JP2019102540A - 基板搬出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ガラス基板およびセラミックス基板等の脆性材料基板や、PET(ポリエチレンテレフタレート樹脂)基板およびポリイミド樹脂基板等の樹脂基板等(以降、単に「基板」と称する。)は、種々の処理を経て最終製品となる。このような処理として、たとえば、基板を所定数の分割要素に切断する処理や、基板を切断したときに生じる端材を除去する処理、基板の表面をクリーニングする処理等がある。基板は、処理ごとに所定のステージに搬送され、処理が終了すると次の処理のために別のステージへと搬出される。本実施形態に係る基板搬出装置1は、とくに、少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された状態の基板Fを複数回にわけて搬出するための装置である。本実施形態において、所定方向は、X軸の正方向であって、分割要素の搬出方向と一致している。
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。
上記の実施形態では、図7のフローチャートにおいて、ステップS15がNOの場合、つまり、基板Fの分割要素が全て搬出された場合、ステップS17に進み、端材Rが基板載置部2から除去されていた。上記したとおり、基板Fが載置された基板載置部2に正圧が付与されると、基板Fは基板載置部2から容易に離れられる。そこで、実施形態の変更例では、図11のフローチャートに示すように、ステップS15において、基板Fの分割要素が全て搬出された場合、制御部40は、基板載置部2aおよび2bに対して、圧力付与部4に正圧を付与させる。これにより、端材Rは、基板載置部2aおよび2bから容易に離れることができる。この状態でステップS18にて、制御部40が支持部材413を下方に傾斜させると、端材Rは、基板載置部2aおよび2bの上面に沿ってより円滑に滑り落ちる。よって、端材Rをより効率的に基板載置部2aおよび2bから除去することができる。ステップS18は、実施形態における図7のステップS17に相当する処理である。
(1)基板載置部の分割について
上記の実施形態では、基板載置部2が2つの部分に分割されていたが、たとえば、基板載置部2のサイズが比較的小さい場合、基板載置部2の下方にスペースを確保し易いため、基板載置部2を分割する必要はない。あるいは、基板載置部2のサイズが大きい場合でも、基板載置部2の下方に基板載置部2を傾斜させたときに受け入れ可能なスペースを確保できるのであれば、基板載置部2を分割する必要はない。
上記の実施形態では、錘210および220にシャフトを用いており、外周面の形状は円形であった。ここで、錘210および220は、シート3を摺接することが可能な形状でればよく、外周面の形状は円形に限られない。
2…基板載置部
2a、2b…基板載置部
3…シート
4…圧力付与部
300…搬出部
400…駆動部
410…駆動機構
F…基板
R…端材
Claims (7)
- 基板が載置される基板載置部と、
前記基板載置部を水平位置と前記水平位置から下方に傾斜した傾斜位置との間で移動させる駆動部と
前記基板を搬出する搬出部と、を備える、
ことを特徴とする基板搬出装置。 - 請求項1に記載の基板搬出装置において、
前記基板は、搬出対象と非搬出対象とに分割され、
前記搬出部により前記搬出対象を搬出させた後に、前記駆動部により前記基板載置部を前記傾斜位置に傾斜させて前記基板載置部から前記非搬出対象を落下させる制御部をさらに備える、
ことを特徴とする基板搬出装置。 - 請求項1または2に記載の基板搬出装置において、
前記基板載置部は、前記基板載置部に載置された基板の下面に圧力を付与することが可能に構成され、
前記基板載置部に載置された基板の下面に圧力を付与するための圧力付与部をさらに備え、
前記制御部は、前記非搬出対象を前記基板載置部から落下させる際に、前記非搬出対象の下面に正圧を付与してされるように、圧力付与部を制御する、
ことを特徴とする基板搬出装置。 - 請求項1ないし3の何れか一項に記載の基板搬出装置において、
前記基板載置部は、水平方向に複数の部分に分割され、
前記駆動部は、前記複数の部分をそれぞれ前記水平位置と前記傾斜位置との間で駆動させる、
ことを特徴とする基板搬出装置。 - 請求項1ないし3の何れか一項に記載の基板搬出装置において、
前記基板載置部は、前記水平方向に2つの部分に分割されている、
ことを特徴とする基板搬出装置。 - 請求項5に記載の基板搬出装置において、
前記駆動部は、前記2つの部分の境界側の端部が下方に移動するように前記2つの部分を傾斜させて、前記2つの部分を前記傾斜位置に位置付けさせる、
ことを特徴とする基板搬出装置。 - 請求項1ないし6の何れか一項に記載の基板搬出装置において、
前記駆動部は、前記基板載置部を鉛直方向に回動可能に支持するとともに、前記水平位置と前記傾斜位置との間で前記基板載置部を回動させる駆動機構を備える、
ことを特徴とする基板搬出装置。
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