JP3611122B2 - 板材のスクライブユニットおよび分断設備 - Google Patents

板材のスクライブユニットおよび分断設備 Download PDF

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隆 櫻井
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    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は板材のスクライブユニットおよび分断設備に関する。さらに詳しくは、レアメタル、シリコン、平面型ディスプレー用ガラス等の板材の表面に分断用のけがき線を形成するスクライブユニット、および、この分断用けがき線から分断するための板材の分断設備に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、種々の分野で板ガラスが使用されている。とくに液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等に用いられる板ガラス(以下、ガラス基板という)は非常に薄いものである。たとえば、厚さが0.7mm程度で大きさが550mm×650mm程度のものが多く生産されている。このようなガラス基板のトリミングや分断は、一般的に板ガラスが水平の状態(横向きの状態)でベルトコンベア等によって搬送され、各装置において水平の状態で処理される(たとえば特許文献1参照)。
【0003】
または、板ガラスをローラ列に立てかけた姿勢で搬送し、この立てかけた状態で板ガラスの各端辺を研磨する装置が提案されている(たとえば特許文献2参照)。
【0004】
一方、近年、ガラス基板等の分野において、生産性を向上させるために歩留まりをよくする目的で、また、より大型のディスプレイ等に対応することを目的として、複数のガラス基板のもととなるマザーガラスのサイズを大型化したいという要望が出てきている。マザーガラスのサイズを大きくすると一枚のマザーガラスから取れるガラス基板の枚数が多くなり、歩留まりが向上する。さらに、大型ディスプレイ用のガラス基板を製造することも可能となる。加えて、ガラス基板をさらに薄くすることによってディスプレイ等の性能を向上させたいという要望もあり、マザーガラスがいっそう薄型化する傾向がある。その上、ガラス基板の品質に対する要求は年を追うごとに厳しくなっており、且つ、低コスト化への要求もある。
【0005】
【特許文献1】
特開平8−59269号公報
【特許文献2】
特許第2623476号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したような水平状態で板ガラスを搬送して加工する技術、および、何らかの構造部材に立てかけた状態で加工する技術では、大型化、薄型化した板ガラスを加工する場合、その自重に起因するたわみ等による割れ、板ガラスの面を支持、搬送する構造部材からの反力による割れ等の生じるおそれがある。また、水平状態では板ガラスの大型化により装置の設置面積も大きくなり、装置自体が大型化してコストが上昇し、装置幅の増加に伴ってメンテナンスがしづらくなってしまう。
【0007】
本発明はかかる課題を解決するためになされたものであり、大型化、薄型化した板ガラスを含む種々の板材に対し、その品質の低下を招くことなくスクライブ(けがき)や分断を行うことができる板材の分断設備を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる板材のスクライブユニットは、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、板材の面に沿って移動することにより上記板材に分断用のけがき線を形成するけがき刃を有するけがき線形成機と、このけがき線形成機に配設された、板材におけるけがき刃の移動軌道の隣接部分をその両面から把持する第一クランプとを備えている。上記「けがき刃の移動軌道の隣接部分」は、けがき刃の上下軌道の片側および両側ともに含む意味である。
【0009】
かかる構成により、板材の自重の影響や構造物からの支持反力を受けることなく板材のスクライブを行うことが可能になる。また、流体ガイドからの流体によってカレット粒子やその他の塵埃を板材の面から除去することも可能となる。
【0010】
そして、上記流体ガイドが上記板材の支持位置の一方側に配設されており、上記けがき線形成機のけがき刃がこの板材の支持位置の他方側に配設されてなるスクライブユニットが好ましい。板材のけがき線が形成される面の反対側の面に流体圧が作用するため、板材をけがき線から割るときとは反対向きの曲げモーメントが生じ、けがき線形成時に不用意に板材が分断されることが防止されるからである。
【0012】
上記けがき線形成機が、けがき刃の移動軌道に向けて流体を噴出するための流体噴出装置、または、けがき刃の移動軌道付近の空気を吸引するための流体吸引装置を有してなるスクライブユニットが好ましい。けがき線形成時に発生するであろう板材の成分粒子を板材の面やその近傍から除去することができるからである。
【0013】
上記流体噴出装置がけがき刃に向けられ、且つ、けがき刃と一体に移動する流体噴出ノズルと、板材のけがき線部分の清掃をする清掃用刷毛とを有しており、上記流体吸引装置が、けがき刃と一体に移動する流体吸引ノズルを有してなるスクライブユニットが好ましい。板材の面における特にけがき線部分を十分に清掃することができるからである。
【0014】
上記支持装置が板材の自重を受ける支持面を有しており、この支持面が、支持している板材を下方に落下させるために開放可能に構成されてなるスクライブユニットが好ましい。板材が損傷などによってその商品化が不可能と判断されたときに、これを容易に下方に取り除くことができるからである。
【0015】
上記支持装置が板材を立てられた状態で水平方向に搬送する搬送部を有しており、上記流体ガイドが搬送部の搬送経路に沿って配置されてなるスクライブユニットが好ましい。この搬送部および流体ガイドにより、板材を立てた状態でスクライブユニットに搬入し、且つ、搬出することができるからである。
【0016】
上記支持装置がその搬送部の搬送経路に、立てられた状態の板材を実質的にその面内で回転させるための転換装置を備えてなるスクライブユニットが好ましい。板材が矩形である場合、転換装置によって板材を90゜回転させることにより、同じけがき線形成機によってその直交する二辺(X方向の辺とY方向の辺)についてけがき線を形成することができるからである。
【0017】
