JPH1035882A - 板状物の作業位置への非接触連続搬送装置 - Google Patents
板状物の作業位置への非接触連続搬送装置Info
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- JPH1035882A JPH1035882A JP19332096A JP19332096A JPH1035882A JP H1035882 A JPH1035882 A JP H1035882A JP 19332096 A JP19332096 A JP 19332096A JP 19332096 A JP19332096 A JP 19332096A JP H1035882 A JPH1035882 A JP H1035882A
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- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
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- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
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- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス板の撓みを防止して表面に非接触で連
続してガラス板を搬送し、しかも作業位置でガラス板を
高精度に安定保持し得る板状物の作業位置への非接触連
続搬送装置を提供すること。 【解決手段】 板状物１の側部を支持し、作業位置７に
向けて搬送する搬送手段３と、前記搬送手段３により搬
送される板状物１を一方の表面側から非接触で保持する
非接触流体保持手段４と、前記非接触流体保持手段４へ
の流体の供給・停止を制御し、板状物１の非接触保持・
解放を行なわせる流体供給制御手段５と、板状物１を安
定保持した非接触流体保持手段４を、作業位置７の手前
から作業位置を通過し終わるまでの間、板状物１の搬送
方向に移動させる移動機構６とで構成した。
続してガラス板を搬送し、しかも作業位置でガラス板を
高精度に安定保持し得る板状物の作業位置への非接触連
続搬送装置を提供すること。 【解決手段】 板状物１の側部を支持し、作業位置７に
向けて搬送する搬送手段３と、前記搬送手段３により搬
送される板状物１を一方の表面側から非接触で保持する
非接触流体保持手段４と、前記非接触流体保持手段４へ
の流体の供給・停止を制御し、板状物１の非接触保持・
解放を行なわせる流体供給制御手段５と、板状物１を安
定保持した非接触流体保持手段４を、作業位置７の手前
から作業位置を通過し終わるまでの間、板状物１の搬送
方向に移動させる移動機構６とで構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板等の板状
物を検査等の作業位置へ非接触で連続して搬送するため
の装置に関するものである。
物を検査等の作業位置へ非接触で連続して搬送するため
の装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、製造されたガラス板の表
面や内部に傷、泡、異物等の欠点がないかどうかを検査
する場合、ガラス板を検査作業位置へ連続的に搬送する
ことになる。
面や内部に傷、泡、異物等の欠点がないかどうかを検査
する場合、ガラス板を検査作業位置へ連続的に搬送する
ことになる。
【０００３】この搬送時、ガラス板を水平状態に保持
し、ガラス板の表面に搬送手段を接触させて搬送するの
が従来一般的に行なわれている。
し、ガラス板の表面に搬送手段を接触させて搬送するの
が従来一般的に行なわれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記方法で
は、ガラス板の表面側たる検査面に搬送手段が直接接触
するため、ガラス板に傷や汚れ等が付着する欠点があっ
た。また、ガラス板に自重による撓みが生じ、検査に悪
影響がでる欠点があった。
は、ガラス板の表面側たる検査面に搬送手段が直接接触
するため、ガラス板に傷や汚れ等が付着する欠点があっ
た。また、ガラス板に自重による撓みが生じ、検査に悪
影響がでる欠点があった。
【０００５】本発明の目的は、ガラス板の撓みを防止し
て表面に非接触で連続してガラス板を搬送し、しかも作
業位置でガラス板を高精度に安定保持し得る板状物の作
業位置への非接触連続搬送装置を提供することにある。
