면의 가장 높은 부위가 메인 판형상체(22), 보조 판형상체(23)의 최고위의 상면부가 된다. 이 「최고위의 상면부」에 의한 설명 사항은 바닥판(18)의 부분 상면(18ab, 18ac, 18ad)에 대해서도 마찬가지로 적용 가능하다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 유리판(3)의 반송 방향과, 처리 공간(15)에서의 처리 가스(5)의 흐름 방향을 동일하게 했지만, 유리판(3)의 반송 방향은 이것과 역방향이어도 좋다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 바닥판(18)의 상부에 메인 판형상체(22)(보조 판형상체(23))를 재치 고정했지만, 바닥판(18)과 메인 판형상체(22)(보조 판형상체(23))를 별체로 하지 않고 이들을 일체화해도 좋다.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 급배기구체(19)를 일체로 하고, 이것에 급기로(21) 및 배기로(28)를 형성했지만, 급기로(21)가 형성된 급기구체와, 배기로(28)가 형성된 배기 구체를 별체로 하여 필요에 따라서 이 급기구체와 배기구체를 상하류 방향으로 이격해서 배치해도 좋다.

이상의 설명은 주로 에칭 장치(6)에 의한 것이지만, 이것 외에 본 발명에 의한 유리판의 제조 장치(1)는 이하에 나타내는 바와 같은 구성을 구비하고 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이 챔버(2)에 형성된 반입구(2a) 및 반출구(2b)는 모두 상하 방향을 따르는 개구폭을 조절할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 반입구(2a)와 반출구(2b)의 상부 가장자리부(2aa, 2ba)의 주변 및 하부 가장자리부(2ab, 2bb)의 주변에는 각각 챔버(2)의 측벽부(2c)를 따라 상하 방향 이동이 가능한 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37)가 배치되어 있다. 또한, 챔버(2) 내 및 챔버(2) 외에는 각각 기압계(도시 생략)가 설치되어 있다. 따라서 개구폭 조절 부재(36, 37)에 의한 반입구(2a) 및 반출구(2b)의 개구폭의 조절은 상기 양 기압계에 의해 측정된 챔버(2) 내외의 기압 차에 의거하여 행해진다. 이에 따라 챔버(2) 내외의 기압 차에 기인하여 발생하는 기류(38)의 유속 또는 유량이 제어된다. 상세하게 설명하면 챔버(2) 내외의 기압 차에 의거하여 반입구(2a), 반출구(2b)를 통해서 챔버(2) 내로 유입하는 기류(38), 또는 챔버(2) 외로 유출하는 기류(38)의 유속(유량)이 제어된다. 또한, 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37)의 재질은 모두 폴리염화비닐이다.

개구폭 조절 부재(36(37))는 폭 방향으로 장척인 직사각형의 판형상 부재로 구성되고, 이 판형상 부재의 폭 방향 치수는 반입구(2a) 및 반출구(2b)의 폭 방향 치수보다 길게 되어 있다. 또한, 개구폭 조절 부재(36(37))는 챔버(2)의 측벽부(2c)에 고정 설치된 가이드 레일(39)을 따라 상하 방향으로 이동 가능하게 된다. 또한, 개구폭 조절 부재(36(37))는 그 이동을 담당하는 구동 기구로서의 볼나사 기구(40)에 연결되어 있다.

볼나사 기구(40)는 개구폭 조절 부재(36(37))에 직결된 너트 부재(40a)와, 자전에 의해 너트 부재(40a)를 통하여 개구폭 조절 부재(36(37))를 상하동시키는 볼나사(40b)와, 챔버(2) 내외를 관통하고, 또한 볼나사(40b)와 동기하여 회전하는 회전축(40c)을 갖는다. 또한, 챔버(2) 외에 있어서의 회전축(40c)의 외방단에는 작업자에 의해 조작 가능한 핸들(40d)이 장착되어 있다. 따라서 작업자는 챔버(2) 외에서 핸들(40d)을 조작함으로써 볼나사(40b)를 회전시켜서 개구폭 조절 부재(36(37))를 상하동시키는 것이 가능하다.