上記転換装置が、搬送経路に立てられた状態の板材の底辺とこの底辺に直交する辺とを支持する支持部と、この支持部を搬送経路に沿う前方および後方に回転させる回転駆動機とを有してなるスクライブユニットが好ましい。簡易な構造で、板材を効果的に回転させることができるからである。
【0018】
上記支持装置が、板材の自重を受ける支持面と、この支持面が支持する板材の底辺の傾斜を変更する傾斜調整機とを有してなるスクライブユニットが好ましい。支持装置に支持された板材を、けがき線形成機によるけがき線形成方向に対して容易に位置決めすることができるからである。この位置決めは、X方向とY方向とのけがき線の直角度を出すための位置決めである。
【0032】
本発明にかかる板材の分断設備は、立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、上記板材の面に流体圧を作用させることによってこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、上記搬送装置の搬送経路に配設された前述したスクライブユニットのうちのうちいずれか一のスクライブユニットと、上記搬送経路におけるこのスクライブユニットの下流側に配設された分断ユニットとを備えており、この分断ユニットが、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、上記板材の面に流体圧を作用させてこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、上記板材に形成された分断用のけがき線の面方向一方側の部分を把持する第二クランプ、および、上記けがき線の面方向他方側の部分を押圧する第一押圧部材を有する第一分断機とを備えている。他の分断設備では、分断ユニットが、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、上記板材の面に流体圧を作用させてこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、上記板材の片面側から、板材に形成された分断用のけがき線の面方向両側の部分を吸引支持する吸引部材、および、上記けがき線の部分を押圧する第二押圧部材を有する第二分断機とを備えている。さらに他の分断設備では、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、上記板材の面に流体圧を作用させてこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、上記板材に形成された分断用のけがき線の面方向両側の部分を把持する第三クランプとを備えており、板材の上記けがき線に対応する部分を中心に、上記支持装置および流体ガイドの面方向一方側が他方側に対して相対的に傾斜するように変位可能に構成されている。
【0033】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の板材の分断設備、ならびに、この分断設備に好適に用いられるスクライブユニットおよび分断ユニットの実施形態を説明する。
【0034】
図1は本発明のスクライブユニットおよび分断ユニットが装備された板ガラスの分断設備の一実施形態を示す正面図であり、図2はその平面図である。
【0035】
図示の分断設備1には、矩形の板ガラスGを立てた状態でその底辺を支持し、水平方向に搬送するためのベルトコンベア2が配設されている。ベルトコンベアに限らず、たとえばローラコンベア等の公知のコンベアを採用することができる。コンベアによる搬送方向に沿って、すなわち板ガラスのパスラインLに沿ってその上流側から、板ガラスGに分断用のけがき線を形成するためのスクライブユニット3と、板ガラスGをこのけがき線から割る(分断する)ための分断ユニット4とが相互に離間して配置されている。スクライブユニット3の上流下流両側に配置されたベルトコンベア2a、2bは一致した搬送面を有しており、ともに傾斜調整機5によって下方から支持されている。傾斜調整機5はその一端側を支点6として他端側が移動くさび7によって昇降される。これによりベルトコンベア2a、2bの搬送面の搬送方向の水平度(後述する)を調整することが可能になる。
【0036】
また、ベルトコンベア2の搬送方向に沿って、その一側方に板ガラスGの面を非接触で支持するための流体ガイド8が立設されている。流体ガイド8は搬送方向に沿って複数の部分に分けられている。本実施形態では、スクライブユニット3より上流側、スクライブユニット3と分断ユニット4との間、分断ユニット4より下流側の三つに分けられている。この流体ガイド8およびベルトコンベア2を含めた搬送機構の上記三つの部分を上流から搬入部9、移送部10および搬出部11と呼ぶ。上記移送部10には搬送されてきた板ガラスGを実質的にその面内で90゜回転させるための転換装置12が配設されている。この転換装置12によって90゜回転させられると、矩形の板ガラスGは回転前にベルトコンベアに支持されていた底辺が側辺となり、回転前に前端辺および後端辺であった部位がそれぞれ上辺または底辺となる。
【0037】
流体ガイド8は、枠部材13とこの枠部材13に取り付けられたガイド板14とを備えており、ガイド板14が構成する平面には板ガラスGの面に向けて支持用の流体圧を作用させるための多数個の流体噴出孔15が形成されている。この流体ガイド8はベルトコンベア2の一側方にのみ配設されており、板ガラスGの一方の面を支持するようにされている。このため板ガラスGは、流体ガイド8のガイド板14の方にわずかに傾き、板ガラスGの自重の横方向成分と噴出する流体圧による力とのバランスによって非接触で支持される。
【0038】
上記流体噴出孔15から噴出する流体は乾燥気体が好ましい。流体噴出孔15とともに多数の流体吸引孔を流体噴出孔15の配置とバランスをとってガイド板に配設するのも好ましい。ガイド板と板ガラスとの間に噴出した気体を適切に逃がすことができるので、流体の噴出を板ガラスの面に一層均一に作用させることができるからである。しかし、乾燥気体を噴出する流体噴出孔15を有するガイド板14に代えて、多孔質材料を使用してガイド面に液体をにじみ出させる多孔質流体ガイドを設置してもよい。こうすることにより、このガイド用液体の表面張力によって多孔質流体ガイドと板ガラスとの間隙が一定の厚さの液体層となり、構造物と非接触の状態で板ガラスを支持することができる。また、ガイド用流体として液体を用いることにより、板ガラスからカレット粒子や他の塵埃を一層効果的に除去することが可能である。
【0039】