て表面に非接触で連続してガラス板を搬送し、しかも作
業位置でガラス板を高精度に安定保持し得る板状物の作
業位置への非接触連続搬送装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の目的を
達成するために、板状物の側部を支持し、作業位置に向
けて搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送され
る板状物を一方の表面側から非接触で保持する非接触流
体保持手段と、前記非接触流体保持手段への流体の供給
・停止を制御し、板状物の非接触保持・解放を行なわせ
る流体供給制御手段と、板状物を安定保持した非接触流
体保持手段を、作業位置の手前から作業位置を通過し終
わるまでの間、板状物の搬送方向に移動させる移動機構
とで板状物の作業位置への非接触連続搬送装置を構成し
たものである。 また、本発明は、前記装置を搬送方向
に２つ連設し、各装置で非接触流体保持手段による板状
物の保持位置を相異なる位置に設定したものである。
達成するために、板状物の側部を支持し、作業位置に向
けて搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送され
る板状物を一方の表面側から非接触で保持する非接触流
体保持手段と、前記非接触流体保持手段への流体の供給
・停止を制御し、板状物の非接触保持・解放を行なわせ
る流体供給制御手段と、板状物を安定保持した非接触流
体保持手段を、作業位置の手前から作業位置を通過し終
わるまでの間、板状物の搬送方向に移動させる移動機構
とで板状物の作業位置への非接触連続搬送装置を構成し
たものである。 また、本発明は、前記装置を搬送方向
に２つ連設し、各装置で非接触流体保持手段による板状
物の保持位置を相異なる位置に設定したものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明装置の第１実施例を
示す搬送開始時の平面図、図２はその正面図、図３は搬
送途中の平面図、図４はその正面図、図５は搬送終了時
の平面図、図６はその正面図、図７は移動機構の概略斜
視図を示している。
示す搬送開始時の平面図、図２はその正面図、図３は搬
送途中の平面図、図４はその正面図、図５は搬送終了時
の平面図、図６はその正面図、図７は移動機構の概略斜
視図を示している。
【０００８】図１において、１は板状物で本実施例では
ガラス板を示す。２は検査装置で本実施例ではレーザ光
を利用した光学式欠点検査装置を示し、通過するガラス
板１の欠点の有無を検査するものである。３は搬送手段
で本実施例ではコロコンベア３ａと無端搬送ベルト３ｂ
とで構成した場合を示す。４は非接触流体保持手段、５
は流体供給制御手段、６は移動機構を示す。
ガラス板を示す。２は検査装置で本実施例ではレーザ光
を利用した光学式欠点検査装置を示し、通過するガラス
板１の欠点の有無を検査するものである。３は搬送手段
で本実施例ではコロコンベア３ａと無端搬送ベルト３ｂ
とで構成した場合を示す。４は非接触流体保持手段、５
は流体供給制御手段、６は移動機構を示す。
【０００９】上記搬送手段３は、検査装置２が設置され
た作業位置７及びその前後に設置され、ガラス板１の側
部、本実施例ではガラス板１の下側部をコロコンベア３
ａで支持して無端搬送ベルト３ｂのワーク搬送アタッチ
メント３ｃによってガラス板１の後端を押して垂直状態
で搬送するものである。コロコンベア３ａは、コロ取付
けベース３ｄに等間隔で水平に取付けられた支持軸３ｅ
に回転自在に装着されたゴム等の緩衝材で表面を被覆さ
れたコロ３ｆからなる。無端搬送ベルト３ｂは、コロコ
ンベア３ａの一側に配置され、２つのプーリ３ｇ、３ｈ
間に無端状に張設され、一方のプーリがモータ（図示省
略）によって連続駆動され、これによって、ワーク搬送
アタッチメント３ｃがガラス板１の後端部を押して検査
装置２が設置された作業位置７へ搬送する。ワーク搬送
アタッチメント３ｃは、ゴム等の緩衝材で表面を被覆さ
れ、無端搬送ベルト３ｂに等間隔で適宜数設置される。
た作業位置７及びその前後に設置され、ガラス板１の側
部、本実施例ではガラス板１の下側部をコロコンベア３
ａで支持して無端搬送ベルト３ｂのワーク搬送アタッチ
メント３ｃによってガラス板１の後端を押して垂直状態
で搬送するものである。コロコンベア３ａは、コロ取付
けベース３ｄに等間隔で水平に取付けられた支持軸３ｅ
に回転自在に装着されたゴム等の緩衝材で表面を被覆さ
れたコロ３ｆからなる。無端搬送ベルト３ｂは、コロコ
ンベア３ａの一側に配置され、２つのプーリ３ｇ、３ｈ
