JP2005029359A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置であって、
   前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段としての電動式の送風ファンと、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させ且つ前記除塵フィルタ側への異物の落下を阻止するように遮蔽する遮蔽体とを、搬送経路を搬送される前記板状体の下方に備えて構成され、
   前記遮蔽体が、前記除塵フィルタとの間に前記清浄空気が溜まるチャンバー室を形成するように設けられている板状体搬送装置。
2. 前記遮蔽体が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる多孔状体と、この多孔状体より前記除塵フィルタ側に位置するフィルタ状体とを備えて構成されている請求項１記載の板状体搬送装置。
3. 前記遮蔽体が、前記フィルタ状体より前記除塵フィルタ側に位置して、前記フィルタ状体を支持する多孔状支持体を備えて構成されている請求項２記載の板状体搬送装置。
4. 送風式支持手段が、前記除塵フィルタと電動式の送風ファンとを一体的に組み付けた送風ユニットを、搬送方向に並べて構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
5. 前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、水平又は略水平状態の前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、
   前記送風式支持手段が、前記板状体における両端部の間に位置する中間部を支持するように構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。