JP2004331395A - 板状体搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 製作の容易化を図ることができる板状体搬送装置を提供する。
【解決手段】 塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通して板状体２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風手段１３とを一体的に組み付けた送風ユニット１４を、板状体２の搬送方向に並べて送風式支持手段３を構成し、この送風式支持手段３にて、水平又は略水平状態で搬送される板状体２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、板状体２を非接触状態で支持する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置に関する。

かかる板状体搬送装置は、液晶用のガラス基板等の板状体を搬送するために用いられるものであって、従来では、板状体を水平又は略水平状態で搬送するものとして、搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、その推進力付与手段にて両端部を接触支持されて、水平又は略水平状態で搬送される板状体の中間部を送風式支持手段にて支持するようになっていた。送風式支持手段は、板状体の搬送経路に沿って所定間隔おきに備えた多数の空気噴出部と、圧縮ポンプ等を含む供給源とを備えて、供給源からの圧縮空気を多数の空気噴出部に分配供給するように、供給源と空気噴出部とが供給管にて接続され、そして、空気噴出部から噴出する圧縮空気を、前記板状体の両端部の間に位置する中間部に供給して、板状体の中間部を非接触状態で支持するように構成されていた（例えば、特許文献１参照。）。
又、板状体を縦姿勢又はそれに近い姿勢で搬送するものとして、搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、前記板状体の下端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、その推進力付与手段にて下端部を接触支持されて、縦姿勢又はそれに近い姿勢で搬送される板状体の中間部を送風式支持手段にて支持するようになっていた。送風式支持手段は、板状体の搬送経路に沿って所定間隔おきに備えた多数の空気噴出部と、エアブロア等を含む供給源とを備えて、供給源からの圧縮空気を多数の空気噴出部に分配供給するように、供給源と空気噴出部とが供給管にて接続され、そして、空気噴出部から噴出する圧縮空気を、前記板状体の中間部に供給して、板状体の中間部を非接触状態で支持するように構成されていた（例えば、特許文献２参照。）。

特開２００２−３２１８２０号公報 特開２００２−３０８４２３号公報

従来の板状体搬送装置では、送風式支持手段が、供給源と搬送方向に並ぶ多数の空気噴出部とを供給管にて接続する構成であるため、供給源と多数の空気噴出部とを、圧縮空気が漏れることのないように接続する煩雑な作業を要するものであり、板状体搬送装置の製作が煩雑なものとなっていた。
尚、板状体の搬送経路が長くなると、搬送方向に沿って所定間隔に備える空気噴出部の数が多くなるため、供給源も搬送方向に沿って所定間隔おきに設けて、複数個の供給源にて多数の空気噴出部に対して圧縮空気を分担して供給することになるが、このように複数個の供給源を設けると、それだけ構成が複雑となり、又、その複数個の供給源を配置するスペースが必要となる等の不利を招くものとなる。

本発明は上記実情を鑑みたものであり、その目的は、製作の容易化を図ることができる板状体搬送装置を提供する点にある。

請求項１によれば、板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置において、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを備えて構成されていることを特徴とする。

すなわち、送風式支持手段には、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とが備えられており、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給する機能が備えられているので、その送風式支持手段により、板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持することができる。

従って、除塵フィルタを板状体の搬送方向やその搬送方向に直交する横幅方向に大きなものとすることによって、送風手段からの空気を除塵フィルタの抵抗を利用して均一化し、板状体の下面の広範囲にわたって供給することができるので、送風手段と多数の除塵フィルタとを接続する通風路を備える場合であったとしても、接続する除塵フィルタの数が少なくて済むため、送風手段と除塵フィルタとを接続する箇所が減少して作業が簡単なものとなる等、送風式支持手段の設置が簡単に行えて、製作の容易化を図ることができる板状体搬送装置を提供することができる。尚、除塵フィルタの送風下手側に整風板等を設けることによってより均一化された正常空気を板状体の下面に供給することができる。

請求項２によれば、前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、水平又は略水平状態の前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、前記送風式支持手段が、前記板状体における両端部の間に位置する中間部を支持するように構成されていることを特徴としている。

すなわち、板状体の両端部を、推進力付与手段の駆動回動体で接触支持するとともに、板状体における両端部の間に位置する中間部を、送風式支持手段によって非接触状態で支持し、駆動回動体と送風式支持手段とによって支持した板状体を、板状体の両端部を接触支持する駆動回動体にて推進力を付与する。

従って、駆動回動体によって、両端部を接触支持することにより板状体を安定した状態で支持し、その支持する駆動回動体により推進力が付与されるので安定した状態のままで搬送することができるとともに、送風式支持手段によって、板状体の中間部を板状体の破損を抑えながら板状体の弛みを抑えるように支持することができるため、板状体は安定した姿勢で支持された状態で搬送されることとなり、板状体の搬送を円滑に行うことができる。

請求項３によれば、前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタと前記送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、板状体の搬送方向に並べて構成されていることを特徴としている。

すなわち、送風ユニットには、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とが一体的に組み付けられており、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給する機能が備えられているので、その搬送ユニットにより、板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持することができる。そして、この送風手段と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを、板状体の搬送方向に並べることで送風式支持手段が構成されている。

従って、送風装置と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを板状体の搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる板状体搬送装置を提供することができる。

