CN210982251U - 玻璃基板运动状态缺陷检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及玻璃基板生产检测线技术领域，公开了一种玻璃基板运动状态缺陷检测设备，包括用于输送玻璃基板的输送装置、用于检测玻璃基板缺陷的缺陷检测装置以及用于承载所述缺陷检测装置以使得所述缺陷检测装置与所输送的玻璃基板同步运动的移载装置。本实用新型提供的玻璃基板运动状态缺陷检测设备在不干扰玻璃基板以正常速度运送的情况下对玻璃基板的缺陷进行复检，提高了运送玻璃基板的效率，提高了工厂的工作节奏。

Description

玻璃基板运动状态缺陷检测设备

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板生产检测线技术领域，具体地涉及一种玻璃基板运动状态缺陷检测设备。

背景技术

玻璃基板作为液晶显示面板的重要组成部分，生产过程中对其品质管控非常严格，需要对玻璃基板内部的铂金、结石、气泡等缺陷进行检测拍照，并通过图像分析处理进行缺陷分类和尺寸测量。目前生产中，玻璃基板的内部缺陷检测需要由面检设备和复检设备配合完成初步缺陷检测和二次缺陷鉴定。

现有的复检设备，要求玻璃基板输送进入复检设备后，减速至静止；在玻璃基板静止状态下，控制单元根据面检设备提供的缺陷坐标，通过移载装置将光学系统移动到缺陷处进行检测拍照进行二次鉴定。

因缺陷的复检工作需要在玻璃基板静止状态下完成，而玻璃基板的减速、定位、停止、光学系统移动拍照、再次启动、输送等需要的时间叠加起来超过了产线其它工位的时间，因此复检工位成为整条产线的瓶颈。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的二次检测导致玻璃基板运输时间过长的问题，提供一种玻璃基板运动状态缺陷检测设备，该玻璃基板运动状态缺陷检测设备的缺陷检测装置可以跟随玻璃基板进行相对于玻璃基板静止的运动，避免了在二次检测中玻璃基板的启停问题。

为了实现上述目的，本实用新型一方面提供一种玻璃基板运动状态缺陷检测设备，包括：用于输送玻璃基板的输送装置、用于检测玻璃基板缺陷的缺陷检测装置以及用于承载所述缺陷检测装置以使得所述缺陷检测装置与所输送的玻璃基板同步运动的移载装置。

优选的，所述移载装置包括沿X向延伸的第一部件以及沿Y向延伸的第二部件，所述第二部件能沿所述第一部件的延伸方向移动，所述缺陷检测装置设置在能够沿第二部件的延伸方向移动的第三部件上，其中，所述X向与所述玻璃基板的输送方向一致，所述Y向与所述X向垂直。

优选的，所述输送装置包括机架，所述第一部件为相对所述机架固定的导轨，所述第二部件为能够沿所述导轨移动的丝杠，所述第三部件为与所述丝杠配合的螺母。

优选的，玻璃基板运动状态缺陷检测设备还包括用于检测所述输送装置所输送的玻璃基板的位置的玻璃基板位置检测装置。

优选的，所述玻璃基板位置检测装置设置有多个，沿所述玻璃基板的输送方向间隔设置。

优选的，所述玻璃基板位置检测装置之间的间隔为200～250mm。

优选的，玻璃基板运动状态缺陷检测设备还包括用于根据所述玻璃基板位置检测装置所获得的所述玻璃基板的位置信息来控制所述移载装置从而使得所述缺陷检测装置与玻璃基板同步的控制单元。

优选的，所述输送装置包括用于使得玻璃基板悬浮的气浮系统以及用于支撑在玻璃基板一侧以驱动所述玻璃基板行走的输送滚轮。

优选的，所述气浮系统和输送滚轮设置为保持所述玻璃基板能够在所述输送滚轮上倾斜输送。

优选的，所述第一部件有两个且固定在机架垂直于玻璃基板运行方向的两侧，第一部件的导轨方向分别与玻璃基板运行方向平行。

本实用新型第二方面提供一种输送检测装置，其特征在于，包括上面所述的任意一种玻璃基板运动状态缺陷检测装置。

通过上述技术方案，玻璃基板运动状态缺陷检测设备通过移载装置使得缺陷检测装置相对于玻璃基板有着相对静止的运动状态，在不干扰玻璃基板以正常速度运送的情况下对玻璃基板的缺陷进行复检，提高了运送玻璃基板的效率，提高了工厂的工作节奏。