図3〜図9を参照しつつスクライブユニット3を説明する。スクライブユニット3は立てた状態の板ガラスGの面に上下方向にけがき線を形成するためのけがき線形成機16を備えている。けがき線形成機16に対応する部分のベルトコンベア2がスクライブユニット3における板ガラス支持装置として機能する。けがき線形成機16は、支持本体17と、この支持本体17にリニアガイド機構18によって上下に移動させられるけがき刃ホルダ19とを有している。けがき刃ホルダ19には、けがき刃20が取り付けられ、さらに、このけがき刃20を板ガラスGに接近離間させるための駆動シリンダ21が配設されている。図3はけがき刃20が板ガラスのパスラインLから離間した状態を示し、図4はけがき刃20が板ガラスに当接した状態を示している。けがき刃20はパスラインLに対して流体ガイド8とは反対の側に配置されている。
【0040】
けがき線形成機16はさらに、板ガラスにおけるけがき刃20の上下軌道の両側部分を把持するための第一クランプ22を有している。第一クランプ22は、パスラインLを挟んでけがき刃20とは反対側に配置された支持パッド23と、パスラインLから見てけがき刃20側に配置された一対のクランプ部材24とを有している。支持パッド23は板ガラスGの面と平行な面を有し、けがき刃20の上下軌道と平行に配置され、この軌道の長さと同等の長さを有している。この支持パッド23はクランプ部材24とで板ガラスGをその両面側から挟むことによって固定する。
【0041】
図6〜図9にはクランプ部材24の詳細が示されている。各クランプ部材24は支持パッド23とで板ガラスGをその両面側から挟むための押圧バー25と、この押圧バー25を支持パッド23に向けて(板ガラスに向けて)押し出すための押圧駆動部26とを有している。押圧バー25は支持パッド23とほぼ平行に配置され、支持パッドの長さと同等の長さを有している。押圧駆動部26は支持本体17に、上下に離間して複数個取り付けられている。この複数の押圧駆動部26には一本の押圧バー25が取り付けられている。この点は図6に詳しい。
【0042】
図7〜図9には一個の押圧駆動部26が示されている。押圧駆動部26はフレーム27と、フレーム27に揺動自在に取り付けられたアーム28と、フレーム27に固定されてアーム28を揺動駆動するための駆動シリンダ29とを有している。押圧バー25は上下一列に配列された押圧駆動部26の各アーム28の先端に取り付けられている。全アーム28が揺動することによって押圧バー25を板ガラスGに押しつけ(図8)且つ離間させる(図9)。こうすることにより、板ガラスGを支持パッド23と押圧バー25とで把持したり解放したりする。一対の第一クランプ22によって板ガラスGを把持し、両クランプ22の把持した板ガラス部分の間を縫って上記けがき刃20が上下に移動し、板ガラスに分断用けがき線を形成する。このとき、けがき刃20は流体ガイド8とは反対の側から板ガラスGに当接してけがき線を形成する。したがって、流体ガイド8からの流体圧は板ガラスのけがき線形成面の背面から作用するので、板ガラスをけがき線から割る方向とは逆の方向のモーメントを生じ、不用意に板ガラスが分断してしまうことが防止される。
【0043】
前述したようにスクライブユニット3におけるベルトコンベア2は傾斜調整機5(図1)によって搬送方向の水平度が調整される。こうすることにより、搬送されてきた板ガラスGの前端辺または後端辺と上記けがき刃20の上下軌道との位置あわせが行われる。
【0044】
図10に示すように、板ガラスGの四辺に沿ってトリミング用のけがき線Mがこのスクライブユニット3によって形成される。まず、搬送されてきた板ガラスの前端辺に沿って前方のけがき線が形成される。ついで、板ガラスはベルトコンベア2によって所定距離だけ前進させられ、後端辺に沿って後方のけがき線が形成される。次に上辺と底辺のけがき線を形成するが、上辺と底辺のけがき線を形成するには板ガラスをその面内で90゜回転させる必要がある。このときに移送部10に設置された前述の転換装置12が用いられる。転換装置12は図1に示すように概略外形がL字状を呈しており、L字の一辺が板ガラスの底辺を支持し、他の辺が板ガラスの前端辺または後端辺を支持したうえで、L字の交差点を中心に90゜回転して板ガラスを90゜転換させる。
【0045】
図11および図12にこの転換装置12が示されている。転換装置12は、直交する二本のアーム部30a、30bからなるほぼL字状の支持アーム30と、両アーム部の交差点を中心に支持アーム30を両アーム部がなす面内に回転させるための回転駆動装置31とを有している。図示のごとく両アーム部30a、30bの先端同士を接続するように補強バー30cを取り付けてもよい。回転駆動装置31は図示のサーボモータ31aによるタイミングベルトドライブとしてもよく、また、ギア式伝動機構を用いてもよい。両アーム部30a、30bにはその長手方向に沿って複数個の係合部材32が離間して配設されている。いずれの係合部材32も駆動シリンダ32aによって同一方向に突出待避する係合ピン32bを有している。板ガラスGはこの係合ピン32bにその直交二辺が係合して支持される。
【0046】
転換装置12は一方のアーム部30aを図1に示す水平状態にし、他方のアーム部30bを鉛直状態にして板ガラスの到着を待つ。このとき係合ピン32bは待避した状態である。板ガラスが支持アーム30に対向する位置まで来ると図示しないセンサの検知によって停止させられる。ついで両アーム部30a、30bの係合ピン32bが突出する。なお、スクライブユニット3、移送部10および分断ユニット4の範囲ではベルトコンベアのベルトの板ガラス支持面は平坦ではなく、ベルトの幅方向に当ピッチで桟が形成されている。したがって、上記水平状態のアーム部30aの係合ピン32bは板ガラスの底辺の下方であってこの桟と桟との間に突出することになる。この状態で支持アーム30が前方(下流側に向けて)90゜回転する。そうすると、板ガラスの底辺は水平状態であったアーム部30aの係合ピン32bに係合し、前端辺は鉛直状態であったアーム部30bの係合ピン32bに係合する。この回転により、板ガラスGの回転前の前端辺および後端辺は回転後に底辺および上辺となる。また、回転前の底辺および上辺は回転後に後端辺および前端辺となる。転換後、板ガラスは再度スクライブユニット3まで後退させられ、その前端辺に沿って前方のけがき線が形成され、所定距離だけ前進させられて後端辺に沿って後方のけがき線が形成される。こうして板ガラスの四辺にけがき線が形成される。
【0047】
しかし、本発明ではかかる構成に限定されない。たとえば、前述したけがき線形成機16に加えて、その上流または下流に、上記けがき線形成機16と同様の構成でけがき線が水平方向に形成されるように構成された水平けがき線形成機を備えてもよい。いわば、水平方向に配置されたけがき線形成機である。そうすると、板ガラスは転換装置12を必要とせず、ベルトコンベアによって搬送されるだけで新規追加したけがき線形成機によって上辺および底辺のけがき線が形成される。この場合には、上辺けがき線形成用のけがき線形成機と、底辺けがき線形成用のけがき線形成機とを備えてもよく、または、単一の水平けがき線形成用のけがき線形成機を上下方向に移動可能に構成してもよい。
