TWI393878B - 面板檢測裝置及檢測面板的方法 - Google Patents

面板檢測裝置及檢測面板的方法 Download PDF

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TWI393878B
TWI393878B TW097131406A TW97131406A TWI393878B TW I393878 B TWI393878 B TW I393878B TW 097131406 A TW097131406 A TW 097131406A TW 97131406 A TW97131406 A TW 97131406A TW I393878 B TWI393878 B TW I393878B
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Ching Chun Chien
Chih Chiang Lee
Kuo Chang Teng
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Chunghwa Picture Tubes Ltd
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Description

面板檢測裝置及檢測面板的方法
本發明提供一種面板檢測裝置及檢測面板之方法,尤指一種在兩相鄰輸送機之間對面板進行檢測之面板檢測裝置及檢測方法。
相較於傳統非平面顯示器,例如陰極射線管顯示器,由於平面顯示器具有重量較輕與厚度較薄等特性,因此使得平面顯示器已逐漸成為市場上的主流產品。依據顯示技術的不同,目前較常見的平面顯示器包括電漿顯示面板、液晶顯示面板與有機發光顯示面板。為了維持產品的品質,上述各種顯示面板在製程之中皆須經過檢測,以排除具有缺陷之產品。以液晶顯示面板為例,在製作完上、下玻璃基板上之電子元件後,其中段製程包括間隔物散佈、貼合、裂片、灌注液晶及封口等,而在裂片階段之後便需檢測玻璃基板之邊緣是否具有缺陷。另一方面,在大量生產不同尺寸或規格之面板產品時,生產線上亦需要對各種面板產品表面上之特徵(例如二維條碼)進行判讀,以有效管理面板之生產與製程。由上述可知,在面板廠之生產線上,對面板表面進行檢測是一必要之程序。然而以往之面板表面檢測皆須仰賴人工目視而完成,為了提升檢出效率以及檢測結果之準確性,業界已提出符合自動化檢測方式之檢測機台。
然而,目前業界所使用之檢測機台皆需包括許多機械裝置,且 檢測流程非常繁複,影響產品之整體生產效率(tact time)。一種習知面板檢測裝置之技術係揭露於中華民國專利I273233中,其面板檢測裝置至少包含二互相垂直之線性導軌體、一旋轉體、一載盤體、旋轉用馬達、四掃描體以及二對位裝置。其中載盤體係用來承載被檢測之面板,而固定面板之方式例如是以真空方式吸著面板。在檢測過程中,需先對面板進行對位、固定於載盤體上,然後使掃描體沿著一線性導軌體滑動至一適當位置,再使載盤體帶動面板在另一線性導軌體上滑動以供掃描體檢測。待掃描體檢測完該面板之二長邊或短邊後,利用旋轉體帶動載盤體使面板旋轉90度,再使面板於線性導軌體上滑動以供掃描體檢測另外二側邊。檢測完畢後,另需破真空(break vacuum)以利用一撈爪將面板從載盤體上取下。由上述可知,現行之面板檢測方法的流程繁瑣,在抓取與吸附面板之過程中也容易造成面板刮傷與損壞,且目前業界所普遍使用之面板檢測裝置必須佔用一定之設備空間,其機械裝置又多,因此必須耗費相當之維修與備品成本。
本發明之目的之一在於提供一面板檢測之方法與面板檢測裝置,其係利用相鄰面板輸送機之間隙進行面板檢測程序,以解決上述習知技術中面板檢測機台龐大且檢測流程複雜等問題。
本發明提供一種面板檢測裝置,其係用來檢測一面板,該面板 具有至少一第一側邊與至少一第二側邊。本發明之面板檢測裝置包含有:一第一影像擷取元件,設於相鄰之一第一輸送機與一第二輸送機之一間隙上方或下方,其中該第一輸送機係用來將面板以大體平行於面板第一側邊之方向傳送給第二輸送機;一基準感應器,設於該間隙中或該第一輸送機上;以及一第一線性傳送機構,以大體上平行於該間隙之方向對應該第一影像擷取元件而設於該間隙上方或下方,且第一影像擷取元件可沿著第一線性傳送機構而在該間隙上方或下方進行一線性位移運動。當面板之第二側邊通過基準感應器時,基準感應器可啟動第一影像擷取元件在一預定之時間後對該面板進行一影像擷取動作。
本發明另提供一種檢測面板之方法,其係用來檢測一面板,且該面板具有至少一第一側邊與至少一第二側邊。本發明檢測面板之方法包含首先提供相鄰之一第一輸送機與一第二輸送機,其中該第一輸送機與第二輸送機之間具有一間隙,且第一輸送機係用來將面板以大體上平行於該第一側邊之方向傳送給第二輸送機。接著提供一面板檢測裝置,其包含一第一影像擷取元件設於該間隙之上方或下方,以及一基準感應器,設於該間隙中或該第一輸送機上。進行面板檢測時,利用第一輸送機將面板往第二輸送機之方向傳送,當面板之第二側邊通過基準感應器時,使第一影像擷取元件在一預定之時間後對面板進行一影像擷取動作。
由於本發明係利用相鄰之輸送機之間隙進行面板檢測,且僅需 要一影像擷取元件、一基準感應器與一線性傳送機構便可在該間隙中對輸送中之面板進行至少一種面板表面之檢測,因此本發明之面板檢測裝置所需之機械設備較少也較簡便,檢測程序也較習知技術簡化許多,能有效節省設備成本以及大幅提高生產效率。
以下為有關本發明之詳細說明與附圖。然而所附圖式僅供參考與輔助說明用,並非用來對本發明加以限制者。