間に無端状に張設され、一方のプーリがモータ（図示省
略）によって連続駆動され、これによって、ワーク搬送
アタッチメント３ｃがガラス板１の後端部を押して検査
装置２が設置された作業位置７へ搬送する。ワーク搬送
アタッチメント３ｃは、ゴム等の緩衝材で表面を被覆さ
れ、無端搬送ベルト３ｂに等間隔で適宜数設置される。
【００１０】作業位置７の前後には、ガラス板１を表面
側から垂直状態に保持させるための非接触流体保持手段
の保持ヘッド８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｄが定置される。こ
れらの構成により、搬送手段３は、ガラス板１の表面、
即ち検査面に対して非接触で、ガラス板１を検査装置２
が設置された作業位置７へ搬送させており、ガラス板１
に傷や汚れを付着させることはない。なお、非接触流体
保持手段の保持ヘッド８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｄの構成及
び保持原理は、次に説明する非接触流体保持手段４と同
様である。
側から垂直状態に保持させるための非接触流体保持手段
の保持ヘッド８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｄが定置される。こ
れらの構成により、搬送手段３は、ガラス板１の表面、
即ち検査面に対して非接触で、ガラス板１を検査装置２
が設置された作業位置７へ搬送させており、ガラス板１
に傷や汚れを付着させることはない。なお、非接触流体
保持手段の保持ヘッド８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｄの構成及
び保持原理は、次に説明する非接触流体保持手段４と同
様である。
【００１１】非接触流体保持手段４は、所謂ベルヌーイ
チャックを保持ヘッド４ａ〜４ｄとして使用する。この
ベルヌーイチャックの原理は、空気を対象物に向けて噴
出することにより、対象物とベルヌーイチャックとの間
隔に応じて、エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負
圧の発生或いは圧力室形エアクッション効果による正圧
の発生により、対象物に接触することなく対象物を懸垂
保持するというものであって、搬送手段３により搬送さ
れるガラス板１を一方の表面側から非接触で保持する。
チャックを保持ヘッド４ａ〜４ｄとして使用する。この
ベルヌーイチャックの原理は、空気を対象物に向けて噴
出することにより、対象物とベルヌーイチャックとの間
隔に応じて、エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負
圧の発生或いは圧力室形エアクッション効果による正圧
の発生により、対象物に接触することなく対象物を懸垂
保持するというものであって、搬送手段３により搬送さ
れるガラス板１を一方の表面側から非接触で保持する。
【００１２】流体供給制御手段５は、前記搬送手段３に
よるガラス板１の作業位置７への搬送に関連して非接触
流体保持手段４の保持ヘッド４ａ〜４ｄ及び作業位置７
の前後に定置された保持ヘッド８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｄ
への流体の供給・停止を制御し、ガラス板１の非接触保
持・解放を行なわせるもので、例えば、搬送手段３の途
中適所にガラス板１の到来或いは通過等を検出させるた
めの位置検出センサ（図示省略）を設置し、これによっ
て電磁弁を開閉制御させるものである。なお、使用する
流体として、コンプレッサ等で一定圧力に調整された圧
縮空気が使用される。
よるガラス板１の作業位置７への搬送に関連して非接触
流体保持手段４の保持ヘッド４ａ〜４ｄ及び作業位置７
の前後に定置された保持ヘッド８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｄ
への流体の供給・停止を制御し、ガラス板１の非接触保
持・解放を行なわせるもので、例えば、搬送手段３の途
中適所にガラス板１の到来或いは通過等を検出させるた
めの位置検出センサ（図示省略）を設置し、これによっ
て電磁弁を開閉制御させるものである。なお、使用する
流体として、コンプレッサ等で一定圧力に調整された圧
縮空気が使用される。
【００１３】移動機構６は、図７に示すように、モータ
６ａで正逆回転駆動されるボールねじ６ｂに噛合させた
ボールナット６ｃを介して非接触流体保持手段４を取付
けた移動体６ｄを案内レール６ｅに沿って往復移動させ
るようにしたものである。この移動機構６によって、非