請求項４によれば、前記送風式支持手段が、前記搬送方向に並べた複数の前記除塵フィルタと、前記送風手段からの空気を複数の前記除塵フィルタに分配供給する通風路とを備えて構成されていることを特徴としている。

すなわち、通風路により送風手段からの空気を複数の除塵フィルタに分配供給する構成であるため、除塵フィルタに対して数少ない送風手段にて空気を分配供給することができるので、送風手段の数を減らすことができることにより、送風手段に対する配線が少なくなって簡素化されたり、送風式支持手段を軽量化させたりすることができる。

請求項５によれば、前記送風式支持手段と前記板状体の搬送経路とを収納する搬送空間を、密閉状態或いは略密閉状態に覆う搬送ケースが備えられ、前記送風手段が、前記搬送ケース内の空気を吸引して、その吸引した空気を前記除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気として供給する形態で、前記搬送空間内の空気を循環させるように構成されていることを特徴としている。

すなわち、搬送ケースにて、送風式支持手段と前記板状体の搬送経路とを収納する搬送空間を、密閉状態或いは略密閉状態に覆うことにより、外部から塵埃が搬送空間内に進入する可能性が少なくなる。従って、搬送ケースを備えることによって、板状体搬送装置を塵埃が多くて清浄度があまり高くない個所に備えたとしても、搬送空間内の清浄度を長期にわたって高く維持することができる。

請求項６によれば、前記搬送ケースが、前記搬送空間内の空気の一部を排出する空気排出部と、外部空気を前記搬送空間内に導入する空気導入部とを備えて構成されていることを特徴としている。

すなわち、空気排出部から搬送空間内の空気の一部を排出し、空気導入部から外部空気を搬送空間内に導入することにより、搬送空間内の換気を行うことができる。従って、送風式支持手段等の排熱による搬送空間内の温度上昇を抑制することができ、搬送空間内の温度を外部の温度或いはそれに近い温度に維持することができる。
また、送風ユニットによって空気導入部から外部空気を搬送空間内に導入することにより、その外部空気の導入により搬送ケース内が加圧され、搬送ケース内が加圧されることによって、空気排出部や搬送ケースの隙間等から搬送空間内の空気の一部が排出されるようになる。
従って、送風ユニットにより搬送空間内は加圧状態となるため、空気排出部や搬送ケースの隙間から搬送ケース外の空気が搬送空間内に進入することを防止することができ、搬送空間内のクリーン度を長期にわたって維持することができる。

請求項７によれば、前記空気排出部から排出される空気を除塵して外部に排出する外部排出手段が備えられていることを特徴としている。

すなわち、空気排出部から排出する搬送空間内の空気は外部排出手段にて除塵してから排出するものであり、搬送空間内において送風式支持手段等から発生した塵埃の外部への排出を外部排出手段にて防ぐことにより、搬送空間内から外部に排出される空気の清浄度を高くすることができる。従って、搬送空間内から外部に輩出される空気は洗浄度が高いので、板状体搬送装置をクリーンルーム等の清浄度の高い箇所に配設したとしても、その清浄度を高く維持することができる。

請求項８によれば、前記推進力付与手段における前記駆動回動体に対する駆動手段を収納する収納空間を略密閉状態で覆う収納ケースが、前記搬送ケースの横側に隣接する状態で備えられ、前記搬送ケースの前記空気排出部が、前記搬送空間内の空気を前記収納空間内に排出するように構成され、前記外部排出手段が、前記収納空間内の空気を吸引して、その空気を除塵して外部に排出するように構成されていることを特徴としている。

すなわち、搬送空間内の空気の一部を空気排出部から収納空間内に排出して収納空間内の空気と混在させ、そして、搬送空間内の空気の一部を混在させた収納空間内の空気を、外部排出手段にて吸引するとともに除塵して外部に排出するため、外部排出手段により、搬送空間内において送風式支持手段等から発生した塵埃とともに、収納空間内において駆動手段等から発生した塵埃も外部への排出を防ぐことができるので、収納空間内から排出される空気の清浄度を高くすることができるため、より一層クリーンルーム等の外部の清浄度を高く維持することができる。
また、外部排出手段によって収納ケース内の空気を外部に排出されることにより、その空気の排出により収納ケース内が減圧され、収納ケース内が減圧されることによって、空気排出部や収納ケースの隙間から収納空間内に空気が導入されるようになる。従って、外部排出手段により収納空間内は減圧状態となるため、空気排出部や収納ケースの隙間から塵埃が比較的多い搬送ケース内の空気が収納空間外に排出されることを防止することができ、搬送空間やクリーンルームの収納空間外のクリーン度を長期にわたって維持することができる。

請求項９によれば、前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる板状の多孔体と、前記多孔体の通気孔における清浄空気の流れを許容する状態で、清浄空気の流れ方向視において前記通気孔を塞ぐ遮蔽部とを備えて構成されていることを特徴としている。