【0048】
また、以上のスクライブユニットの説明ではトリミング用のスクライブを例にとったが、もちろんこのスクライブユニットはトリミングのみならず、一枚のマザーガラスGから複数枚の製品ガラスFを切り分けるためのけがき線N(図10)を形成することも容易である。けがき刃19の上下軌道に対する板ガラスの位置決めを変えればよい。
【0049】
また、図示していないが、スクライブユニット3における支持装置たるベルトコンベアの部分は、支持していた板ガラスを下方に落下させるために移動可能にすることができる。たとえば、搬送方向に直角な方向に移動可能にすると、ベルトコンベア上の板ガラスは下方に落下する。または、ベルト部を傾動させることによって板ガラスのパスラインLからベルトを待避させて板ガラスを落下させるようにしてもよい。かかる構成により、たとえばけがき線形成時に損傷することにより製品化が不可能になった板ガラスを、搬送ラインやスクライブユニットをガラスの破片で汚すことなく容易に除去することができる。
【0050】
図13〜図15を参照しつつ分断ユニット4を説明する。分断ユニット4は搬送方向に所定距離離間して配設された一対の分断機33、34を有している。各分断機は第二クランプ35と、第二クランプ35に搬送方向に隣接して配置された押圧機36とを有している。両分断機33、34に対応する部分のベルトコンベア2が分断ユニット4における板ガラスの支持装置として機能する。上流側の分断機33では、第二クランプ35の上流に隣接して押圧機36が配置されており、下流側の分断機34では、第二クランプ35の下流に隣接して押圧機36が配置されている。
【0051】
第二クランプ35は、パスラインLの一方側に配設されたトリム押さえ37と、このトリム押さえ37をパスラインLに直角の方向に移動させるための駆動シリンダ38と、パスラインLの他方側にトリム押さえ37と対向するように固定されたトリム受け39とを有している。図13および図15に示すように、トリム押さえ37およびトリム受け39はともに上下に延びる長尺部材であり、搬送されてくる板ガラスの面に平行に配置されている。また、上記駆動シリンダ38はトリム押さえ37の上部、中間部および下部それぞれに取り付けられている。そして、トリム押さえ37を板ガラスに向けて移動させることにより、トリム受け39とで板ガラスを両面から把持することができる。
【0052】
押圧機36は、パスラインLのトリム押さえ37側に配設された分断バー40と、この分断バー40をパスラインLに直角の方向に移動させるための電動シリンダと、けがき線と分断バーとの平行な方向の位置調整を行うための位置決めスライダからなる駆動装置41とを備えている。図13および図15に示すように、分断バー40は上下に延びる長尺部材であり、搬送されてくる板ガラスの面に平行に配置されている。また、上記駆動装置41は分断バー40の上部および下部それぞれに取り付けられている。分断バー40は駆動装置41によってパスラインLを超えてトリム受け39側に移動させられる。これにより、板ガラスの、けがき線を挟んで第二クランプ35による把持部とは反対側の部分を押圧して板ガラスをけがき線から分断することができる。
【0053】
また、分断バー40はパスラインLに平行な方向(上流方向および下流方向)に第二クランプ35に接近離間するように変位可能に構成されている。かかる構成により、分断バー40による板ガラスの押圧部位とけがき線との離間距離を変更することができる。さらに、上記駆動装置41は分断バー40の移動速度と停止位置とを変更することができる。かかる構成により、分断バー40による押圧部位とけがき線との離間距離と、分断バー40の移動速度および停止位置とを調整することにより、けがき線から分断された板ガラスの分断端辺同士が接触することが防止される。
【0054】
図14に示すように、分断ユニット4では押圧機36がパスラインLを挟んで流体ガイド8と反対側に設置されている。したがって、分断するときには分断バー40は板ガラスのけがき線が形成されている方の面を押すが、流体ガイドが分断バー40の反対側の板ガラス面に流体圧を作用させている(板ガラスのけがき線形成面と反対側の面に作用させている)ので、分断バー40の押圧以外の原因で不用意にけがき線から板ガラスが分断されてしまうことを防止することが可能となる。
【0055】
この分断ユニット4により、板ガラスGの四辺に沿って形成されたトリミング用のけがき線M(図10)から板ガラスを分断することができる。まず、搬送されてきた板ガラスは、その前端辺に沿ったけがき線が下流側の分断機34に対応するように位置決めされ、この分断機34の第二クランプ35が板ガラスのけがき線の上流側の部分を把持し、押圧機36の分断バー40がけがき線の下流側の部分(図10において前端辺とけがき線Mとの間の幅狭の部分であり、トリム部Tという)を押圧し、けがき線から板ガラスを分断する。分断されたトリム部は下方に落下して除去される。下方には図示しないトリム収容容器が配設されている。
【0056】
ついで板ガラスは所定距離だけ前進させられ、その後端辺に沿ったけがき線が上流側の分断機33に対応するように位置決めされ、この分断機33の第二クランプ35が板ガラスのけがき線の下流側の部分を把持し、押圧機36の分断バー40がけがき線の上流側のトリム部を押圧し、けがき線から板ガラスを分断する。次に上辺および底辺のけがき線からトリム部を分断する必要があるが、この際、板ガラスを上記転換装置12のところまで後退させ、前述したと同様に転換装置12によって板ガラスをその面内で90゜回転させる。そして、上記と同様の動作を繰り返すことにより、板ガラスの四辺のトリムが除去される。
【0057】
しかし、本発明ではかかる構成に限定されない。たとえば、上記転換装置12の下流側に、前述の一対の分断機33、34と同じ構成の一対の分断機を設置し、板ガラスを90゜回転させた後、後退させずに分断を行うようにしてもよい。または、前述した一対の分断機33、34に加えて、その上流または下流に、上記一方の分断機33(34)と同様の構成で水平のけがき線から分断できるように、上下に離間した一対の分断機を水平に設置してもよい。そして、水平けがき線と位置合わせができるように、それぞれの分断機を上下に移動しうるように構成すればよい。そうすると、板ガラスは転換装置12を必要とせず、ベルトコンベアによって搬送されるだけで新規追加した水平方向の分断機によって上辺および底辺のけがき線から板ガラスを分断することができる。または、単一の水平分断機を上下方向に大きく移動可能にし、この分断機によって板ガラスをその上辺のけがき線からも底辺のけがき線からも分断することができるようにすることは容易である。
