JP2010155771A - ガラスシート輸送のためのガス噴射ベアリング - Google Patents

Abstract

【課題】 脆弱な機械的特性を有する大寸ガラスシートを、シートの主表面に触れずに、高速で移動させるための手段を提供する。
【解決手段】 ガスが、圧力Ｐ_プレナムで動作するプレナムからベアリングのオリフィス（２２）に供給される。ベアリングは、ベアリングの中央オリフィス（２６）とその最近接オリフィス（２８）のそれぞれとの間の水平方向における中点（２７）において、関係式Ｐ_中点/Ｐ_プレナム≧０.０５を満たす、計算された静圧Ｐ_中点を有する。ベアリング（３）は、例えば６０ｍ/分で走向しているＬＣＤ基板（１３）とベアリング（３）の面（２０）との間隔の、時間平均ピーク対ピーク変動を５００μｍ未満まで下げることができ、よって基板（１３）がベアリング（３）に打ち当たり、ベアリング（３）によって損傷を受けるであろう機会を減じる。
【選択図】図５

Description

本発明はガラスシート、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造において基板として用いられるガラスシートを輸送する方法及び装置に関する。さらに詳しくは、本発明は、ガラスシートの主表面との機械的接触がない、ガラスシートの輸送に関する。

液晶ディスプレイ用基板の製造プロセスには、ガラスシートの主表面に損傷を与えずに、特にディスプレイのコンポーネント、例えば薄膜トランジスタ及びカラーフィルタがその上に形成されるであろうガラスシートの「高品位」表面に損傷を与えずに、ガラスシートを支持及び搬送する必要がある工程が多い。例えば、基板製造プロセス中、ガラスシートは、所定の寸法に切断し、エッジを丸め、洗浄し、梱包して、ディスプレイ製造業者に向けて出荷するか、何か別のやり方でディスプレイ製造業者に供給する必要がある。ガラスシートは、これらの工程が実施されるステーションの間で輸送される必要があるだけでなく、いくつかの場合には、工程中に裏返す（回転させる）必要もある。

ガラスシートの寸法は１ｍ長から２ｍをこえる長さまで大きくなったが、対応してシート厚が大きくなってはいないから、シートの横剛性はかなり低下している。同時に、輸送速度要件は同じままであるか、高まっている。すなわち、今日存在するような液晶ディスプレイ用ガラス基板の輸送問題は、ティッシュペーパーと異なるところがない機械的特性を有する大寸ガラスシートを、シートの主表面に触れずに、高速で移動させようとすることとして説明することができる。

本発明はガラスシートの主表面の少なくとも一方に向けて、輸送中にシートを安定させ、よってシートの横運動、すなわち輸送方向に直交する方向におけるシートの動きを減少させるパターンでガス（例えば空気）を噴射する、非接触ベアリングを提供することによって上記課題に対処する。このようにすれば、大寸で薄いガラスシートを高速で安全に輸送することができる。

第１の態様にしたがえば、ガラスシート（１３）を搬送するための、
（ａ）ガラスシート（１３）のエッジに接触し、シート（１３）を搬送速度で移動させるように構成された、移動コンベア（２）を提供する工程、
（ｂ）シート（１３）の主表面の領域に向けてガスを噴射するように構成された非接触ベアリング（３）を提供する工程、及び
（ｃ）シート（１３）のエッジを移動コンベア（２）に接触させ、シート（１３）の主表面の前記領域に向けて非接触ベアリング（３）からガスを噴射しながら、シート（１３）を搬送速度で移動させる工程、
を有してなり、
（ｉ） 非接触ベアリング（３）は、シート（１３）の主表面の前記領域に向けてガスを噴射する、複数のオリフィス（２２）を有し、
（ii） ガスは、圧力Ｐ_プレナムで動作するプレナムからオリフィス（２２）に供給され、
（iii）複数のオリフィス（２２）は中央オリフィス（２６）を有し、
（iv） 中央オリフィス（２６）とその最近接オリフィス（２８）のそれぞれとの間の水平方向における中点（２７）において計算される静圧Ｐ_中点は関係式：
Ｐ_中点/Ｐ_プレナム≧０.０５
を満たす、
方法が提供される。

