JP2006003036A - 乾燥装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装置内の空間を乾燥前と後とに区切ることができ、乾燥後の洗浄物に微小な液滴や微粒子が浮遊して付着することを抑えて品質の低下を防止する乾燥装置を提供する。
【解決手段】湿式洗浄後の薄膜または薄板状の洗浄物１を乾燥させる装置で洗浄物１を装置１０内で複数配列したローラ１１により移送する途中に上下から気体を吹き付けて乾燥させる気体噴射手段１３を有した乾燥装置であって、この装置１０内で洗浄物１を搬入して気体噴射手段１３の上下間を通過させて気体を吹き付けるまでの第１部屋１０ａと、洗浄物１が気体を吹き付けた後に移動して搬出されるまでの第２部屋１０ｂとの各部屋間に延在し、洗浄物１が通過する気体噴射手段１３の上下間の移送口１３ａを残して区切る仕切板１２を設けるとともに、第２部屋１０ｂに精密フィルタを介して清浄な空気を洗浄物１に向かって供給する空気供給部１４を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は乾燥装置に係り、より詳細には、例えば、光学補正フィルムまたはその原盤フィルム、フィルム状の液晶基板、フィルム状のＥＬ半導体基板、液晶基板、ＰＤＰ基板、電子部品や機械加工部品、精密部品などの薄膜または薄板状の洗浄物を、湿式洗浄した後に搬入して乾燥させる乾燥装置に関する。

従来、乾燥装置は、例えば、光学補正フィルムまたはその原盤フィルム、フィルム状の液晶基板、フィルム状のＥＬ半導体基板、液晶基板、ＰＤＰ基板、電子部品や機械加工部品、精密部品などの薄膜または薄板状の洗浄物を、種々の湿式洗浄を実行した後に搬入して移動させながら表面及び裏面に空気を吹き付けることで付着した水滴を吹き飛ばして乾燥させる装置がよく知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平１１−２０４４９０号公報

前者の方法による例を、図１０および図１１にて説明する。図１０は、このような空気を吹き付けて乾燥させる従来の乾燥装置の一実施形態を示す構成図である。また、図１１は、図１０に示したローラ１１による洗浄物１の搬送状態を示す図である。図１０に示すように、従来の乾燥装置の一実施形態は、湿式洗浄後の薄膜または薄板状の洗浄物１を乾燥させる箱状の装置１０を備え、この装置１０内で洗浄物１を複数配列したローラ１１により移動させるとともに、この移動している洗浄物１の表面及び裏面に気体を吹き付けて乾燥させる気体噴射手段１３を備えている。ここで、ローラ１１は、図１１に示すように、装置１０（図１０参照）内で棒状に延在して洗浄物１の移動方向に直交して複数配列する回転可能な軸１１ａを備え、この軸１１ａに沿って所定の間隔で複数円盤状に設けている。この軸１１ａは、装置１０の周壁に固定したベアリングなどの軸受け部（図示せず）により回転可能に両端を軸支されている。また、気体噴射手段１３は、図１０に示したように、洗浄物１の表裏面に向けて噴射する気体をほとんどの場合、洗浄物１の表裏面に対して直角でなく、ある程度傾いた向きをもって噴射する。即ち、気体噴射手段１３は、洗浄物１の搬送速度や噴射気体の量、圧力に応じて噴射角度を、洗浄物１の搬送方向に対して相対する方向（搬送方向と逆方向）に直角よりやや寝かせて設定している。

このような構成からなる従来の乾燥装置の一実施形態を用いて洗浄物１を乾燥させる場合、まず、種々の湿式洗浄を実行してほぼその全面を水などの液体で濡れた洗浄物１を、ローラ１１により中空で箱状に周囲を囲んだ装置１０内に搬入する。この際、ローラ１１は、図１１に示したように、軸１１ａに沿って円盤状に複数間隔をあけて設けることで、洗浄物１の裏面を少ない接触で支持して撓ませることなく所望の搬送速度で良好に運ぶことができる。また、装置１０内では、図１０に示したように、ローラ１１で移動する洗浄物１の表面及び裏面に近接して設けた気体噴射手段１３により気体を吹き付けて付着した液体を搬送方向とは逆方向に吹き飛ばすことによって乾燥を行う。そして、この乾燥を終えた洗浄物１は、洗浄工程の最終処理を終えたものとし、そのまま洗浄完了品として扱われて搬出される。

このように従来の乾燥装置は、図１０に示したように、洗浄物１をローラ１１により搬送しながら表面及び裏面に気体噴射手段１３によって気体を吹き付けることで、湿式洗浄後の洗浄物１に付着した水滴を効果的に短時間で乾燥していた。

しかしながら、従来の乾燥装置では、図１０に示したように装置１０内で気体噴射手段１３を中心として濡れた洗浄物１を搬入して気体を噴き付けて液滴を吹き飛ばして乾燥する搬入側（第１部屋）と、この乾燥処理を終えた洗浄物１を搬送して搬出する搬出側（第２部屋）とに区切られていないため、この第１部屋側に気体噴射手段１３から噴射される気体が急激に供給され、第２部屋側に比べて第１部屋側の圧力が高くなり、この両部屋の気圧差または気体噴射手段１３が噴射する気体の角度や量などの勢いによって吹き飛ばされた微小な液滴が乾燥処理を終えた第２部屋に流れ易くなって乾燥後の洗浄物１に付着することがある。このような微小な液滴は、洗浄処理を終えた洗浄物１の表面に付着すると、シミなどを残す原因となり乾燥処理後の洗浄物１の表面品質を下げる恐れがあるという不具合があった。
また、従来の乾燥装置では、前述したように、乾燥処理を終えた洗浄物１が既に最終洗浄処理を完了したものとして扱われるため、乾燥処理を終えた洗浄物１を搬送する第２部屋側内を特に清浄に扱う格別な配慮をしないと、例えば、前述した微細な液滴以外にも部屋内に浮遊する微粒子が飛散して洗浄物１の表面に付着したり、この空気中の微粒子が前述した微細な液滴に包含されることで新たな汚染物として機能してしまい、洗浄物１の表面に再付着して品質を低下させるという不具合があった。

