JP5444158B2 - 脆性材料基板の割断方法 - Google Patents
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Description
0.05W<2D<0.4W
(式中、W:レーザビームLBの照射スポットの幅,D:スクライブ予定ラインから反射部材までの距離)
0.3W<N<W
(式中、W:レーザビームLBの照射スポットの幅,N:レーザビームLBの相対移動方向の長さ)
化学強化ガラス基板(厚さ0.55mm)の表面の、第1スクライブ予定ラインと第2スクライブ予定ラインとの交点領域に、ITO(酸化インジウムスズ)インクをスクリーン印刷して、図3に示した正方形の反射部材(長さ1.2mm×1.2mm、厚さ500Å)を形成した。次に、図1に示した割断装置にガラス基板を取り付けた後、レーザ照射及び冷却を行って第1スクライブラインを形成した。レーザ照射及び冷却の具体的条件は下記の通りである。次に、第2スクライブ予定ラインに沿ってレーザ照射及び冷却を行って第2スクライブラインを形成した。第2スクライブライン形成におけるレーザ照射及び冷却の具体的条件は第1スクライブラインを形成する際のレーザ照射及び冷却の条件と同じである。スクライブ終了後、第2スクライブラインでガラス基板を手割りした後、第1スクライブラインでガラス基板を手割りした。そして、第1スクライブラインの交点部分の割断面を光学顕微鏡で観察した。観察結果を図7に示す。また、第1スクライブラインを形成した後、第1スクライブラインでガラス基板を手割りし、交点領域における第1スクライブラインの垂直クラックの状態を観察した。観察結果を図8に示す。
レーザビーム :CO2レーザ
レーザ出力 :200W
照射スポット形状:L=60mm,W=1.8mm
相対移動速度 :200mm/sec
冷却スポット :楕円形(長径3mm ,短径2mm)
冷却水量 :0.5ml/min
照射スポットと冷却スポットの中心点間距離:10mm
図8から明らかなように、第1スクライブラインの垂直クラックは交点領域において他の部分よりも深くなっていた。また、図7から理解されるように、第1スクライブラインの交点部分の割断面は垂直であった。
基板に反射部材を形成しなかった以外は実施例1と同様にして、第1スクライブラインと第2スクライブラインを形成し、ガラス基板を手割りして第1スクライブラインの交点部分の割断面を光学顕微鏡で観察した。観察結果を図9に示す。図9から明らかなように、割断面の上部に「ソゲ」が発生しており、割断面は垂直ではなかった。
37 冷却ノズル
50 脆性材料基板
51 スクライブ予定ライン
51a 第1スクライブ予定ライン
51b 第2スクライブ予定ライン
52 スクライブライン
52a 第1スクライブライン
52b 第2スクライブライン
53,53a,53b 垂直クラック
LB レーザビーム
Claims (4)
- 交差する2方向に脆性材料基板を割断する方法であって、
前記基板の、第1スクライブ予定ラインと第2スクライブ予定ラインとが交わって形成される4つ角部のそれぞれにのみ反射部材を設ける工程と、第1スクライブ予定ラインに沿ってレーザビームを相対移動させながら照射して、前記基板を溶融温度未満に加熱した後、前記基板に対して冷却媒体を吹き付けて冷却し、前記基板に生じた熱応力によって、垂直クラックからなる第1スクライブラインを形成する工程と、第2スクライブ予定ラインに沿ってレーザビームを相対移動させながら照射して、第1スクライブラインと同様にして、第2スクライブラインを形成する工程と、第1スクライブライン及び第2スクライブラインに沿って前記基板を割断する工程とを有することを特徴とする脆性材料基板の割断方法。 - 第1スクライブ予定ラインと第2スクライブ予定ラインとは直交し、前記反射部材は、第1スクライブ予定ライン及び第2スクライブ予定ラインに対してそれぞれ線対称で、且つ第1スクライブ予定ライン及び第2スクライブ予定ラインから等しい距離に設ける請求項1記載の割断方法。
- 前記反射部材が金属薄膜である請求項1又は2記載の割断方法。
- 前記反射部材の、レーザビームの相対移動方向の長さが、レーザビーム照射スポットの幅に対して30〜100%の範囲である請求項1〜3のいずれかに記載の割断方法。
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