KR101092750B1

KR101092750B1 - 기판 건조 장치

Info

Publication number: KR101092750B1
Application number: KR1020090096235A
Authority: KR
Inventors: 사토시 기요쿠; 시게키 미나미
Original assignee: 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
Priority date: 2008-10-10
Filing date: 2009-10-09
Publication date: 2011-12-09
Also published as: KR20100040691A; JP2010093196A; JP4976358B2; TW201030297A; TWI386613B

Abstract

낮은 비용의 구성으로, 대형 기판을 안정적으로 또한 원활하게 반송하면서 건조 처리를 실시하는 것으로서, 기판 건조 장치는, 기판(W)을 반송하는 기판 반송 기구와, 이 기판 반송 기구에 의한 기판(W)의 반송로를 비스듬히 가로지르는 에어나이프(16)를 포함한다. 기판 반송 기구는, 에어나이프(16)의 상류측 영역(EA)에 배치되는 상류측 롤러군과, 하류측 영역(EB)에 설치되는 하류측 롤러군과, 구동계(50)과, 보조 롤러(76)를 가지는 보조 지지 장치(70)를 포함한다. 각 롤러군은 각각 동일한 길이를 가지는 복수개의 반송 롤러로 이루어지는 단위 롤러군(G1∼G3, G4∼G6)으로 이루어지고, 각 단위 롤러군(G1∼G3, G4∼G6)에 있어서의 반송 롤러의 길이는, 상류측 롤러군에서는 상류측의 단위 롤러군일수록 길고, 하류측 롤러군에서는 상류측의 단위 롤러군일수록 짧게 설정된다. 그리고, 보조 지지 장치(70)는, 상류측 및 하류측의 각 롤러군과 에어나이프(16)의 사이에 형성되는 스페이스(S1∼S4)에 배치된다.

Description

기판 건조 장치{APPARATUS FOR DRYING A SUBSTRATE}

본 발명은, LCD(액정 표시 장치)나 PDP(플라즈마 디스플레이) 등의 FPD(플랫 패널 디스플레이)용 유리 기판, 유기 EL용 유리 기판, 광 디스크용 기판, 포토마스크용 유리 기판, 반도체 웨이퍼 등의 각 기판에 건조 처리를 실시하는 건조 처리 장치에 관한 것이다.

종래부터, 습식 세정 후의 LCD, PDP용 유리 기판 등의 기판을 반송 롤러의 구동에 의해 반송하면서, 기판의 상하 각 면에 대해서 에어(기체)를 내뿜음으로써, 기판에 부착된 세정액을 제거하여 기판을 건조시키는 기판 건조 장치가 알려져 있다.

이러한 종류의 장치의 대부분은, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재되는 바와같이, 기판의 반송로를 비스듬히 가로지르는 상하 한쌍의 에어나이프가 설치되어 있고, 기판 반송에 수반하여 그 선단 모퉁이부로부터 서서히 에어를 내뿜음으로써 기판에 부착된 세정액을 제거하도록 구성된다.

이 경우, 반송로의 전체 폭에 걸쳐 상기 반송 롤러를 설치한다고 하면, 반송 롤러가 아래쪽의 에어나이프와 교차하여 에어 분사에 방해가 되기 때문에, 통상은, 동 문헌 1(도 1 참조)에 나타내는 바와같이, 에어나이프를 따라서 서서히 축 길이가 짧아지도록(길어진다) 길이 설정된 반송 롤러를, 상기 에어나이프를 사이에 끼고 그 상류측 및 하류측으로 각각 나누어 배열함으로써 상기의 상황을 회피하는 것이 행해지고 있다.

<특허 문헌 1>

일본국 특허공개 2003－176982호 공보

최근, 처리 대상이 되는 기판의 대형화가 현저하다. 이러한 대형화된 기판은, 반송 중의 작은 휨이 금 균열 등의 원인이 되기 때문에, 보다 평평한 상태로 반송하는 것이 요구된다. 또한, 대형화에 의해 고 중량화된 기판을 원활하게 반송하기 위해서는, 보다 많은 구동력을 기판에 전하는 것도 필요하다. 따라서, 상기와 같은 기판 건조 장치에 있어서는, 보다 많은 반송 롤러를, 그 피치를 좁혀 배열하는 것이 바람직하다.

그러나, 특허 문헌 1과 같이, 에어나이프를 따라 서서히 축 길이가 짧아지도록(길어진다) 길이 설정된 반송 롤러를 배열하는 종래의 장치에서는, 피치를 좁혀 많은 반송 롤러를 배열하고자 하면, 서로 길이가 다른 다수개의 반송 롤러가 필요해 지므로, 제조 비용(특히, 반송 롤러의 제조 비용)이 높아진다는 문제가 있다. 특히, 축 길이가 길어지면 그 정밀도를 내는 것이 어려워 제조 비용이 높아지므로, 대형 기판을 대상으로 하는 경우에는, 축 길이가 길고, 또한 서로 길이가 다른 다수개의 반송 롤러가 필요해지므로 이러한 문제가 현저해진다.

본 발명은, 상기의 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 보다 낮은 비용의 구성으로, 대형 기판을 안정적으로 또한 원활하게 반송하면서 당해 기판에 건조 처리를 실시할 수 있는 기판 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 기판을 소정 방향으로 반송하는 반송 수단과, 이 반송 수단에 의한 기판의 반송로를 비스듬히 가로지르도록 설치되고, 또한 상기 반송 수단에 의해 반송되는 기판의 상하 각 면에 대해서 기체를 각각 분사하는 상하 한쌍의 노즐 부재를 구비한 기판 건조 장치에 있어서, 상기 반송 수단은, 상기 노즐 부재보다도 기판 반송 방향의 상류측의 영역에 배치되고, 또한 상기 기판 반송 방향으로 서로 평행하게 늘어서는 복수개의 반송 롤러를 가지는 상류측 롤러군과, 상기 노즐 부재보다도 상기 기판 반송 방향의 하류측의 영역에 배치되고, 또한 상기 기판 반송 방향으로 서로 평행하게 늘어서는 복수개의 반송 롤러를 가지는 하류측 롤러군과, 각 롤러군의 반송 롤러를 구동하기 위한 구동계와, 상기 기판을 지지함과 더불어 당해 기판의 반송에 수반하여 함께 회전하는 보조 롤러를 포함하는 보조 지지 부재를 구비하고, 상기 각 롤러군은 각각, 기판 반송 방향으로 늘어서는 복수의 단위 롤러군으로 이루어지고, 이들 단위 롤러군은 각각, 동일한 길이를 가지는 복수개의 상기 반송 롤러로 이루어지고, 상기 상류측 롤러군은, 상기 기판 반송 방향에 있어서의 가장 상류측에 위치하는 단위 롤러군의 반송 롤러의 길이가 가장 길고, 하류측에 위치하는 단위 롤러군일수록 반송 롤러의 길이가 짧아지도록 각 단위 롤러군의 반송 롤러의 길이가 설정되고, 상기 하류측 롤러군은, 상기 기판 반송 방향에 있어서의 가장 상류측에 위치하는 단위 롤러군의 반송 롤러의 길이가 가장 짧고, 하류측에 위치하는 단위 롤러군일수록 반송 롤러의 길이가 길어지도록 각 단위 롤러군의 반송 롤러의 길이가 설정되어 있고, 상기 보조 지지 부재는, 상기 상류측 및 하류측의 각 롤러군에 포함되는 반송 롤러의 축단과 상기 노즐 부재의 사이에 형성되는 간극 부분에 배치되어 있는 것이다.