本発明はこのような課題を解決し、装置内の空間を乾燥前と後とに区切ることができ、乾燥後の洗浄物に微小な液滴や微粒子が浮遊して付着することを抑えて品質の低下を防止する乾燥装置を提供することを目的とする。

本発明は上述の課題を解決するために、湿式洗浄後の薄膜または薄板状の洗浄物を乾燥させる装置で洗浄物を装置内で複数配列したローラにより移送する途中に上下から気体を吹き付けて乾燥させる気体噴射手段を有した乾燥装置であって、この装置内で洗浄物を搬入して気体噴射手段の上下間を通過させて気体を吹き付けるまでの第１部屋と、洗浄物が気体を吹き付けた後に移動して搬出されるまでの第２部屋との各部屋間に延在し、洗浄物が通過する気体噴射手段の上下間の移送口を残して区切る仕切板を設けるとともに、第２部屋に精密フィルタを介して清浄な空気を前記洗浄物に向かって供給する空気供給部を備える。

ここで、仕切板と気体噴射手段とは、装置内で洗浄物の搬送方向に対して直交する方向に延在した直交式、または装置内の対角線方向に傾斜させて延在した傾斜式のいずれかにより第１部屋と第２部屋とを各々区切ることが好ましい。この際、ローラは、仕切板と気体噴射手段とが直交式の場合、この仕切板及び気体噴射手段と平行に複数配置して装置内の両側面に軸受け部を設けて両端を回転可能に支持した軸を備えてこの軸に沿って所定間隔で複数形成することが好ましい。また、第２部屋では、洗浄物を移動させる両端のみに平行に配列して移送する新たなローラを設けるとともに、このローラ間に薄板状に延在して表面に複数開口する孔を有して下部から気体を供給することで洗浄物の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部を設けることが好ましい。この第２部屋の新たなローラは、洗浄物の両端で平行に配列して両側面を挟持、または両端の裏面に当接して支持することが好ましい。

また、ローラの他の実施例として、仕切板と気体噴射手段とが傾斜式の場合、装置の側面に設けた軸受け部に一端を回転可能に片持ち支持し、装置内で仕切板及び気体噴射手段に向かって両側面から洗浄物の搬送方向と直交する方向に長さを変えて複数突出する軸を備え、この軸に沿って所定間隔で複数形成することが好ましい。この第２部屋では、装置の側面で回転可能に片持ち支持した軸に洗浄物を移送する両側の片側端部のみに沿って配列して洗浄物の片側裏面を支持して移送する新たなローラを設けるとともに、このローラと仕切板及び気体噴射手段との間に薄板で三角状に延在して表面に複数開口する孔を有して下部から気体を供給することで洗浄物の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部を設けることが好ましい。また、第２部屋での他の実施例としては、装置の側面で回転可能に片持ち支持した軸に洗浄物を移送する両側の片側のみに沿った片側端部と、この端部から他端側近傍まで一部長く延在する軸の他端部とに、洗浄物の裏面両端部を支持して移送する新たなローラを設けるとともに、このローラの下で三角状に延在して該ローラが当接しないように切り欠いたスリットを設けて表面に複数開口する孔を有して下部から気体を供給することで洗浄物の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部を設けることが好ましい。

さらに、ローラの更なる他の実施例としては、仕切板と気体噴射手段とが傾斜式の場合、装置内の底面で軸受け部により回転可能に軸支して上部に延在して洗浄物の両側に複数平行に配列した軸を備え、この軸の先端に設けられて洗浄物の両側面を挟持して搬送するとともに、この平行する間に仕切板及び気体噴射手段が対角線状に介在し、この仕切板及び気体噴射手段と軸との間に三角状に延在して表面に複数開口する孔を有して下部から気体を供給することで洗浄物の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部を第１部屋と第２部屋とに各々設けることが好ましい。

そして、第２部屋には、空気供給部を設けた下部に洗浄物を除電する除電手段を設けることが好ましい。また、第１部屋及び第２部屋には、軸が軸受け部を介して装置の外側に延在して端部に設けたギヤにより駆動源からの回転力を伝達して回転するとともに、ギヤ部に液体を滴下して防塵又は除電する滴下手段を更に備えることが好ましい。また、第１部屋は、洗浄物を搬入する投入口の方向に向けて気体を吹き付け、この吹き付けた投入口近傍に内部空気を吸い込んで排気する排気部を更に付設することが好ましい。また、装置には、軸を突出させた外側の側面に沿って中空に延在し、軸受け部、ギヤ、及び滴下手段を覆う排気管を備え、この排気管により滴下手段から滴下する液体の廃液と装置内の排気とを同時に実行可能に設け、パーティクルの発散を抑えることが好ましい。また、第１部屋では、洗浄物の表面に吹き付ける空気を０．４ｍｐａ〜０．０５ｍｐａの低圧エアーで行うことにより、帯電、パーティクルの発散を抑えて液切りを行うことが好ましい。

以上詳細に説明したように本発明による乾燥装置によれば、装置内を乾燥処理する第１部屋と乾燥後に搬送する第２部屋とに仕切板によって区切るため、この両部屋の気圧差または気体噴射手段が噴射する気体の角度や量などの勢いによって微小な液滴が吹き飛ばされて第２部屋に流れることを抑え、洗浄処理を終えた洗浄物への付着を防止し、シミなどの不良原因を抑えて乾燥後の洗浄物の品質を向上させることができる。
また、本発明による乾燥装置によれば、第２部屋の上部に精密フィルタを介して清浄な空気を洗浄物に向かって供給する空気供給部を設けているため、この第２部屋内を常に清浄な状態に維持でき、部屋内に浮遊する微粒子の飛散とともに液滴に包含して新たな汚染物として機能することを確実に抑え、洗浄物への再付着を防止してより一層品質を向上することができる。