附图说明

图1是玻璃基板运动状态缺陷检测装置的结构示意图；

图2是玻璃基板运动状态缺陷检测装置的另一视角的结构示意图。

附图标记说明

1-玻璃基板位置检测装置，2-第一部件，3-第二部件，4-缺陷检测装置，5-气浮系统，6-输送滚轮。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

一种玻璃基板运动状态缺陷检测设备，包括用于输送玻璃基板的输送装置、用于检测玻璃基板缺陷的缺陷检测装置以及用于承载所述缺陷检测装置4以使得所述缺陷检测装置4与所输送的玻璃基板同步运动的移载装置。

缺陷检测装置4和玻璃基板的同步运行，使得缺陷检测装置4在与玻璃基板保持相对静止的状态下可以更加清楚地对玻璃基板的缺陷处进行确认；与此同时，玻璃基板照常运输，整个检测过程中，玻璃基板不需要减速、定位、停止、再启动等操作，提高了运输检测效率。

玻璃基板在缺陷检测装置4进行检测前，通常通过免检设备对玻璃基板进行整板检测拍照，并通过电脑系统或其它系统获取玻璃内部缺陷的坐标、种类、尺寸、形状等初始资料，然后在通过缺陷检测装置4进行二次检测。根据初始资料，需要控制缺陷检测装置4移动到玻璃基板的缺陷处，使其相对缺陷静止。因此移载装置需要设置为能够带动陷检测装置4在平面内任意移动。

优选的，所述移载装置包括沿X向延伸的第一部件2以及沿Y向延伸的第二部件3，所述第二部件3能沿所述第一部件2的延伸方向移动，所述缺陷检测装置4设置在能够沿第二部件3的延伸方向移动的第三部件上，其中，所述X向与所述玻璃基板的输送方向一致，所述Y向与所述X向垂直。

本领域技术人员可以理解的是，移载装置还可以为其它的能够带动缺陷检测装置4移动的机构，例如，可以能够控制为能够与玻璃同步行走的夹持机构(例如机械手臂)。

第一部件2、第二部件3和第三部件的连接使得缺陷检测装置4可以在玻璃基板的输送方向和与玻璃基板的输送方向垂直的方向上进行运动，这方便移载装置移载缺陷检测装置4与玻璃基板进行相对静止的运动，通过第三部件相对于第二部件3在Y向上定位，且第二部件3相对第一部件2相对移动速度和玻璃基板运输速度设置相同，就可以实现缺陷检测装置4与玻璃基板缺陷的同步运行，结构简单，方便实用。

进一步的，所述输送装置包括机架，所述第一部件2为相对所述机架固定的导轨，所述第二部件3为能够沿所述导轨移动的丝杠，所述第三部件为与所述丝杠配合的螺母。

本领域技术人员可以理解的是，能够使得缺陷检测装置4与玻璃基板同步运行的移载装置并不限于本实施方式中第一部件为导轨，第二部件为丝杠的结构形式；也可以为例如：第一部件2也可以为相对于机架固定的丝杠；所述第二部件3为能够沿所述丝杠移动的导轨，导轨和丝杠通过螺母连接；所述第三部件为与所述导轨相配合的滑块的结构形式。

导轨具有定位精度高、磨耗少且能适宜高速平稳运动的特点，更加适宜缺陷检测装置4在玻璃基板运输方向上的频繁移动的工作；而丝杠螺母的精度较高，便于在垂直于玻璃基板运输方向寻找要检测的部分。