すなわち、遮蔽部にて、前記多孔体の通気孔における清浄空気の流れを許容する状態で、清浄空気の流れ方向視において前記通気孔を塞ぐことにより、送風式支持手段を清浄空気の流れ方向に見た場合に、通気孔から除塵フィルタが見えなくなるので、送風式支持手段の外観、もっては板状体搬送装置の外観がよくなる。
特に、板状体として液晶のガラス基板を搬送する場合、その搬送されるガラス基板の欠陥検査、特性検査、エッジ検査等の検査を行うために、板状体搬送装置の搬送面、つまり、搬送されるガラス基板の下面と対向する面を黒色とすることが要求されるが、送風式支持手段においては、多孔体や遮蔽部を黒色とすることにより搬送面を容易に黒色とすることができる。

請求項１０によれば、前記板状体を搬送する上下２段の搬送部が備えられ、その上下２段の搬送部のうちの上側の搬送部が、下側の搬送部の上方を開放すべく一端側を支点にして上方側に揺動操作できるように構成されていることを特徴としている。

板状体を搬送する搬送部を上下２段に備えたとしても、上側の搬送部を一端側を支点に上方側に揺動操作することにより、下側の搬送部の上方が開放されるので、下段の搬送部のメンテナンスを容易に行うことができる。
尚、搬送部を上下２段にした場合、搬送ケースも上下２段に備えて上段の搬送部と下段の搬送部とを個々に搬送ケースに収納してもよく、また、上段の搬送部と下段の搬送部とを一つの搬送ケースに収納してもよい。

〔実施の形態１〕
以下、本発明に係る板状体搬送装置を、板状体として液晶用のガラス基板に適用し、そのガラス基板を水平又は略水平状態で搬送するものとし、送風ユニットを搬送方向に並べて送風式支持手段としての送風式支持装置を構成した場合について図面に基づいて説明する。

図１に示すように、板状体搬送装置Ｈは、板状体搬送ユニット１を、ガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものであり、自動的或いは人為的にガラス基板２を搬送上手側に位置する板状体搬送ユニット１に移載し、その移載されたガラス基板２を、送風式支持装置３と推進力付与手段４とで支持しながら、推進力付与手段４にて搬送上手側から搬送下手側に向けてガラス基板２を搬送し、搬送下手側に位置する板状体搬送ユニット１に搬送されたガラス基板２を、移載機等にて他の箇所に移載する。

図２、図３に示すように、板状体搬送ユニット１のそれぞれは、水平又は略水平状態で搬送されるガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持する送風式支持装置３と、ガラス基板２の両端部２ｂを接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体としての駆動ローラ９を備えて、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４と、後述する搬送空間Ａ並びに収納空間Ｂを略密閉状態で覆うケース体７とを備えて構成されている。

図３、図４に示すように、前記送風式支持装置３は、塵埃を除去するＵＬＰＡフィルタにて構成される除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン１３とを一体的に組み付けた送風ユニットとしてのファンフィルタユニット１４を、ガラス基板２の搬送方向に並べて構成されている。つまり、送風式支持装置３におけるファンフィルタユニット１４は、ガラス基板２の搬送方向に直交する横幅方向に並べた２つの送風ファン１３と、この２つの送風ファン１３の上方を覆う１つの除塵フィルタ１２と、前記除塵フィルタ１２を通した清浄空気を流動させる板状の多孔体としての整風板１６とを備えて構成され、搬送方向に沿って並べられたファンフィルタユニット１４にて送風式支持装置３が構成されている。尚、送風ファン１３は、この送風ファン１３に備えた電動モータによりファンが回転駆動する電動式に構成されており、整風板１６には、パンチングにより形成された通気孔１６ａが備えられている。

そして、送風ファン１３は、下方の空気を吸引してその空気を除塵フィルタ１２が位置する真上に向けて供給するように構成されており、その真上に向けて供給された空気が、除塵フィルタ１２を通り、整風板１６の通気孔１６ａを通ってガラス基板２の下面２ａにおける中間部２ｃに清浄空気として直接に供給され、その清浄空気にてガラス基板２の中間部２ｃを支持するように構成されている。また、前記ファンフィルタユニット１４は、搬送ケース５内の空気を吸引して、その吸引した空気を除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面に向けて清浄空気として供給する形態で、搬送空間Ａ内の空気を循環させるように構成されている。

前記ケース体７は、ファンフィルタユニット１４を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体１５と、ユニット用枠体１５の両端部夫々に搬送方向に沿って備えた左右一対の収納フレーム８と、右側の収納フレーム８の上端部から左側の収納フレーム８の上端部にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。前記収納フレーム８のそれぞれは、上壁８ｃ、下壁８ｂ並びに搬送空間Ａ側の内周壁８ａを備えた搬送方向視で略コ字状に形成され、搬送空間Ａ側とは反対側には収納カバー８ｄが備えられている。

つまり、図３に示すように、ユニット用枠体１５と前記収納フレーム８の内周壁８ａと搬送カバー２０とによって、送風式支持装置３と推進力付与手段４とガラス基板２の搬送経路とを収納する搬送空間Ａを、略密閉状態に覆う搬送ケース５が構成され、収納フレーム８の内周壁８ａを除く上壁８ｃ、下壁８ｂ並びに収納カバー８ｄによって、推進力付与手段４における駆動ローラ９に対する駆動手段としての電動モータ１０を収納する収納空間Ｂを略密閉状態で覆う収納ケース６が構成されている。尚、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂは、搬送方向に並べて設けた搬送上手側の板状体搬送ユニット１と搬送下手側の板状体搬送ユニット１とで互いに連通しており、板状体搬送装置Ｈにおける最も搬送上手側に位置する板状体搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送上手側端部が搬送ケース５及び収納ケース６で閉塞され、最も搬送下手側に位置する板状体搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送下手側端部が搬送ケース５及び収納ケース６で閉塞されている。また、搬送空間Ａは、搬送カバー２０を取り外すことにより上方を開放可能に構成されており、収納空間Ｂは、収納カバー８ｄ取り外すことにより側方を開放可能に構成されている。

