CN110653956A

CN110653956A - 基板加工装置的基板定位机构及基板定位方法

Info

Publication number: CN110653956A
Application number: CN201910534599.XA
Authority: CN
Inventors: 酒井敏行; 成尾彻
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2018-06-28
Filing date: 2019-06-19
Publication date: 2020-01-07
Also published as: KR20200001976A; TW202000615A; JP2020001965A

Abstract

本发明以简单的结构提供一种能够不使用CCD相机而以较短时间自动地进行基板的定位的新型的定位机构及定位方法。一种基板加工装置的基板定位机构，该基板加工装置将载置于基板输送用的工作台(2)的基板W送入刻划部(1)而在基板表面加工切断用的刻划线，其中，工作台(2)形成为能够经由沿着基板进给方向的转动轴(3)倾斜移动，在当工作台(2)倾斜移动时成为倾斜下位侧的侧边(2a)的附近，在工作台上表面设置有多个止动件(6)，该止动件(6、6)在与转动轴(3)平行的假想线上隔开间隔而配置，由此，当工作台(2)倾斜移动时，工作台上的基板W利用自重向倾斜下位侧移动而使基板W的一侧边与止动件(6)抵接。

Description

基板加工装置的基板定位机构及基板定位方法

技术领域

本发明涉及在对树脂基板、脆性材料基板加工切断用的刻划线的基板加工装置中，将载置于输送工作台上的基板定位于适当位置的定位机构及定位方法。特别地，本发明涉及适用于在要切出的单位基板排列成一排的长方形的基板(以下将其称为长方形基板)上加工刻划线、沿着该刻划线断开的基板加工装置的基板定位机构及基板定位方法。

背景技术

通常，在从要加工的基板切出单位基板的情况下，利用刀轮、激光在基板表面加工切断用的刻划线，接着通过使基板从该刻划线弯曲等而断开来进行。在加工该刻划线时，为了沿着刻划预定线准确地加工刻划线，需要将载置于作为加工台的工作台上的基板定位于适当的加工位置。

作为该定位方法，通常广泛实施如专利文献1所示那样的使用CCD相机的光学方法。根据该方法，预先在要加工的基板的两处设置对准标记，并利用设置在加工装置的上方的两台CCD相机拍摄对准标记来确定对准标记的位置。基于所确定的对准标记的位置数据，检测基板载置时的位置偏移，并通过向工作台上的适当位置移动来进行修正。

另外，作为简单的定位方法，也有在工作台上设置多个定位用的销，通过手动使基板的一边沿着销来进行基板定位的方法。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-162395号公报

但是，在使用CCD相机的光学方法中，存在如下问题，即，相机、监视器、对拍摄数据进行解析处理的电子设备等附带装置昂贵，并且基于摄像数据对基板进行定位需要花费时间。

另外，在利用定位用销的方法中，由于是通过操作者的手动作业进行，因此操作麻烦，并且有可能不慎将基板强力抵接于定位销而存在使基板端面受损等风险。另外，在基板较薄的情况下，存在如下问题点，即，在压靠定位销时基板弯曲等而无法准确地进行定位。

发明内容

发明要解决的课题

因此，鉴于上述课题，本发明的目的在于以简单的结构提供能够不使用CCD相机而以较短时间自动地进行基板的定位的新型的定位机构及定位方法。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，在本发明中采取如下的技术方法。即，在本发明中，构成为一种基板加工装置的基板定位机构，该基板加工装置将载置于基板输送用的工作台的基板送入刻划部而在基板表面加工切断用的刻划线，其中，所述工作台形成为能够经由沿着基板进给方向的转动轴倾斜移动，在当所述工作台倾斜移动时成为倾斜下位侧的工作台上表面设置有多个止动件，所述多个止动件在与所述转动轴平行的假想线上隔开间隔而配置。

另外，本发明的特征还在于一种基板定位方法，该方法是将向刻划部输送的在工作台上载置的基板定位于适当位置的定位方法，其中，在所述基板定位方法中，使所述工作台经由沿着基板进给方向的转动轴倾斜移动，使工作台上的基板利用自重向倾斜下位侧移动，通过使基板的一侧边与在倾斜下位侧待机的止动件抵接来进行基板的定位。

在本发明中，可以使所述工作台在俯视下形成为四边形，并使所述工作台的一侧边成为所述倾斜下位侧。另外，所述基板输送用的工作台可以由浮动工作台形成，所述浮动工作台从形成于该浮动工作台的表面的多个小孔喷出压缩空气使基板上浮。