이 기판 건조 장치에 의하면, 상기와 같이, 노즐 부재의 상류측 및 하류측의 각 롤러군이 각각, 동일한 길이를 가지는 복수개의 반송 롤러를 포함하는 단위 롤러군으로 이루어지므로, 피치를 좁혀 많은 반송 롤러를 배열하는 것과 같은 경우에도, 동일한 길이의 반송 롤러를 복수개 사용할 수 있는만큼, 즉, 제조 비용이 높은 반송 롤러의 공통화를 도모할수 있는만큼, 장치 전체로서의 제조 비용을 억제하는 것이 가능해진다. 한편, 상기와 같이 상류측 및 하류측의 각 롤러군을 구성하면, 각 롤러군의 점유 스페이스가 계단형상으로 되어 각 롤러군과 노즐 부재의 사이에 삼각형상의 간극 부분이 형성되는데, 이 기판 건조 장치에서는, 당해 간극 부분에 대해서, 보조 롤러를 가지는 보조 지지 부재가 배치되므로, 상기와 같이 각 롤러군을 구성하면서도 당해 간극 부분에서 기판이 휘는 것을 방지할 수 있다. 또한, 보조 지지 부재는, 기판을 지지하면서 그 이동에 수반하여 함께 회전하도록 보조 롤러를 설치했을 뿐 간소한 것이므로, 높은 정밀도가 요구되는 반송 롤러에 비하면 현저히 낮은 비용으로 제작할 수 있다. 따라서, 전체적으로는, 제조 비용 중 반송 수단이 차지하는 비율을 저감시킬 수 있고, 이에 따라 기판 건조 장치의 저렴화를 도모하는 것이 가능해진다.

이 장치에 있어서는, 상기 상류측의 영역에 설치되는 상류측 롤러군 및 보조 지지 부재와, 상기 하류측의 영역에 설치되는 하류측 롤러군 및 보조 지지 부재가, 상기 노즐 부재의 길이 방향에 있어서의 대략 중간 위치를 중심으로 하여 서로 회전 대칭인 구성으로 되어 있는 것이 적합하다.

이 구성에 의하면, 노즐 부재의 상류측 및 하류측의 각 영역에 설치되는 반 송 롤러 및 보조 지지 부재의 공통화가 가능해지므로, 제조 비용의 저렴화 상에서 보다 유리해진다.

또한, 이 장치에 있어서는, 상류측 롤러군에 포함되는 각 반송 롤러와 하류측 롤러군에 포함되는 각 반송 롤러가 상기 노즐 부재를 사이에 끼고 동일 축선 상에 늘어서는 것이 적합하다.

이 구성에 의하면, 동일 축선 상에서 기판의 폭방향의 거의 전체에 걸쳐 구동력(추진력)을 부여할 수 있으므로, 기판의 직진 안정성을 확보하는데 있어서 유리해진다.

또한, 이 장치에 있어서는, 상기 반송 롤러를 그 길이 방향의 1내지 복수의 위치에서 회전 자유롭게 지지하는 중간 지지 수단을 구비하는 것이 적합하다.

이 구성에 의하면, 길이가 다른 각 단위 롤러군의 반송 롤러를 휨 등을 수반하지 않고 안정적으로 설치할 수 있다.

또한, 이 장치에 있어서는, 상기 보조 지지 부재로서 상기 보조 롤러의 수 또는 그 배열이 서로 다른 복수 종류의 보조 지지 부재를 그 종류마다 복수개 가지고, 이들 보조 지지 부재가, 상기 간극 부분을 메우도록 소정의 배열로 당해 간극 부분에 배치되어 있는 것이 적합하다.

이와 같이 공통의 보조 지지 부재를 복수개 이용하는 구성에 의하면, 부품의 공통화를 통해서 제조 비용의 저렴화에 의해 공헌할 수 있다.

또한, 상기의 장치에 있어서, 상기 구동계는, 상기 각 롤러군에 포함되는 각 반송 롤러 중 상기 기판 반송 방향에 있어서의 노즐 부재의 특정 위치보다도 상류 측에 위치하는 것을 구동하는 제1 구동계와, 상기 각 반송 롤러 중 상기 특정 위치보다도 하류측에 위치하는 것을 구동하는 제2 구동계로 이루어지는 것인 것이 적합하다.

구체적으로는, 제1, 제2 구동계는 각각 상기 반송로의 폭 방향 일단측의 위치에 배치되어 회전 구동력을 발생시키는 구동원과, 상기 반송로를 횡단하도록 설치되는 축 부재와, 상기 폭방향 일단측의 위치에서 상기 반송 롤러 및 축 부재에 대해서 상기 구동원의 회전 구동력을 전달하는 전달 수단과, 상기 축 부재에 전달된 회전 구동력을 또한 상기 폭방향 일단측과는 반대측인 타단측의 위치에서 당해 축 부재로부터 상기 반송 롤러에 전달하는 전달 수단을 포함한다.