前記ユニット用枠体１５は、フレーム部材を組みつけた支持枠部分１５ａと、支持枠部分より下方に位置して、外部空気を搬送空間Ａ内に導入する空気導入部としての空気導入口１８を備えた板状の板状枠部分１５ｂとで構成されている。収納フレーム８の内周壁８ａには、搬送空間Ａ内の空気の一部を収納空間Ｂに排出する空気排出部としての空気排出口１７が備えられている。また、収納フレーム８の下壁８ｂには、収納空間Ｂの空気を外部に排出する外部排出口２４を備えるとともに、この外部排出口２４には、送風機能と除塵機能とを有する外部排出手段としてのサブ送風ユニット２３が備えられている。

そして、搬送空間Ａと収納空間Ｂとが前記空気排出口１７にて連通されており、空気排出口１７から排出される空気は、空気排出口１７を通って収納空間Ｂに排出されることとなる。また、この空気排出口１７には、搬送空間Ａ側から収納空間Ｂ側への空気の流れを許し、収納空間Ｂ側から搬送空間Ａ側への空気の流れを防ぐ逆流防止弁２１が備えられている。

つまり、送風ファン１３の送風作用にて、送風ファン１３の送風作用にて、搬送空間Ａ内で空気を循環させるとともに、外部空気を空気導入口１８から搬送空間Ａ内に導入し、搬送空間Ａ内において循環する空気の一部を空気排出口１７から収納空間Ｂ内に排出して、搬送空間Ａ内の循環する空気の一部が交換される。収納空間Ｂ内に排出された空気は、サブ送風ユニット２３によって吸引して、その空気が除塵されて外部排出部２４から外部に排出される。

従って、搬送空間Ａ内においては、搬送空間Ａ内の空気を吸引して、その吸引した空気を除塵フィルタ１２と整風板１６とを通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気として供給する形態で、搬送空間Ａ内の空気は循環する。また、外部空気が空気導入口１１から搬送空間Ａ内に導入され、搬送空間Ａ内が加圧されることによって、搬送空間Ａ内において循環する空気の一部が、空気排出口１８から収納空間Ｂに排出されたり収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等から外部に排出されたりして、搬送空間Ａ内の循環する空気の一部が交換される。よって、搬送空間Ａにおいては、加圧されている状態であるので、空気排出口１７から収納空間Ｂ内の空気や収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等からの外部空気の進入を防止することができ、また、搬送空間Ａ内の空気の一部を交換することによって搬送空間Ａ内の温度上昇を抑えることができる。
そして、収納空間Ｂにおいては、サブ送風ユニット２３により、収納空間Ｂ内の空気が外部排出口２４から外部に排出され、収納空間Ｂ内が減圧されることによって、上壁８ｃと収納カバー８ｄとの隙間や空気排出口１７等から空気が収納空間Ｂ内に導入されて、収納空間Ｂ内の空気の一部が交換される。よって、収納空間Ｂにおいては、減圧されている状態であるので、空気排出口や上壁８ｃと収納カバー８ｄとの隙間等からの収納空間Ｂ内の空気の進出を防止することができ、また、収納空間Ｂ内の空気の一部を交換することによって収納空間Ｂ内の温度上昇を抑えることができる。

次に、前記推進力付与手段４について詳述する。図５〜図７に示すように、収納空間Ｂ内に、搬送方向に複数本並べられ、互いにカップリング３１によって連動連結された伝動軸２７と、前記電動モータ１０とが備えられるとともに、収納フレーム８の内壁８ａに、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する多数の出力軸２６が、搬送方向に沿って回転自在に支持されている。出力軸２６の搬送空間Ａ側に突出する部分には、大径部９ａを設けた前記駆動ローラ９が備えられており、出力軸２６の収納空間Ｂ側に突出する部分には、ねじ歯車に構成された入力ギヤ部３０が備えられている。また、多数の伝動軸２７のうちの１つには、平歯車２８が備えられており、この平歯車２８が伝動モータ１０のギヤ部に噛み合わされており、伝動軸２７には、多数の出力軸２６それぞれに対応してねじ歯車に構成された出力ギヤ部２９が備えられており、伝動軸２７の出力ギヤ部２９と出力軸２６の入力ギヤ部３０とが互いに噛み合わされている。

つまり、推進力付与手段４は、前記電動モータ１０と出力軸２６と伝動軸２７とを備えて構成されており、伝動モータ１０により駆動ローラ９が回転駆動するように構成されている。尚、詳述はしないが、出力軸２６には、キー部材によって一体回転するカラー部材を備えてあり、出力軸２６が回転自在に収納フレーム８の内壁８ａに支持されている。