이 경우에 있어서 도 7에 나타내는 바와 같이 반입구(2a) 및 반출구(2b)는 모두(도 7에서는 반입구(2a)만을 도시) 이들을 통과 중인 유리판(3)을 기준으로 하여 상부 가장자리부(2aa)의 주변에 배치되는 개구폭 조절 부재(36) 쪽이 하부 가장자리부(2ab)의 주변에 배치되는 개구폭 조절 부재(37)보다 이간된 상태가 되도록 개구폭이 조절된다. 즉, 상부 가장자리부(2aa)의 주변에 배치되는 개구폭 조절 부재(36)와 유리판(3)의 상면(3b)의 상측 상호 간 거리(A1) 쪽이 하부 가장자리부(2ab)의 주변에 배치되는 개구폭 조절 부재(37)와 유리판(3)의 하면(3a)의 하측 상호 간 거리(A2)보다 길어지도록 개구폭이 조절된다. 상측 상호 간 거리(A1)의 길이와 하측 상호 간 거리(A2)의 길이의 비율로서는 상측 상호 간 거리(A1)의 길이를 하측 상호 간 거리(A2)의 길이에 대해서 2배 이상으로 하는 것이 바람직하다.

여기에서 도면 예에서는 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37) 각각이 챔버(2)의 측벽부(2c)를 따라 상하동함으로써 반입구(2a) 및 반출구(2b)의 상하 방향을 따르는 개구폭을 조절하는 구성으로 되어 있지만, 이외의 구성이어도 지장이 없다. 예를 들면, 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37)의 이동 방향은 반입구(2a) 및 반출구(2b)를 정면으로부터 볼 때 상하 방향에 대해서 경사져 있어도 좋다. 또한, 예를 들면 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37)가 반입구(2a)와 반출구(2b)의 상부 가장자리부(2aa(2ba)) 및 하부 가장자리부(2ab(2bb))에 연결되는 측벽부(2c)의 부분 영역에 각각 내장된 상태로 돌출 이동 및 후퇴 이동함으로써 개구폭을 조절하도록 구성해도 좋다.

또한, 도면 예에서는 작업자에 의한 핸들(40d)의 조작에 의해 볼나사(40b)를 회전시켜서 개구폭 조절 부재(36(37))를 이동시키는 구성으로 되어 있지만, 작업자에 의하지 않고, 모터 등의 동력원을 사용하여 볼나사(40b)를 회전시키는 구성으로 해도 좋다. 또한, 도면 예에서는 볼나사 기구(40)에 의해 개구폭 조절 부재(36(37))를 이동시키는 구성으로 되어 있지만, 예를 들면 래크 앤드 피니언 기구 등에 의해 개구폭 조절 부재(36(37))를 이동시키는 구성으로 해도 좋다.

이상과 같이 반입구(2a) 및 반출구(2b)의 개구폭을 조절하는 구성을 채용하면 이하에 나타내는 바와 같은 작용 효과를 향수할 수 있다.

즉, 챔버(2) 내외의 기압 차에 기인하여 반입구(2a), 반출구(2b)를 통해서 챔버(2) 내로 유입하는 기류(38) 또는 챔버(2) 외로 유출하는 기류(38)가 발생했을 경우에 기류(38)에 의해 처리 가스(5)의 흐름에 흐트러짐이 발생하는 것을 가급적으로 회피할 수 있다. 상세하게 설명하면 반입구(2a) 및 반출구(2b) 각각에 있어서의 상하 방향을 따르는 개구폭을 챔버(2) 내외의 기압 차에 의거하여 조절함으로써 챔버(2) 내로 유입하는 기류(38) 또는 챔버(2) 외로 유출하는 기류(38)의 유속(유량)을 처리 가스(5)의 흐름에 영향을 부여하지 않는 크기로 제어할 수 있다. 그 결과, 처리 가스(5)에 의한 유리판(3)에 대한 에칭 처리를 보다 한층 적정하게 실행하는 것이 가능해진다.

본 발명에 의한 유리판의 제조 장치(1)는 이상에서 설명한 챔버(2)의 구성 및 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37)의 구성 대신에 이하에 나타내는 바와 같은 구성을 채용할 수 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서는 이미 설명한 구성 요건과 공통의 것에 대해서는 참조 도면에 동일 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

도 8에 나타내는 바와 같이 챔버(2)에는 3개의 천정 구멍(2g)이 형성됨과 아울러, 이 천정 구멍(2g) 각각을 막기 위한 판형상의 덮개체(2h)가 부착 설치되어 있다. 덮개체(2h)는 천정 구멍(2g)의 개구 전체를 막는 것이 가능함과 아울러, 챔버(2)로의 부착 및 챔버(2)로부터의 분리가 가능하게 되어 있다. 또한, 덮개체(2h)의 재질은 폴리염화비닐이다.