즉, 복수의 반송 롤러의 구동을 복수의 구동계로 나누어 부담시킴으로써, 각 구동계의 구동원의 출력을 억제하면서 대형 기판을 원활하게 반송하는 것이 가능해지는데, 이 경우, 롤러군 단위로 반송 롤러를 구동하도록 각 구동계를 구성한다고 하면, 기판 반송 방향에 있어서의 기판의 특정 개소에 있어서, 노즐 부재의 위치를 사이에 끼고 그 양측에 서로 별도 계통의 구동력(추진력)이 부여되게 되고, 상류측 롤러군의 반송 롤러와 하류측 롤러군의 반송 롤러에 회전 속도차가 있으면, 기판에 회전(비틀림)력이 작용하여 기판이 사행하는 등의 문제점을 초래한다고 생각된다. 이에 대해서, 상기와 같이, 롤러군에 상관없이 기판 반송 방향에 있어서의 특정 위치를 경계로 하여 그 상류측과 하류측으로 나누어 반송 롤러를 구동하는 구성에 의하면, 기판에 대해서는 노즐 부재를 사이에 끼고 그 양측의 위치에 동일한 구동계에 의한 구동력(추진력)이 부여되게 되므로, 상기와 같은 문제점을 수반하지 않고 안정적으로 기판을 반송하는 것이 가능해진다.

또한, 이 경우, 제1 구동계의 상기 축 부재는, 상기 롤러군보다도 상기 기판 반송 방향에 있어서의 상류측의 위치에 설치되는 기판 반송용의 반송 롤러로 이루어지고, 제2 구동계의 상기 축 부재는, 상기 롤러군보다도 상기 기판 반송 방향에 있어서의 하류측의 위치에 설치되는 기판 반송용의 반송 롤러로 이루어지는 것이 적합하다.

이 구성에 의하면, 구동 전달용의 축 부재와 기판 반송용의 반송 롤러를 겸용한 것보다 합리적인 장치 구성이 된다.

본 발명에 의하면, 피치를 좁혀 많은 반송 롤러를 배열하는 경우에도, 상기와 같이, 동일한 길이의 반송 롤러를 복수개 사용할 수 있는만큼, 전체적으로는, 제조 비용 중 반송 수단이 차지하는 비율을 저감시킬 수 있다. 따라서, 보다 낮은 비용의 구성으로, 대형 기판을 안정적으로, 또한 원활하게 반송하면서 당해 기판에 건조 처리를 실시할 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시 형태에 관한 기판 건조 장치를 단면도로 개략적으로 도시하고 있다. 동 도면에 도시하는 바와같이, 기판 건조 장치는 폐쇄형의 처리조(10)를 가지고 있다. 이 처리 조(槽)(10)는, 반입구(12) 및 반출구(14)를 가지는 평면에서 봐서 직사각형 박스형의 조 본체(10A)와, 지주(111) 및 받침대(112) 등을 포함하여 상기 조 본체(10A)를 그 바깥측으로부터 지지하는 지지 틀체(10B)로 이루어지고, 상기 조 본체(10A)는, 대전 방지 처리(예를 들면 도전성 수지의 코팅)가 실시된 염화 비닐 등의 경질의 수지 재료로 구성되고, 한편, 지지 틀체(10B)는, 알루미늄 합금 등의 비교적 경량이고 강도가 높은 경금속 재료나 수지 재료에 의해 구성되어 있다.

이 처리 조(10)에는, 조 본체(10A)의 내부에서 기판(W)을 상기 반입구(12)로부터 반출구(14)를 향해 반송하는 기판 반송 기구(본 발명의 반송 수단에 상당한다)가 조합됨과 더불어, 당해 기판 반송 기구에 의해 반송되는 기판(W)의 상하 각 면에 대해서 에어(청정도 및 온습도가 소정 레벨로 조정된 CDA(Clean Dry Air))를 분사하는 상하 한쌍의 에어나이프(16, 16)(도 2 참조 ;본 발명의 노즐 부재에 상당한다)가 조합되어 있다.

기판 반송 기구는, 후에 상술하지만, 기판(W)을 경사 자세로, 구체적으로는 장치의 앞측(즉 조작 패널 등이 배치되는 측；도 1에서는 아래쪽)이 내려가는 경사 자세로 기판(W)을 반송하도록 구성되어 있고, 상기 에어나이프(16, 16)는, 이 기판 반송 기구에 의해 반송되는 기판(W)의 반송로를 사이에 낀 상하 양측의 위치에 배치되어 있다.

각 에어나이프(16, 16)는, 슬릿 형상의 분사구를 가지는 소위 슬릿 노즐로 이루어지고, 동 도면에 도시하는 바와같이 반송로를 비스듬히 가로지름과 더불어, 기판(W)에 대해서 일정 간극을 두고 대향할 수 있도록 장치 앞쪽이 내려가는 경사 자세로 배치되어 있다. 상세하게는, 상위측의 단부에 대해서 하위측의 단부가 기 판 반송 방향에 있어서의 하류측(이하, 간단히 하류측이라고 한다)에 위치하도록 배치되어 있다. 또한, 각 에어나이프(16, 16)는, 도 2에 모식적으로 도시하는 바와같이, 약간 기판 반송 방향에 있어서의 상류측(이하, 간단히 상류측이라고 한다)을 향해 에어를 분사하도록 배치되어 있고, 이에 따라, 기판(W)의 반송에 수반하여, 그 선단 상위측의 모퉁이부로부터 순서대로 기판(W)을 따라 비스듬히 하향으로 에어가 분사되게 되어 있다.

상기 기판 반송 기구는, 도 1에 도시하는 바와같이, 상기 에어나이프(16, 16)의 위치보다도 상류측의 영역(상류측 영역(EA)이라고 한다)에 설치되고, 또한 기판 반송 방향으로 일정 간격으로 서로 평행하게 늘어서는 복수개의 반송 롤러로 이루어지는 상류측 롤러군과, 에어나이프(16, 16)의 위치보다도 하류측의 영역(하류측 영역(EB)이라고 한다)에 설치되고, 또한 기판 반송 방향으로 일정 간격으로 서로 평행하게 늘어서는 복수개의 반송 롤러로 이루어지는 하류측 롤러군과, 각 롤러군의 반송 롤러를 구동하기 위한 구동계(50)와, 각 에어리어에 배치되는 보조 지지 장치(70)(본 발명의 보조 지지 부재에 상당한다)를 구비한다.

상류측 영역(EA)에 설치되는 상기 상류측 롤러군은, 동일한 길이를 가지는 복수개의 반송 롤러를 각각 가지는 단위 롤러군으로 이루어지고, 이 실시 형태에서는, 상류측으로부터 순서대로, 2개의 동일한 길이의 반송 롤러(21)를 포함하는 제1 단위 롤러군(G1), 12개의 동일한 길이의 반송 롤러(22)를 포함하는 제2 단위 롤러군(G2), 및 6개의 동일한 길이의 반송 롤러(23)를 포함하는 제3 단위 롤러군(G3)으로 이루어져 있다. 각 단위 롤러군(G1∼G3)은, 기판 반송 방향에 있어서의 가장 상류측에 위치하는 제1 단위 롤러군(G1)의 반송 롤러(21)의 길이가 가장 길고, 하류측에 위치하는 단위 롤러군일수록 반송 롤러의 길이가 짧아지도록 각 단위 롤러군(G1∼G3)의 반송 롤러(21∼23)의 길이가 설정되어 있다.