第２の態様にしたがえば、ガラスシート（１３）の輸送に用いるための非接触ベアリング（３）が提供され、ベアリング（３）は複数のオリフィス（２２）を備える前面（２０）を有し、前面（２０）はガラスシート（１３）に面し、オリフィス（２２）は、ベアリング（３）を使用している間、ガラスシート（１３）の主表面に向けてガスを噴射し、
（ａ）オリフィス（２２）は、ベアリング（３）を使用している間、水平方向に配向された少なくともとも１つの列（２１０，２２０，２３０，３４０，２５０）を形成するように、前面（２０）上に分散配置され、
（ｂ）オリフィス（２２）は、Ｐの単位をミリメートル（ｍｍ）として、関係式：
４０≦Ｐ≦７５
を満たす平均水平方向ピッチＰを有し、
（ｃ）オリフィス（２２）は、Ｄ_０の単位をｍｍとして、関係式：
２.０≦Ｄ_０≦３.８
を満たす平均寸法Ｄ_０を有する。

本発明の様々な態様の上記要約に用いられる参照数字は読者の便宜のために過ぎず、本発明の範囲を制限することは目的とされず、またそのように解されるべきではない。さらに広くは、上述の全般的説明及び以下の詳細な説明のいずれもが本発明の例示に過ぎず、本発明の本質及び特質の理解のための概要または枠組みの提供が目的とされていることは当然である。

本発明のさらなる特徴及び利点は以下の詳細な説明に述べられ、ある程度は、当業者にはその説明から容易に明らかであろうし、本明細書に説明されるように本発明を実施することによって認められるであろう。添付図面は本発明のさらに深い理解を提供するために含められ、本明細書に組み入れられて、本明細書の一部をなす。本明細書及び図面に開示される本発明の様々な特徴がいずれかの組合せ及び全ての組合せで用いられ得ることは当然である。

図１は、非接触ガス噴射ベアリングのアレイを用いる、ガラスシートのための搬送装置の簡略な前面図である。 図２は図１の搬送装置の簡略な側面図である。 図３は非接触ガス噴射ベアリングの前面の一領域の略図である。 図４は非接触ガス噴射ベアリングを用いるガラスシートの搬送に関する様々なパラメータの効果の試験に用いられる装置の簡略な前面図である。 図５は図４の試験装置の簡略な側面図である。 図６は、表２の４つの事例についての、図３に示されるタイプのベアリングの中央オリフィスに対する、規格化静圧対オリフィス間の規格化水平方向距離のグラフである。

上で論じたように、ガラスシートを輸送するための非接触ガス噴射ベアリングが提供される。ベアリングはガラスシートの主表面の一領域に向けてガス（例えば空気）を噴射する。ガスは空気であることが好ましいが、望ましければ、他のガスを用いることができる。

ガラスシートは、ＬＣＤディスプレイのような、フラットパネルディスプレイの製造における基板としての使用に適することが好ましい。現在、フラットパネルディスプレイ製造業者に供給されている最大の基板は「第１０世代」基板として知られ、〜３０００ｍｍ×〜３０００ｍｍ×０.７ｍｍの寸法を有する。本明細書に開示される非接触ベアリングはそのような基板に、また将来開発され得るさらに大きな基板及びこれまでに開発されているさらに小さい基板にも、用いることができる。

図１及び２は非接触ガス噴射ベアリング３を用いてガラスシート１３を搬送するための装置１０の代表的な実施形態を示す。これらの図に示されるように、ベアリング３のアレイが支持体３１によって運ばれる。さらに、支持体は製造プラントの別の場所に装置を運ぶためのキャスター７を有することができるプラットフォーム４９によって運ばれる。

いずれか特定の用途に用いられる非接触ベアリングの数は、また個々のベアリングの長さも、搬送されるガラスシートの寸法に依存するであろう。例えば、第１０世代基板の場合、好ましい実施形態では、それぞれの長さが１.５ｍの、ベアリングを１０程度有するアレイが用いられる。もちろん、所望に応じて、さらに多いかまたは少ないベアリングも、さらに長いかまたは短いベアリングも、用いることができる。例えば、ガラスシートが横置きではなく縦置きで輸送されている場合には、さらに多くのベアリングを用いることができる。一般的に言って、ベアリングの垂直高は５０〜１５０ｍｍの範囲にあることが好ましく、ベアリングのアレイが用いられる場合、垂直方向ベアリング間隔は２００〜４００ｍｍの範囲にあることが好ましい。ベアリングの水平方向幅員は、それぞれの区画の長さが２００〜６００ｍｍの範囲にある、複数のベアリング区画を連結することによって得ることができる。