【0058】
図示しないが、この分断ユニット4にも前述した傾斜調整機5を設置してもよい。この傾斜調整機により、板ガラスに形成されたけがき線と分断機の第二クランプ35および分断バー40との平行度を調整することができる。また、分断ユニット4全体を支持ピン48によって揺動可能に支持し、この支持点を支点として分断ユニット4を揺動させるためのリニアアクチエータ49をこのユニット4の上部に設置するのが好ましい。かかる構成により、分断機33、34の第二クランプ35および分断バー40と、板ガラスに形成されたけがき線との平行度を調整することができる。
【0059】
また、図示していないが、本分断ユニット4においても前述のスクライブユニット3におけると同様に、支持装置たるベルトコンベアの部分を搬送方向に直角な方向に移動可能にすることにより板ガラスを下方に落下させることができる。たとえば分断時に損傷することにより製品化が不可能になった板ガラスを、搬送ラインや分断ユニットをガラスの破片で汚すことなく除去することができる。
【0060】
以上説明したスクライブユニット3および分断ユニット4において、スクライブおよび分断を行うときにはガラスの微粉(カレット粒子ともいう)が発生する可能性がある。以下にこのカレットを除去する機構を説明する。
【0061】
図5に示すスクライブユニット3において、符号42はエアブローノズルを示している。このノズル42は上記けがき刃ホルダ19に取り付けられており、ノズル42の噴出口はけがき刃20に向けられている。ノズル42は上記駆動シリンダ21によってけがき刃20と一体で板ガラスGに向かって進出し、また、けがき刃20と一体で上下動する。ノズル42は、けがき刃20が板ガラスの表面をスクライブすると同時にその部分にドライエアを吹き付けてカレットを除去する。また、符号43は清掃用の刷毛を示している。この刷毛43はけがき刃ホルダ19に取り付けられており、けがき刃20と一体で上下動するが、独自の駆動シリンダ44によってけがき刃20とは独立して板ガラスGに向かって進出するようにされている。この刷毛43によって板ガラスのけがき線の部分を清掃することもでき、また、第一クランプ22の押圧バー25と支持パッド23とを清掃することもできる。
【0062】
また、このけがき刃20と一体で上下動するエアブローノズル42に代えて、たとえば、けがき刃20の上下軌道の上方に、下方の上下軌道に向けてドライエアを吹き付ける固定式のエアブローノズルを備えてもよい。また、上下動するエアブローノズル42および固定式のエアブローノズルに代えて、または、これとともに、板ガラスの面やその近傍からカレット粒子を空気とともに吸い取り除去するために、空気を吸引するための上下動する空気吸引ノズルおよび固定式の空気吸引ノズルを備えてもよい。
【0063】
そして、これらに代えて、または、これらとともに、板ガラスのけがき線の部分に上方から水などの清掃用液体を流すための噴霧器や噴水ノズルを設けてもよい。液体を使用すればカレット粒子を散らすことなく下方に除去できるので好ましい。また、上記噴霧装置などは板ガラスのけがき線の部分のみに液体を流す構成に限定されず、板ガラスの全面に流すように構成するのも容易である。噴霧器の噴霧口を搬送方向に長く形成すればよい。
【0064】
図13〜図15に示す分断ユニット4において、符号44は清掃用の刷毛を示している。この刷毛44は搬送方向に見て一対のトリム受け39同士の間に突設されたブラケット45に取り付けられており、このブラケット45がリニアガイド機構46によって上下動させられる。刷毛44自体は搬送方向に見て全トリム押さえ37、トリム受け39および全分断バー40の位置をカバーし、これらの表面を清掃しえる長さにされている。刷毛44は、板ガラスが分断ユニット4にあるときは板ガラスの上方に位置し、板ガラスが搬送されてしまうと下降しながら上記各部材37、39、40の表面を清掃する。一方、平面視でこの刷毛44の下方で、全トリム押さえ37、トリム受け39および全分断バー40の下方には吸引ノズル47が配設されている。この吸引ノズル47は搬送方向に見て全トリム押さえ37、トリム受け39および全分断バー40をカバーする長さにされている。
【0065】
なお、上記刷毛44とともに、または、この刷毛に加えて、前述したと同様の、板ガラスの分断部分に上方から水などの清掃用液体を流すための噴霧器や噴水ノズルを設けてもよい。または、板ガラスの全面に液体を流す噴霧器などを設けてもよい。
【0066】
図1に示すように、分断ユニット4において分断された板ガラスは搬出部11で姿勢を立て直されて外部へ搬出される。すなわち、搬入部9から分断ユニット4までは流体ガイド8が搬送方向に見て片側のみに設置されているため、板ガラスは鉛直から若干傾いた状態(本実施形態では約85゜)で搬送されてくる。これを搬出部11で鉛直状態にして板ガラスを搬出する。したがって、この搬出部11を姿勢変更部ともいう。搬出部11ではこのために搬送方向に沿ってその両側に流体ガイド8が配設され、これらの流体圧のバランスによって板ガラスをほぼ鉛直状態で搬出する。
【0067】
以上説明した分断設備1では、搬出部11を除いて流体ガイド8が板ガラスの搬送方向に沿ってその片側にのみ配設されているが、本発明ではかかる構成には限定されない。つまり、搬送方向に沿ってその両側に流体ガイドを配設し、これら両流体ガイドの流体圧のバランスによって板ガラスを立てた状態で搬送することも可能である。しかし、スクライブユニット3および分断ユニット4においては、流体ガイドは加工機の配置のために片側にのみ設置しなければならない範囲が生じる。しかし、それは問題にはならず、前述したように板ガラスが不要にに分断されてしまうことが防止されるという利点にもなる。
【0068】
図16は分断設備におけるスクライブユニット、転換装置、分断ユニットの各種配列を示している。図16(a)は以上に説明した分断設備1における配置であり、搬送方向上流から搬入部9、スクライブユニット3、移送部10および転換装置12、分断ユニット4、搬出部11の順に配置されている。
【0069】
図16(b)は、搬送方向上流から搬入部9、スクライブユニット3a、移送部10および転換装置12、二機目のスクライブユニット3b、移送部10、分断ユニット4a、移送部10および転換装置12、二機目の分断ユニット4b、搬出部11の順に配置されている。スクライブユニットと分断ユニットとがそれぞれ二機づつ配置されているのは、最初のユニット3a(4a)において板ガラスの前端および後端を処理し、ついで転換装置12によって転換された板ガラスの残りの平行二辺を次のユニット3b(4b)において処理するものである。こうすることにより、板ガラスを後退させる必要が無く、処理時間の短縮が可能となる。