請參考第1圖至第2圖,第1圖為本發明面板檢測裝置之第一實施例的側面外觀示意圖,而第2圖為第1圖所示面板檢測裝置的上視圖。本發明之面板檢測裝置10大體上係設於相鄰之第一輸送機20與第二輸送機30之間,其中第一輸送機20與第二輸送機30係為獨立之輸送裝置,兩者之間具有一間隙22,且第一輸送機20可將面板40傳送給第二輸送機30。在本實施例中,欲檢測之面板40包含二第一側邊42與二第二側邊44a、44b,其中第二側邊44a係位於傳送中面板40之前端,而第二側邊44b係位於面板40之後端。此外,在本實施例中,第一側邊42係為矩形面板40之長邊,而第二側邊44a、44b為面板40之短邊。第一輸送機20與第二輸送機30分別包含複數個滾軸(roller)24、32,其上另可包含一至多個透明或不透明之輸送帶(圖未示)設於滾軸24、32上,藉由滾軸24、32之轉動,第一輸送機20與第二輸送機30可將面板40以大體上平行於第一側邊42之方向(亦即第2圖所示 之X方向)傳送。
本發明之面板檢測裝置10包含至少一設於間隙22上方之影像擷取元件12、一基準感應器14設於間隙22之中、以及一線性傳送機構16,以平行於間隙22之方向對應第一影像擷取元件12而設於間隙22上方,其可包含一直線馬達(圖未示)。影像擷取元件12係連動於線性傳送機構16,可沿著線性傳送機構16在間隙22上方進行一線性位移運動,亦即影像擷取元件12可沿著第2圖所示之Y方向前後移動。在本實施例中,基準感應器14係設於間隙22中,其可藉由一設於第一輸送機20或第二輸送機30上之固定元件(圖未示)使其定位於間隙22中。基準感應器14可包含一光電開關,用來感應第一輸送機20上之面板40是否到達一特定位置。因此,在其他實施例中,基準感應器14亦可直接設置於第一輸送機20上,例如設置在第一輸送機20之平台26上,或者當傳送帶為透明時,基準感應器14亦可設置在滾軸24之間。
影像擷取元件12可包含一電荷耦合元件(charge coupled device,CCD)、一互補式金氧半導體(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)感測元件或其他種類之影像感測元件,其中當影像擷取元件12使用CCD當作之感測元件時,其可包含一線型掃描CCD(line scan CCD)或一面型CCD(area CCD)。面板檢測裝置10另可包含一光源13,設於間隙22附近,以提供影像擷取動作時所需之光源。光源13可為影像擷取元件12之同軸 光源,亦可為背光源,設於間隙22下方,如第1圖所示。此外,面板檢測裝置10可包含一影像平台11架設於第二輸送機30之兩側上方,而線性傳送機構16與影像擷取元件12即設置於影像平台11上。然而,在其他實施例中,影像平台11亦可架設於第一輸送機20的兩側或設置於第一輸送機20之上。
在本發明之第一實施例中,面板檢測裝置10可用來對面板40表面上之特徵或標記進行識別檢測,其中該特徵或標記之位置舉例可設於如第2圖所示之圓圈處,而本發明面板檢測裝置10對面板40之特徵或標記的檢測方法請參考第3圖,其步驟如下:步驟100:提供相鄰之第一輸送機20與第二輸送機30,其中第一輸送機20與第二輸送機30之間具有一間隙22,且第一輸送機20可將面板40以大體上平行於第一側邊42之方向傳送給第二輸送機30;步驟102:提供本發明之面板檢測裝置10設於第一輸送機20與第二輸送機30之間,其中面板檢測裝置10包括一設於第一輸送機20與第二輸送機30之間隙22上方的第一影像擷取元件12、一設於間隙22中且耦合於第一影像擷取元件12之基準感應器14、以及一設於間隙22上方之線性傳送機構16;步驟104:依據欲檢測之面板40的尺寸、規格以及其特徵或標記所在位置,對面板檢測裝置10輸入一檢測參數,並使影像擷取元件12沿著線性傳送機構16進行一線性位 移運動至一適當位置,因此當面板40通過間隙22時,影像擷取元件12可剛好直接擷取到面板40表面上之特徵或標記而不需再位移;步驟106:將面板40置放於第一輸送機20上,藉由第一輸送機20將面板40往第二輸送機30之方向傳送,如第2圖所示之X方向,第一輸送機20係將面板40由左側往右側傳送;以及步驟108:當面板40前端(即圖式中之右側)之第二側邊44a通過基準感應器14時,啟動影像擷取元件12根據上述檢測參數,在一預定時間之後對面板40進行影像擷取動作,以擷取面板40表面該特徵或標記之影像,進行辨識。
上述面板40上之特徵或標記可包含二維條碼,或其他用來辨識產品規格或面板製造時所必須之產品特徵。此外,面板檢測裝置10另可包含一面板定位機構18設置於第一輸送機20上,用來使面板40在第一輸送機20上之一預定區域28內被傳送至第二輸送機30,因此當面板40通過間隙22時,定位在線性傳送機構16上之影像擷取元件12不需再線性位移便可直接擷取面板40上之特徵或標記。
在其他實施例中,本發明面板檢測裝置10之影像擷取元件12、基準感應器14、線性傳送機構16等元件亦可設於間隙22下 方,而光源13則可設於間隙22上方,並利用類似於前述實施例之步驟方式以檢測面板。
請參考第4圖,第4圖為本發明面板檢測方法之另一實施例的示意圖。若欲檢測之面板40上的特徵或標記在傳送時係位於後端之第二側邊44b附近,如第4圖所示之面板標記46,則根據本發明之方法,亦可在面板檢測裝置10中設定不同之檢測參數,設定當面板40前側之第二側邊44a通過基準感應器14之一較長時間後,影像擷取元件12再對通過間隙22之面板40的第二側邊44b附近之特定部份進行影像擷取,使其能剛好擷取到設在第二側邊44b附近之特徵或標記,此時面板40之大部分區域已傳送至第二輸送機30上。同樣地,面板檢測裝置10可另包含面板定位機構18設於第二輸送機30上,以使面板40在第二輸送機30上之特定區域34內進行傳送。另一方面,本發明檢測方法亦可設定當面板40後端之第二側邊44b通過基準感應器14之後,再使面板40往回行走一固定之距離後停止,讓面板標記46剛好停在間隙22中,以使影像擷取元件12可擷取面板標記46之影像。
