JP2008164856A - カラーフィルタ用基板の洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
カラーフィルタ用基板の洗浄装置及び洗浄方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 UV光照射領域にカラーフィルタ用透明基板を搬送する搬送手段、及びUV光源とUV光照射窓を備えるUV光照射手段を具備し、前記搬送手段は、複数のガス噴出口を有し、ガス噴出口よりガスを噴出させて前記カラーフィルタ用透明基板を浮上させ、前記UV光照射窓と前記カラーフィルタ用透明基板との間の間隔を所定の距離以下に保持し、前記UV光照射手段は、UV光照射領域に搬送されたカラーフィルタ用透明基板の表面にUV光を照射し、洗浄することを特徴とするカラーフィルタ用透明基板の洗浄装置。
【選択図】 図1
Description
1)励起状態となった酸素が、大気中の酸素ガスと結合して安定状態になり易い
2)励起状態となった酸素が、大気中の水分と反応して安定状態になり易い
という現象がある。従って、雰囲気中の酸素ガス濃度や湿度が高いと洗浄効果が薄れてしまうという問題がある。また、酸素ガスや湿度はUV光を吸収するため、UV光の強度も減衰するという問題がある。
Claims (9)
- UV光照射領域にカラーフィルタ用透明基板を搬送する搬送手段、及び
UV光源とUV光照射窓を備えるUV光照射手段
を具備し、前記搬送手段は、複数のガス噴出口を有し、ガス噴出口よりガスを噴出させて前記カラーフィルタ用透明基板を浮上させ、前記UV光照射窓と前記カラーフィルタ用透明基板との間の間隔を所定の距離以下に保持し、前記UV光照射手段は、UV光照射領域に搬送されたカラーフィルタ用透明基板の表面にUV光を照射し、洗浄することを特徴とするカラーフィルタ用透明基板の洗浄装置。 - 前記UV光源は、エキシマランプであることを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記ガスは窒素ガスであることを特徴とする請求項1叉は2に記載の洗浄装置。
- 前記UV光照射窓と前記カラーフィルタ用透明基板との間の間隔は、3mm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記搬送手段は、前記カラーフィルタ用透明基板の搬送方向に沿って配置され、前記カラーフィルタ用透明基板の側面の片側叉は両側を支持して前記カラーフィルタ用透明基板を搬送する吸着パッド叉は搬送コロを備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の洗浄装置。
- UV光照射領域にカラーフィルタ用透明基板を搬送する工程、
前記UV光照射領域において下方から噴出するガスにより前記カラーフィルタ用透明基板を浮上させ、前記UV光照射窓と前記カラーフィルタ用透明基板との間の間隔を所定の距離以下に保持する工程、及び
前記カラーフィルタ用透明基板の上面にUV光源からUV光照射窓を通してUV光を照射して前記カラーフィルタ用透明基板の上面を洗浄する工程
を具備することを特徴とするカラーフィルタ用透明基板の洗浄方法。 - 前記UV光源は、エキシマランプであることを特徴とする請求項6に記載の洗浄方法。
- 前記ガスは窒素ガスであることを特徴とする請求項6叉は7に記載の洗浄方法。
- 前記UV光照射窓と前記カラーフィルタ用透明基板との間の間隔は、3mm以下であることを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の洗浄方法。
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