发明效果

根据本发明，具有如下效果，即，仅通过使作为输送台的工作台倾斜移动就能够自动且迅速地进行基板的定位，从而能够提高基板加工作业的效率化，并且由于用于倾斜移动的机构简单，因而能够廉价地提供。

在本发明中，优选的是，使所述止动件形成为能够沿着基板进给方向移动。

由此，通过调整为止动件抵接在切断时被舍弃的边料区域部分的位置，能够避免作为产品的单位基板的端面受损。

另外，在本发明中，可以使所述止动件由以弹性材料构成的辊形成，且以由该辊的圆周面止挡基板的方式形成。

由此，即使是宽度窄的边料区域，也能够以圆周的点接触准确地与边料区域部分抵接，并且由于止动件6的材料为弹性材料，因此具有能够温和地止挡这样的效果。

附图说明

图1是组装有本发明的定位机构的基板加工装置的侧视图。

图2是上述基板加工装置的俯视图。

图3是工作台局部的放大主视图。

图4是表示将长方形基板载置于工作台的状态的俯视图。

图5是表示定位机构的动作的与图3同样的放大主视图。

附图标记说明：

S 刻划预定线

W 长方形基板

W1 单位基板

T 边料区域

1 刻划部

2 工作台

2a 工作台的侧边

3 转动轴

4 液压缸

6 止动件

9 刀轮

10 刻划头

14 输送构件

具体实施方式

以下，基于图1～图5对本发明的基板定位机构的细节进行详细说明。在此，如图4所示，在对长方形基板W加工切断用的刻划线的基板加工装置中实施本发明的基板定位机构，该长方形基板W具有切断图案，该切断图案为通过虚线所示的刻划预定线S划分的多个单位基板W1以隔着边料区域T的状态排列成一排。

该基板加工装置具备载置要加工的长方形基板W并向刻划部1输送的水平的工作台2。工作台2具有在基板进给方向较长的俯视下呈长方形的形状，形成为能够经由在工作台下方沿着基板进给方向配置的转动轴3倾斜移动，以使沿着长度方向的一侧边2a成为倾斜下位。另外，用于使工作台2从水平的姿态摆动到倾斜姿态的液压缸4设置于工作台2的下表面。需要说明的是，以下，将基板进给方向设为X方向，将在水平面上相对于X方向正交的方向设为Y方向来进行说明。

工作台2由所谓的“浮动工作台”形成，该浮动工作台在表面形成有多个空气喷出用的小孔(未图示)，利用来自该小孔的喷出空气而使载置的长方形基板以不与工作台面接触的方式上浮。

另外，设置有输送构件14，该输送构件14用吸附垫14a从上空吸附长方形基板W并在X方向上输送。吸附垫14a由支承部14b保持，并且以能够沿着在X方向上延伸的引导件14c移动的方式安装。另外，吸附垫14a形成为能够通过工作缸14d升降。

并且，在工作台2倾斜移动时，在成为倾斜下位侧的一侧边2a的附近，在工作台上表面设置有两个止动件6、6。该止动件6、6在与转动轴3平行的假想线上隔开间隔而配置，并形成为在工作台2倾斜移动时，工作台上的长方形基板W利用自重向倾斜下位侧移动而沿着长度方向的一侧边与该止动件6、6抵接而停止。止动件6由以橡胶等弹性材料构成的辊形成，且以由该辊的圆周面止挡长方形基板W的方式形成。另外，止动件6被支承臂7保持，支承臂7形成为能够沿着驱动部8的、在X方向上延伸的导轨8a移动，由此，能够调整相对于长方形基板W的抵接位置。

刻划部1具备上下的刻划头10，该上下的刻划头10在被输送来的长方形基板W的上方及下方位置分别具有刀轮9。刻划头10能够上下移动地安装在以横跨被输送来的长方形基板W的方式设置的门型的框体11上，且形成为能够沿着设置于框体11的横梁(梁)12的引导件13在Y方向上移动。由此，通过一边将刀轮9按压于基板W的表面一边使其在Y方向上移动，能够在长方形基板W的表背两面加工沿着Y方向的刻划线。

接下来，对组装有本定位机构的基板加工装置的动作进行说明。

首先，如图4所示，将长方形基板W以长度方向朝向X方向的姿态载置在工作台上。作为要切断的长方形基板W，在本实施例中，将层叠了多个基板的层叠基板作为对象。另外，如之前所说明的那样，长方形基板W由切断图案来设定，该切断图案为沿着虚线所示的切断预定线S划分的四个单位基板W1隔着边料区域T排列而成。