优选的，还包括用于检测所述输送装置所输送的玻璃基板的位置的玻璃基板位置检测装置1。

玻璃基板位置检测装置1用于查看玻璃基板的位置以便更好地确定缺陷位置进行下一步检测。

优选的，所述玻璃基板位置检测装置1设置有多个，沿所述玻璃基板的输送方向间隔设置。优选的，所述玻璃基板位置检测装置1之间的间隔为200～250mm。

因为玻璃基板是实时运动的，每个时刻的运动状态有可能发生改变；间隔设置的玻璃基板位置检测装置1可以更加精确的确定玻璃基板的位置和运动状态以便更加精确地检测缺陷。

优选的，玻璃基板运动状态缺陷检测设备还包括用于根据所述玻璃基板位置检测装置1所获得的所述玻璃基板的位置信息来控制所述移载装置从而使得所述缺陷检测装置4与玻璃基板同步的控制单元。

控制单元可以实时收集玻璃基板的位置信息经过计算反馈到移载装置上，帮助缺陷检测装置4与玻璃基板实时同步运行。

优选的，所述输送装置包括用于使得玻璃基板悬浮的气浮系统5以及用于支撑在玻璃基板一侧以驱动所述玻璃基板行走的输送滚轮6。

气浮系统5的存在一定程度上避免了玻璃基板接触设备造成的损伤，而输送滚轮6是必要的接触和运输玻璃基板的设置。

优选的，所述气浮系统5和输送滚轮6设置为保持所述玻璃基板能够在所述输送滚轮6上倾斜输送。

这个设置使得玻璃基板的大部分重量落到输送滚轮6上面，这使得玻璃基板和输送滚轮的摩擦力较大，方便玻璃基板的运输，避免打滑；另一方面，也方便气浮系统5释放较小的气流就可以托举玻璃基板。

优选的，所述第一部件2有两个且固定在机架垂直于玻璃基板运行方向的两侧，第一部件2的导轨方向分别与玻璃基板运行方向平行。

与玻璃基板运行方向平行的第一部件2方便缺陷检测装置4沿着玻璃基板方向运动。

以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于此。在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型。包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本实用新型所公开的内容，均属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，包括：用于输送玻璃基板的输送装置、用于检测玻璃基板缺陷的缺陷检测装置以及用于承载所述缺陷检测装置(4)以使得所述缺陷检测装置(4)与所输送的玻璃基板同步运动的移载装置。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，所述移载装置包括沿X向延伸的第一部件(2)以及沿Y向延伸的第二部件(3)，所述第二部件(3)能沿所述第一部件(2)的延伸方向移动，所述缺陷检测装置(4)设置在能够沿第二部件(3)的延伸方向移动的第三部件上，其中，所述X向与所述玻璃基板的输送方向一致，所述Y向与所述X向垂直。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，所述输送装置包括机架，所述第一部件(2)为相对所述机架固定的导轨，所述第二部件(3)为能够沿所述导轨移动的丝杠，所述第三部件为与所述丝杠配合的螺母。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，还包括用于检测所述输送装置所输送的玻璃基板的位置的玻璃基板位置检测装置(1)。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，所述玻璃基板位置检测装置(1)设置有多个，沿所述玻璃基板的输送方向间隔设置。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，所述玻璃基板位置检测装置(1)之间的间隔为200～250mm。

7.根据权利要求5所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，还包括用于根据所述玻璃基板位置检测装置(1)所获得的所述玻璃基板的位置信息来控制所述移载装置从而使得所述缺陷检测装置(4)与玻璃基板同步的控制单元。

8.根据权利要求3所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，所述输送装置包括用于使得玻璃基板悬浮的气浮系统(5)以及用于支撑在玻璃基板一侧以驱动所述玻璃基板行走的输送滚轮(6)。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，所述气浮系统(5)和输送滚轮(6)设置为保持所述玻璃基板能够在所述输送滚轮(6)上倾斜输送。

10.根据权利要求3所述的玻璃基板运动状态缺陷检测设备，其特征在于，所述第一部件(2)有两个且固定在机架垂直于玻璃基板运行方向的两侧，第一部件(2)的导轨方向分别与玻璃基板运行方向平行。

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