JP2004331395A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置であって、
   前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段としての電動式の送風ファンとを一体的に組み付けた送風ユニットを、搬送経路を搬送される前記板状体の下方に、前記板状体の搬送方向に沿って並べて構成されている板状体搬送装置。
2. 前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、水平又は略水平状態の前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、
   前記送風式支持手段が、前記板状体における両端部の間に位置する中間部を支持するように構成されている請求項１記載の板状体搬送装置。
3. 前記送風式支持手段と前記板状体の搬送経路とを収納する搬送空間を、密閉状態或いは略密閉状態に覆う搬送ケースが備えられ、
   前記送風手段が、前記搬送ケース内の空気を吸引して、その吸引した空気を前記除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気として供給する形態で、前記搬送空間内の空気を循環させるように構成されている請求項１又は２の何れか１項に記載の板状体搬送装置。
4. 前記搬送ケースが、前記搬送空間内の空気の一部を排出する空気排出部と、外部空気を前記搬送空間内に導入する空気導入部とを備えて構成されている請求項３記載の板状体搬送装置。
5. 前記空気排出部から排出される空気を除塵して外部に排出する外部排出手段が備えられている請求項４記載の板状体搬送装置。
6. 前記推進力付与手段における前記駆動回動体に対する駆動手段を収納する収納空間を略密閉状態で覆う収納ケースが、前記搬送ケースの横側に隣接する状態で備えられ、
   前記搬送ケースの前記空気排出部が、前記搬送空間内の空気を前記収納空間内に排出するように構成され、
   前記外部排出手段が、前記収納空間内の空気を吸引して、その空気を除塵して外部に排出するように構成されている請求項５記載の板状体搬送装置。
7. 前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる板状の多孔体と、前記多孔体の通気孔における清浄空気の流れを許容する状態で、清浄空気の流れ方向視において前記通気孔を塞ぐ遮蔽部とを備えて構成されている請求項１〜６のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
8. 前記板状体を搬送する上下２段の搬送部が備えられ、
   その上下２段の搬送部のうちの上側の搬送部が、下側の搬送部の上方を開放すべく一端側を支点にして上方側に揺動操作できるように構成されている請求項１〜７のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。