【0070】
図16(c)は、搬送方向上流から搬入部9、スクライブユニット3a、移送部10、二機目のスクライブユニット3b、移送部10および転換装置12、三機目のスクライブユニット3c、移送部10、四機目のスクライブユニット3d、移送部10、分断ユニット4a、移送部10および転換装置12、二機目の分断ユニット4b、搬出部11の順に配置されている。スクライブユニット3が四機配置されているのは、スクライブユニット3a、3bで同時に板ガラスの前後両端部のけがき線形成処理をし、ついで板ガラスを90゜反転させた後に下流のスクライブユニット3c、3dによって残りの平行二端部に対して同時にけがき線形成処理を行うためである。板ガラスのサイズに応じて上流のスクライブユニット3a、3bと下流のスクライブユニット3c、3dとの離間距離は変更し得るように構成されている。
【0071】
図16(d)は、搬送方向上流から搬入部9、スクライブユニット3a、移送部10、再度スクライブユニット3b、移送部10、上下二段に設置された水平方向のスクライブユニット3c、3d、移送部10、分断ユニット4a、移送部10および転換装置12、再度分断ユニット4b、搬出部11の順に配置されている。この分断設備では、最初のスクライブユニット3aで後端のスクライブを行い、同時に二機目のスクライブユニット3bで前端のスクライブを行う。ついで、上下二段のスクライブユニット3c、3dで上辺および底辺のスクライブを同時に行う。分断は上記図16(b)におけると同じである。こうすることにより、スクライブの作業時間が短縮される。さらに、図16(b)および図16(c)の設備におけるより、転換装置を一機省略することができる。もちろん、分断工程においてもスクライブ工程と同様に水平方向の分断ユニットを上下二段に設置してもよい。これによりさらに作業時間の短縮を図ることができる。
【0072】
この図16に示した分断設備の配置は例示にすぎない。必要に応じて各ユニットの個数、ユニットの方向(水平および鉛直)、移送部や転換装置の配置および個数を決定すればよい。
【0073】
以上の分断ユニット4の説明ではトリミングを例にとったが、本発明ではトリミングに限定されることなく、板ガラスの中間部分から分断する作業も対象となる。すなわち、一枚のマザーガラスから複数枚の製品ガラスFを切り分けるための中間部分のけがき線N(図10)で分断する作業も対象となる。このためには中間分断ユニットを追加して設置すればよい。
【0074】
図17および図18にはそれぞれ中間分断ユニットの例を示している。図17に示す中間分断ユニット50は、板ガラスGの縦方向の中間けがき線Nの両側をそれぞれ公知の非接触吸引パッド51によって板ガラスの片面側から吸着しておき、板ガラスのけがき線N部分に分断バー52を押圧して分断するものである。非接触吸引パッド51および分断バー52ともに板ガラスGのけがき線N形成面とは反対側の面に作用するように構成されている。搬送されてくる板ガラスは、その縦方向のけがき線Nの位置が上記分断バー52の位置に合致するように位置決めされる。上記非接触吸引パッド51はそのエゼクター機構により、板ガラスGの吸引対称面に対して負圧を生じさせてこれを吸引するものであり、それによって板ガラスを非接触の状態で保持するものである。
【0075】
図18に示す中間分断ユニット53は、板ガラスのけがき線Nの一方側の部分を他方側に対して曲げることによってけがき線から分断するものである。具体的には、図示のごとく中間分断ユニット53のほぼ中央部の鉛直線Vを中心として、流体ガイド8と図示しないベルトコンベア2とが水平方向に折れ曲がるように変位する。いわば、パスラインLが上記折れ曲がり点Vからその一方側が他方側に対して傾斜するのである。折れ曲がり点Vの両側に近接した位置には、それぞれ板ガラスを把持する第三クランプ54が配設されている。また、搬送されてきた板ガラスGはその縦方向のけがき線Nの位置が上記両第三クランプ54同士の間に来るように位置決めされる。
【0076】
そして、板ガラスGの前端および後端に対応する位置それぞれに第四クランプ55および第五クランプ56が配設されており、これら55、56がそれぞれ板ガラスGの前端および後端を把持する(図18中に一点鎖線で示す)。すべてのクランプ54、55、56で板ガラスGを把持したうえで前述のように、流体ガイド8とベルトコンベア2とが変位して(図18中に実線で示す)板ガラスをけがき線から分断する。もちろん、このときには変位する側の第三クランプ54と第四クランプ55とは流体ガイド8およびベルトコンベア2と一体で変位する。分断後はこの流体ガイド8とベルトコンベア2とは元の位置に戻される。なお、第四クランプ55および第五クランプ56のパスラインL方向の位置は板ガラスのサイズに応じて調節可能に構成されている。
【0077】
いずれの中間分断ユニット50、53についても、横方向の中間けがき線Nからの分断については、前述の転換装置12を用いて板ガラスを90゜転換させれば容易に行うことができる。また、いずれの中間分断ユニット50、53に対しても前述したと同様に、分断されるべき板ガラスのけがき線近傍にカレット粒子や塵埃を吹き飛ばして除去するための流体噴出装置や、空気とともにカレット粒子や塵埃を吸引して除去するための流体吸引装置を備えてもよい。
【0078】
つぎに、分断バー52を有する中間分断ユニット50の配置の一例を説明する。図19に示すように、スクライブ工程(図示しない)の下流に移送部10、縦方向トリミング用の分断ユニット4a、中間分断ユニット50a、移送部10および転換装置12、二機目のトリミング(横方向)用の分断ユニット4b、二機目の中間分断ユニット50b、搬出部11の順に配置されている。最初の分断ユニット4aにおいて板ガラスの前端および後端をトリミングし、ついで最初の中間分断ユニット50aによって板ガラスの縦方向の中間けがき線Nから分断する。そして、転換装置12によって板ガラスを90゜転換させた後、板ガラスの残りの平行二辺を次の分断ユニット4bによってトリミングする。さらに、次の(下流側の)中間分断ユニット50bによって板ガラスの(当初の)横方向の中間けがき線Nから分断する。
【0079】
上記配置は一例であって、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、上流側の中間分断ユニット50aの上流側および下流側の両方にそれぞれ縦方向トリミング用の分断ユニット4aを配置すれば、トリミングのために板ガラスを後退させる必要がない。もちろん、二機目の中間分断ユニット50bの両側にもトリミング用の分断ユニット4aを配置すればよい。必要に応じて上記以外の配置を採用することも可能である。