接触流体保持手段４を、作業位置の手前から作業位置を
通過し終わるまでの間、ガラス板１の搬送方向に移動さ
せるものである。ところで、今仮に、非接触流体保持手
段４を図１の検査装置２の作業位置７の両側（左右）に
各々固定的に設置し、ガラス板１の保持を右側の非接触
流体保持手段から左側の非接触流体保持手段に移し替え
るようにした場合は、ガラス板１が図１の右側から左側
へ搬送される際、ガラス板１の前端縁（左端）が左側の
非接触流体保持手段の前を通過するとき、及びガラス板
１の後端縁（右端）が右側の非接触流体保持手段の前を
通過するときに噴射される流体圧力によってガラス板１
が不規則に振動し、保持が不安定となり、検査装置２に
よる検査精度が低下することになる。
６ａで正逆回転駆動されるボールねじ６ｂに噛合させた
ボールナット６ｃを介して非接触流体保持手段４を取付
けた移動体６ｄを案内レール６ｅに沿って往復移動させ
るようにしたものである。この移動機構６によって、非
接触流体保持手段４を、作業位置の手前から作業位置を
通過し終わるまでの間、ガラス板１の搬送方向に移動さ
せるものである。ところで、今仮に、非接触流体保持手
段４を図１の検査装置２の作業位置７の両側（左右）に
各々固定的に設置し、ガラス板１の保持を右側の非接触
流体保持手段から左側の非接触流体保持手段に移し替え
るようにした場合は、ガラス板１が図１の右側から左側
へ搬送される際、ガラス板１の前端縁（左端）が左側の
非接触流体保持手段の前を通過するとき、及びガラス板
１の後端縁（右端）が右側の非接触流体保持手段の前を
通過するときに噴射される流体圧力によってガラス板１
が不規則に振動し、保持が不安定となり、検査装置２に
よる検査精度が低下することになる。
【００１４】そこで、本発明は、非接触流体保持手段４
を最初は検査装置２の作業位置７の手前に待機させてお
き、搬送手段３で搬送されるガラス板１が作業位置７の
所定距離手前まで来たときガラス板１の一方の表面を非
接触で保持する動作を開始させて、ガラス板１を安定し
た状態に保持し、非接触流体保持手段４をガラス板１の
搬送に同調して移動させ、ガラス板１を作業位置７に向
けて搬送させる（図１、図２参照）。そして、作業位置
７では非接触流体保持手段４を停止させ、ガラス板１に
対する安定した保持を維持したまま、ガラス板１を搬送
させることにより作業位置７の前をそれの検査面全長に
亘って通過させる（図３、図４参照）。次いで、作業位
置７の前を通過させたガラス板１をなお安定した保持状
態に維持したまま、非接触流体保持手段４をガラス板１
の搬送に同調して移動させ、ガラス板１を搬送させる
（図５、図６参照）。図示した例において、搬送手段３
により搬送されるガラス板１が図１、図２の状態から図
５、図６の状態に移行する間、右側の非接触流体保持手
段の保持ヘッド８ａ〜８ｄからガラス板１が保持を開放
される時、及び左側の非接触流体保持手段の保持ヘッド
９ａ〜９ｄにガラス板１が保持される時に、ガラス板１
に振動が生じても、作業位置７におけるガラス板１の検
査面の部所は前記非接触流体保持手段４により常に安定
保持されていることにより影響を受けることはない。な
お、非接触流体保持手段４の移動は上記の例に限定され
ず、作業位置７において減速移動、間欠移動であっても
よい。
を最初は検査装置２の作業位置７の手前に待機させてお
き、搬送手段３で搬送されるガラス板１が作業位置７の
所定距離手前まで来たときガラス板１の一方の表面を非
接触で保持する動作を開始させて、ガラス板１を安定し
た状態に保持し、非接触流体保持手段４をガラス板１の
搬送に同調して移動させ、ガラス板１を作業位置７に向
けて搬送させる（図１、図２参照）。そして、作業位置
７では非接触流体保持手段４を停止させ、ガラス板１に
対する安定した保持を維持したまま、ガラス板１を搬送
させることにより作業位置７の前をそれの検査面全長に
亘って通過させる（図３、図４参照）。次いで、作業位
置７の前を通過させたガラス板１をなお安定した保持状
態に維持したまま、非接触流体保持手段４をガラス板１
の搬送に同調して移動させ、ガラス板１を搬送させる
（図５、図６参照）。図示した例において、搬送手段３
により搬送されるガラス板１が図１、図２の状態から図
５、図６の状態に移行する間、右側の非接触流体保持手
段の保持ヘッド８ａ〜８ｄからガラス板１が保持を開放
される時、及び左側の非接触流体保持手段の保持ヘッド
９ａ〜９ｄにガラス板１が保持される時に、ガラス板１
に振動が生じても、作業位置７におけるガラス板１の検
査面の部所は前記非接触流体保持手段４により常に安定
保持されていることにより影響を受けることはない。な