本發明之面板檢測方法的優點包括在進行如特徵辨識之面板檢測時,係在第一與第二輸送機20、30之間隙22中完成檢測,幾乎不會影響第一與第二輸送機20、30輸送面板40之程序,因此在進行面板檢測之同時,第一與第二輸送機20、30仍可持續地傳送面板40。此外,在其他實例中,也可設定使面板40之特徵所 在部分被輸送至間隙22時,先短暫暫停輸送或減速傳送,待影像擷取元件12擷取到該特徵之影像後,便可繼續以正常速度將面板40朝第二輸送機30傳送。因此,根據本發明面板檢測裝置10與面板檢測之方法,能有效節省檢測時間與提高整體生產效率。此外,面板檢測裝置10之主要元件可以結合設置於第一或第二輸送機20、30上,或者架設於間隙22上方,亦能大幅節省設備空間。再者,由於本發明方法係在間隙22中進行檢測,因此可以配合任何形式的光源,光束不會受阻擋且能依據需要調整設置位置,例如將光源13設置在間隙22下方形成背光源,便能改善影像擷取的效果。
請參考第5圖至第8圖,第5圖與第6圖分別為本發明面板檢測裝置之第二實施例的上視與側視外觀示意圖,第7圖顯示出本發明面板檢測裝置之影像擷取元件的移動路線示意圖,而第8圖為本發明面板檢測方法之第二實施例的流程示意圖。在本實施例中,本發明之面板檢測裝置50可用來對面板40進行邊緣缺陷之檢測,亦即檢測面板40之前端第二側邊44a、後端第二側邊44b與第一側邊42的上、下表面是否具有缺陷。面板檢測裝置50係設於相鄰第一輸送機70與第二輸送機80之間隙72附近,其包含一影像平台52架設於第二輸送機80之兩側、一第一影像擷取部54以及一第二影像擷取部56設於影像平台52上。第一影像擷取部54包含一第一線性傳送機構541、一第一影像擷取元件542以及一第二影像擷取元件543,其中第一影像擷取元件542與第二影 像擷取元件543皆位於間隙72之上。第一影像擷取元件542係連動於第一線性傳送機構541上,其可藉由第一線性傳送機構541所包含之一直線馬達(圖未示)作動而沿著間隙72進行一線性位移運動,同時可對通過間隙72中的面板40之上表面進行連續之影像擷取動作。此外,第二影像擷取元件543可直接固設在影像平台52上,以定位於間隙72上方之方式進行連續之影像擷取。然而,第二影像擷取元件543亦可連動於第一線性傳送機構541或其他線性傳送機構,以和第一影像擷取元件542具有相同的功能,可沿著第一線性傳送機構541進行線性位移並連續擷取面板40之影像。第二影像擷取部56包含一第三影像擷取元件562、一第四影像擷取元件563(繪於第7圖)以及一第二線性傳送機構561對應第三影像擷取元件562而設在間隙72下側,第6圖顯示出第二線性傳送機構561係設於第一輸送機70之下方。第三影像擷取元件562係連動於第二線性傳送機構561,可藉由一直線馬達而使第三影像擷取元件562沿著第二線性傳送機構561而在間隙72之間進行線性位移,同時對於通過間隙72中的面板40之下表面進行影像擷取。第四影像擷取元件563則設於間隙72下方另一側,可固定於影像平台52上,或者可類似於第三影像擷取元件562,連動於第二線性傳送機構561,以沿著間隙72之方向做線性位移。由上述可知,類似於前一實施例,面板檢測裝置50係利用間隙72當作面板檢測點,可同時以第一與第二影像擷取部54、56對通過間隙72之面板40進行檢測。
此外,面板檢測裝置50可另包含一第一基準感應器581與一第二基準感應器582,設置於影像平台52上或第一輸送機70上。 在本實施例中,第一、第二基準感應器581、582係分別裝設於第一輸送機70上與間隙72之中,可感應面板40是否通過第一輸送機70之特定位置或間隙72。第一基準感應器581另耦合於第一輸送機70,能控制第一輸送機70傳送面板40之速度,例如本發明方法可將第一基準感應器581之所在位置視為一檢測流程之待位點,當面板40通過第一基準感應器581時,可控制第一輸送機70減速或使面板40先停止於待位點,再將面板40傳送至第二基準感應器582之位置。另一方面,第二基準感應器582之所在位置可視為面板40之檢測點,且第二基準感應器582可耦合於第一與第二影像擷取部54、56,當感應到面板40之前端(即第二側邊44a)通過時,可啟動第一與第二影像擷取部54、56進行一影像擷取,以檢測面板40表面是否具有缺陷。因此,第一與第二基準感應器581、582亦可耦合於第一與第二輸送機70、80,以在進行檢測時利用第一與第二輸送機70、80使面板40停止、往前或往回行走。再者,面板檢測裝置50另可包含一面板定位機構(圖未示),當面板40通過待位點時,面板定位機構可對面板40進行一定位程序,以將面板40定位於第一輸送機70上之特定區域內而通過間隙72以進行檢測。
利用本發明面板檢測裝置50而對面板40之邊緣表面進行檢測之方法係如第8圖所示,包含下列步驟: 步驟200:提供相鄰第一輸送機70與第二輸送機80,其中第一輸送機70與第二輸送機80之間具有一間隙72,且第一輸送機70係用來將面板40以大體上平行於其第一側邊42之方向傳送給第二輸送機80;步驟202:提供如前所述之本發明面板檢測裝置50設於第一輸送機70與第二輸送機80之間,面板檢測裝置50包含設於間隙72上側之第一影像擷取部54與設於間隙72下側之第二影像擷取部56,分別用來檢測面板40之上表面與下表面;步驟204:以第一輸送機70傳送面板40,當面板40前端之第二側邊44a經過第一基準感應器581時,亦即面板40通過檢測程序之待位點時,使面板40減速,此時可利用面板定位機構對面板進行定位;步驟206:當面板40前端之第二側邊44a通過第二基準感應器582時,亦即面板40通過檢測點時,面板檢測裝置50控制第一輸送機70暫停傳送面板40,並使第二側邊44a暴露於間隙72中;步驟208:使第一與第三影像擷取元件542、562同時沿著第一與第二線性傳送機構541、561與間隙72而進行橫向線性移動,對第二側邊44a之上、下兩側表面進行連續之影像擷取,以檢測其表面是否具有缺陷,檢測完畢之後,第一與第三影像擷取元件542、562位移至長邊檢測位置,亦即第一與第二影像擷取元件542、543需 分別位於面板40之上方兩側,而第三與第四影像擷取元件562、563則分別位於面板40之下方兩側;步驟210:啟動第一輸送機70傳送面板40,在面板40通過第二輸送機80之期間,第一、第二、第三及第四影像擷取元件542、543、562、563分別固定不動,並對經過間隙72之面板40的兩側第一側邊42之上、下表面進行連續影像擷取;步驟212:當面板40後端之第二側邊44b脫離第二基準感應器582時,使面板檢測裝置50控制第一第二輸送機70、80暫停傳送面板40,以使第二側邊44b暴露於間隙72中並停止在檢測點上;步驟214:使第一與第三影像擷取元件542、562同時沿著第一與第二線性傳送機構541、561進行橫向線性移動,對第二側邊44b之上、下兩側表面進行連續影像擷取以進行檢測;以及步驟216:檢測結束後,第二輸送機80繼續傳送面板40。