次に、添付図面を参照して，本発明による乾燥装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明による乾燥装置の一実施形態を示す構成図である。また、図２は、図１に示した乾燥装置を上部から見た上面図である。また、図３は、図１に示したギヤ２２の詳細を示す図である。また、図４は、図１に示したローラの他の実施例を示す図である。また、図５は、図４に示したローラ１７の詳細を示す図である。また、図６は、図１に示したローラの更なる他の実施例を示す図である。また、図７は、図１に示した仕切板及び気体噴射手段を傾斜式にした他の実施例を示す図である。また、図８は、図７に示した傾斜式に用いるローラの他の実施例を示す図であり、図８（ａ）は洗浄物１の裏面を支持するローラ３４を、図８（ｂ）は洗浄物１の側面を挟持するローラ３６を各々示している。また、図９は、図７に示した傾斜式に用いるローラの更なる他の実施例を示す図である。ここで、図１に示した本実施の形態では、排気口１５、空気供給部１４、及び仕切板１２以外が、全て図６に示した従来技術と同一の構成要素であり、同じ構成要素には同一の符号を記載している。

図１に示すように、本発明による乾燥装置の一実施形態は、図１０に示した従来技術のように、例えば、光学補正フィルムまたはその原盤フィルム、フィルム状の液晶基板、フィルム状のＥＬ半導体基板、液晶基板、ＰＤＰ基板、電子部品や機械加工部品、精密部品などの薄膜または薄板状の洗浄物１を、湿式洗浄後に投入口Ｂから搬入して排出口Ｃまで搬送する間に乾燥させる中空で箱状の装置１０を備えており、この装置１０内に投入口Ｂから搬入した洗浄物１を複数配列したローラ１１により移動させるとともに、この移動する途中に洗浄物１の表面及び裏面に上下から気体を吹き付けて乾燥させる気体噴射手段１３を備えている。また、本実施の形態では、図１０に示した従来技術とは異なり、装置１０内で洗浄物１を搬入して気体噴射手段１３の上下間を通過させて気体を吹き付けるまでの第１部屋１０ａと、この洗浄物１が気体を吹き付けられた後に移動して搬出されるまでの第２部屋１０ｂとの各部屋間に延在して洗浄物１が通過する気体噴射手段１３の上下間の移送口１３ａを残して区切る仕切板１２を設けるとともに、乾燥後に搬送する第２部屋１０ａの上部に精密フィルタ１４ａを介して清浄な空気を洗浄物１に向かって供給する空気供給部１４を備えている。即ち、本実施の形態は、装置１０内を仕切板１２により第１部屋１０ａと第２部屋１０ｂとに各々区切ることで乾燥後の第２部屋１０ｂに第１部屋１０ａから微小な液滴が流れ込むことを防止するとともに、第２部屋１０ｂの空気供給部１４により部屋内を常に清浄に維持することで浮遊する微粒子の飛散を抑えている。

ここで、仕切板１２は、前述したように、洗浄物１がローラ１１により搬送されて通過する気体噴射手段１３の上下間の移送口１３ａを残して区切るように、装置１０内の上下面から気体噴射手段１３までの間に延在して第１部屋１０ａと第２部屋１０ｂとに各々仕切っている。この際、移送口１３ａは、空気供給部１４から供給して第２部屋１０ｂに充満した清浄な空気が第１部屋１０ａに向かって常に流出する流出口になるため、第１部屋１０ａ内の微細な液滴を投入口Ｂ側に吹き飛ばして第２部屋１０ｂに流入することを防止できる。また、空気供給部１４は、乾燥後の洗浄物１を搬送する第２部屋１０ｂの上部にダクトなどの排気管を接続してなり、この上部の開口端部に精密フィルタ１４ａを介在することで清浄な空気を常に供給できるように設けている。従って、乾燥後の洗浄物１は、空気供給部１４により常に清浄な環境下にある第２部屋１０ｂに搬送されるため、空気中の異物が表面に付着する汚染を確実に防止することができる。

また、気体噴射手段１３は、図１０に示した従来技術と同様に、洗浄物１の表裏面に向けて噴射する気体をほとんどの場合、洗浄物１の表裏面に対して直角でなく、ある程度傾いた向きをもたせて噴射する。即ち、気体噴射手段１３は、洗浄物１の搬送速度や噴射気体の量、圧力に応じて噴射角度を、洗浄物１の搬送方向に対して相対する方向（搬送方向と逆方向）に直角よりやや寝かせて噴射できるように設定している。この角度は、洗浄物１の表裏面に付着した液体を吹き飛ばす際に大きく影響するため、最適な乾燥を行うために適宜調節することが重要になる。従って、気体噴射手段１３は、所定の流量・圧力により気体を噴射する際、前述した洗浄物１の表面に対する角度を適宜調節することが可能となっている。

また、装置１０には、図１に示した第１部屋１０ａの気体噴射手段１３が洗浄物１に向けて気体を吹き付ける方向の投入口Ｂ近傍に内部空気を上下で吸い込んで排気する排気部１５を付設するとともに、第２部屋１０ｂに設けた空気供給部１４の下部に洗浄物１を除電する除電手段１６を更に設けている。ここで、装置１０内では、空気供給部１４により供給した空気が第２部屋１０ｂに充満して移送口１３ａを介して第１部屋１０ａ側に流入し、これにより第１部屋１０ａの微小な液滴を投入口Ｂ側に流して第２部屋１０ｂに流れ込むことを防止できるが、さらに上下に飛散して再び移送口１３ａ側に逆流して第２部屋１０ｂに流入する可能性もある。そこで、排気部１５は、投入口Ｂ側に設けて上下に飛散して移送口１３ａに向かって搬送方向と逆向きに逆流しようとする空気を、浮遊した微少液滴とともに速やかに装置１０外に排出できるように設けている。この排気部１５は、装置１０内で洗浄物１の表裏面近傍まで延在させて、この表裏面に流れる微小な液滴を直接吸引できるように設けている。尚、排気部１５は、例えば、空気供給部１４で空気を供給して気圧差により第２部屋１０ｂから第１部屋１０ａに流れる空気の流れを止めない程度であれば、第２部屋１０ｂにも適宜設けて排気及び排液することも可能である。