각 반송 롤러(21∼23)는, 도 1 및 도 3에 도시하는 바와같이, 어느것이나 롤러축(20a)과, 당해 롤러축(20a)에 대해서 그 길이 방향의 복수의 위치에 각각 고정되는 롤러 본체(20b)를 구비하고 있고, 롤러 본체(20b)에 의해 기판(W)을 지지한 상태에서, 상기 구동계(50)에 의해 롤러축(20a)에 회전 구동력이 주어짐으로써 기판(W)을 롤러 본체(20b)의 접선 방향으로 반송한다. 또한, 도 1중, 롤러축(20a) 및 롤러 본체(20b)의 부호는 일부 반송 롤러에만 표시한다.

각 반송 롤러(21∼23) 중 인접하는 반송 롤러(21∼23)끼리는, 롤러 본체(20b)가 축방향으로 반피치만큼 어긋난 구성으로 되어 있다. 즉, 각 단위 롤러군(G1∼G3)은 각각, 상기 반송 롤러(21∼23)로서, 길이가 동일하고 롤러 본체(20b)의 배열 피치가 반피치만큼 어긋난 2종류의 반송 롤러를 가지고 있고, 이들 2종류의 반송 롤러가 기판 반송 방향으로 교대로 배열되어 있다. 이에 따라 각 반송 롤러(21∼23) 중 인접하는 것끼리의 롤러 본체(20b)가 반피치만큼 어긋난 배치로 되어 있다.

각 단위 롤러군(G1∼G3)의 반송 롤러(21∼23)는, 각각 전단부가 조 본체(10A)의 측판(101)을 관통하여 조 본체(10A)의 외부로 돌출되고, 그 돌출된 단부가 지지 틀체(10B)측에 지지되어 있고, 또한 반송 롤러(21, 22)에 대해서는, 그 도중 부분에서 축방향의 1 내지 복수의 위치가 조 본체(10A)측에 지지되어 있다.

구체적으로는, 도 3에 도시하는 바와같이, 지지 틀체(10B)에 있어서는, 브래킷(36)을 통해 가로 받침대(112)에 지지판(34)이 지지되고, 이 지지판(34)에 상기 반송 롤러(21∼23)의 롤러축(20a)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 상세하게는 상기 지지판(34)의 안쪽(도 3에서는 왼쪽)에 보조 지지판(38)이 설치되어 당해 보조 지지판(38)이 상기 지지판(34)에 연결축(37)을 통해 연결되고, 이 보조 지지판(38)의 상단에 베어링 부재(39)가 고정되고, 당해 베어링 부재(39)에 의해 상기 반송 롤러(21∼23)의 롤러축(20a)이 지지되어 있다.

한편, 조 본체(10A)에 있어서는, 그 내부 바닥판(102) 상에 베어링 장치(30)(본 발명의 중간 지지 수단에 상당한다)가 세워 설치되고, 그 상단에 설치된 베어링(32)에 의해 상기 각 반송 롤러(21, 22)의 롤러축(20a)의 도중 부분이 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링 장치(30)에는, 복수의 베어링(32)이 기판 반송 방향으로 늘어서도록 설치되어 있고, 이에 따라 인접하는 복수개의 롤러축(20a)이 공통의 베어링 장치(30)에 의해 지지되어 있다.

또한, 도 1에서는 편의상 도시를 생략하고 있는데, 상기 상류측 롤러군에는, 가압 롤러(41)가 더 포함되어 있다. 가압 롤러(41)는, 도 3에 도시하는 바와같이, 상기 반송 롤러(21∼23) 중 특정의 반송 롤러(21) 등의 윗쪽에 설치되어 있고, 롤러축(40a)과 그 선단에 고정되는 롤러 본체(40b)를 구비하고 있다. 롤러 본체(40b)는, 반송 롤러(21) 등의 롤러 본체(20b) 중 가장 바깥쪽 롤러 본체(20b)의 윗쪽에 위치하고 있고, 따라서, 가압 롤러(41)는, 그 위치에서 기판(W)의 폭방향의 단부를 위로부터 누른다. 그리고, 상기 반송 롤러(21∼23)의 회전에 동기하여 회 전함으로써, 기판(W)의 반송을 허용하면서 그 부상(浮上)을 억제한다.

상기 가압 롤러(41)는, 그 단부가 조 본체(10A)의 앞쪽의 측판(101)을 관통하여 조 본체(10A)의 외부로 돌출하고, 캔틸레버 상태로 상기 지지 틀체(10B)측에 지지되어 있다. 구체적으로는, 상기 지지판(34)의 상단부에 베어링 부재(42)가 고정됨과 더불어 상기 보조 지지판(38)에 베어링 부재(44)가 고정되고, 이들 베어링 부재(42, 44)에 의해 상기 가압 롤러(41)의 롤러축(40a)이 지지되어 있다.

하류측 영역(EB)에 설치되는 상기 하류측 롤러군은, 상기한 상류측 롤러군과 대칭인 구성, 구체적으로는, 기판 반송 방향에 있어서의 에어나이프(16, 16)의 중간 위치를 중심으로 하여 상류측 롤러군과 회전 대칭이 되는 구성을 가지고 있다. 즉, 하류측 롤러군은, 도 1에 도시하는 바와같이, 상류측으로부터 순서대로, 6개의 동일한 길이의 반송 롤러(24)를 포함하는 제4 단위 롤러군(G4), 12개의 동일한 길이의 반송 롤러(25)를 포함하는 제5 단위 롤러군(G5), 및 2개의 동일한 길이의 반송 롤러(26)를 포함하는 제6 단위 롤러군(G6)으로 되어 있다.