お、非接触流体保持手段４の移動は上記の例に限定され
ず、作業位置７において減速移動、間欠移動であっても
よい。
【００１５】斯様にして、ガラス板１が作業位置７を通
過し終わるまでの間、ガラス板１を安定保持した非接触
流体保持手段４を、ガラス板１の搬送方向に移動させる
ことによって、継続して同一条件でガラス板１を非接触
で安定保持させることができる。そして、次のガラス板
１の先端が図１及び図２に示す位置に到達する前に非接
触流体保持手段４を非保持状態で移動機構６により復帰
させて、再び前記動作を反復させるものである。
過し終わるまでの間、ガラス板１を安定保持した非接触
流体保持手段４を、ガラス板１の搬送方向に移動させる
ことによって、継続して同一条件でガラス板１を非接触
で安定保持させることができる。そして、次のガラス板
１の先端が図１及び図２に示す位置に到達する前に非接
触流体保持手段４を非保持状態で移動機構６により復帰
させて、再び前記動作を反復させるものである。
【００１６】上記動作中の非接触流体保持手段４の保持
ヘッド４ａ〜４ｄ及び定置された保持ヘッド８ａ〜８
ｄ、９ａ〜９ｄに対する流体供給制御手段５の流体供給
と停止とによるガラス板１の保持・解放動作は、図１及
び図２の状態では、４ａ〜４ｄ及び８ａ〜８ｄがＯＮ
（保持）状態で、９ａ〜９ｄがＯＦＦ（解放）状態であ
り、図３及び図４の状態では、４ａ〜４ｄ及び８ａ、８
ｃがＯＮ状態で、８ｂ、８ｄ及び９ａ〜９ｄがＯＦＦ状
態であり、図５及び図６の状態では、４ａ〜４ｄ及び９
ａ〜９ｄがＯＮ状態で、８ａ〜８ｄがＯＦＦ状態とされ
る。なお、このＯＮ・ＯＦＦ制御は、上記のものに制約
されるものではなく、他の制御方式としてもよい。例え
ば、ガラス板１の先端が到達すると一列毎に順次ＯＮと
なり、ガラス板１が通過し終わると一列毎に順次ＯＦＦ
となるようにしたり、二列毎にＯＮ・ＯＦＦ制御しても
よい。
ヘッド４ａ〜４ｄ及び定置された保持ヘッド８ａ〜８
ｄ、９ａ〜９ｄに対する流体供給制御手段５の流体供給
と停止とによるガラス板１の保持・解放動作は、図１及
び図２の状態では、４ａ〜４ｄ及び８ａ〜８ｄがＯＮ
（保持）状態で、９ａ〜９ｄがＯＦＦ（解放）状態であ
り、図３及び図４の状態では、４ａ〜４ｄ及び８ａ、８
ｃがＯＮ状態で、８ｂ、８ｄ及び９ａ〜９ｄがＯＦＦ状
態であり、図５及び図６の状態では、４ａ〜４ｄ及び９
ａ〜９ｄがＯＮ状態で、８ａ〜８ｄがＯＦＦ状態とされ
る。なお、このＯＮ・ＯＦＦ制御は、上記のものに制約
されるものではなく、他の制御方式としてもよい。例え
ば、ガラス板１の先端が到達すると一列毎に順次ＯＮと
なり、ガラス板１が通過し終わると一列毎に順次ＯＦＦ
となるようにしたり、二列毎にＯＮ・ＯＦＦ制御しても
よい。
【００１７】図８及び図９は、本発明の第２実施例の平
面図及び正面図であって、前記非接触流体保持手段の保
持ヘッド８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｄに代えて、ガラス板１
の上側部及び下側部を複数個のＶ溝型ローラ１０、１１
で保持するように構成したもので他の構成及び動作は前
記実施例と同様であるため省略する。なお、Ｖ溝型ロー
ラ１０、１１の表面は、ゴム等の緩衝材で被覆されてい
るものである。
面図及び正面図であって、前記非接触流体保持手段の保
持ヘッド８ａ〜８ｄ、９ａ〜９ｄに代えて、ガラス板１
の上側部及び下側部を複数個のＶ溝型ローラ１０、１１
で保持するように構成したもので他の構成及び動作は前
記実施例と同様であるため省略する。なお、Ｖ溝型ロー
ラ１０、１１の表面は、ゴム等の緩衝材で被覆されてい
るものである。
【００１８】また、上記非接触流体保持手段の保持ヘッ
ドの配置及び設置数は、適宜変更可能であり、前記第１
実施例における非接触流体保持手段４の保持ヘッドの設
置数、作業位置７の前後に定置された保持ヘッド８ａ〜
８ｄ及び９ａ〜９ｄの設置数を増加させることにより、
検査位置７を通過させるガラス板１の保持の安定性を向
上させることができる。
ドの配置及び設置数は、適宜変更可能であり、前記第１
実施例における非接触流体保持手段４の保持ヘッドの設
置数、作業位置７の前後に定置された保持ヘッド８ａ〜
８ｄ及び９ａ〜９ｄの設置数を増加させることにより、
検査位置７を通過させるガラス板１の保持の安定性を向
上させることができる。
【００１９】図１０は、例えば、レーザ光等の透過検査
を作業位置において行なう場合を示すもので、作業位置
７、７’をガラス板１の搬送方向に２個所設置したもの
である。この場合、一方の非接触流体保持手段４の保持
ヘッド４ａ〜４ｄと他方の非接触流体保持手段４’の保