一方、除電手段１６は、例えば、薄板状の洗浄物１を乾燥させる方法として空気を吹き付けた場合、空気と洗浄物１との摩擦によって静電気を発生してしまい、洗浄物１が帯電すると一種の集塵機のように空気中の微粒子を吸い寄せて乾燥後の品質を低下させてしまうため、これを防止するために第２部屋１０ｂに設置して除電している。従って、除電手段１６は、第１部屋１０ａで気体噴射手段１３の噴出空気によって乾燥を行う際に帯電してしまった洗浄物１を、第２部屋１０ｂで直ちに除電することが可能となり、装置１０内にとどまらず搬出した後にも洗浄物１が帯電していることが原因で集塵機のごとく作用する不具合を確実に防止している。

また、帯電の問題で言うならば、図１に示した構成において、もう１ヶ所帯電の可能性を持つ場所がある。それは、洗浄物１を搬送するローラ１１の回転時に発生する摩擦により帯電し易くなる。詳しく説明すると、ローラ１１は、図２に示すように、従来技術と同様に装置１０内で洗浄物１の搬送方向に対して直交する方向に棒状に延在して平行に複数配列させた回転可能な軸１１aを備え、この軸１１ａに沿って所定の間隔で複数円盤状に形成され、この軸１１ａの両端を装置１０の周壁に固定したベアリングなどの軸受け部１１ｂにより軸支して回転可能に設けている。ここで、軸１１ａは、例えば、薄板状の洗浄物１において種々ある大きさで畳ほどの大きさになる洗浄物１を搬送する場合、強固な材質をもって搬送可能な軸構造にしなければならないため、材質として金属を用いることが少なくない。そして、この軸１１ａは、図２に示したように、洗浄物１を搬送するために多数設けており、その1本1本にモータなどの駆動源２０を設けることは現実的ではなく、多くの場合、１つの駆動源２０の回転力を特定数のギヤ２２によって軸１１ａに各々伝達して回転させている。ここで、ギヤ２２は、金属同士が擦れる機構であることに注目すると、そこにはやはり静電気が発生する可能性がある。従って、ギヤ２２の摩擦により軸１１ａが帯電すると、これが洗浄物１にも帯電して表面が集塵機のごとく作用して品質を低下させるという不具合があった。

そこで、本実施の形態では、図３に示すように、ローラ１１を回転させる軸１１ａを周壁に固定した軸受け部１１ｂに軸支し、この軸１１ａが軸受け部１１ｂを介して装置１０の外側に延在して端部に設けたギヤ２２により駆動源２０（図２参照）からの回転力を伝達して回転動作を行う構造に形成され、このギヤ部２２に装置１０の外側で液体を滴下して防塵又は除電する滴下手段２４を更に備えている。即ち、滴下手段２４は、ギヤ部２２に水を滴下することで帯電した軸１１ａを通電させる役割をする。これにより帯電した軸１１ａは、図２に示したギヤ部２２から駆動源２０まで延在する金属性軸を介して、駆動源２０内のアース回路部（図示せず）に通電させて接地することが可能になる。尚、図３に示した滴下手段２４は、ギヤ部２２に液体を滴下することで摩擦によって削れたカスなどの防塵対策としての役割も同時に兼ねている。この際、装置１０には、図３の点線で示したように、軸１１ａを突出させた外側の側面に沿って中空に延在し、軸受け部１１ｂ、ギヤ２２、及び滴下手段２４を覆う排気管２５を備え、この排気管２５により滴下手段２４から滴下する液体の廃液と、装置１０内の排気とを同時に実行可能に設け、パーティクルの発散を抑えるように設けることも可能である。

このように形成された本発明による乾燥装置の一実施形態を用いて洗浄物１を乾燥させる場合、まず、他の工程において種々の湿式洗浄を終えた洗浄物１を搬送機構（図示せず）によって装置１０内に搬送する。この段階では、洗浄物１の表面及び裏面は湿式洗浄した洗浄液で濡れている。そして、洗浄物１は、図１に示したように、投入口Ｂで搬送機構からローラ１１により装置１０内の後方に送られ、やがて気体噴射手段１３にさしかかる。ここで、ローラ１１を駆動する場合、図３に示した滴下手段２４を同時に駆動して軸受け部１１ｂとギヤ部２２とに適宜液体を滴下することで防塵、及び軸１１の帯電を防止する。

その後、気体噴射手段１３は、図１に示したように、搬入された洗浄物１の表面及び裏面両方に作用するように駆動し、上下から噴出した空気によって洗浄物１の表面及び裏面に存在する液滴を吹き飛ばすことで、後方（第２部屋１０ｂ）に向かって搬送する洗浄物１を乾燥状態に処理する。この際、装置１０内部の空間では、第１部屋１０ａ内で気体噴射手段１３により洗浄物１の表面に残留した液体を吹き飛ばして発生する微少な液滴が飛散又は浮遊したとしても、仕切板１２によって第１部屋１０ａと第２部屋１０ｂとを区切ることにより、浮遊した液滴が第２部屋１０ｂに流れて洗浄物１表面に付着することを防止することができる。

