WO2022202224A1

WO2022202224A1 - ガラス板の製造方法

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Publication number: WO2022202224A1
Application number: PCT/JP2022/009410
Authority: WO
Inventors: 薫鑑継; 愛信星野
Original assignee: 日本電気硝子株式会社
Priority date: 2021-03-25
Filing date: 2022-03-04
Publication date: 2022-09-29
Also published as: JP2022149835A; CN116802159A; TW202237545A; KR20230161417A

Abstract

ガラス板の製造方法は、傾斜姿勢のガラス板Ｇの表面Ｇ１，Ｇ２に搬送ローラ７を接触させることによりガラス板Ｇを搬送する搬送工程を含む。搬送工程は、ガラス板Ｇの端部Ｇｃに規制ローラ８を接触させる接触工程を含む。規制ローラ８は、回転可能に保持されるローラ部１１を有する。ローラ部１１は、外皮となる弾性体１３と、弾性体１３を支持する支持部１４と、ローラ部１１に内包される空間部１５と、を有する。

Description

ガラス板の製造方法

　本発明は、ガラス板を製造する方法に関する。

　近年、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のパネルディスプレイは、高精細化が推進されている。これに伴い、ディスプレイ用の基板として用いられるガラス板には、当該ディスプレイの製造工程で緻密な電気回路が形成される。したがって、この種のガラス板には、塵や汚れが付いていない高い清浄性が要求される。

　そこで、ガラス板の製造工程では、ガラス原板から所定サイズのガラス板を切り出し、その切り出したガラス板の切断端面を加工した後に、ガラス板を洗浄装置によって洗浄する洗浄工程が設けられる場合がある。

　例えば特許文献１には、複数の搬送ローラによって、ガラス板を所定の搬送方向に沿って搬送しつつ、ガラス板の表面及び裏面を洗浄具としてのロールブラシによって洗浄する洗浄装置が開示されている。

　この洗浄装置には、ガラス板の搬送方向の上流側から下流側に向けて、位置決めエリア、アルカリ洗浄エリア、純水洗浄エリア、及び乾燥エリアが設けられている。洗浄装置は、アルカリ洗浄エリア及び純水洗浄エリアにおいて、複数のロールブラシをガラス板の表面に接触させることで、当該ガラス板の洗浄を行う。

特開２０１５－８９５４６号公報

　上記のような従来の洗浄装置では、ガラス板の表面に付着する異物や汚れを除去するために、ロールブラシをガラス板に押し付ける必要がある。このため、ガラス板は、位置決めエリアで位置決めされた場合であっても、アルカリ洗浄エリアを通過した時点で、位置ずれを生じ得る。

　乾燥エリアで乾燥処理を受けたガラス板は、洗浄装置から取り出され、ディスプレイの製造工程に移送するために梱包される場合がある。この梱包作業を効率良く行うために、洗浄工程（アルカリ洗浄工程）を通過した後に、ガラス板の位置決めを行うことが望ましい。このための手段として、搬送中のガラス板の端部にローラ等の規制部材を接触させることが考えられる。

　しかしながら、ガラス板の端部が規制部材に接触すると、その衝撃により端部の破損を招くおそれがあった。

　本発明は上記の事情に鑑みて為されたものであり、ガラス板を破損させることなく搬送することを技術的課題とする。

　本発明は上記の課題を解決するためのものであり、傾斜姿勢のガラス板の表面に搬送ローラを接触させることにより前記ガラス板を搬送する搬送工程を含むガラス板の製造方法であって、前記搬送工程は、前記ガラス板の端部に規制ローラを接触させる接触工程を含み、前記規制ローラは、回転可能に保持されるローラ部を有し、前記ローラ部は、外皮となる弾性体と、前記弾性体を支持する支持部と、前記ローラ部に内包される空間部と、を有することを特徴とする。

　かかる構成によれば、接触工程において、ガラス板の端部は規制部材の外皮である弾性体に接触することになる。この場合において、ローラ部に空間部が内包されていることで、弾性体は、この空間部を介して弾性変形し易くなっている。したがって、弾性体の弾性変形により、ガラス板が規制ローラに接触した際の衝撃を低減し、ガラス板の端部の破損を防止することができる。

　本方法において、前記弾性体は、筒状に構成されており、前記支持部は、前記弾性体の軸方向の端部を支持しており、前記空間部は、前記弾性体の軸方向の中間部に対応するように、前記弾性体の内側に設けられてもよい。

　かかる構成によれば、弾性体の軸方向の中間部にガラス板の端部が接触した場合に、この中間部は、空間部の存在によって、支持部に接触することなく弾性変形することができる。これにより、規制ローラは、ガラス板の端部が接触した際の衝撃を効果的に吸収することができる。

　本方法において、前記弾性体は、ゴムを含んでもよい。これによれば、適度な弾性を付与できるだけでなく、弾性体を耐久性、耐摩耗性に優れたものにできる。したがって、弾性体を長期間にわたり使用できるとともに、摩耗粉がガラス板に付着することも防止できる。

　本方法において、前記ガラス板の厚みは、０．８ｍｍ以下であってもよい。このように、端部が破損し易い薄型のガラス板を製造する場合には、本発明の効果が特に顕著となる。

　本方法は、前記接触工程の前工程として、前記ガラス板を搬送しながら前記ガラス板の前記表面を擦り洗浄する洗浄工程を含んでもよい。洗浄工程において擦り洗浄を行う場合には、ガラス板の位置ずれが生じやすく、その後の接触工程で意図しない衝撃が発生し易くなる。したがって、このような状況において本発明を適用することで、その効果が顕著となる。