非接触ベアリングを、シートに実施されるべき作業に依存して、シートの片側だけに用いることができ（図２の実線を見よ）、あるいはシートの両側に配置することができる（図２の実線及び破線を見よ）。例えば、ベアリングを、基板製造プロセスの、所定寸法への切断工程、シート回転工程、シート輸送工程、シート研削工程及びシート乾燥工程の間、シートの支持及び搬送のために用いることができる。ベアリングの上記及びその他の用途の例は米国特許出願公開第２００７/０２７１７５６号の明細書に見ることができる。

支持体３１は、ガス噴射ベアリングがガラスシートの両側に配置される場合は図１及び２に示されるように垂直方位にベアリングを支持することができ、ガス噴射ベアリングがガラスシートの片側だけに用いられる場合は垂直方位から傾けて、垂直方位に対して５〜１５°の角度範囲のような、例えば垂直方位から１０°の角度に、ベアリングを支持することができる（本明細書に用いられるように、語句「実質的に垂直な方位」は垂直方位から０°と１５°の間の方位を意味する）。ガラスシートの両側のベアリングに対しては垂直方位が一般に好ましく、シートの片側だけのベアリングに対しては垂直から１０°の方位が一般に好ましい。

図１及び２に示されるように、プラットフォーム４９は、シート１３の下端を受け入れるためのコンベア２，例えばＶ字形またはＵ字形のベルトを有する。コンベアは、例えば電気モーター（図示せず）によって、ガラスシートに望ましい搬送速度で駆動される。搬送速度は特定の用途に依存するであろう。搬送速度は、１５ｍ/分以上であることが好ましい。例えば、搬送速度は１５〜６０ｍ/分の範囲とすることができ、例えば４０〜６０ｍ/分の範囲とすることができるが、望ましければ、さらに低い速度、例えば７ｍ/分まで下げた速度、あるいはさらに高い速度も用いることができる。

図３は代表的なガス噴射ベアリング３の中央区画の前面（シートに対向する面）２０を示す。本図からわかるように、前面には、この場合は、５つの列２１０，２２０，２３０，２４０，２５０に配列された複数のオリフィス２２があり、それぞれの列には同じ数のオリフィスがあり、隣り合う列のオリフィスは水平方向にオフセットされている。また、本図では、オリフィスが一様な寸法（すなわち一様な直径Ｄ_０）を有する。この配列は実際にうまくはたらくことがわかったが、望ましければ数多くの様々な配列を用いることができる。代表例として、ガス噴射ベアリングは５列より多いかまたは少ないオリフィス列を有することができ、異なる列は異なる数のオリフィスを有することができ、隣り合う列のオリフィスは垂直方向に揃えることができ、オリフィス寸法及びオリフィスの内のいくつかまたは全ての間の水平方向間隔（ピッチ）は異なる値をとることができる。またオリフィスが円形である必要はなく、円形ではない場合、オリフィスの寸法は、オリフィス直径ではなく、最大断面寸法である。

使用中、ベアリング３のオリフィスは加圧ガス源に連結される。例えば、ポンプを用いて、ガスを様々なオリフィスに分配するプレナムに加圧ガスを送り込むことができる。プレナムはベアリングの面と一体化することができ、例えば、オリフィスは、プレナムとしてはたらく中空の箱の１つの面上の穴とすることができる。あるいは、ベアリングからプレナムを分離することができ、ベアリングの裏面上のオリフィスの流入端に連結されたチューブ、例えばフレキシブルチューブを介してガスを供給することができる。後者の手法では、大きな圧力降下を避けるようにチューブ長が選ばれるべきである。当業者には周知の、広範な市販装置を加圧ガスの供給に用いることができる。あるいは、望ましければ、別注専用装置を構成することができる。