従って、図３に示すように、ガラス基板２は、推進力支持手段４の駆動ローラ９にて両端部２ｂが接触状態で支持され、送風式支持装置３の清浄空気にて中間部２ｃが非接触状態で支持され、そして、回転駆動される駆動ローラ９によって推進力が付与されることによって、駆動ローラ９の大径部９ａにて搬送方向と交差する方向への位置ずれを規制しながら搬送方向に沿って搬送される。

図２に示すように、板状体搬送手段Ｈは、ガラス基板２を搬送する上下２段の搬送部Ｍが備えられ、その上下２段の搬送部Ｍのうちの上側の搬送部Ｍが、下側の搬送部Ｍの上方を開放すべく一端側を支点にして上方側に揺動操作できるように構成されている。つまり、板状体搬送ユニット１のそれぞれには、搬送ケース５が上下２段に備えられており、その搬送ケース５のそれぞれに送風式支持装置３や推進力付与手段４等により構成される搬送部Ｍが収納されている。そして、上側の搬送ケース５を軸芯Ｐ周りに上方側に揺動することにより、この上側の搬送ケース５とともに上側の搬送部Ｍも上方側に揺動され、下側の搬送ケース５の上方が開放されることとなり、下側の搬送ケース５のカバー２０を取り外すことにより搬送空間Ａ内を上方からメンテナンスすることができる。尚、上下２段の搬送部Ｍの使用形態としては、上側の搬送部Ｍと下側の搬送部Ｍとの搬送方向を逆方向とし、上段の搬送部Ｍにてガラス基板２を搬送元から搬送先に搬送し、下段の搬送部Ｍにて、同じ工程を行うガラス基板２や、不良なガラス基板２などを搬送先から搬送元に搬送する形態や、上側の搬送部Ｍと下側の搬送部Ｍとの搬送方向を同方向とし、上側の搬送部Ｍ及び下側の搬送部Ｍにより板状体を搬送元から搬送先に搬送する形態がある。

尚、図示しないが、前記搬送下手側に位置する所定の板状体搬送装置１は、搬送方向に並ぶファンフィルタユニット１４同士の間に、移載機の支持部が入り込めるように隙間を形成してある。また、板状体搬送装置１には、この板状体搬送装置１から発生するマイナスイオンを中和するイオナイザが備えられている。

〔実施の形態２〕
以下、本発明に係る板状体搬送装置を、板状体として液晶用のガラス基板に適用し、そのガラス基板を水平又は略水平状態で搬送するものとし、送風手段にて送風される空気を複数の除塵フィルタに分配供給する通風路を設けて、除塵フィルタと送風手段とを別体にして送風式支持手段を構成した場合について図面に基づいて説明する。
尚、実施の形態１と同様に構成されるものについては、実施の形態１と同じ符号を付け、説明は省略する。

板状体搬送装置Ｈは、図１２に示すような、板状体搬送機構ｈをガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものであり、その板状体搬送機構ｈには、搬送されるガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持する送風式支持手段としての送風式支持機構４３が備えられている。

前記送風式支持機構４３について詳述すると、送風式支持機構４３は、塵埃を除去するＵＬＰＡフィルタにて構成される９つの除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風ファン１３と、送風ファン１３からの空気を複数の除塵フィルタ１２に分配供給する通風路４４とを備えて構成されている。また、図１３、１４に示すように、３つの除塵フィルタ１２の上方を覆うように、除塵フィルタ１２を通した清浄空気を流動させる板状の整風板１６が備えられている。

そして、図１２に示すように、前記通風路４４は、硬質なダクトにて形成されており、送風ファン１３からの空気を搬送方向に沿う横方向に案内する横通風路４５と縦方向に案内する縦通風路４６とで構成されている。
横通風路４５は、送風ファン１３を収納するファンケース４７の側壁に接続されており、そのファンケース４７から搬送上手側に延びる横通風路４５と搬送下手側に延びる横通風路４５との２つが備えられている。縦送風路４６は、９つの除塵フィルタ１２とそれぞれ接続するために９つ備えられている。
そして、搬送方向上手側に位置する４つの除塵フィルタ１２と接続する４つの縦送風路４６は、搬送上手側に延びる横通風路４５にそれぞれ接続され、搬送方向下手側に位置する４つの除塵フィルタ１２と接続する４つの縦送風路４６は、搬送下手側に延びる横通風路４５にそれぞれ接続され、搬送方向の真ん中に位置する除塵フィルタ１２と接続する１つの縦送風路４６は、ファンケース４７の天井壁に接続されている。
尚、ファンケース４７の底壁には、前記搬送空間Ａ内の空気をファンケース４７内に導入する導入孔４７ａが形成されている。

図１３、図１４に示すように、縦送風路４６のそれぞれには、横軸芯周りに揺動可能な風量調節弁４８が備えられており、その風量調節弁４８を揺動させることによって、除塵フィルタ１２側に供給される空気の量を調節できるように構成されている。また、縦送風路４７の上端部、つまりは、除塵フィルタの周壁部と接続する部分には、送風ファン１３からの空気を溜めるチャンバー室Ｃが形成されており、送風ファン１３から供給される空気に脈動が生じていたとしても、チャンバー室Ｃの内部空気が加減圧されることによるクッション作用により脈動を抑えることができる。