도 9에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37)는 각각 판형상 부재로 구성됨과 아울러, 볼트(36a(37a))를 관통시키기 위한 상하 방향으로 장척인 한 쌍의 긴 구멍(36b(37b))을 갖는다. 또한, 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37) 및 볼트(36a(37a))의 재질은 폴리염화비닐이다. 그리고 볼트(36a(37a))는 긴 구멍(36b(37b))에 유삽되어 챔버(2)의 측벽부(2c)에 형성된 나사 구멍(도시 생략)에 고정되어 있다. 따라서 볼트(36a(37a))와 긴 구멍(36b(37b))의 상대적인 상하 방향의 위치 관계를 조절함과 아울러, 볼트(36a(37a))에 의해 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37)를 위치 결정 고정함으로써 반입구(2a) 및 반출구(2b)의 상하 방향을 따르는 개구폭의 조절이 가능하다. 이 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37)에 의한 반입구(2a) 및 반출구(2b)의 개구폭의 조절은 챔버(2)로부터 덮개체(2h)를 제거함으로써 천정 구멍(2g)을 통해 작업자가 행하는 것이 가능하다.

한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37) 중, 상측의 개구폭 조절 부재(36)는 볼트(36a)가 풀어져서 자중에 의해 하방으로 낙하했을 때에 있어서도 유리판(3)이 반입구(2a), 반출구(2b)를 통과하는 것을 저해하지 않도록 조절이 이루어져 있다. 상세하게 설명하면 개구폭 조절 부재(36)가 가장 하방에 위치했을 경우, 즉 도 9에 나타내는 바와 같이 볼트(36a)가 긴 구멍(36b)의 상단에 위치한 경우에도 개구폭 조절 부재(36)의 하단부가 유리판(3)의 반송 경로보다 상방에 위치하는 관계에 있다. 이러한 위치 관계가 되도록 볼트(36a)의 고정 위치(챔버(2)의 측벽부(2c)에 형성된 나사 구멍의 형성 위치)와 긴 구멍(36b)의 상하 방향 치수가 조절되어 있다.

이상과 같은 구성에 의하면 챔버(2)로부터 덮개체(2h)를 분리한 후, 측정된 기압 차에 의거하여 작업자가 천정 구멍(2g)을 통해 한 쌍의 개구폭 조절 부재(36, 37) 각각 상하 방향에 대한 위치 결정을 할 수 있다. 따라서 이 경우에도 반입구(2a) 및 반출구(2b)의 상하 방향을 따르는 개구폭이 조절 가능해진다.

1: 유리판의 제조 장치 3: 유리판
3a: 유리판의 하면 3b: 유리판의 상면
5: 처리 가스 6: 에칭 장치
10: 상부 구성체 11: 하부 구성체
13: 상부 구성체의 하면 14: 하부 구성체의 상면
15: 처리 공간 17: 천정판
18: 바닥판 22: 메인 판형상체
23: 보조 판형상체 26: 급기구
30: 배기구 34: 공기
35: 공기

Claims (7)

1. 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과, 상부 구성체의 하면을 대향시켜서 배치하고, 상기 대향하는 양면의 상호 간에 형성되는 처리 공간에서 상기 급기구로부터 분출되어서 상기 배기구에 흡입되는 처리 가스에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 상기 급기구와 상기 배기구를 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시킨 유리판의 제조 방법에 있어서,
   상기 하부 구성체의 상면은 상기 배기구로부터 상기 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 상기 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부보다 높게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 하부 구성체의 상면은 상기 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 상기 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부보다 높게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 하부 구성체의 상면은 상기 배기구로부터 상기 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 상기 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부와 동일 높이로 되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 하부 구성체의 상면은 상기 배기구로부터 상기 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 상기 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부보다 높게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,
   상기 하부 구성체의 상면은 상기 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 상기 급기구의 처리 가스 흐름 방향 상류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부와 동일 높이로 되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 배기구로부터 상기 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부와, 에칭 처리가 실시되어 있는 유리판의 하면의 상하 방향 이격 치수가 상기 유리판의 상면과 상기 상부 구성체의 하면의 상하 방향 이격 치수보다 짧은 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
7. 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과, 상부 구성체의 하면을 대향시켜서 배치하고, 상기 대향하는 양면의 상호 간에 형성되는 처리 공간에서 상기 급기구로부터 분출되어서 상기 배기구에 흡입되는 처리 가스에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 상기 급기구와 상기 배기구를 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시킨 유리판의 제조 장치에 있어서,
   상기 하부 구성체의 상면은 상기 배기구로부터 상기 급기구까지의 영역에 있어서의 최고위의 상면부가 상기 배기구의 처리 가스 흐름 방향 하류측의 영역에 있어서의 최고위의 상면부보다 높게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치.

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