持ヘッド４ａ’〜４ｄ’とは互いに異なる高さ位置に設
置されている。即ち、一方の非接触流体保持手段４の上
段の保持ヘッド４ａ、４ｂと下段の保持ヘッド４ｃ、４
ｄとの間、他方の非接触流体保持手段４’の上段の保持
ヘッド４ａ’、４ｂ’と下段の保持ヘッド４ｃ’、４
ｄ’との間には各々透過窓１２、１２’が形成されてお
り、一方の非接触流体保持手段４において、下段の保持
ヘッド４ｃ、４ｄは他方の非接触流体保持手段４’の透
過窓１２’の高さ位置に設置され、他方の非接触流体保
持手段４’において、上段の保持ヘッド４ａ’、４ｂ’
は前記一方の非接触流体保持手段４の透過窓１２の高さ
位置に設置されている。これにより、ガラス板１をレー
ザ光等で透過検査する場合、１つ目の非接触流体保持手
段４の保持ヘッド４ａ〜４ｄによりレーザ光等の透過検
査の妨げとなる位置以外を２つ目の非接触流体保持手段
４’の保持ヘッド４ａ’〜４ｄ’の設置位置とし、透過
検査を全体に亘って実施することができるようにしたも
のである。なお、図１０において、９ａ’〜９ｄ’は２
つ目の装置の後工程側に設置された非接触流体保持手段
を示している。
を作業位置において行なう場合を示すもので、作業位置
７、７’をガラス板１の搬送方向に２個所設置したもの
である。この場合、一方の非接触流体保持手段４の保持
ヘッド４ａ〜４ｄと他方の非接触流体保持手段４’の保
持ヘッド４ａ’〜４ｄ’とは互いに異なる高さ位置に設
置されている。即ち、一方の非接触流体保持手段４の上
段の保持ヘッド４ａ、４ｂと下段の保持ヘッド４ｃ、４
ｄとの間、他方の非接触流体保持手段４’の上段の保持
ヘッド４ａ’、４ｂ’と下段の保持ヘッド４ｃ’、４
ｄ’との間には各々透過窓１２、１２’が形成されてお
り、一方の非接触流体保持手段４において、下段の保持
ヘッド４ｃ、４ｄは他方の非接触流体保持手段４’の透
過窓１２’の高さ位置に設置され、他方の非接触流体保
持手段４’において、上段の保持ヘッド４ａ’、４ｂ’
は前記一方の非接触流体保持手段４の透過窓１２の高さ
位置に設置されている。これにより、ガラス板１をレー
ザ光等で透過検査する場合、１つ目の非接触流体保持手
段４の保持ヘッド４ａ〜４ｄによりレーザ光等の透過検
査の妨げとなる位置以外を２つ目の非接触流体保持手段
４’の保持ヘッド４ａ’〜４ｄ’の設置位置とし、透過
検査を全体に亘って実施することができるようにしたも
のである。なお、図１０において、９ａ’〜９ｄ’は２
つ目の装置の後工程側に設置された非接触流体保持手段
を示している。
【００２０】本発明において板状物の搬送は、垂直状態
に限らず、水平状態、傾斜状態の搬送も可能である。
に限らず、水平状態、傾斜状態の搬送も可能である。
【００２１】本発明における非接触流体保持手段４へ供
給する流体の供給経路には、クリーンフィルターを設置
し、清浄な流体を噴出させ、高度の清浄雰囲気が要求さ
れるガラス板１の精密検査等に適用することができる。
給する流体の供給経路には、クリーンフィルターを設置
し、清浄な流体を噴出させ、高度の清浄雰囲気が要求さ
れるガラス板１の精密検査等に適用することができる。
【００２２】また、本発明は、ガラス板１の検査以外
に、板状物の各種作業位置への非接触連続搬送装置とし
て適用することができる。
に、板状物の各種作業位置への非接触連続搬送装置とし
て適用することができる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、板状物の撓み
を防止して非接触で連続して板状物を搬送し、しかも、
作業位置で板状物を高精度に安定保持させることがで
き、検査等の精密な作業を対象物を連続的に移動させな
がら実施することができ、作業能率の向上が図れる。
を防止して非接触で連続して板状物を搬送し、しかも、
作業位置で板状物を高精度に安定保持させることがで
き、検査等の精密な作業を対象物を連続的に移動させな
がら実施することができ、作業能率の向上が図れる。
【００２４】請求項２の発明によれば、対象物全面を透
過検査する場合に適用して、上記と同様な効果がある。
過検査する場合に適用して、上記と同様な効果がある。
【図１】本発明装置の第１実施例の搬送開始時の状態を
示す平面図。
示す平面図。
【図２】図１の正面図。
【図３】本発明装置の第１実施例の搬送途中の状態を示
す平面図。
す平面図。
【図４】図３の正面図。
【図５】本発明装置の第１実施例の搬送終了時の状態を
示す平面図。
示す平面図。
【図６】図５の正面図。
【図７】移動機構の概略斜視図。
【図８】本発明装置の第２実施例の平面図。
【図９】図８の正面図。