また、装置１０内では、第１部屋１０ａに洗浄物１を投入する投入口Ｂの周辺に排気部１５を設けており、この排気部１５により気体噴出手段１３が噴出する終端の投入口Ｂ側で洗浄物１の表面に沿って流れた空気を直接吸い出すため、仕切板１２によって区切られた第１部屋１０ａ内の上流側が陽圧となり第２部屋１０ｂに向かう逆流を抑えることができる。また、排気部１５は、気体噴出手段１３より噴出した気体によって吹き飛ばされ、微少な液滴となった液体をも空気の流れに乗せて速やかに排出するため、この吹き飛ばされた液滴の再付着による洗浄物１の品質低下を完全に防止する。これにより、装置１０内では、気体噴出手段１３から噴射した空気により液体を吹き飛ばして飛散する浮遊液滴、すなわち汚染源が乾燥後に搬送する第２部屋１０ｂの洗浄物１に再付着することを確実に防ぐことができる。

さらに、乾燥を終えて搬送する第２部屋１０ｂでは、洗浄物１を搬送する部屋の上部に除電手段１６を設けたことにより、第１部屋１０ａで気体の噴出によって乾燥を行うことで帯電した洗浄物１を直ちに除電することができ、この洗浄物１が帯電することで集塵機のごとく振る舞い、表面に異物を付着することを防止する。また、乾燥後の洗浄物１が搬送される第２部屋１０ｂの上部に精密フィルタ１４ａを設けているため、常に清浄な空気を供給し、これにより乾燥後の洗浄物１は清浄な環境下を搬送させることができ、空気中に浮遊する異物が乾燥後の洗浄物１の表面に付着するのを防止できる。

ここで、本実施の形態では、乾燥後の洗浄物１が搬送される第２部屋１０ａに精密フィルタ１４ａを介して常に清浄な空気を供給し、たとえ洗浄物１が帯電しても集塵される異物があまり存在しないため問題にならないが、洗浄物１が装置１０から搬出された後でも帯電は残るため、除電手段１６を設けて洗浄物１の除電を行っておくことで製品の品質を低下させる要因を取り除いている。尚、第１部屋１０ａでは、洗浄物１の表面に吹き付ける空気を０．４ｍｐａ〜０．０５ｍｐａの低圧エアーで行うことにより、帯電及びパーティクルの発散を極力抑えて液切りを行うことで汚染の原因を確実に防止している。

このように本発明による乾燥装置の一実施形態によると、装置１０内を乾燥処理する第１部屋１０ａと乾燥後に搬送する第２部屋１０ｂとに仕切板１２によって各々区切っているため、この両部屋の気圧差または気体噴射手段１３が噴射する気体の角度や量などの勢いによって吹き飛ばされた微小な液滴が第２部屋１０ｂに流れることを抑え、乾燥処理を終えた洗浄物１への付着を防止し、シミなどの不良原因を抑えて乾燥後の洗浄物１の品質を向上させることができる。また、本実施の形態では、第１部屋１０ａに排気部１５を設けて、装置１０内で気体噴射手段１３により吹き飛ばされた微小な液滴を速やかに排出するため、第２部屋１０ｂに搬送した乾燥後の洗浄物１に再付着することを確実に防ぐことができる。
また、本発明による乾燥装置の一実施形態によると、第２部屋１０ｂの上部に精密フィルタ１４ａを介して清浄な空気を洗浄物１に向かって供給する空気供給部１４を設けているため、この第２部屋１０ｂ内を常に清浄な状態に維持でき、部屋内に浮遊する微粒子の飛散とともに液滴に包含されて新たな汚染物として機能することを確実に抑え、洗浄物１の再付着を防止してより一層品質を向上することができる。また、本実施の形態では、装置１０に除電手段１６及び滴下手段２４を設けることで、第２部屋１０ｂ内及びローラ１１の軸１１ａが帯電することを防止しているため、洗浄物１が帯電して異物を集塵することを確実に防止できる。

ところで、本実施の形態では、図２に示したように、第１部屋１０ａと第２部屋１０ｂとに同じローラ１１を用いた実施例を詳細に説明したが、これに限定するものではなく、例えば、第２部屋１０ｂ側のローラを洗浄物１との接触がより少ない構造にすることも可能である。詳しく説明すると、図１乃至３に示したローラ１１は、洗浄物１の搬送方向に直交する軸１１ａに沿って適当な間隔をもって複数リング（円盤）状に配置して洗浄物１の裏面に当接させることで支持し、この軸１１ａを回転して搬送を行っている。即ち、ローラ１１は、軸１１ａの全長に渡って円柱状に長く延在させて洗浄物１を支えるのではなく、適当な間隔をもってリング状に複数配置して洗浄物１の裏面での接触を少なくして搬送している。また、ローラ１１は、薄膜状の洗浄物１を滑ることなく搬送させるためにゴムなどの材質で形成することが多く、よってゴム材の部分が洗浄物１の裏面に常に接触していることになる。そして、ローラ１１は、図２に示した第１部屋１０ａでは常に濡れた洗浄物１に当接して支持しており、第２部屋１０ｂでは乾燥した洗浄物１に当接して支持するようになる。この場合、ゴム材のローラ１１は、第１部屋１０ａで濡れた状態の洗浄物１に当接して支持しており特に汚染することはないが、第２部屋１０ｂの乾燥した洗浄物１に接触させた場合、洗浄物１の裏面にゴムの当接した跡が筋状に残ってしまうことがある。この種の装置は洗浄物１の透明性を重視することが多く、たとえ裏面の汚れといえども問題となる場合があった。

そこで、ローラの他の実施例として、洗浄物１の搬送方向両端のみに当接して少ない接触で搬送できる構造（図４乃至６参照）にすることも可能である。尚、図４乃至６に示したローラ１７、１９及び浮上搬送部１８以外は、全て、図１に示した乾燥装置と同じ構成要素であり、重複する説明は省略する。