使用中、ガラスシートがベアリングの前面に接触しないようにガラスシートを支持するガスクッションを形成するに十分なガスが、ベアリングから放出されなければならない。静的条件下では、ガスクッションによって発生する力はシートにかかる重力と平衡するに必要なだけである。動的条件下では、ガラスシートとベアリングの間の相互作用は一層複雑になる。第１に、ガスは離散位置から、すなわちオリフィスの位置で、噴射される。これにより、オリフィスのそれぞれにおいて１つのピークの、複数の「テント支柱」状ピークからなる圧力プロファイルがベアリングの前方に形成される。ガラスがこれらの「テント支柱」をわたって移動するにつれて、ガラスは変形するであろう（上に論じたように、ガラスシートはティッシュペーパーと異なるところがない機械的特性を有すると考えられ得ることを想起せよ）。これにより、ガスベアリング面にガラスを接触させ得る振動がガラスシートに誘起される。さらに、移動するガラスシートはシートに沿ってガスを引きずり、この結果、負圧が生じる。この負圧は、振動問題に加わる、ベアリング面に向けたガラスの引張りを生じさせるであろう。加えて、ガラスシート自体が平坦ではなく、例えばガラスシートは、弓反り、波打ち、反りまたはその他の非平坦表面特性を示し得るから、シートとベアリングとの接触をおこさせ得る別の原因を与える。

図４及び５に簡略に示されるタイプの装置を用いて、ガラスシートとガス噴射ベアリングの間の接触問題を克服するためにガスベアリングのオリフィスの分散配置及び寸法を用い得るか否かを判定するための実験を行った。これらの図において、参照数字１３はガラスシート、参照数字２はシートのためのコンベア、参照数字３はガス噴射ベアリング、参照数字１４は力変換器、参照数字１５は位置センサ、参照数字１８は変換器／センサ支持体、参照数字１７は変換器及びセンサへのリード線、参照数字１６は変換器及びセンサの出力を記録するための装置を、それぞれ指す。

これらの実験では、様々なオリフィス間隔（ピッチ）及び様々なオリフィス寸法を有するベアリングを、ベアリングを通して搬送されるガラスシートが示す振動レベルへのオリフィス間隔及びオリフィス寸法の影響について、様々なプレナム圧及び様々な搬送速度に対して試験した。これらの実験に基づき、
（ａ）水平方向、すなわちガラスシートの移動方向におけるオリフィス間ピッチが、シートをうまく搬送する上で主要な変数である；
（ｂ）垂直方向のピッチは水平方向ピッチほど重要ではない；
（ｃ）一般的に言って、水平方向ピッチを選んでしまえば、垂直方向ピッチは水平方向ピッチの約０.５〜約１.０倍の範囲とすることができる；
（ｄ）シートの搬送速度を上げるにつれて、水平方向ピッチを小さくする必要がある；
（ｅ）プレナム圧を高くするほど「テント支柱」が高くなり、この結果、振動レベルが高くなる；
（ｆ）オリフィス寸法もガラスシートをうまく搬送する上の主要な変数である；
（ｇ）表１に示されるように、与えられた水平方向ピッチ及び搬送速度に対し、オリフィス寸法が大きくなるにつれて、ガラス浮き量、すなわちガラスシートとベアリング面の間隔は、大きくなり、次いで小さくなる；
（ｈ）表１に示されるように、与えられた水平方向ピッチ及び搬送速度に対し、最大振動ピーク対ピークはオリフィス寸法とともに実質的に単調に大きくなる；と判定した。

表１のデータは厚さが０.７ｍｍのＬＣＤガラス基板を用いて得た。ベアリング面を５００ｍｍ長×１５０ｍｍ高とし、図３に示されるように、オフセットされた、５列のガスオリフィスを設けた。水平方向ピッチは５０ｍｍ、垂直方向ピッチは３０ｍｍとした。ガスは空気とし、プレナム圧を３００パスカルとして、搬送速度を６０ｍ／分とした。

ベアリングのパラメータを変えたときの、ベアリングによってつくられる圧力分布を決定するためにコンピュータモデル計算も行った。ＡＮＳＹＳ社（米国ペンシルバニア州キャノンズバーグ（Canonsburg））よりＦＬＵＥＮＴの商標で市販されている流体力学プログラムを用いて計算を行った。もちろん、市販されていないプログラムを含む、他のプログラムを、計算をするために用いることができる。

