JP5309107B2 - 脆性材料基板の分断装置 - Google Patents
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Description
脆性材料基板Mは二分割されたテーブル13,13上に載置され、上面に向かって開口した多数のエア吸引孔14により吸着保持されている。二分割されたテーブル13,13の間に形成された空間15の下方には走査機構16に保持されたレーザビーム照射部17と、冷媒液噴射ノズル18とが配置されている。
また、レーザスクライブ時の冷媒液が端材とテーブルとの間に浸透すると、強くテーブル面に付着してしまっているのでエアなどを吹き付けても簡単には離れず、除去するのが大変困難である。また、エアの吹き付けは、分断時に生じたカレット等の微細な屑粉が舞い上がって作業環境を劣化する。
そこで出願人は、特許文献3等で示すようなチャックにより端材を掴んで除去する把持機構を提案したが、その機構は複雑であり、かつ、チャックの機構全体がかなりのスペースを必要とするため、分断装置全体が大型化しかつ高価となるといった問題点があった。
また、本発明は冷媒液が基板とテーブルの間に浸透している場合のように、端材がテーブルに強く付着していても確実に端材を除去できる端材除去機能を備えた分断装置を提供することを目的とする。
これにより、左右どちらの回動テーブルに端材が残っても端材を付着させた方の回動テーブルを傾倒させることにより端材を除去することができる。
これにより、テーブルの下方にスクライブ形成手段を配置した場合でもこのスクライブ形成手段を回避させて回動テーブルを傾倒させることができる。
図1並びに図2は本発明にかかる分断装置の全体を示す正面図であり、図3は搬送機構としてのベルトコンベアとテーブル部分を示す概略的な平面図であり、図4〜図8は端材除去の動作を順を追って説明するため端材除去機構部分の拡大図である。
なお、搬送機構4は、これに限られず、別の機構、例えば下端に吸盤を備えたロボットアーム等の機構であってもよいことは勿論である。
また主テーブル2並びに回動テーブル3上に載置した脆性材料基板Mを吸着保持できるように各テーブル2,3にエアによる多数の吸引口を設けるのが好ましい。
本実施例では、スクライブ形成手段6としてレーザ照射機構が採用されており、レーザビーム照射部6aと冷媒液噴射ノズル6bとが設けられている。レーザビーム照射部6aと冷媒液噴射ノズル6bは走査機構6cに上下移動可能に保持され、レール6dに沿って紙面に垂直な方向に移動できるようになっている。
回動テーブル3はスライドベース7に保持された枢軸8を支点として図4の水平な姿勢から図7並びに図8の最終傾倒姿勢まで回動できるように形成されている。その回動範囲は90度から100度程度が好ましい。ここでは100度としている。
更に、回動テーブル3を最終傾倒姿勢まで回動させた位置で、回動テーブル3の先端に付着した端材Cを下方の端材収納ボックス11に突き落とす押し出しバー12が機台1に取り付けられている。
上記した回動テーブル3の回動や水平方向への移動は駆動機構(図示外)により行われる。またこれらの動作、並びに押し出しバー12の操作はコンピュータ制御により行われる。
図2に示すように、搬送機構4により主テーブル2並びに回動テーブル3上に載置された脆性材料基板Mは、スクライブ形成手段、即ちレーザビーム照射部6aと冷媒液噴射ノズル6bとによってレーザスクライブされ、亀裂(直線状のスクライブライン)をブレイク予定ラインに沿って形成する。このようにして一本のブレイク予定ラインに亀裂を生じさせた後、脆性材料基板Mを搬送機構により、次のブレイク予定ラインがレーザビーム照射位置となるように移動させてレーザスクライブを行い、順次全てのブレイク予定ラインに亀裂を生じさせる。
このようにして、スクライブ時に発生した端材M1は外部に飛散することなく、定められた端材収納ボックス11に確実に集積され、まとめて破棄することができる。
なお、押し出しバー12で端材M1を突き落とす際、押し出しバー12の先端が確実に端材M1に当接するように、回動テーブル3の先端部の一部に、押し出しバー12が通過可能な切り欠きを形成してもよい。
M1 端材
A 分断装置
2 主テーブル
3 回動テーブル
6 スクライブ形成手段
6a レーザビーム照射部
6b 冷媒液噴射ノズル
9 移動スペース
11 端材収納ボックス
12 押し出しバー
Claims (4)
- 脆性材料基板をテーブル上に載置してスクライブ形成手段によりブレイク予定ラインに沿って亀裂若しくは切溝を生じさせて脆性材料基板を分断する分断装置であって、
前記テーブルが主テーブルと回動テーブルとからなり、回動テーブルがスクライブ形成手段の近傍に配置されていて分断時に生じた脆性材料基板の端材の一部が当該回動テーブルの先端から露出するように突き出した状態で載置できるように形成され、
前記回動テーブルは、水平な姿勢から端材を付着させたまま傾倒姿勢まで回動できるように形成され、
回動テーブルの傾倒姿勢で回動テーブルに付着した端材の回動テーブルから露出した部分を、回動テーブルとの吸着面側から突き落とす押し出しバーが設けられていることを特徴とする脆性材料基板の分断装置。 - 前記回動テーブル、主テーブル、押し出しバーがスクライブ形成手段を挟んで左右一対で形成されている請求項1に記載の脆性材料基板の分断装置。
- 前記回動テーブルと主テーブルとの間に移動スペースが形成され、回動テーブルをこの移動スペースを介してスクライブ形成手段から遠のく方向に水平に移動したあと、傾倒姿勢まで回動するようにした請求項1〜請求項2のいずれかに記載の脆性材料基板の分断装置。
- 前記スクライブ形成手段がレーザビーム照射部と冷媒液噴射ノズルとにより構成され、左右の回動テーブルの間でその下方に配置されている請求項2〜3に記載の脆性材料基板の分断装置。
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