在将长方形基板W送入刻划部1之前，对载置于工作台2上的长方形基板W进行定位。该定位是为了在由刻划部1对长方形基板W进行刻划时，使基板的Y方向的刻划预定线S沿着刀轮的行进方向准确地定位。

基板的定位是通过驱动液压缸4以工作台2的侧边2a成为倾斜下位的方式使工作台倾斜移动而进行的。此时，使长方形基板W的进给方向后端面与安装于工作台2的抵接辊5接触。

当使工作台2倾斜移动时，长方形基板因自重而向倾斜下位侧移动，长方形基板W的沿着长度方向的一侧边与止动件6抵接而停止。通过在该停止的位置预先设定两个止动件6的位置，以使长方形基板的Y方向的刻划预定线S与刀轮9的行进方向一致，从而能够准确地进行基板的定位。需要说明的是，在使工作台倾斜移动时，使空气从设置于工作台上表面的小孔喷出而使基板W略微上浮至无接触状态，由此能够使其顺畅地沿着倾斜面移动。

在进行该定位时，可以使止动件6沿着驱动部8的导轨8a移动来调整其位置以与长方形基板W的边料区域T的部分接触。由此，止动件6与切断时被舍弃的边料区域部分抵接，因而能够避免作为产品的单位基板W1的端面受损。另外，止动件6由辊形成，且设置为在其圆周面与长方形基板W抵接，因此即使是宽度窄的边料区域T，也能够以圆周的点接触准确地与边料区域部分抵接，并且由于止动件6的材料为弹性材料，因此能够温和地进行止挡。

在进行定位之后，使工作台2恢复为水平，由输送构件14的吸附垫14a吸附长方形基板W并沿X方向输送，并在刻划预定线S到达与刻划部1的刀轮10相对的位置时使其停止而载置于工作台上。并且，通过一边将刀轮10按压于基板表面一边使其在Y方向上行进，由此能够沿着刻划预定线S准确地加工切断用的刻划线。

加工有刻划线的长方形基板W进一步向X方向被输送，在下一个工序中从刻划线切断而取出单位基板W1。

这样，根据本发明的基板定位机构，仅通过使作为输送台的工作台倾斜移动就能够自动且迅速地进行基板的定位，从而能够提高基板加工作业的效率化，并且由于用于倾斜移动的机构简单，因而能够廉价地提供。

以上，对本发明的代表性的实施例进行了说明，但本发明并不限定于上述的实施方式。例如代替上述工作台也可以是能够倾斜移动的输送机。另外，在上述实施例中，利用刀轮加工刻划线，但也可以通过激光的照射进行加工。并且，在上述实施例中，将长方形基板作为加工对象，但不限于长方形基板，而能够将四边形的基板整体作为加工对象。

另外，被加工的基板对象可以是从仅一张的单板到层叠了多个基板而成的层叠基板，材料上也可以将玻璃等脆性材料基板、树脂基板作为对象。需要说明的是，在被加工的基板为单板的情况下，可以省略上述的断开部的上下的刀轮中的任一个。

产业上的可利用性

本发明的基板定位机构能够用于在基板加工刻划线时的基板定位。

Claims

1.一种基板定位机构，其是基板加工装置的基板定位机构，该基板加工装置将载置于基板输送用的工作台的基板送入刻划部而在基板表面加工切断用的刻划线，其中，

所述工作台形成为能够经由沿着基板进给方向的转动轴倾斜移动，

在当所述工作台倾斜移动时成为倾斜下位侧的工作台上表面设置有多个止动件，

所述多个止动件在与所述转动轴平行的线上隔开间隔而配置。

2.根据权利要求1所述的基板定位机构，其中，

所述工作台在俯视下形成为四边形，所述工作台的一侧边形成为在工作台倾斜移动时成为倾斜下位侧。

3.根据权利要求1或2所述的基板定位机构，其中，

所述工作台由浮动工作台形成，所述浮动工作台从形成于该浮动工作台的表面的多个小孔喷出压缩空气使基板上浮。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板定位机构，其中，

所述止动件形成为能够沿着基板进给方向移动。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板定位机构，其中，

所述止动件由以弹性材料构成的辊形成，且以由该辊的圆周面止挡基板的方式形成。

6.一种基板定位方法，其是将向刻划部输送的在工作台上载置的基板定位于适当位置的定位方法，其中，

在所述基板定位方法中，

使所述工作台经由沿着基板进给方向的转动轴倾斜移动，使工作台上的基板利用自重向倾斜下位侧移动，

通过使基板的一侧边与在倾斜下位侧待机的止动件抵接来进行基板的定位。