각 단위 롤러군(G4∼G6)은, 기판 반송 방향에 있어서의 가장 상류측에 위치하는 제4 단위 롤러군(G4)의 반송 롤러(24)의 길이가 가장 짧고, 하류측에 위치하는 단위 롤러군일수록 반송 롤러의 길이가 길어지도록 각 단위 롤러군(G4∼G6)의 반송 롤러(24∼26)의 길이가 설정되어 있고, 제4 단위 롤러군(G4)의 반송 롤러(24)는 제3 단위 롤러군(G3)의 반송 롤러(26)와, 제5 단위 롤러군(G5)의 반송 롤러(25)는 제2 단위 롤러군(G2)의 반송 롤러(22)와, 제6 단위 롤러군(G6)의 반송 롤러(26)는 제1 단위 롤러군(G1)의 반송 롤러(21)와 각각 공통의 구성을 가지고 있다. 그 리고, 하류측 롤러군에 있어서의 단위 롤러군(G4, G5)의 각 반송 롤러(24, 25)와 상류측 롤러군에 있어서의 단위 롤러군(G2, G3)의 각 반송 롤러(22, 23)는, 기판 반송 방향의 양 끝의 것을 제외하고, 에어나이프(16, 16)를 사이에 끼고 동일 축선 상에 늘어서도록 배열되어 있다.

또한, 각 반송 롤러(24∼26)는, 상술한 반송 롤러(21∼23)와 공통의 구성이며, 처리 조(10)에 대한 반송 롤러(24∼26)의 지지 구조도, 기본적으로는 상류측 롤러군의 각 반송 롤러(21∼23)의 지지 구조와 공통이다. 또한, 도시를 생략하는데, 하류측 롤러군도 상기 가압 롤러(41)와 동일한 가압 롤러를 포함하고 있고, 당해 가압 롤러의 구성 및 처리 조(10)에 대한 지지 구조도 기본적으로는 상기 가압 롤러(41)와 공통이다. 따라서, 여기서는 반송 롤러(24∼26) 및 가압 롤러에 대한 설명은 생략한다.

상기 구동계(50)는, 상류측 및 하류측의 각 롤러군의 각 반송 롤러(21∼26) 중 주로 에어나이프(16, 16)의 대략 중간 위치(기판 반송 방향에 있어서의 중간 위치)보다도 상류측에 위치하는 것을 구동하는 제1 구동계(50A)와, 하류측에 위치하는 것을 구동하는 제2 구동계(50B)로 이루어진다.

제1 구동계(50A)는, 도 1, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와같이, 구동원인 모터(54A)와, 이 모터(54A)가 출력하는 구동력을 상기 반송 롤러(21, 22, 24, 25)에 전달하기 위한 구동 전달 기구를 포함한다. 이 구동 전달 기구는, 상류측 롤러군과는 별도로 그 상류측의 위치에 배치되는 반송 롤러(61A)(본 발명의 축 부재에 상당한다)와, 장치 뒷쪽에 있어서 상기 모터(54A)의 출력축 및 반송 롤러(24, 25, 61A)의 각 롤러축(20a, 60a)의 단부에 고정되는 풀리(56)와, 이들 풀리(56)에 감기는 구동 전달 벨트(58A)와, 장치 앞쪽에 있어서 반송 롤러(21, 22, 61A)의 각 롤러축(20a, 60a)의 단부에 고정되는 풀리(57)와, 이들 풀리(57)에 감기는 구동 전달 벨트(59A)로 구성된다. 즉, 제1 구동계(50A)는, 모터(54A)의 구동력을, 구동 전달 벨트(58A) 등을 통해 단위 롤러군(G4, G5)의 각 반송 롤러(24, 25)(반송 롤러(25)는 그 일부)에 전달함과 더불어, 반송 롤러(61A) 및 구동 전달 벨트(59A) 등을 통해 단위 롤러군(G1, G2)의 각 반송 롤러(21, 22)(반송 롤러(22)는 그 일부)에 전달한다.

한편, 제2 구동계(50B)는, 구동원인 모터(54B)와, 이 모터(54B)가 출력하는 구동력을 상기 반송 롤러(22, 23, 25, 26)에 전달하기 위한 구동 전달 기구를 포함한다. 이 구동 전달 기구는, 하류측 롤러군과는 별도로 그 하류측의 위치에 배치되는 반송 롤러(61B)(본 발명의 축 부재에 상당한다)와, 장치 뒷쪽에 있어서 상기 모터(54B)의 출력축 및 반송 롤러(25, 26, 61B)의 각 롤러축(20a, 60a)의 단부에 고정되는 풀리(56)와, 이들 풀리(56)에 감기는 구동 전달 벨트(58B)와, 장치 앞쪽에 있어서 반송 롤러(22, 23, 61B)의 각 롤러축 단부에 고정되는 풀리(57)와, 이들 풀리(57)에 감기는 구동 전달 벨트(59B)로 구성된다. 즉, 제2 구동계(50B)는, 모터(54B)의 구동력을, 구동 전달 벨트(58B) 등을 통해 단위 롤러군(G5, G6)의 각 반송 롤러(25)(반송 롤러(25)는 그 일부), (26)에 전달함과 더불어, 반송 롤러(61B) 및 구동 전달 벨트(59B) 등을 통해 단위 롤러군(G2, G3)의 각 반송 롤러(22)(반송 롤러(22)는 그 일부), (23)에 전달한다.

반송 롤러(61A, 61B)는, 반송 롤러(21) 등과 마찬가지로, 롤러축(60a)과, 당해 롤러축(60a)의 길이 방향의 복수의 위치에 각각 고정되는 롤러 본체(60b)를 구비한 구성이다. 반송 롤러(61A, 61B)의 양 끝은, 각각 조 본체(10A) 전후의 측판(101)을 관통하여 조 본체(10A)의 외부로 돌출되어 있고, 반송 롤러(21∼26)와 마찬가지로, 그 돌출된 단부가 지지 틀체(10B)측에 지지되어 있다. 이 지지 구조는 도 3중에 괄호 쓰기로 표시하고 있는 바와같이, 반송 롤러(21∼26)와 동일하다. 또한, 반송 롤러(61A, 61B)의 롤러축(60a)은, 그 도중 부분이 베어링 장치(30)에 의해 조 본체(10A)측에 지지되어 있고, 이 점도 반송 롤러(21) 등과 동일하다.

또한, 도 3에 도시하는 바와같이, 반송 롤러(21∼26)의 롤러축(20a) 및 가압 롤러(41)의 롤러축(40a)에는 각각 서로 맞물리는 톱니바퀴(64, 66)가 고정되어 있다. 따라서, 상기 반송 롤러(2) 등의 회전 구동에 의해, 이와 동기하여 가압 롤러(41)도 회전 구동된다.