図４に示すように、ローラ１７の他の実施例は、装置１０内で第１部屋１０ａと異なって第２部屋１０ｂに設けており、仕切板１２及び気体噴射手段１３と平行に複数配置されて装置１０内の両側面に軸受け部１７ｂを設けてこの両端で各々回転可能に片持ち支持した軸１７ａを複数備え、この軸１７ａにより洗浄物１を移動させる両端のみに平行して複数円盤状に配列して裏面の両端部を支持しながら回転することで移送可能に設けている。また、ローラ１７は、洗浄物１を移動させる裏面両端部に平行に設けた間に、薄板状の浮上搬送部１８を備えている。この浮上搬送部１８は、図５に示すように、ローラ１７の間で薄板状に延在して、表面に複数開口する孔１８ａを有して下部から気体を供給することで洗浄物１の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送できるように設けている。この際、軸１７ａは、装置１０の両側に各々分けて片持ち支持（図４参照）することに限定するものではなく、例えば、浮上搬送部１８を横切って両側まで延在させ、この両端部にローラを設けることも可能であるが、この場合に浮上搬送部１８に当接しないように配置することが必要である。

また、このローラ１７が洗浄物１の裏面に当接して支持する実施例を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、洗浄物１の両端側面を挟持するように支持して搬送することも可能である。この洗浄物１の両端側面を挟持するローラ１９の更なる他の実施例は、図４に示したローラのように装置１０の第２部屋１０ｂに設けられ、気体噴射（乾燥）後の洗浄物１の両端側面を挟持することで搬送時の接触を少なくしている。このローラ１９は、図６に示すように、第２部屋１０ｂ（図４参照）の下部から洗浄物１の両端まで延在して側面に平行して複数配列する軸１９ａを備え、この軸１９ａの先端部分に円柱状に形成されて洗浄物１の両側面を挟持して搬送するように形成している。そして、このローラ１９間には、図４に示したローラと同様に、洗浄物１の裏面から空気を供給して少し浮上させて搬送する浮上搬送部１８を設けている。

このようなローラ１７、１９を用いて搬送する場合、洗浄物１の両端を挟持または支持して搬送する際に洗浄物１が畳ほどの大きな面積を備えていると、中心部が下方に撓んで（反って）湾曲してしまうため、浮上搬送部１８により下部から所定の流量及び圧力の空気を噴出し、薄板状の洗浄物１をわずかながら空中に浮上させた状態で後方に送って搬送する。ここで、洗浄物１と接触しているのは両端のローラ１７、１９のみであり、図２に示したローラに比べて洗浄物１の裏面で発生する汚染の要因を低減できる。

このようにローラ１７、１９の他の実施例によると、例えば、液晶基板による洗浄物１の場合において、周囲端部から内側に約２ｍｍ〜１０ｍｍ程度の製造後に切り捨てる端部を支持または挟持する構造のため、乾燥した洗浄物１の裏面にゴムの当接した跡が筋状に残ることを完全に防止することができる。

一方、本実施の形態では、図２に示したように、装置１０内で洗浄物１の搬送方向に対して直交する方向に延在した直交式の仕切板１２及び気体噴射手段１３の実施例を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、装置内の対角線方向に傾斜させて延在した傾斜式の仕切板及び気体噴射手段を設けることも可能である。このような傾斜式による仕切板３２及び気体噴射手段３３の他の実施例は、図７に示すように、四角形状の装置３０内で四隅２箇所から各々対角線方向に傾斜しながら延在し、第１部屋３０ａと第２部屋３０ｂとの空間を各々三角形状に区切るように配置している。この際、気体噴射手段３３は、洗浄物１の表面への噴射角度に加え、搬送方向に対する対角線方向の傾斜を備えることで、洗浄物１の表面に付着した液体を最適な角度で確実に吹き飛ばすことが可能になる。

ここで、装置３０内では、仕切板３２及び気体噴射手段３３が対角線状に延在しているため、ローラの軸を両側面に延在させて両端を支持することが不可能になる。そこで、ローラ３１は、図７に示したように仕切板３２と気体噴射手段３３とが傾斜式の場合、装置３０の側面に設けた軸受け部３２ｂに一端を回転可能に片持ち支持して装置３０内で仕切板３２及び気体噴射手段３３に向かって両側面から洗浄物１の搬送方向と直交する方向に長さを変えて複数突出する軸３１aを備え、この軸３１ａに沿って形成している。即ち、軸３１ａは、図７に示したように、第１部屋３０ａでは洗浄物１を搬入する側が最も長く仕切板３２及び気体噴射手段３３の傾斜に沿って徐々に短く形成され、反対に第２部屋３０ｂでは洗浄物１の搬入側が最も短く仕切板３２及び気体噴射手段３３の傾斜に沿って搬出側に向かって徐々に長く形成している。そして、この軸３１aには、装置３０内で最も長く延在した搬入側と搬出側とに所定間隔で最も多くのローラ３１が複数配列（図７では４個配列）するとともに、仕切板３２及び気体噴射手段３３の傾斜に沿って短くなるにつれてローラ３１の数を徐々に減らして設けている。尚、この傾斜式の装置３０内には、図示していないが、図１乃至３に示した空気供給部１４、排気部１５、除電手段１６、駆動源２０、滴下手段２４を適宜配置して備えている。また、傾斜式の場合、装置３０の両側で軸３１ａが片持ち支持されるため、この装置３０の両側にギヤ２２及び駆動源２０を設けることで軸３１ａを回転させている。

このような傾斜式による仕切板３２及び気体噴射手段３３の他の実施例によると、装置３０内を第１部屋３０ａと第２部屋３０ｂとに各々区切ることができるため、図２に示した仕切板及び気体噴射手段と同様の効果が得られるとともに、気体噴射手段３３を搬送方向に対して対角線方向に傾斜させることで図２に示した気体噴射手段に比べてより最適な液体の吹き飛ばしと乾燥とを実現することができる。