表２はモデル計算を行った代表的なベアリングパラメータセットを示す。図６は、表２のパラメータについて、ベアリングの中央オリフィス（すなわち、図６の０点にあるオリフィス）及びその最近接オリフィス（すなわち、−１.０点及び＋１.０点にあるオリフィス）を通過する水平線上のオリフィス間の規格化水平方向距離（すなわち、[オリフィスからの距離]/[オリフィス間ピッチ]）に対する計算された規格化静圧（すなわち、[計算された静圧]/[計算に用いたプレナム圧]）のグラフである。図からわかるように、表２の事例１，事例２，事例３及び事例４にそれぞれ対応する、図の曲線Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３及びＣ４は４つの事例に対して実質的に相異なり、したがってベアリングパラメータ選択のための有効な方法を提供する。

詳しくは、図６の曲線を図４及び５に示されるタイプの装置を用いて得られた振動データと比較することによって、特定のベアリングパラメータセットが生じさせるが許容レベルであろうか否かを判定するための重要なパラメータがオリフィス間静圧分布であると判定した。いかなる特定の動作理論にも束縛されるつもりはないが、振動レベルを下げるには個々のオリフィスによってつくられる圧力が隣接オリフィスによってつくられる圧力と重なり合うことが必要であると考えられる。実際上、この重なりは、ベアリングの中央オリフィスと水平方向の最近接オリフィスのそれぞれとの間の中点における静圧Ｐ_中点を計算することによって、最も簡便に定量化される。この静圧がプレナム圧の少なくとも５％であれば、すなわち中点のそれぞれにおいてＰ_中点/Ｐ_プレナム≧０.０５であれば、シートの振動は満足できるレベルにあるであろうが、静圧が５％未満であると、振動レベルは過大になるであろう。

図６において、中点は−０.５及び＋０.５の位置に対応し、本図からわかるように、事例１及び２（曲線Ｃ１及びＣ２）ではＰ_中点/Ｐ_プレナム値が０.０５より小さく、したがって高レベルの振動がおこるが、事例３及び４（曲線Ｃ３及びＣ４）ではＰ_中点/Ｐ_プレナム値が０.０５以上であり、したがって生じる振動は許容レベルであり、事例３は事例４より優れている。

図６に示されるタイプの曲線及び図４及び５に示されるタイプの装置を用いて得られる振動データを用いれば、許容レベルのオリフィス間圧力計算値及び十分に低いシート振動レベルを生じさせるベアリングの特徴は、平均水平方向ピッチが４０〜７５ｍｍの範囲にあり、平均寸法が２.０〜３.８ｍｍの範囲にあるオリフィスであるとさらに判定され、ここで、それぞれの場合に、平均はベアリングのオリフィスの全てにわたってとられる。平均水平方向ピッチは４０〜６０ｍｍの範囲にあることがさらに好ましく、４５〜５５ｍｍの範囲にある（例えばほぼ５０ｍｍである）ことが最も好ましい。平均オリフィス寸法は２.８〜３.８ｍｍの範囲にあることがさらに好ましく、３.２〜３.８ｍｍの範囲にある（例えばほぼ３.５ｍｍである）ことが最も好ましい。これらの範囲のそれぞれに対し、範囲の端点は範囲内に含まれる。

上記の範囲の平均水平方向ピッチ及び平均オリフィス寸法のパラメータに対し、ガラスシートとベアリングの前面との間隔内で、制御された振動量でのガラスシートの有効な輸送が得られることがわかった。詳しくは、（ａ）Ｐ_中点/Ｐ_プレナム≧０.０５規準を満たし、（ｂ）平均オリフィス寸法が２.０〜３.８ｍｍの範囲にあり、（ｃ）平均水平方向ピッチが４０〜７５ｍｍの範囲にある、片側非接触ガス噴射ベアリングを、弾性率が７３ＧＰａで、寸法が２ｍ長、２ｍ高及び０.７ｍｍ厚のガラスシートを用い、垂直方位から１０°のシート搬送角及び４０〜６０ｍ/分の搬送速度で試験したときの、ベアリング前面の全点におけるシートとベアリング前面の時間平均間隔は７５０〜１２５０μｍの範囲にあり、ベアリング前面の全点における間隔の時間平均ピーク対ピーク変動は５００μｍをこえない。平均間隔に対するそのような限定された振動は、シート輸送中にシートのいずれかの領域がベアリングに接触する可能性が無視可能であることを意味する。