そして、送風式支持機構４３は、除塵フィルタ１２がそれぞれ３つとなるように横通風路４５において分割されて３分割されており、図１３に示すような、送風ファン１３が備えられた１つの主送風式支持機構部４３ａと、図１４に示すような、送風ファン１３が備えられない２つの従送風式支持機構部４３ｂとで構成されている。また、前記板状体搬送機構ｈは３つのユニットで構成されており、図１３に示すような、主送風式支持機構部４３ａを備えている１つの主板状体搬送ユニット１ａと、図１４に示すような、従送風式支持機構部４３ｂを備えている２つの従板状体搬送ユニット１ｂとで構成されている。そして、主板状体搬送ユニット１ａに主送風式支持機構部４３ａを組み付けたり、従板状体搬送ユニット１ｂに従送風式支持機構部４３ｂを組み付けたりする際には、送風ファンや除塵フィルタ、通風路はそれぞれ個別に組み付ける。尚、主板状体搬送ユニット１ａや従板状体搬送ユニット１ｂのそれぞれには、前記推進力付与手段４や前記ケース体７も備えられているが、上記実施の形態１と同様の構成であるので詳細な説明は省略する。

従って、主板状体搬送ユニット１ａの搬送上手側と搬送下手側とのそれぞれに従板状体搬送ユニット１ｂを接続することによって板状体搬送機構ｈが組み付けられ、このように板状体搬送機構ｈを組み付けることによって、主送風式支持機構４３ａの横通風路４５と従送風式支持機構４３ｂの横通風路４５とが接続されて、送風式支持機構４３も組み付けられる。
尚、板状体搬送機構ｈを、主板状体搬送ユニット１ａの１つのユニットで構成したり、主板状体搬送ユニット１ａとこの主板状体搬送ユニット１ａの搬送方向一方側に従板状体搬送ユニット１ｂに接続して２つのユニットで構成したりしても良い。この場合には、主板状体搬送ユニット１ａにおける接続されない横通風路４５の端部は閉塞する。

そして、送風式支持機構４３による板状体の支持は、送風ファン１３の送風作用にて、送風ファン１３の下方の搬送空間Ａ内の空気を吸引して導入孔４７ａからファンケース４７内に取り込み、その取り込まれた空気が通風路４４を通して除塵フィルタ１３側に送られ、除塵フィルタ１２と整風板１６とを通して空気を清浄空気としてガラス基板２の下面２ａにおける中間部２ｃに供給され、その清浄空気にてガラス基板２の中間部２ｃを支持される。

主板状体搬送ユニット１ａにおいては、送風ファン１３の送風作用にて、通風路４４、除塵フィルタ１２、整風板１６を通して板状体２の下面２ａに供給する形態で、主板状体搬送ユニット１ａ内において空気が循環する。また、送風ファン１３の送風作用により、外部空気が空気導入口１１から搬送空間Ａ内に導入され、搬送空間Ａ内が加圧されることによって、搬送空間Ａ内において循環する空気の一部が空気排出口１７や収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等から外部に排出されて、搬送空間Ａ内の循環する空気の一部が交換される。

また、従板状体搬送ユニット１ｂにおいては、送風ファン１３の送風作用にて、主板状体搬送ユニット１ａ側から通風路４４を通って空気が従板状体搬送ユニット１ｂ側に導入されて、その導入された空気が、通風路４４、除塵フィルタ１２、整風板１６を通して板状体２の下面２ｃに供給され、主板状体搬送ユニット１ａ側からの空気の導入により、従板状体搬送ユニット１ｂの搬送空間Ａ内が加圧されている状態であるので、搬送空間Ａの空気の一部が空気排出口１７や収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等から外部に排出されて、搬送空間Ａ内の空気の一部が交換される。

よって、主板状体搬送ユニット１ａ並びに従板状体搬送ユニット１ｂの搬送空間Ａにおいて、空気を導入することによって加圧されている状態であるので、空気排出口１７や収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等からの外部空気の進入を防止することができる。また、外部空気を搬送空間Ａ内に導入するので、搬送空間内の温度を外部の温度或いはそれに近い温度に維持することができる。

〔実施の形態３〕
以下、本発明に係る板状体搬送装置を、板状体として液晶用のガラス基板に適用し、そのガラス基板を縦姿勢に近い姿勢で搬送するものとした場合について図面に基づいて説明する。
尚、実施の形態１や実施の形態２と同様に構成されるものについては、実施の形態１や実施の形態２と同じ符号を付け、説明は省略する。

図８、図９に示すように、板状体搬送装置Ｈは、板状体縦搬送ユニット３３を、ガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものである。そして、板状体縦搬送ユニット３３のそれぞれは、縦姿勢に近い姿勢で搬送されるガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持する縦姿勢に近い姿勢に備えられた送風式支持手段３と、ガラス基板２の一端部２ｄを接触支持しながら推進力を付与する駆動回転体としてのタイミングベルト３４を備えて、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する縦姿勢用推進力付与手段３５とを備えて構成されている。