其中,在步驟208、214中進行面板40之短邊檢測時,第一與第三影像擷取元件542、562之移動路線方向可參考第7圖,其係沿著間隙72之方向橫向移動,以連續擷取第二側邊44a、44b之上、下表面之影像,待完成短邊檢測後,可再回到長邊檢測位置,以進行長邊檢測程序。此外,在本發明之其他實施例中,在步驟212、214欲對面板40後端之第二側邊44b進行檢測時,亦可控制 第二輸送機80使面板40稍微往後行走,以使第二側邊44b剛好位於較佳之檢測位置或停止於檢測點。再者,有關於藉由第一、第二基準感應器581、582來連動第一、第二輸送機70、80與第一、第二影像擷取部54、56之動作,皆可依據欲檢測面板40的尺寸及規格,預先設定一檢測參數於面板檢測裝置50中,以完成上述面板表面缺陷之檢測動作。
在本發明之其他實施例中,第一與第二影像擷取部54、56可分別僅包含一第一影像擷取元件542與一第三影像擷取元件562,分別對面板40之上下表面進行缺陷檢測。此外,在本發明之另一實施例中,面板檢測裝置50可以只包含一影像擷取部,例如僅包含第一影像擷取部54,當輸送面板40至間隙72時,其可對面板40之上表面進行檢測。在此情況下,若欲檢測面板40之下表面,則可利用撈爪或其他機構將面板40翻面,再以同樣地程序進行檢測。
此外,第一、第二、第三及第四影像擷取元件542、543、562、563可分別包含一CCD感測元件,例如一面型CCD或一線型掃描CCD。根據本發明面板檢測之方法,不論是採用面型CCD或線型掃描CCD,皆能得到良好的影像擷取效果,因此為了降低設備成本,第一、第二、第三及第四影像擷取元件542、543、562、563較佳使用面型CCD作為感測元件。
根據本發明之第二實施例,用於檢測面板邊緣缺陷之面板檢測裝置之主要機構僅需包含二基準感應器、二至四影像擷取元件以及二線性傳送機構(可搭配二直線馬達),且上述機構僅需設於二相鄰輸送機台之間隙附近即可進行面板檢測工作,能大幅節省設備空間。此外,即使欲檢測之面板係以稍微歪斜置放之形式通過輸送機之間隙,本發明面板檢測裝置仍可有效檢測到面板邊緣之情形。再者,本發明面板檢測方法係利用基準感應器與輸送機之連動,控制欲檢測面板往前、往後行走或停止於檢測點,再利用單一方向線性位移之影像擷取元件在橫向移動時擷取面板之影像,因此不像習知技術中需要至少兩組不同方向之線性傳送機構與直線馬達、對位影像擷取元件協助面板對位、以及必須利用真空載盤體及撈爪等機構將面板升降、旋轉或翻面才能完成所有檢測動作,因此可以有效節省設備成本。再者,相較於習知檢測程序,本發明面板檢測方法省略了面板標記對位、面板升降、面板旋轉與旋回、吸、破真空等動作,亦能減少整個檢測時間,其省略之檢測時間可高達數秒鐘,能大幅提昇整體生產效率。
本發明面板檢測方法與面板檢測裝置可適用於檢測各種平板工作物,並不限於液晶顯示面板,例如有機發光等其他平面顯示面板等都可利用本發明所提供之檢測裝置及方法進行檢測。相較於習知技術,本發明面板檢測方法與面板檢測裝置所需要之檢測設備簡單,且佔用設備空間較少,其能配合生產線上之任何機台,在相鄰之不同機台或輸送機之間進行面板檢測,而在進行面板檢 測之同時,上述之相鄰機台或輸送機仍可進行如面板上方吸著與移載、影像檢測、靜電消除、人工取板或其他之製程需求。此外,本發明面板檢測方法大幅縮減了習知檢測技術所使用之機構與元件,而用於擷取面板影像之影像擷取元件亦可採用成本較低之面型CCD,取代習知檢測裝置中成本昂貴的線型掃描CCD,因此可以降低設備成本。再者,即使在檢測程序中需要切換面板生產尺寸時,也完全不需要人員更換或調整任何檢測機構,能滿足經濟效益與自動化之要求。
以上所述僅為本發明之較佳實施例,凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾,皆應屬本發明之涵蓋範圍。
10‧‧‧面板檢測裝置
11‧‧‧影像平台
12‧‧‧影像擷取元件
13‧‧‧光源
14‧‧‧基準感應器
16‧‧‧線性傳送機構
18‧‧‧面板定位機構
20、70‧‧‧第一輸送機
22、72‧‧‧輸送機之間隙
24、32‧‧‧滾軸
26‧‧‧平台
28、34‧‧‧預定區域
30、80‧‧‧第二輸送機
40‧‧‧面板
42‧‧‧第一側邊
44a、44b‧‧‧第二側邊
46‧‧‧面板標記
50‧‧‧面板檢測裝置
52‧‧‧影像平台
54‧‧‧第一影像擷取部
541‧‧‧第一線性傳送機構
542‧‧‧第一影像擷取元件
543‧‧‧第二影像擷取元件
56‧‧‧第二影像擷取部
561‧‧‧第二線性傳送機構
562‧‧‧第三影像擷取元件
563‧‧‧第四影像擷取元件
581、582‧‧‧基準感應器
100~108‧‧‧本發明面板檢測方法之第一實施例的流程步驟
200~216‧‧‧本發明面板檢測方法之第二實施例的流程步驟
第1圖為本發明面板檢測裝置之第一實施例的側面外觀示意圖。
第2圖為第1圖所示面板檢測裝置的上視外觀示意圖。
第3圖為本發明面板檢測方法之第一實施例的流程示意圖。
第4圖為本發明面板檢測方法之另一實施例的設備外觀示意圖。
第5圖為本發明面板檢測裝置之第二實施例的上視外觀示意圖。
第6圖為本發明面板檢測裝置之第二實施例的側視外觀示意圖。
第7圖為本發明面板檢測裝置之影像擷取元件的移動路線示意圖。
第8圖為本發明面板檢測方法之第二實施例的流程示意圖。
40‧‧‧面板
42‧‧‧第一側邊
44a‧‧‧第二側邊
44b‧‧‧第二側邊
50‧‧‧面板檢測裝置
52‧‧‧影像平台