当業者には上記開示から本発明の範囲及び精神を逸脱しない様々な改変が明白であろう。添付される特許請求の範囲は本明細書に述べられる特定の実施形態を、またそのような実施形態の改変、変形及び等価形態も、包含すると目される。

例えば、本発明は以下の態様：
第１態様：ガラスシートを搬送するための、
（ａ）ガラスシートのエッジに接触し、シートを搬送速度で移動させるように構成された、移動コンベアを提供する工程、
（ｂ）シートの主表面の領域に向けてガスを噴射するように構成された非接触ベアリングを提供する工程、及び
（ｃ）シートのエッジを移動コンベアに接触させ、シートの主表面の前記領域に向けて非接触ベアリングからガスを噴射しながら、シートを搬送速度で移動させる工程、
を含み、
（ｉ） 非接触ベアリングは、シートの主表面の前記領域に向けてガスを噴射する、複数のオリフィスを有し、
（ii） ガスは、圧力Ｐ_プレナムで動作するプレナムからオリフィスに供給され、
（iii）複数のオリフィスは中央オリフィスを有し、
（iv） 中央オリフィスとその最近接オリフィスのそれぞれとの間の水平方向における中点において計算される静圧Ｐ_中点が関係式：
Ｐ_中点/Ｐ_プレナム≧０.０５，
を満たす、
方法；
第２態様：Ｐ_プレナムが３００パスカルに等しい態様１の方法；
第３態様：オリフィスの平均水平方向ピッチが４０〜７５ｍｍの範囲にある態様１の方法；
第４態様：オリフィスの平均水平方向ピッチが４０〜６０ｍｍの範囲にある態様１の方法；
第５態様：オリフィスの平均水平方向ピッチが４５〜５５ｍｍの範囲にある態様１の方法；
第６態様：オリフィスの平均寸法が２.０〜３.８ｍｍの範囲にある態様１の方法；
第７態様：オリフィスの平均寸法が２.８〜３.８ｍｍの範囲にある態様１の方法；
第８態様：オリフィスの平均寸法が３.２〜３.８ｍｍの範囲にある態様１の方法；
第９態様：オリフィスの平均水平方向ピッチに対するオリフィスの平均垂直方向ピッチの比が０.５と１.０の間である態様１の方法；
第１０態様：方法がさらに、弾性率が７３ＧＰａで、寸法が２ｍ長、２ｍ高及び０.７ｍｍ厚のガラスシートを搬送したときに、（ｉ）４０ｍ/分に等しい搬送速度、（ii）シートの片側へのガス噴射及び（iii）垂直方位から１０°のシート角に対する、ベアリング前面の全点におけるシートとベアリング前面の時間平均間隔が７５０〜１２５０μｍの範囲にあり、ベアリング前面の全点における間隔の時間平均ピーク対ピーク変動が５００μｍをこえないという特徴を有する、態様１の方法；
第１１態様：搬送速度が６０ｍ/分に等しい態様１０の方法；
第１２態様：非接触ベアリングであって、ガラスシートの輸送に用いるための、複数のオリフィスを備える前面を有し、前面がガラスシートに面し、ベアリングの使用中にオリフィスがガラスの主表面に向けてガスを噴射し、
（ａ）ベアリングの使用中に水平方向に配向された少なくとも１つの列をなすようにオリフィスが前面上に分散配置され、
（ｂ）オリフィスが、Ｐの単位をｍｍとして、関係式：
４０≦Ｐ≦７５，
を満たす平均水平方向ピッチＰを有し、
（ｃ）オリフィスが、Ｄ_０の単位をｍｍとして、関係式：
２.０≦Ｄ_０≦３.８，
を満たす平均寸法Ｄ_０を有する、
非接触ベアリング；
第１３態様：
４０≦Ｐ≦６０，
である態様１２のベアリング；
第１４態様：
４５≦Ｐ≦５５，
である態様１２のベアリング；
第１５態様：
２.８≦Ｄ_０≦３.８，
である態様１２のベアリング；
第１６態様：
３.２≦Ｄ_０≦３.８，
である態様１２のベアリング；
第１７態様：
４５≦Ｐ≦５５，かつ
３.２≦Ｄ_０≦３.８，
である態様１の方法または態様１２のベアリング；
第１８態様：
（ｉ）ベアリングの使用中にオリフィスが水平方向に配向された少なくとも２つの列をなすように前面上に分散配置され、
（ii）オリフィスの平均水平方向ピッチに対するオリフィスの平均垂直方向ピッチの比が０.５と１.０の間である、
態様１の方法または態様１２のベアリング；
において具現化することができる。