상기 보조 지지 장치(70)는, 상류측 영역(EA) 및 하류측 영역(EB) 중 상기 롤러군에 의해 기판(W)을 지지할 수 없는 영역에 있어서 기판(W)을 지지하는 것이다. 즉, 도 1에 도시하는 바와같이, 상류측 영역(EA)에 있어서의 상류측 롤러군의 점유 스페이스는, 상기와 같이 길이가 다른 단위 롤러군(G1∼G3)이 반송 방향으로 늘어서 있는 결과, 계단형상으로 되어 있고, 상류측 롤러군의 반송 롤러(22, 23)의 축단과 에어나이프(16, 16)의 사이에는, 당해 에어나이프(16, 16)를 따라 삼각형의 스페이스(S1, S2)가 형성된다. 따라서, 이 스페이스(S1, S2)에 상기 보조 지지 장치(70)가 배치되어 있다. 하류측 영역(EB)에 대해서도, 상기와 같이 하류측 롤러 군은 상류측 롤러군과 회전 대칭인 구성을 가지므로, 상류측 영역(EA)과 마찬가지로, 하류측 롤러군의 반송 롤러(24, 25)의 축단과 에어나이프(16, 16)의 사이에는, 상기 스페이스(S1, S2)와 회전 대칭인 삼각형의 스페이스(S3, S4)가 에어나이프(16, 16)를 따라 형성된다. 따라서, 이 스페이스(S3, S4)에 상기 보조 지지 장치(70)가 배치되어 있다.

보조 지지 장치(70)는 도 6 및 도 7에 도시하는 바와같이, 조 본체(10A)의 안쪽 바닥판(102)에 고정되는 립(lip) 홈형의 단면을 가지는 베이스(72)와, 이 베이스(72)의 측면에 서로 대향하여 고정되는 한쌍의 조정판(74)을 구비하고 있고, 각 조정판(74)의 상단부에 회전 자유롭게 지지되는 보조 롤러(76)에 의해 기판(W)을 이동 가능하게 지지한다.

각 조정판(74)은 고정용 볼트(78)에 의해 베이스(72)에 체결되어 있고, 고정용 볼트(78)를 느슨하게 함으로써 베이스(72)에 대해서 상하 방향으로 변위 가능하게 되어 있다. 또한, 각 조정판(74)에는, 상하 방향으로 관통하는 나사 구멍을 구비한 너트 부분(80)이 설치되고, 조정용 볼트(82)가 이 너트 부분(80)에 대해서 윗쪽으로부터 나사식 결합 삽입되고, 그 볼트 선단이 너트 부분(80)을 관통하여 베이스(72)의 립부(72a)에 닿아 있다. 즉, 고정용 볼트(78)를 느슨하게한 상태로 조정용 볼트(82)를 회전시키면, 베이스(72)에 대해서 조정판(74)이 상하 방향으로 변위하고, 이에 따라 보조 롤러(76)의 높이를 조정할 수 있음과 더불어 조정 후는 고정용 볼트(78)를 체결함으로써 당해 높이를 유지할 수 있는 구성으로 되어 있다.

도시는 생략하는데, 보조 지지 장치(70)로는, 도 6, 도 7에 나타내는 것 이 외에, 보조 롤러(76)의 수 또는 그 배열이 서로 다른 복수 종류의 보조 지지 장치(70)가 그 종류마다 복수 설치되어 있고, 이들 보조 지지 장치(70)가 상기 스페이스(S1∼S4)를 메우도록 소정의 배열로 당해 스페이스(S1∼S4)에 배치되어 있다(도 1 참조). 또한, 상기 스페이스(S1, S2)에 배치되는 보조 지지 장치(70)의 종류나 배치와 스페이스(S3, S4)에 배치되는 보조 지지 장치(70)의 종류나 배치와는 서로 회전 대칭인 관계로 되어 있다.

이상 설명한 기판 건조 장치에서는, 상기 구동계(50)에 의해 각 영역(EA, EB)의 롤러군이 구동됨으로써 기판(W)이 반송로를 따라 경사 자세로 반송되고, 이 반송에 수반하여 기판(W)이 에어나이프(16, 16)의 위치를 통과함으로써, 당해 에어나이프(16, 16)에 의해 기판(W)의 상하 각 면에 에어가 분사되어, 기판(W)에 부착된 세정액이 제거된다. 이 때, 이 기판 건조 장치에서는, 상기와 같이 에어나이프(16, 16)를 경계로 하여 그 상류측과 하류측에 롤러군이 분단된 상태로 설치되어 있으므로, 에어나이프(16, 16)로부터 분사되는 에어가 반송 롤러(21∼26)에 의해 차단되지 않고, 따라서, 기판(W)에 대해서 양호하게 에어를 내뿜을 수 있다.

또한, 이 기판 건조 장치에서는, 각 영역(EA, EB)의 롤러군이 각각, 동일한 길이를 가지는 복수개의 반송 롤러를 포함하는 복수의 단위 롤러군(G1∼G3, G4∼G6)으로 이루어지므로, 피치를 좁혀 많은 반송 롤러를 배열하는 경우에도, 동일한 길이의 반송 롤러를 복수개 사용할 수 있는만큼, 즉, 제조 비용이 높은 반송 롤러의 공통화를 도모할 수 있는만큼, 종래의 이러한 종류의 장치(배경 기술의 특허 문헌 1)에 비하면 제조 비용을 억제할 수 있다.

구체적으로 설명하면, 상기 실시 형태에서는, 예를 들면 상류측 영역(EA)에 설치되는 상류측 롤러군에 포함되는 반송 롤러(21∼23)의 총 수는 20개(제1 단위 롤러군 G1 : 2개, 제2 단위 롤러군 G2；12개, 제3 단위 롤러군 G3；6개)인데, 단위 롤러군(G1∼G3)에 각각 포함되는 반송 롤러(21∼26)의 종류는 상술과 같이 롤러 본체(20b)의 배열을 고려하면 단위 롤러군당 2종류이므로, 합계 6종류의 반송 롤러로 상류측 롤러군을 구축할 수 있다. 이에 대해서, 종래 장치에서는, 에어나이프를 따라 모두 길이가 다른 반송 롤러를 배열하기 때문에, 상기 실시 형태와 동일한 피치로 반송 롤러를 배열하고자 하면 전부 20종류의 반송 롤러가 필요해진다. 따라서, 실시 형태의 기판 건조 장치에 의하면, 이와 같이 반송 롤러의 종류가 적은만큼, 반송 롤러의 제조 비용을 종래 장치에 비해 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 이 실시 형태의 기판 건조 장치에서는, 각 영역(EA, EB)의 롤러군이 상기와 같은 구성인 결과, 상류측 및 하류측의 각 롤러군과 에어나이프(16, 16)의 사이에 삼각형의 스페이스(S1∼S4)가 형성되는데, 이 장치에서는, 당해 S1∼S4에 보조 지지 장치(70)가 배치되고, 이에 따라 기판(W)을 이동 가능하게 지지하도록 구성되어 있으므로, 상기와 같이 각 롤러군을 구성하면서도 당해 스페이스(S1∼S4)에서 기판(W)이 휘는 것을 유효하게 방지할 수 있다. 따라서, 종래 장치와 손색없는 레벨로 기판(W)을 평평하게 지지할 수 있다.