54‧‧‧第一影像擷取部
541‧‧‧第一線性傳送機構
542‧‧‧第一影像擷取元件
543‧‧‧第二影像擷取元件
581‧‧‧基準感應器
582‧‧‧基準感應器
70‧‧‧第一輸送機
72‧‧‧輸送機之間隙
80‧‧‧第二輸送機

Claims (19)

  1. 一種面板檢測裝置,其係用來檢測一面板,該面板具有至少一第一側邊與至少一第二側邊,該面板檢測裝置包含:一第一影像擷取元件,設於相鄰之一第一輸送機與一第二輸送機之一間隙上方或下方,其中該第一輸送機係用來將該面板以大體上平行於該第一側邊之方向傳送給該第二輸送機;至少一基準感應器,設於該間隙中或該第一輸送機上;一第一線性傳送機構,以大體上平行於該間隙之方向對應該第一影像擷取元件而設於該間隙上方或下方,且該第一影像擷取元件可沿著該第一線性傳送機構而在該間隙上方或下方進行一線性位移運動;以及一面板定位機構,設於該第一輸送機上,且該面板定位機構係用來使該面板於該第一輸送機上之一預定區域內被傳送至該第二輸送機,以使該第一影像擷取元件能直接擷取該面板之一特徵或一標記,而不需進行該線性位移運動;其中當該面板之該第二側邊通過該基準感應器時,該基準感應器會啟動該第一影像擷取元件在一預定之時間後對通過該間隙之部分該面板進行一影像擷取動作。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之面板檢測裝置,其另包含一第二影像擷取元件設於該間隙上方或下方,其可沿著該間隙而進行一線性位移運動。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之面板檢測裝置,其中該面板包含二第一側邊與二第二側邊,且該面板檢測裝置另包含:一第二影像擷取元件,設於該間隙上方,且該第一影像擷取元件、該第二影像擷取元件與該第一線性傳送機構係定義為一第一影像擷取部;一第二線性傳送機構,以平行於該間隙之方向而設於該間隙之下方;一第三影像擷取元件,設於該間隙下方,且該第三影像擷取元件可沿著該第二線性傳送機構而在該間隙下方進行一線性位移運動;以及一第四影像擷取元件,設於該間隙下方,且該第三影像擷取元件、該第四影像擷取元件以及該第二線性傳送機構係定義為一第二影像擷取部;其中當該面板由該第一輸送機傳送至該第二輸送機時,該第一影像擷取部與該第二影像擷取部係分別對該面板之該等第一側邊之上側與下側進行連續之影像擷取動作,且當該面板之一該第二側邊經過該間隙時,該面板檢測裝置可控制該第一輸送機暫停傳送該面板,同時該第一與該第三影像擷取元件可分別沿著該第一與該第二線性傳送機構進行該線性位移運動,以對該面板之該等第二側邊之上側與下側分別進行連續之影像擷取動作,且當該面板之一該第二側邊經過該基準感應器時,該面板檢測裝置係控制該第 一輸送機在一預定之時間後暫停傳送該面板,而在該第一與該第三影像擷取元件進行完該等連續之影像擷取動作之後,再使該第一輸送機繼續將該面板傳送至該第二輸送機。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之面板檢測裝置,其中當該面板離開該第一輸送機而通過該第二輸送機時,該面板檢測裝置可控制該第二輸送機暫停傳送該面板,以使該面板之一該第二側邊曝露於該間隙中,同時該第一與該第三影像擷取元件可分別沿著該第一與該第二線性傳送機構進行該等線性位移運動,以對該面板之該第二側邊之上側與下側分別進行連續之影像擷取動作。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之面板檢測裝置,其另包含一影像平台,架設於該第一或該第二輸送機之兩側或設置於該第一或該第二輸送機上,且該第一線性傳送機構係設於該影像平台上。
  6. 一種檢測面板之方法,其係用來檢測一面板,該面板具有至少一第一側邊與至少一第二側邊,該方法包含:提供相鄰之一第一輸送機與一第二輸送機,該第一輸送機與該第二輸送機之間具有一間隙,且該第一輸送機係用來將該面板以大體上平行於該第一側邊之方向傳送給該第二輸送機; 提供一面板檢測裝置,其包含:一第一影像擷取元件,設於該間隙之上方或下方;一第一線性傳送機構,平行於該間隙之方向對應該第一影像擷取元件而設於該間隙上方或下方,且該第一影像擷取元件可沿著該第一線性傳送機構而在該間隙上方或下方進行一線性位移運動;以及至少一基準感應器,設於該間隙中或該第一輸送機上;利用該第一輸送機將該面板往該第二輸送機之方向傳送;當該面板之該第二側邊通過該基準感應器時,使該第一影像擷取元件在一預定之時間後對該面板進行一影像擷取動作,並且當進行該影像擷取動作時,該第一影像擷取元件可同時沿著該第一線性傳送機構而進行該線性位移運動,以對該面板進行連續之影像擷取動作;以及根據該面板之規格或尺寸,對該面板檢測裝置設定一檢測參數,使該第一影像擷取元件根據該檢測參數而在該面板之該第二側邊通過該基準感應器之該預定時間後進行該影像擷取動作。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之方法,其中該面板包含二第一側邊,且該面板檢測裝置另包含一第二影像擷取元件設於該間隙上方或下方,其可沿著該間隙而進行一線性位移運動,當該面板由該第一輸送機通過該第二輸送機時,該第一與該第 二影像擷取元件係定位於該間隙之上,並分別對該面板之該些第一側邊進行連續之影像擷取動作。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之方法,其中該第一影像擷取元件係設於該間隙上方,該面板包含二第一側邊與二第二側邊,且該面板檢測裝置另包含:一第二影像擷取元件,固定於該間隙上方,且該第一影像擷取元件、該第二影像擷取元件與該第一線性傳送機構係定義為一第一影像擷取部;一第三影像擷取元件,設於該間隙下方,其可沿著該間隙進行一線性位移運動;以及一第四影像擷取元件,設於該間隙下方,且該第三影像擷取元件與該第四影像擷取元件係定義為一第二影像擷取部;該方法另包含當該面板由該第一輸送機通過該第二輸送機時,該第一影像擷取部與該第二影像擷取部分別對經過該間隙之該等第一側邊之上側與下側進行連續之影像擷取動作。