２ コンベア
３ 非接触ベアリング
１０ ガラスシート搬送装置
１３ ガラスシート
２０ 前面
２２ オリフィス
２６ 中央オリフィス
２７ 中点
２８ 最近接オリフィス
２１０，２２０，２３０，２４０，２５０ オリフィス列

Claims (5)

1. ガラスシート（１３）を搬送する方法であって、
   （ａ）前記ガラスシート（１３）のエッジに接触し、前記シート（１３）を搬送速度で移動させるように構成された、移動コンベア（２）を提供する工程、
   （ｂ）前記シート（１３）の主表面の領域に向けてガスを噴射するように構成された非接触ベアリング（３）を提供する工程、及び
   （ｃ）前記シート（１３）の前記エッジを前記移動コンベア（２）に接触させ、前記シート（１３）の前記主表面の前記領域に向けて前記非接触ベアリング（３）からガスを噴射しながら、前記シート（１３）を前記搬送速度で移動させる工程、
   を有してなる方法において、
   （ｉ） 前記非接触ベアリング（３）が、前記シート（１３）の前記主表面の前記領域に向けて前記ガスを噴射する、複数のオリフィス（２２）を有し、
   （ii） 前記ガスが、圧力Ｐ_プレナムで動作するプレナムから前記オリフィス（２２）に供給され、
   （iii）前記複数のオリフィス（２２）が中央オリフィス（２６）を有し、
   （iv） 前記中央オリフィス（２６）とその最近接オリフィス（２８）のそれぞれとの間の水平方向における中点（２７）において計算される静圧Ｐ_中点が関係式：
   Ｐ_中点/Ｐ_プレナム≧０.０５
   を満たすことを特徴とする方法。
2. 前記オリフィス（２２）の平均水平方向ピッチ（Ｐ）が４０〜７５ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記オリフィス（２２）の平均寸法（Ｄ_０）が２.０〜３.８ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の方法。
4. （ｉ）前記オリフィス（２２）が、前記非接触ベアリング（３）の使用中に水平方向に配向された少なくとも２つの列（２１０，２２０，２３０，２４０，２５０）をなすように、前記非接触ベアリング（３）の前面（２０）上に分散配置され、
   （ii）前記オリフィス（２２）の平均水平方向ピッチ（Ｐ）に対する前記オリフィスの平均垂直方向ピッチの比が０.５と１.０の間である、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
5. ガラスシート（１３）の輸送に用いるための、複数のオリフィス（２２）を備える前面（２０）を有し、前記前面（２０）が前記ガラスシート（１３）に面し、前記オリフィス（２２）が前記ベアリング（３）の使用中に前記ガラスシート（１３）の主表面に向けてガスを噴射する、非接触ベアリング（３）において、
   （ａ）前記オリフィス（２２）が、前記ベアリング（３）の使用中に水平方向に配向された少なくとも１つの列（２１０，２２０，２３０，２４０，２５０）をなすように前記前面（２０）上に分散配置され、
   （ｂ）前記オリフィス（２２）が、Ｐの単位をｍｍとして、関係式：
   ４０≦Ｐ≦７５，
   を満たす平均水平方向ピッチＰを有し、
   （ｃ）前記オリフィス（２２）が、Ｄ_０の単位をｍｍとして、関係式：
   ２.０≦Ｄ_０≦３.８，
   を満たす平均寸法Ｄ_０を有する、
   ことを特徴とする非接触ベアリング。

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