또한, 이 실시 형태에서는, 동일한 길이의 반송 롤러를 복수개 사용하는만큼, 반송 롤러의 제조 비용을 저감할 수 있는데, 상기 스페이스(S1∼S4)에 보조 지지 장치(70)를 설치할 필요가 있으므로, 그만큼 제조 비용이 필요해진다. 그러나, 보조 지지 장치(70)는, 상기와 같이 기판(W)을 지지하면서 그 이동에 수반하여 함께 회전하도록 보조 롤러(76)를 설치한 것뿐의 간소한 것이므로, 높은 정밀도가 요구되는 반송 롤러(21∼26) 등에 비하면 현저히 낮은 비용으로 제작할 수 있다. 게다가, 이 실시 형태에서는, 상기와 같이 보조 지지 장치(70)로서 보조 롤러(76)의 수 또는 그 배열이 서로 다른 복수 종류의 보조 지지 장치(70)를 그 종류마다 복수 가지고, 이들 보조 지지 장치(70)가 상기 스페이스(S1∼S4)를 메우도록 소정의 배열로 당해 상기 스페이스(S1∼S4)에 배치되어 있고, 이와 같이 공통의 보조 지지 장치(70)가 복수 이용됨으로써, 보조 지지 장치(70)에 요하는 비용이 억제된다. 따라서, 전체적으로는, 제조 비용 중 기판 반송 기구가 차지하는 비율을 저감시킬 수 있고, 그 결과, 종래 장치에 비하면, 낮은 비용의 구성으로, 대형의 기판(W)을 안정적으로, 또한 원활하게 반송하면서 당해 기판에 건조 처리를 실시할 수 있게 된다.

또한, 상기 실시 형태의 기판 건조 장치에서는, 각 영역(EA, EB)의 롤러군을 구동하는 구동계(50)를, 상류측 및 하류측의 각 롤러군의 각 반송 롤러(21∼26) 중 주로 에어나이프(16, 16)의 대략 중간 위치(기판 반송 방향에 있어서의 중간 위치)보다도 상류측에 위치하는 것을 구동하는 제1 구동계(50A)와, 하류측에 위치하는 것을 구동하는 제2 구동계(50B)로 구성하고 있으므로, 사행(斜行) 등의 문제점을 수반하지 않고 기판(W)을 양호하게 반송할 수 있다는 이점이 있다. 즉, 상류측 롤러군과 하류측 롤러군을 별도의 다른 구동계로 구동하도록 해도 되지만, 이 경우에는, 기판(W) 중 에어나이프(16, 16)의 위치를 사이에 끼고 반송로의 폭방향 양측으 로 서로 별도 계통의 구동력(추진력)이 주어지므로, 예를 들면, 상류측 롤러군의 회전 속도와 하류측 롤러군의 회전 속도에 차이가 있으면, 기판(W)에 회전(비틀림)력이 작용하여 기판(W)이 사행하는 등의 문제를 초래하는 것을 생각할 수 있다. 그 점, 상기 실시 형태와 같이, 롤러군에 상관없이, 상기 중간 위치를 경계로 하여 그 상류측과 하류측으로 나누어 반송 롤러(21∼26)를 구동하는 구성에 의하면, 기판(W)에 대해서는 에어나이프(16, 16)를 사이에 끼고 그 양측의 위치에 동일한 구동계에 의한 구동력(추진력)을 부여할 수 있으므로, 상기와 같은 문제를 수반하지 않고 원활하고 또한 안정적으로 기판(W)을 반송하는 것이 가능해진다.

또한, 이상 설명한 기판 건조 장치는, 본 발명의 실시 형태의 일례이며, 그 구체적인 구성은, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능하다.

예를 들면, 실시 형태에서는, 상류측 및 하류측의 각 영역(EA, EB)에 설치되는 롤러군은, 각각 반송 방향으로 늘어서는 3개의 단위 롤러군(G1∼G3, G4∼G6)으로 이루어지는데, 각 롤러군에 포함되는 단위 롤러군의 수나 단위 롤러군에 포함되는 반송 롤러의 수 등은, 실시 형태에 한정되지 않고, 상기 영역(EA, EB)의 넓이 및 기판(W)의 사이즈 등에 따라 적절히 선정할 수 있다.

또한, 실시 형태에서는, 상류측 영역(EA)에 설치되는 상류측 롤러군과 하류측 영역(EB)에 설치되는 하류측 롤러군은, 상기와 같이, 회전 대칭인 구성으로 되어 있는데, 반드시 회전 대칭일 필요는 없다. 단, 실시 형태와 같이, 회전 대칭으로 한 경우에는, 상기와 같이, 상류측 롤러군의 반송 롤러(21∼23)와 하류측 롤러 군의 반송 롤러(24∼26)를 공통화할 수 있으므로, 제조 비용의 저렴화 및 부품 관리의 면에서 유리하게 된다. 이 점은, 각 영역(EA, EB)에 배치되는 보조 지지 장치(70)의 배치나 구성에 대해서도 동일하다.

또한, 실시 형태에서는, 반송 롤러(21∼26) 중 주로 에어나이프(16, 16)의 대략 중간 위치(기판 반송 방향에 있어서의 중간 위치)보다도 상류측에 위치하는 것을 제1 구동계(50A)에 의해 구동하고, 하류측에 위치하는 것을 제2 구동계(50B)에 의해 구동하도록 구동계(50)가 구성되어 있는데, 물론, 상류측 롤러군과 하류측 롤러군의 회전 속도에 의한 영향 등이 문제가 되지 않는 경우 등에는, 구동계로서 롤러군마다 반송 롤러를 구동하는 구성을 채용해도 상관없다. 또한, 상류측 및 하류측의 각 롤러군을 단일 구동계로 구동하도록 구성해도 된다.