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之方法,其另包含:在該第一輸送機傳送該面板至該第二輸送機之過程中,當該面板之一該第二側邊行進至該間隙時,使該第一輸送機暫停傳送該面板;使該第一與該第三影像擷取元件分別沿著該第二側邊進行線性位移運動,以對該第二側邊之上側與下側分別進行連續之 影像擷取動作;以及在進行完該連續之影像擷取動作之後,繼續傳送該面板至該第二輸送機。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之方法,其另包含:在該第一影像擷取部與該第二影像擷取部分別對該面板之該等第一側邊進行完該等連續之影像擷取動作之後,使該第一輸送機或該第二輸送機暫停傳送該面板,以使該面板之一該第二側邊曝露於該間隙中;以及使該第一與該第三影像擷取元件分別沿著該第二側邊進行該等線性位移運動,以對該面板之該第二側邊之上側與下側分別進行連續之影像擷取動作。
  11. 如申請專利範圍第6項所述之方法,其另包含提供一面板定位機構,用來使該面板於該第一輸送機上之一預定區域內被傳送至該第二輸送機,以使該第一影像擷取元件能直接擷取該面板之一特徵或一標記,而不需進行該線性位移運動。
  12. 如申請專利範圍第6項所述之方法,其另包含在檢測具有不同尺寸之面板時,輸入另一檢測參數,並使該第一影像擷取元件線性移動至一適當之位置,以使該第一影像擷取元件能直接擷取該面板之一特徵或一標記。
  13. 如申請專利範圍第6項所述之方法,其中該面板檢測裝置包含二基準感應器,分別設在該第一輸送機上以及該間隙中。
  14. 如申請專利範圍第6項所述之方法,其中該面板檢測裝置包含二基準感應器,分別設在該第二輸送機上以及該間隙中。
  15. 如申請專利範圍第6項所述之方法,其另包含下列步驟:提供一待位點與一檢測點,分別設於該第一輸送機與該間隙中;當該面板經過該待位點時,使該面板減速;以及當該面板經過該檢測點時,暫停傳送該面板,以讓該第一影像擷取元件進行該影像擷取動作。
  16. 一種檢測面板之方法,其係用來檢測一面板,該面板具有二第一側邊與至少一第二側邊,該方法包含:提供相鄰之一第一輸送機與一第二輸送機,該第一輸送機與該第二輸送機之間具有一間隙,且該第一輸送機係用來將該面板以大體上平行於該第一側邊之方向傳送給該第二輸送機;提供一面板檢測裝置,其包含:一第一影像擷取元件,設於該間隙之上方;一第一線性傳送機構,平行於該間隙之方向對應該第一影像擷取元件而設於該間隙上方或下方,且該第一 影像擷取元件可沿著該第一線性傳送機構而在該間隙上方或下方進行一線性位移運動;一第二影像擷取元件,固定於該間隙上方,且該第一影像擷取元件、該第二影像擷取元件與該第一線性傳送機構係定義為一第一影像擷取部;一第三影像擷取元件,設於該間隙下方,其可沿著該間隙進行一線性位移運動;一第四影像擷取元件,設於該間隙下方,且該第三影像擷取元件與該第四影像擷取元件係定義為一第二影像擷取部;以及至少一基準感應器,設於該間隙中或該第一輸送機上;利用該第一輸送機將該面板往該第二輸送機之方向傳送;當該面板之該第二側邊通過該基準感應器時,使該第一影像擷取元件在一預定之時間後對該面板進行一影像擷取動作,並且當進行該影像擷取動作時,該第一影像擷取元件可同時沿著該第一線性傳送機構而進行該線性位移運動,以對該面板進行連續之影像擷取動作;當該面板由該第一輸送機往該第二輸送機傳送而通過該間隙時,該第一影像擷取部與該第二影像擷取部分別對經過該間隙之該等第一側邊之上側與下側進行連續之影像擷取動作;在該第一影像擷取部與該第二影像擷取部分別對該面板之該等第一側邊進行完該等連續之影像擷取動作之後,使該 第一輸送機或該第二輸送機暫停傳送該面板,以使該面板之一該第二側邊曝露於該間隙中;以及使該第一與該第三影像擷取元件分別沿著該第二側邊進行該等線性位移運動,以對該面板之該第二側邊之上側與下側分別進行連續之影像擷取動作。
  17. 一種檢測面板之方法,其係用來檢測一面板,該面板具有至少一第一側邊與至少一第二側邊,該方法包含:提供相鄰之一第一輸送機與一第二輸送機,該第一輸送機與該第二輸送機之間具有一間隙,且該第一輸送機係用來將該面板以大體上平行於該第一側邊之方向傳送給該第二輸送機;提供一面板檢測裝置,其包含:一第一影像擷取元件,設於該間隙之上方或下方;一第一線性傳送機構,平行於該間隙之方向對應該第一影像擷取元件而設於該間隙上方或下方,且該第一影像擷取元件可沿著該第一線性傳送機構而在該間隙上方或下方進行一線性位移運動;至少一基準感應器,設於該間隙中或該第一輸送機上;以及面板定位機構,用來使該面板於該第一輸送機上之一預定區域內被傳送至該第二輸送機,以使該第一影像擷取元件能直接擷取該面板之一特徵或一標記,而不需進 行該線性位移運動;利用該第一輸送機將該面板往該第二輸送機之方向傳送;以及當該面板之該第二側邊通過該基準感應器時,使該第一影像擷取元件在一預定之時間後對該面板進行一影像擷取動作,並且當進行該影像擷取動作時,該第一影像擷取元件可同時沿著該第一線性傳送機構而進行該線性位移運動,以對該面板進行連續之影像擷取動作。
  18. 一種檢測面板之方法,其係用來檢測一面板,該面板具有至少一第一側邊與至少一第二側邊,該方法包含:提供相鄰之一第一輸送機與一第二輸送機,該第一輸送機與該第二輸送機之間具有一間隙,且該第一輸送機係用來將該面板以大體上平行於該第一側邊之方向傳送給該第二輸送機;提供一面板檢測裝置,其包含:一第一影像擷取元件,設於該間隙之上方或下方;一第一線性傳送機構,平行於該間隙之方向對應該第一影像擷取元件而設於該間隙上方或下方,且該第一影像擷取元件可沿著該第一線性傳送機構而在該間隙上方或下方進行一線性位移運動;以及至少一基準感應器,設於該間隙中或該第一輸送機上;利用該第一輸送機將該面板往該第二輸送機之方向傳送; 當該面板之該第二側邊通過該基準感應器時,使該第一影像擷取元件在一預定之時間後對該面板進行一影像擷取動作,並且當進行該影像擷取動作時,該第一影像擷取元件可同時沿著該第一線性傳送機構而進行該線性位移運動,以對該面板進行連續之影像擷取動作;以及在檢測具有不同尺寸之面板時,輸入一檢測參數,並使該第一影像擷取元件線性移動至一適當之位置,以使該第一影像擷取元件能直接擷取該面板之一特徵或一標記。