【0080】
つぎに、コンベアおよび流体ガイドともに変位させる中間分断ユニット53の配置の一例を説明する。図20に示すように、スクライブ工程(図示しない)の下流に移送部10、縦方向トリミング用の分断ユニット4a、移送部10および転換装置12、二機目のトリミング(横方向)用の分断ユニット4b、中間分断ユニット53a、二機目の移送部10および転換装置12、二機目の中間分断ユニット53b、搬出部11の順に配置されている。最初の分断ユニット4aにおいて板ガラスの前端および後端をトリミングする。ついで転換装置12によって板ガラスを90゜転換した後、残りの平行二辺を次の分断ユニット4bによってトリミングする。ついで、最初の中間分断ユニット53aによって板ガラスの中間けがき線Nから分断する。そして、二機目の転換装置12によって板ガラスを90゜転換させた後、次の(下流側の)中間分断ユニット53bによって板ガラスの残りの中間けがき線Nから分断する。
【0081】
上記配置は一例であって、必要に応じて上記以外の配置を採用することも可能である。
【0082】
また、以上説明した分断設備ではスクライブ工程と分断工程とが一直線に配置されているが、本発明ではかかる構成に限定されない。たとえば、スクライブ工程と分断工程とを直交するように配置してもよく、また、互いに平行となるように配置してもよい。
【0083】
また、上記実施形態では処理対象として板ガラスを例示したが、本発明では板ガラスに限定されない。たとえば、レアメタルやシリコンからなる板材、平面型ディスプレー用ガラス等、種々の板材が処理対象となりうる。
【0084】
【発明の効果】
本発明によれば、大型または薄型であっても、その板材を品質の低下を招くことなくスクライブ(けがき)や分断を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の板材の分断設備の一実施形態を概略的に示す正面図である。
【図2】図1の分断設備の平面図である。
【図3】図1の分断設備におけるスクライブユニットの一実施形態を示す平面図である。
【図4】図3のIV部拡大図である。
【図5】図3のスクライブユニットの底面図である。
【図6】図3のスクライブユニットにおけるクランプ部材の一例を示す正面図であり、図3におけるVI−VI線矢視図である。
【図7】図6におけるVII部拡大図である。
【図8】図7におけるVIII−VIII線断面図であり、クランプ部材の押圧バーが板ガラスを押圧する位置にある状態を示している。
【図9】図7におけるVIII−VIII線断面図であり、クランプ部材の押圧バーが板ガラスから離間した位置にある状態を示している。
【図10】図10(a)はトリミングの対象となる、けがき線が形成された板ガラスの一例を示す平面図であり、図10(b)はトリミング後の板ガラスの一例を示す平面図である。
【図11】図1の分断設備における転換装置の一例を示す正面図である。
【図12】図11の転換装置の斜視図である。
【図13】図1の分断設備における分断ユニットの一実施形態を示す正面図である。
【図14】図13の分断ユニットの平面図であり、XIV−XIV線矢視図である。
【図15】図13の分断ユニットの側面図であり、XV−XV線矢視図である。
【図16】図16(a)は図1の分断設備の配列の一例を概略的に示す正面図であり、図16(b)は本発明の分断設備の他の実施形態の配列の一例を概略的に示す正面図であり、図16(c)は本発明の分断設備のさらに他の実施形態の配列の一例を概略的に示す正面図であり、図16(d)は本発明の分断設備のさらに他の実施形態の配列の一例を概略的に示す正面図である。
【図17】本発明の分断ユニットの他の実施形態を示す平面図である。
【図18】本発明の分断ユニットのさらに他の実施形態を示す平面図である。
【図19】図17の分断ユニットの配列の一例を概略的に示す正面図である。
【図20】図18の分断ユニットの配列の一例を概略的に示す正面図である。
【符号の説明】
1・・・・分断設備
2・・・・ベルトコンベヤ
3・・・・スクライブユニット
4・・・・分断ユニット
5・・・・傾斜調整機
6・・・・支点
7・・・・移動くさび
8・・・・流体ガイド
9・・・・搬入部
10・・・・移送部
11・・・・搬出部
12・・・・転換装置
13・・・・枠部材
14・・・・ガイド板
15・・・・流体噴出孔
16・・・・けがき線形成機
17・・・・支持本体
18・・・・リニアガイド機構
19・・・・けがきホルダ
20・・・・けがき刃
21・・・・駆動シリンダ
22・・・・第一クランプ
23・・・・支持パッド
24・・・・クランプ部材
25・・・・押圧バー
26・・・・押圧駆動部
27・・・・フレーム
28・・・・アーム
29・・・・駆動シリンダ
30・・・・支持アーム
30a、30b・・・・アーム部
30c・・・補強バー
31・・・・回転駆動装置
31a・・・サーボモータ
32・・・・係合部材
32a・・・駆動シリンダ
32b・・・係合ピン
33、34・・・・分断機
35・・・・第二クランプ
36・・・・押圧機
37・・・・トリム押さえ
38・・・・駆動シリンダ
39・・・・トリム受け
40・・・・分断バー
41・・・・駆動装置
42・・・・エアブローノズル
43、44・・・・刷毛
45・・・・ブラケット
46・・・・リニアガイド機構
47・・・・吸引ノズル
48・・・・支持ピン
49・・・・リニアアクチエータ
50、53・・・・中間分断ユニット
51・・・・非接触吸引パッド
52・・・・分断バー
54・・・・第三クランプ
55・・・・第四クランプ
56・・・・第五クランプ
F・・・・製品ガラス
G・・・・板ガラス
L・・・・(板ガラスの)パスライン
M、N・・・・けがき線
T・・・・トリム

Claims (21)

  1. 立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、
    上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
    板材の面に沿って移動することにより上記板材に分断用のけがき線を形成するけがき刃を有するけがき線形成機と
    該けがき線形成機に配設された、板材におけるけがき刃の移動軌道の隣接部分をその両面から把持する第一クランプと
    を備えてなる板材のスクライブユニット。
  2. 上記流体ガイドが上記板材の支持位置の一方側に配設されており、上記けがき線形成機のけがき刃が該板材の支持位置の他方側に配設されてなる請求項1記載の板材のスクライブユニット。