또한, 실시 형태에서는, 기판(W)을 그 반송 방향으로부터 봐서 경사지는 자세로 반송하면서 당해 기판(W)에 에어를 내뿜는 기판 건조 장치에 대해서 본 발명의 적용예를 설명했는데, 물론, 본 발명은, 기판(W)을 수평 자세로 반송하는 장치에 대해서도 적용 가능하고, 그 경우에도, 상기 실시 형태와 동일한 작용 효과를 누릴 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시 형태에 관한 기판 건조 장치를 나타내는 평면 개략도이다.

도 2는 에어나이프와 기판의 관계를 나타내는 모식도이다.

도 3은 반송 롤러 및 가압 롤러의 지지 구조를 나타내는 단면도(도 5의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도)이다.

도 4는 롤러군을 구동하는 구동계를 나타내는 기판 건조 장치의 측면도(도 1의 Ⅳ화살표에서 본 도면)이다.

도 5는 롤러군을 구동하는 구동계를 나타내는 기판 건조 장치의 측면도(도 1의 Ⅴ화살표에서 본 도면)이다.

도 6은 보조 지지 장치의 구성을 나타내는 측면 개략도이다.

도 7은 보조 지지 장치의 구성을 나타내는 단면도(도 6의 Ⅶ-Ⅶ선 단면도)이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 처리 조 10A : 조 본체

10B : 지지 틀체 12 : 반입구

14 : 반출구 16 : 에어나이프

20a : 롤러축 20b : 롤러 본체

21∼26 : 반송 롤러 50 : 구동계

50A : 제1 구동계 50B : 제2 구동계

61A, 61B : 반송 롤러 70 : 보조 지지 장치

EA : 상류측 영역 EB : 하류측 영역

G1 : 제1 단위 롤러군 G2 : 제2 단위 롤러군

G3 : 제3 단위 롤러군 G4 : 제4 단위 롤러군

G5 : 제5 단위 롤러군 G6 : 제6 단위 롤러군

W : 기판

Claims

기판을 소정 방향으로 반송하는 반송 수단과, 이 반송 수단에 의한 기판의 반송로를 비스듬히 가로지르도록 설치되고, 또한 상기 반송 수단에 의해 반송되는 기판의 상하 각 면에 대해서 기체를 각각 분사하는 상하 한쌍의 노즐 부재를 구비한 기판 건조 장치에 있어서,

상기 반송 수단은, 상기 노즐 부재보다도 기판 반송 방향의 상류측의 영역에 배치되고, 또한 상기 기판 반송 방향으로 서로 평행하게 늘어서는 복수개의 반송 롤러를 가지는 상류측 롤러군과, 상기 노즐 부재보다도 상기 기판 반송 방향의 하류측의 영역에 배치되고, 또한 상기 기판 반송 방향으로 서로 평행하게 늘어서는 복수개의 반송 롤러를 가지는 하류측 롤러군과, 각 롤러군의 반송 롤러를 구동하기 위한 구동계와, 상기 기판을 지지함과 더불어 당해 기판의 반송에 수반하여 함께 회전하는 보조 롤러를 포함하는 보조 지지 부재를 구비하고,

상기 각 롤러군은 각각, 기판 반송 방향으로 늘어서는 복수의 단위 롤러군으로 이루어지고, 이들 단위 롤러군은 각각, 동일한 길이를 가지는 복수개의 상기 반송 롤러로 이루어지고,

상기 상류측 롤러군에서는, 상기 기판 반송 방향에 있어서의 가장 상류측에 위치하는 단위 롤러군의 반송 롤러의 길이가 가장 길고, 하류측에 위치하는 단위 롤러군일수록 반송 롤러의 길이가 짧아지도록 각 단위 롤러군의 반송 롤러의 길이가 설정되고,

상기 하류측 롤러군에서는, 상기 기판 반송 방향에 있어서의 가장 상류측에 위치하는 단위 롤러군의 반송 롤러의 길이가 가장 짧고, 하류측에 위치하는 단위 롤러군일수록 반송 롤러의 길이가 길어지도록 각 단위 롤러군의 반송 롤러의 길이가 설정되어 있고,

상기 보조 지지 부재는, 상기 상류측 및 하류측의 각 롤러군에 포함되는 반송 롤러의 축단과 상기 노즐 부재의 사이에 형성되는 간극 부분에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 상류측의 영역에 설치되는 상류측 롤러군 및 보조 지지 부재와, 상기 하류측의 영역에 설치되는 하류측 롤러군 및 보조 지지 부재가, 상기 노즐 부재의 길이 방향에 있어서의 중간 위치를 중심으로 하여 서로 회전 대칭의 구성으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상류측 롤러군에 포함되는 각 반송 롤러와 하류측 롤러군에 포함되는 각 반송 롤러가 상기 노즐 부재를 사이에 끼고 동일 축선 상에 늘어서 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 반송 롤러를 그 길이 방향의 1 내지 복수의 위치에서 회전 자유롭게 지지하는 중간 지지 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 보조 지지 부재로서 상기 보조 롤러의 수 또는 그 배열이 서로 다른 복수 종류의 보조 지지 부재를 그 종류마다 복수개 가지고, 이들 보조 지지 부재가 상기 간극 부분을 메우도록 소정의 배열로 당해 간극 부분에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 구동계는, 상기 각 롤러군에 포함되는 각 반송 롤러 중 상기 기판 반송 방향에 있어서의 노즐 부재의 특정 위치보다도 상류측에 위치하는 것을 구동하는 제1 구동계와, 상기 각 반송 롤러 중 상기 특정 위치보다도 하류측에 위치하는 것을 구동하는 제2 구동계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
청구항 6에 있어서,

상기 제1, 제2 구동계는 각각, 상기 반송로의 폭방향 일단측의 위치에 배치되어 회전 구동력을 발생시키는 구동원과, 상기 반송로를 횡단하도록 설치되는 축 부재와, 상기 폭방향 일단측의 위치에서 상기 반송 롤러 및 축 부재에 대해서 상기 구동원의 회전 구동력을 전달하는 전달 수단과, 상기 축 부재에 전달된 회전 구동 력을 또한 상기 폭방향 일단측과는 반대측인 타단측의 위치에서 당해 축 부재로부터 상기 반송 롤러에 전달하는 전달 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
청구항 7에 있어서,

제1 구동계의 상기 축 부재는, 상기 롤러군보다도 상기 기판 반송 방향에 있어서의 상류측의 위치에 설치되는 기판 반송용의 반송 롤러로 이루어지고, 제2 구동계의 상기 축 부재는, 상기 롤러군보다도 상기 기판 반송 방향에 있어서의 하류측의 위치에 설치되는 기판 반송용의 반송 롤러로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.