  19. 一種檢測面板之方法,其係用來檢測一面板,該面板具有至少一第一側邊與至少一第二側邊,該方法包含:提供相鄰之一第一輸送機與一第二輸送機,該第一輸送機與該第二輸送機之間具有一間隙,且該第一輸送機係用來將該面板以大體上平行於該第一側邊之方向傳送給該第二輸送機;提供一面板檢測裝置,其包含:一第一影像擷取元件,設於該間隙之上方或下方;一第一線性傳送機構,平行於該間隙之方向對應該第一影像擷取元件而設於該間隙上方或下方,且該第一影像擷取元件可沿著該第一線性傳送機構而在該間隙上方或下方進行一線性位移運動;以及 至少一基準感應器,設於該間隙中或該第一輸送機上;利用該第一輸送機將該面板往該第二輸送機之方向傳送;當該面板之該第二側邊通過該基準感應器時,使該第一影像擷取元件在一預定之時間後對該面板進行一影像擷取動作,並且當進行該影像擷取動作時,該第一影像擷取元件可同時沿著該第一線性傳送機構而進行該線性位移運動,以對該面板進行連續之影像擷取動作;提供一待位點與一檢測點,分別設於該第一輸送機與該間隙中;當該面板經過該待位點時,使該面板減速;以及當該面板經過該檢測點時,暫停傳送該面板,以讓該第一影像擷取元件進行該影像擷取動作。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI510757B (zh) * 2014-10-22 2015-12-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 檢測裝置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101316812B1 (ko) * 2012-02-22 2013-10-23 주식회사 넥스트아이 엘시디 패널의 검사장치
TWI484164B (zh) * 2012-05-11 2015-05-11 Machvision Inc Optical re - inspection system and its detection method
TWI585395B (zh) * 2015-01-27 2017-06-01 政美應用股份有限公司 面板檢測裝置與方法
TWI598785B (zh) * 2015-01-29 2017-09-11 政美應用股份有限公司 觸控面板之檢測方法及裝置
TWI582413B (zh) * 2015-09-02 2017-05-11 由田新技股份有限公司 單側式及雙側式點燈檢查設備
SG10201508830PA (en) * 2015-10-26 2017-05-30 Bluplanet Pte Ltd Method and system to detect chippings on solar wafer
CN105509663B (zh) * 2016-02-17 2019-12-27 京东方光科技有限公司 一种背光源平整度检测系统及检测方法
TWI600885B (zh) * 2016-07-04 2017-10-01 Mas Automation Corp Optical panel detection method and apparatus thereof
CN106093059B (zh) * 2016-08-16 2019-11-19 杭州赤霄科技有限公司 卫生医疗防护用品口罩视觉检测系统
CN106932406A (zh) * 2017-04-28 2017-07-07 许迪 一种检测透明物体缺陷的装置
CN109484857A (zh) * 2018-12-25 2019-03-19 深圳市高美福电子有限公司 一种大尺寸导光板传送系统
CN117416747B (zh) * 2023-11-10 2024-04-19 常熟耀皮汽车玻璃有限公司 一种夹层玻璃商标印刷检测分流输送装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM285884U (en) * 2005-10-21 2006-01-11 Jye Jiang Technology Co Ltd Inspection device capable of promptly determining the quality of substrate
TW200706846A (en) * 2005-08-03 2007-02-16 Qi-Cheng Ye Image inspection method and structure of substrate

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5661408A (en) * 1995-03-01 1997-08-26 Qc Solutions, Inc. Real-time in-line testing of semiconductor wafers
JP3674584B2 (ja) * 2001-12-27 2005-07-20 セイコーエプソン株式会社 液晶表示装置、該液晶表示装置を備えた電子機器
US7295279B2 (en) * 2002-06-28 2007-11-13 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. System and method for manufacturing liquid crystal display devices
JP3657930B2 (ja) * 2002-07-05 2005-06-08 パイオニアプラズマディスプレイ株式会社 プラズマディスプレイパネルの製造方法、蛍光体層の検査方法及び蛍光体層の検査装置