【図１０】本発明装置の第３実施例の正面図。
１ ガラス板 ２ 検査装置 ３ 搬送手段 ４ 非接触流体保持手段 ５ 流体供給制御手段 ６ 移動機構 ７ 検査作業位置
Claims (2)
- 【請求項１】 板状物の側部を支持し、作業位置に向け
て搬送する搬送手段と、 前記搬送手段により搬送される板状物を一方の表面側か
ら非接触で保持する非接触流体保持手段と、 前記非接触流体保持手段への流体の供給・停止を制御
し、板状物の非接触保持・解放を行なわせる流体供給制
御手段と、 板状物を安定保持した非接触流体保持手段を、作業位置
の手前から作業位置を通過し終わるまでの間、板状物の
搬送方向に移動させる移動機構とで構成したことを特徴
とする板状物の作業位置への非接触連続搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１の装置を搬送方向に２つ連設
し、各装置で非接触流体保持手段による板状物の保持位
置を相異なる位置に設定したことを特徴とする板状物の
作業位置への非接触連続搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19332096A JPH1035882A (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | 板状物の作業位置への非接触連続搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19332096A JPH1035882A (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | 板状物の作業位置への非接触連続搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1035882A true JPH1035882A (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=16305950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19332096A Withdrawn JPH1035882A (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | 板状物の作業位置への非接触連続搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1035882A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7066071B2 (en) | 2003-05-01 | 2006-06-27 | Helen Of Troy Limited | Food slicer |
| JP2010155771A (ja) * | 2008-11-25 | 2010-07-15 | Corning Inc | ガラスシート輸送のためのガス噴射ベアリング |
| KR101024644B1 (ko) | 2004-01-30 | 2011-03-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유체를 이용한 유리 기판 반송 장치 |
| JP2013043829A (ja) * | 2011-08-24 | 2013-03-04 | Corning Inc | 板ガラスをキャラクタリゼーションするための装置および方法 |
| JP2014022744A (ja) * | 2012-07-19 | 2014-02-03 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 非接触マルチ搬送装置及びそれを用いた異物除去方法 |
| WO2022202224A1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法 |
-
1996
- 1996-07-23 JP JP19332096A patent/JPH1035882A/ja not_active Withdrawn
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| JP5974199B1 (ja) * | 2011-08-24 | 2016-08-23 | コーニング インコーポレイテッド | 板ガラスをキャラクタリゼーションするための方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031007 |