ここで、図７に示した傾斜式の乾燥装置において、図５及び図６に示したローラのように浮上搬送部を設けて洗浄物１への接触を最小にすることも可能である。このように洗浄物１への接触を最小にする傾斜式に用いるローラの他の実施例は、図８（ａ）に示すように、装置３０内で第１部屋３０ａと異なるように第２部屋３０ｂに設けられ、この第２部屋３０ｂの側面で回転可能に片持ち支持した軸３４ａを備え、この軸３４ａに洗浄物１を移送させる両側の片側端部のみに沿って配列して洗浄物１の片端裏面を支持して移送するように形成している。即ち、このローラ３４は、傾斜式の第２部屋３０ｂで搬送される洗浄物１の裏面両端に配置することが困難なため、片端のみに配置して搬送するように形成している。そして、第２部屋３０ｂでは、仕切板３２及び気体噴射手段３３とローラ３４との間に、薄板で三角状に延在して表面に複数開口する孔３５ａを有して下部から気体を供給することで洗浄物１の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部３５を設けている。

また、このような洗浄物１の片端裏面を支持する傾斜式に用いるローラの実施例に限定するものではなく、例えば、図６に示したローラのように洗浄物１の両側面を挟持する構造に形成することも可能である。このように洗浄物１の両側面を挟持する傾斜式に用いるローラの他の実施例は、図８（ｂ）に示すように、装置３０内の裏面で軸受け部（図示せず）により回転可能に軸支して上部に延在して洗浄物１の両側で複数平行に配列した軸３６ａを備え、この軸３６ａの先端に設けられて洗浄物１の両側面を挟持して搬送するように設けている。また、ローラ３６は、平行する間に仕切板３２及び気体噴射手段３３が対角線状に介在し、この仕切板３２及び気体噴射手段３３と軸３６ａとの間に三角状に延在して表面に複数開口する孔３７ａを有して下部から気体を供給することで洗浄物１の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部３７を第１部屋３０ａと第２部屋３０ｂとに各々設けている。

このような傾斜式に用いるローラ３４、３６の他の実施例によると、気体を噴射した後に搬送した第２部屋３０ｂで洗浄物１の裏面両端や側面のみを支持または挟持する構造のため、図５及び６にし示したローラと同様の効果を得ることができる。

ここで、図８に示したローラ３４、３６では、第２部屋３０ｂに搬送された洗浄物１の片端裏面のみを支持する構造であり、他端側は浮上搬送部３５、３７のみで支持する少し不安定な支持状態になる。そこで、第２部屋３０ｂには、洗浄物１裏面の片端のみでなく両端を支持できるローラを設けることも可能である。このように洗浄物１の裏面両端を支持可能な傾斜式に用いるローラ３８の更なる他の実施例は、図９に示すように、装置３０の側面で回転可能に片持ち支持した軸３８ａを備え、この軸３８ａに洗浄物１を移送する両側の片側に沿った片側端部Ｄと、この端部から他端側の近傍まで一部長く延在する軸３８の他端部Ｅとに各々設けている。即ち、装置３０の側面で回転可能に片持ち支持した軸３８ａにおいて、洗浄物１を移動させる両側のうち片側端部Ｄにローラ３８を配列させて設けるとともに、この端部から更に延在して他端側の近傍まで一部長く延在する搬出側の軸その他端部Ｅにもローラ３８を設けることで、洗浄物１の裏面両端部を支持して安定して移送することが可能に設けている。この際、他端部Ｅ側のローラ３８は、乾燥後の洗浄物１裏面にゴムの当接した跡が筋状に残らない端部に位置することが最も重要になる。

また、第２部屋３０ｂ内には、ローラ３８の下で三角状に延在してローラ３８が当接しないように切り欠いたスリット３９ｂを設け、この表面に複数開口する孔３９ａを有して下部から気体を供給することで洗浄物１の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部３９を設けている。この浮上搬送部３９は、図８に示した浮上搬送部とは異なり、ローラ３８が当接することをスリット３９ｂにより回避することで、第２部屋３０ｂ内の端まで広く延在させることができ、且つ、洗浄物１の端部外側まで延在して気体を供給することが可能なため、安定した移送が可能になる。

このように洗浄物１の裏面両端部を支持可能な傾斜式に用いるローラ３８の更なる他の実施例によると、洗浄物１の両端裏面を片側端部Ｄと他端部Ｅとに設けたローラ３８により確実に支持するため、図８に示したローラに比べて安定した移送が可能になるとともに、第２部屋３０ｂの浮上搬送部３９にローラ３８を回避するスリット３９ｂを設けて洗浄物１の端部外側まで浮上搬送部３９が広く延在するように設けることで、より安定した浮上搬送が可能になる。

以上、本発明による乾燥装置の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、装置の上下部に排気部及び上部に空気供給部を各々設けた実施例を詳細に説明したが、この装置の上下部または上部に限定されるものではなく、装置の側面に設けても良い。

本発明による乾燥装置の一実施形態を示す構成図。 図１に示した乾燥装置を上部から見た上面図。 図１に示したギヤの詳細を示す図。 図１に示したローラの他の実施例を示す図。 図４に示したローラの詳細を示す図。 図１に示したローラの更なる他の実施例を示す図。 図１に示した仕切板及び気体噴射手段を傾斜式にした他の実施例を示す図。 図７に示した傾斜式に用いるローラの他の実施例を示す図。 図７に示した傾斜式に用いるローラの更なる他の実施例を示す図。 従来の乾燥装置の一実施形態を示す構成図。 図１０に示したローラによる洗浄物の搬送状態を示す図。

符号の説明

１０ 装置
１０ａ 第１部屋
１０ｂ 第２部屋
１１ ローラ
１１ａ 軸
１１ｂ 軸受け部
１２ 仕切板
１３ 気体噴射手段
１３ａ 移送口
１４ 空気供給部
１５ 排気部
１６ 除電手段
２０ 駆動源
２２ ギヤ
２４ 滴下手段

Claims (14)