次に、前記縦姿勢用推進力付与手段３５について詳述する。図９に示すように、縦姿勢用推進力付与手段３５は、搬送下手側に位置して電動式モータ４０によって回転する駆動輪３６と、搬送上手側に位置する回転自在な従動輪３７と、これら駆動輪３６と従動輪３７とに亘って巻回する前記タイミングベルト３４と、タイミングベルト３４における送り経路部分を内周面側から支持する内支持輪３８と、タイミングベルト３４における戻り経路部分を外周面側から支持する外支持輪３９とによって構成されている。

従って、ガラス基板２は、縦搬送用推進力支持手段３５におけるタイミングベルト３５の外周面にて一端部２ｄが接触状態で支持され、送風式支持手段４の清浄空気にて中間部２ｃが非接触状態で支持され、そして、回転駆動されるタイミングベルト３５によって推進力が付与されることによって搬送方向に沿って搬送される。

尚、この実施の形態３においても、実施の形態１や実施の形態２と同様に、送風式支持手段３とガラス基板２の搬送経路とを収納する搬送空間を、密閉状態或いは略密閉状態に覆うケースを備えてもよい。

〔別実施例〕
（１） 上記実施の形態１〜３において、前記送風ユニットに、前記多孔体の通気孔における清浄空気の流れを許容する状態で、清浄空気の流れ方向視において前記通気孔を塞ぐ遮蔽部を備えて構成してもよい。

つまり、図１０、図１１に示すように、送風ユニット１４において、整風板１６よりさらに上方に遮蔽部としての遮蔽板１９を備え、その遮蔽板１９に、遮蔽板１６の通気孔１６ａと清浄空気の流れ方向視において重複しない位置にパンチングにより通風孔１９ａを形成する。

また、整風板と遮蔽板との位置関係を逆にしても良く、さらに、遮蔽部を遮蔽板とし、整風板と遮蔽部とを別々に備えたが、整風板における通気孔の周縁部の上面或いは下面に、整風板の通気孔における清浄空気の流れを許容する状態で、清浄空気の流れ方向視において通気孔を塞ぐ遮蔽部としての舌片を備える等により、整風板に遮蔽部を一体的に形成した構成としてもよい。

（２） 上記実施の形態２では、通風路を硬質なダクトにて構成したが、通風路の全体或いは一部を軟質なホース等にて構成してもよい。また、風量調節弁を横軸芯周りに揺動可能に構成して、除塵フィルタ側に供給される通風量を調節できるように構成したが、風量調節弁を通風路に出退するようにスライド移動可能に構成して、除塵フィルタ側に供給される通風量を調節できるように構成しても良い。

つまり、図１５に示すように、通風路４４における縦通風路４６をホースにて構成し、また、横通風路４５の縦通風路４６と連通すべく形成した開口の開口量を調節するように横通風路４５上をスライド可能に風量調節弁４８を備え、この風量調節弁４８の風路に対する出退量を調節することによって、除塵フィルタ側に供給される通風量を調節できるように構成してもよい。

（３） 上記実施の形態１や実施の形態３では、送風式支持手段を、除塵フィルタと送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットの複数にて構成したが、実施の形態２のように、送風手段にて送風される空気を除塵フィルタに案内する通風路などを設けて、除塵フィルタ５と送風ファン６とを別体として個別に組み付けて構成して送風式支持手段を構成してもよい。

（４） 上記実施の形態１及び実施の形態２では、搬送ケースを上下２段に備え、その搬送ケースのそれぞれに搬送部を収納して、搬送部を上下２段に備えたが、上下２段の搬送部を１つの収納ケースに収納してもよく、この場合、収納ケースを上下２分割構成として、搬送ケースの上部分を一端側の支点周りに上方側に揺動することにより、この上側の搬送ケースとともに上側の搬送部も上方側に揺動するように構成してもよい。また、１つの搬送部を１つの搬送ケースに収納して、搬送部を一段としたものでもよい。

（５） 上記実施の形態１及び実施の形態２では、前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段を、前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成し、前記送風式支持手段を、前記板状体における両端部の間に位置する中間部を支持するように構成したが、ガラス基板を、送風式支持手段のみで非接触状態で支持してもよい。

（６） 上記実施の形態１及び実施の形態２では、推進力支持手段の駆動回動体にて板状体の両端部を接触状態で支持し、その接触支持する駆動回動体を回転駆動させて板状体に対して推進力を付与することによって、板状体を搬送方向に沿って搬送するように構成したが、板状体の両端部を自由回転する回動体にて支持したり、上記した状に送風式支持手段のみで非接触状態で支持して、推進力付与手段を備えずに、自動的或いは人為的に板状体を搬送上手側に位置する板状体搬送装置に移載する力を利用して、先行する板状体を後押しすることにより先行する板状体に対して搬送方向での推進力を付与するように構成してもよく、また、送風式支持手段にて供給される清浄空気にて、板状体に対して搬送方向での推進力を付与するように構成してもよい。さらに、板状体の搬送方向を傾斜方向に設定して、板状体の自重により推進力を付与するように構成してもよい。

（７） 上記実施の形態３では、縦姿勢用推進力支持手段の駆動回動体にて板状体の一端部を接触状態で支持し、その接触支持する駆動回転体を回転駆動させて板状体に対して推進力を付与することによって、板状体を搬送方向に沿って搬送するように構成したが、板状体の一端部を自由回転する回転体にて支持して、縦搬送用推進力付与手段を備えずに、自動的或いは人為的に板状体を搬送上手側に位置する板状体搬送装置に移載する力を利用して、先行する板状体を後押しすることにより先行する板状体に対して搬送方向での推進力を付与するように構成してもよく、また、板状体の搬送方向を傾斜方向に設定して、板状体の自重により推進力を付与するように構成してもよい。