JP4131853B2 (ja) * 2003-04-28 2008-08-13 株式会社 日立ディスプレイズ 表示装置の製造方法及び製造装置
US7356176B2 (en) * 2004-02-26 2008-04-08 Omron Corporation Mounting-error inspecting method and substrate inspecting apparatus using the method
TWI273233B (en) 2004-10-22 2007-02-11 Gallant Prec Machining Co Ltd Device of inspecting defects after breaking display panel and inspection method thereof
JP4704804B2 (ja) * 2005-05-18 2011-06-22 株式会社名南製作所 木材の節探査方法及び装置及びプログラム
TWM287936U (en) 2005-09-02 2006-02-21 Marketech Int Corp Improved LCD edge inspection machine structure
WO2008136067A1 (ja) * 2007-04-20 2008-11-13 Meinan Machinery Works, Inc. 木材の検査方法及び装置及びプログラム
WO2008153141A1 (ja) * 2007-06-15 2008-12-18 The Yokohama Rubber Co., Ltd. 長尺物の外観検査方法及びその装置
JP5159206B2 (ja) * 2007-08-08 2013-03-06 株式会社小松製作所 パネル排出装置
US8655048B2 (en) * 2008-02-05 2014-02-18 Centre De Recherche Industrielle Du Quebec Apparatus and method for measuring size distribution of granular matter
JP5322543B2 (ja) * 2008-09-08 2013-10-23 株式会社日立ハイテクノロジーズ 基板検査装置及び基板検査方法
US20100142796A1 (en) * 2008-12-05 2010-06-10 Jen-Ming Chang Inspection method and apparatus for substrate
US8260455B2 (en) * 2008-12-05 2012-09-04 Siemens Industry, Inc. Address label re-work station
JP5208801B2 (ja) * 2009-02-20 2013-06-12 株式会社東芝 光検出装置、及びこの光検出装置を備える紙葉類処理装置
JP5218177B2 (ja) * 2009-03-13 2013-06-26 オムロン株式会社 画像処理装置および方法
US8639012B2 (en) * 2009-03-20 2014-01-28 Bio-Rad Laboratories, Inc. Serial-line-scan-encoded multi-color fluorescence microscopy and imaging flow cytometry
US8284993B2 (en) * 2009-06-18 2012-10-09 Hytrol Conveyor Company, Inc. Decentralized tracking of packages on a conveyor
US8433124B2 (en) * 2010-01-07 2013-04-30 De La Rue North America Inc. Systems and methods for detecting an optically variable material

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200706846A (en) * 2005-08-03 2007-02-16 Qi-Cheng Ye Image inspection method and structure of substrate
TWM285884U (en) * 2005-10-21 2006-01-11 Jye Jiang Technology Co Ltd Inspection device capable of promptly determining the quality of substrate

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
何秉諺,圓柱型工件之新型線上光電檢測系統, 國立雲林科技大學資訊工程研究所碩士班碩士論文 2008/06 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI510757B (zh) * 2014-10-22 2015-12-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 檢測裝置

Also Published As

Publication number Publication date
US20100040277A1 (en) 2010-02-18
TW201009322A (en) 2010-03-01
US8023721B2 (en) 2011-09-20

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