  3. 上記流体ガイドが、支持用流体を噴出する多数個の流体噴出孔と流体を吸引する多数個の流体吸引孔とが形成されたガイド板を有しており、該ガイド板が板材の面に対向するように配置されてなる請求項1記載の板材のスクライブユニット。
  4. 上記第一クランプが、板材の立設位置の一方側に配置された支持パッドと、他方側に配置されたクランプ部材とを有しており、該クランプ部材が板材に向けて進出することにより、支持パッドとで板材を把持するように構成されてなる請求項1記載の板材のスクライブユニット。
  5. 上記けがき刃が板材に表面に沿って上下に移動するように構成されており、第一クランプが、板材の面方向におけるけがき刃の上下軌道の両側それぞれに配置されており、
    上記第一クランプが、板材の上下軌道の長さと同等の長さを有してなる請求項4記載の板材のスクライブユニット。
  6. 上記クランプ部材が、支持パッドとで板材を挟むための押圧バーと、該押圧バーを支持パッドに向けて押し出すために押圧バーの長手方向に沿って設けられた複数個の押圧駆動部とを有してなる請求項4記載の板材のスクライブユニット。
  7. 上記流体ガイドが、板材の面方向における上記一対の第一クランプの両側それぞれに配置されてなる請求項5記載の板材のスクライブユニット。
  8. 上記けがき線形成機が、けがき刃の移動軌道に向けて流体を噴出するための流体噴出装置を有してなる請求項1記載の板材のスクライブユニット。
  9. 上記けがき線形成機が、けがき刃の移動軌道付近の空気を吸引するための流体吸引装置を有してなる請求項1記載の板材のスクライブユニット。
  10. 上記流体噴出装置がけがき刃に向けられ、且つ、けがき刃と一体に移動する流体噴出ノズルと、板材のけがき線部分の清掃をする清掃用刷毛とを有してなる請求項記載の板材のスクライブユニット。
  11. 上記流体噴出装置が、板材のけがき線の部分に上方から清掃用液体を流すための手段として構成されてなる請求項8記載の板材のスクライブユニット。
  12. 上記流体吸引装置がけがき刃と一体に移動する流体吸引ノズルを有してなる請求項記載の板材のスクライブユニット。
  13. 上記支持装置が板材の自重を受ける支持面を有しており、該支持面が、支持している板材を下方に落下させるために開放可能に構成されてなる請求項1記載の板材のスクライブユニット。
  14. 上記支持装置が板材を立てられた状態で水平方向に搬送する搬送部を有しており、上記流体ガイドが搬送部の搬送経路に沿って配置されてなる請求項1記載の板材のスクライブユニット。
  15. 上記支持装置がその搬送部の搬送経路に立てられた状態の板材を実質的にその面内で回転させるための転換装置を備えてなる請求項14記載の板材のスクライブユニット。
  16. 上記転換装置が、搬送経路に立てられた状態の板材の底辺と該底辺に直交する辺とを支持する支持部と、該支持部を搬送経路に沿う前方および後方に回転させる回転駆動機とを有してなる請求項15記載の板材のスクライブユニット。
  17. 上記支持部が、板材の直交二辺を支持するための直交二本のアーム部を有しており、該アーム部に突出退避しうる係合ピンが設置されており、該係合ピンが突出したときに板材の辺に係合しうるように構成されてなる請求項16記載の板材のスクライブユニット。
  18. 上記支持装置が、板材の自重を受ける支持面と、該支持面が支持する板材の底辺の傾斜を変更する傾斜調整機とを有してなる請求項1記載の板材のスクライブユニット。
  19. 立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
    上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
    上記搬送装置の搬送経路に配設された請求項1〜18のうちいずれか一の項に記載のスクライブユニットと、
    上記搬送経路における該スクライブユニットの下流側に配設された分断ユニットとを備えており、
    該分断ユニットが、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、上記板材の面に流体圧を作用させて該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、上記板材に形成された分断用のけがき線の面方向一方側の部分を把持する第二クランプ、および、上記けがき線の面方向他方側の部分を押圧する第一押圧部材を有する第一分断機とを備えてなる板材の分断設備。
  20. 立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
    上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
    上記搬送装置の搬送経路に配設された請求項1〜18のうちいずれか一の項に記載のスクライブユニットと、
    上記搬送経路における該スクライブユニットの下流側に配設された分断ユニットとを備えており、
    該分断ユニットが、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、上記板材の面に流体圧を作用させて該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、上記板材の片面側から、板材に形成された分断用のけがき線の面方向両側の部分を吸引支持する吸引部材、および、上記けがき線の部分を押圧する第二押圧部材を有する第二分断機とを備えてなる板材の分断設備。
  21. 立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
    上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
    上記搬送装置の搬送経路に配設された請求項1〜18のうちいずれか一の項に記載のスクライブユニットと、
    上記搬送経路における該スクライブユニットの下流側に配設された分断ユニットとを備えており、
    該分断ユニットが、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、上記板材の面に流体圧を作用させて該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、上記板材に形成された分断用のけがき線の面方向両側の部分を把持する第三クランプとを備えており、板材の上記けがき線に対応する部分を中心に、上記支持装置および流体ガイドの面方向一方側が他方側に対して相対的に傾斜するように変位可能に構成されてなる板材の分断設備。
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