（８） 上記実施の形態１及び実施の形態２において、板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体をタイミングベルト等の無端帯状体にて構成してもよく、また、実施の形態２においては、板状体の一端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回転体を駆動ローラにて構成してもよい。また、上記実施の形態２において、板状体の一端部に対する他端部を、駆動ローラや無端帯状体で接触支持しながら推進力を付与するサブ推進力付与手段を備えてもよい。

（９） 上記実施の形態３では、板状体を縦姿勢に近い姿勢で搬送したが、板状体の両面の中間部に清浄空気を供給して、板状体を縦姿勢で搬送するように構成してもよい。

（１０） 上記実施の形態１及び実施の形態２において、搬送ケースに空気排出部と空気導入部とを備えて、搬送空間を略密閉状態としたが、空気排出部と空気導入部とを備えずに搬送空間を密閉状態としてもよい。

（１１） 上記実施の形態１〜実施の形態３において、除塵フィルタをＵＬＰＡフィルタにて構成したが、ＨＥＰＡフィルタ等の他のフィルタにて構成してもよい。

（１２） 上記実施の形態１〜実施の形態３では、板状体として、液晶用のガラス基板としたが、半導体のウェハ等でもよく、被支持体の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。

実施の形態１における板状体搬送装置の斜視図 実施の形態１における板状体搬送装置の正面断面図 実施の形態１における板状体搬送装置の正面断面の一部拡大図 実施の形態１における搬送空間における側面断面図 実施の形態１における収納空間における側面断面図 実施の形態１における推進力付与手段の正面断面図。 実施の形態１における推進力付与手段の側面断面図 実施の形態３における板状体搬送装置の斜視図 実施の形態３における板状体搬送装置の側面図 別実施例における送風ユニットの一部拡大側面断面図 別実施例における送風ユニットの一部拡大平面図 実施の形態２における板状体搬送機構の側面図 実施の形態２における主板状体搬送ユニットの側面図 実施の形態２における従板状体搬送ユニットの側面図 別実施例における主板状体搬送ユニットの側面図

符号の説明

２ 板状体
３ 送風式支持手段
４ 推進力付与手段
５ 搬送ケース
６ 収納ケース
９ 駆動回動体
１０ 駆動手段
１２ 除塵フィルタ
１３ 送風手段
１４ 送風ユニット
１６ 多孔体
１６ａ 通気孔
１７ 空気排出部
１８ 空気導入部
１９ 遮蔽部
２２ 外部排出手段
４４ 通風路
Ａ 搬送空間
Ｂ 収納空間
Ｈ 板状体搬送装置

Claims (10)

1. 搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置であって、
   前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを備えて構成されている板状体搬送装置。
2. 前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、水平又は略水平状態の前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、
   前記送風式支持手段が、前記板状体における両端部の間に位置する中間部を支持するように構成されている請求項１記載の板状体搬送装置。
3. 前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタと前記送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、板状体の搬送方向に並べて構成されている請求項１又は２記載の板状体搬送装置。
4. 前記送風式支持手段が、前記搬送方向に並べた複数の前記除塵フィルタと、前記送風手段からの空気を複数の前記除塵フィルタに分配供給する通風路とを備えて構成されている請求項１又は２記載の板状体搬送装置。
5. 前記送風式支持手段と前記板状体の搬送経路とを収納する搬送空間を、密閉状態或いは略密閉状態に覆う搬送ケースが備えられ、
   前記送風手段が、前記搬送ケース内の空気を吸引して、その吸引した空気を前記除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気として供給する形態で、前記搬送空間内の空気を循環させるように構成されている請求項１〜４の何れか１項に記載の板状体搬送装置。
6. 前記搬送ケースが、前記搬送空間内の空気の一部を排出する空気排出部と、外部空気を前記搬送空間内に導入する空気導入部とを備えて構成されている請求項５記載の板状体搬送装置。
7. 前記空気排出部から排出される空気を除塵して外部に排出する外部排出手段が備えられている請求項６記載の板状体搬送装置。
8. 前記推進力付与手段における前記駆動回動体に対する駆動手段を収納する収納空間を略密閉状態で覆う収納ケースが、前記搬送ケースの横側に隣接する状態で備えられ、
   前記搬送ケースの前記空気排出部が、前記搬送空間内の空気を前記収納空間内に排出するように構成され、
   前記外部排出手段が、前記収納空間内の空気を吸引して、その空気を除塵して外部に排出するように構成されている請求項７記載の板状体搬送装置。
9. 前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる板状の多孔体と、前記多孔体の通気孔における清浄空気の流れを許容する状態で、清浄空気の流れ方向視において前記通気孔を塞ぐ遮蔽部とを備えて構成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
10. 前記板状体を搬送する上下２段の搬送部が備えられ、
    その上下２段の搬送部のうちの上側の搬送部が、下側の搬送部の上方を開放すべく一端側を支点にして上方側に揺動操作できるように構成されている請求項１〜９のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。

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