1. 湿式洗浄後の薄膜または薄板状の洗浄物を乾燥させる装置で、該洗浄物を装置内で複数配列したローラにより移送する途中に上下から気体を吹き付けて乾燥させる気体噴射手段を有した乾燥装置において、
   前記装置内で前記洗浄物を搬入して前記気体噴射手段の上下間を通過させて気体を吹き付けるまでの第１部屋と、前記洗浄物が気体を吹き付けた後に移動して搬出されるまでの第２部屋との各部屋間に延在し、前記洗浄物が通過する前記気体噴射手段の上下間の移送口を残して区切る仕切板を設けるとともに、前記第２部屋に精密フィルタを介して清浄な空気を前記洗浄物に向かって供給する空気供給部を備えたことを特徴とする乾燥装置。
2. 請求項１に記載の乾燥装置において、
   前記仕切板と気体噴射手段とは、前記装置内で前記洗浄物の搬送方向に対して直交する方向に延在した直交式、または前記装置内の対角線方向に傾斜させて延在した傾斜式のいずれかにより前記第１部屋と第２部屋とを各々区切ることを特徴とする乾燥装置。
3. 請求項２に記載の乾燥装置において、
   前記ローラは、前記仕切板と気体噴射手段とが前記直交式の場合、この仕切板及び気体噴射手段と平行に複数配置して前記装置内の両側面に軸受け部を設けて両端を回転可能に支持した軸を備えて該軸に沿って所定間隔で複数形成することを特徴とする乾燥装置。
4. 請求項３に記載の乾燥装置において、
   前記第２部屋では、前記洗浄物を移動させる両端のみに平行に配列して移送する新たなローラを設けるとともに、このローラ間に薄板状に延在して表面に複数開口する孔を有して下部から気体を供給することで前記洗浄物の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部を設けたことを特徴とする乾燥装置。
5. 請求項４に記載の乾燥装置において、
   前記第２部屋の新たなローラは、前記洗浄物の両端で平行に配列して両側面を挟持、または両端の裏面に当接して支持することを特徴とする乾燥装置。
6. 請求項２に記載の乾燥装置において、
   前記ローラは、前記仕切板と気体噴射手段とが前記傾斜式の場合、前記装置の側面に設けた軸受け部に一端を回転可能に片持ち支持し、前記装置内で前記仕切板及び気体噴射手段に向かって両側面から前記洗浄物の搬送方向と直交する方向に長さを変えて複数突出する軸を備え、該軸に沿って所定間隔で複数形成することを特徴とする乾燥装置。
7. 請求項６に記載の乾燥装置において、
   前記第２部屋では、前記装置の側面で回転可能に片持ち支持した軸に前記洗浄物を移送する両側の片側端部のみに沿って配列して前記洗浄物の片側裏面を支持して移送する新たなローラを設けるとともに、このローラと前記仕切板及び気体噴射手段との間に薄板で三角状に延在して表面に複数開口する孔を有して下部から気体を供給することで前記洗浄物の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部を設けたことを特徴とする乾燥装置。
8. 請求項６に記載の乾燥装置において、
   前記第２部屋では、前記装置の側面で回転可能に片持ち支持した前記軸に前記洗浄物を移送する両側の片側のみに沿った片側端部と、この端部から他端側近傍まで一部長く延在する前記軸の他端部とに、前記洗浄物の裏面両端部を支持して移送する新たなローラを設けるとともに、このローラの下で三角状に延在して該ローラが当接しないように切り欠いたスリットを設けて表面に複数開口する孔を有して下部から気体を供給することで前記洗浄物の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部を設けたことを特徴とする乾燥装置。
9. 請求項２に記載の乾燥装置において、
   前記ローラは、前記仕切板と気体噴射手段とが前記傾斜式の場合、前記装置内の底面で軸受け部により回転可能に軸支して上部に延在して前記洗浄物の両側に複数平行に配列した軸を備え、該軸の先端に設けられて前記洗浄物の両側面を挟持して搬送するとともに、この平行する間に前記仕切板及び気体噴射手段が対角線状に介在し、この仕切板及び気体噴射手段と前記軸との間に三角状に延在して表面に複数開口する孔を有して下部から気体を供給することで前記洗浄物の裏面に均一に気体を噴出させて少し浮上させながら搬送する浮上搬送部を前記第１部屋と第２部屋とに各々設けたことを特徴とする乾燥装置。
10. 請求項１乃至９のいずれかに記載の乾燥装置において、
    前記第２部屋には、前記空気供給部を設けた下部に前記洗浄物を除電する除電手段を設けたことを特徴とする乾燥装置。
11. 請求項１乃至１０のいずれかに記載の乾燥装置において、
    前記第１部屋及び第２部屋には、前記軸が前記軸受け部を介して装置の外側に延在して端部に設けたギヤにより駆動源からの回転力を伝達して回転するとともに、前記ギヤ部に液体を滴下して防塵又は除電する滴下手段を更に備えたことを特徴とする乾燥装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれかに記載の乾燥装置において、
    前記第１部屋は、前記洗浄物を搬入する投入口の方向に向けて前記気体を吹き付け、この吹き付けた投入口近傍に内部空気を吸い込んで排気する排気部を更に付設していることを特徴とする乾燥装置。
13. 請求項１１に記載の乾燥装置において、
    前記装置には、前記軸を突出させた外側の側面に沿って中空に延在し、前記軸受け部、ギヤ、及び滴下手段を覆う排気管を備え、この排気管により前記滴下手段から滴下する液体の廃液と前記装置内の排気とを同時に実行可能に設け、パーティクルの発散を抑えることを特徴とする乾燥装置。
14. 請求項１乃至１３のいずれかに記載の乾燥装置において、
    前記第１部屋では、前記洗浄物の表面に吹き付ける空気を０．４ｍｐａ〜０．０５ｍｐａの低圧エアーで行うことにより、帯電、パーティクルの発散を抑えて液切りを行うことを特徴とする乾燥装置。

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