　本発明によれば、ガラス板を破損させることなく搬送することができる。

ガラス板の斜視図である。ガラス板の洗浄装置を示す側面図である。ガラス板の洗浄装置を示す平面図である。供給部の平面図である。搬送ローラの正面図である。規制ローラの断面図である。規制ローラの他の例を示す断面図である。規制ローラの他の例を示す断面図である。規制ローラの他の例を示す断面図である。第一洗浄部の平面図である。搬送ローラの正面図である。第二洗浄部の平面図である。リンス部の平面図である。乾燥部の平面図である。ガラス板の製造方法を示すフローチャートである。搬送工程を示すフローチャートである。供給搬送工程及び第一洗浄搬送工程を示す平面図である。第一洗浄搬送工程及び第二洗浄搬送工程を示す平面図である。第二洗浄搬送工程及びリンス搬送工程を示す平面図である。リンス搬送工程及び乾燥搬送工程を示す平面図である。第二洗浄搬送工程及びリンス搬送工程の他の例を示す平面図である。

　以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図２０は、本発明に係るガラス板の製造方法の一実施形態を示す。

　図１は、本方法によって製造されるガラス板Ｇを示す。ガラス板Ｇは、例えばオーバーフローダウンドロー法によって形成される長尺状のガラスリボンを切断することにより構成される。オーバーフローダウンドロー法は、断面が略くさび形の成形体の上部に設けられたオーバーフロー溝に溶融ガラスを流し込み、このオーバーフロー溝から両側に溢れ出た溶融ガラスを成形体の両側の側壁部に沿って流下させながら、成形体の下端部で融合一体化し、ガラスリボンを連続成形するというものである。ガラス板Ｇは、オーバーフローダウンドロー法に限らず、フロート法その他の各種の成形法により製造され得る。

　ガラス板Ｇは、矩形状に構成されるが、この形状に限定されるものではない。ガラス板Ｇは、第一主面Ｇ１と、第二主面Ｇ２とを含む。本実施形態において、第一主面Ｇ１は保証面とされており、第二主面Ｇ２は非保証面とされている。ここで、「保証面」とは、例えばディスプレイの製造過程において透明導電膜等の成膜処理が施される側の面を意味する。ガラス板Ｇのサイズは、例えば５００×６００ｍｍ～３１００×３５００ｍｍとされる。ガラス板Ｇの厚みは、０．８ｍｍ以下とされることが好ましく、より好ましくは０、６ｍｍ以下である。

　ガラス板Ｇは、搬送方向（進行方向ともいう）ＧＸに沿って搬送されながら、所定の洗浄処理を受ける。ガラス板Ｇは、進行方向ＧＸにおける前側に位置する前端部Ｇａと、前端部Ｇａの後方（搬送方向ＧＸにおける上流側）に位置する後端部Ｇｂと、前端部Ｇａと後端部Ｇｂとの間に位置する第一側端部Ｇｃ及び第二側端部Ｇｄと、を含む。前端部Ｇａ、後端部Ｇｂ、第一側端部Ｇｃ及び第二側端部Ｇｄは、直線状の辺により構成される。ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃにおいて、進行方向ＧＸの前側に位置する半分を前半部分ＦＨといい、前半部分ＦＨの後側に位置する半分を後半部分ＲＨという。

　ガラス板Ｇは、例えば、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラスにより構成される。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。

　図２及び図３は、本方法に使用されるガラス板Ｇの製造装置の一部である洗浄装置を示す。洗浄装置１は、供給部２と、洗浄部３と、リンス部４と、乾燥部５とを主に備える。この他、洗浄装置１は、供給部２から乾燥部５までガラス板Ｇを連続的に搬送する搬送装置６を備える。

　搬送装置６は、搬送ローラ７及び規制ローラ８を基本の構成要素として備える。搬送装置６は、供給部２、リンス部４及び乾燥部５において、ガラス板Ｇが所定の基準位置に位置するように、ガラス板Ｇの位置を規制ローラ８によって規制する。ガラス板Ｇの基準位置とは、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃが規制ローラ８に接触した状態における当該ガラス板Ｇの位置をいう。図３では、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃと複数の規制ローラ８との接触位置を結ぶ直線（以下「基準線」という）ＢＬを二点鎖線で示す（以下、他の図面において同じ）。基準位置にあるガラス板Ｇは、第一側端部Ｇｃがこの基準線ＢＬと一致した状態となる。

　供給部２は、前工程（切断工程、端面加工工程）を経て矩形状に加工されたガラス板Ｇを洗浄部３に供給する。供給部２において、搬送装置６は、ガラス板Ｇを基準位置に位置するように規制した状態で洗浄部３に向かって搬送する。図４及び図５に示すように、搬送装置６は、ガラス板Ｇを挟持する複数対の搬送ローラ７ａ，７ｂと、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃに接触する複数の規制ローラ８とを含む。

　対の搬送ローラ７ａ，７ｂは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に接触する上側搬送ローラ７ａと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に接触する下側搬送ローラ７ｂとを含む。各搬送ローラ７ａ，７ｂは、円柱状のローラ部９と、当該ローラ部９を支持する軸部１０とを備える。　

　ローラ部９は、軸方向における第一端部９ａと、第二端部９ｂとを含む。第一端部９ａは、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃ側に位置し、第二端部９ｂは、ガラス板Ｇの第二側端部Ｇｄ側に位置する。ローラ部９は、例えば弾性部材により円筒状に構成され得る。ローラ部９は、例えば発泡樹脂成形体若しくは発泡ゴム成形体（フォームスポンジ）、又はフェルト状の繊維成形体（フェルトスポンジ）等により構成され得る。

　軸部１０は、例えば金属製の棒状部材により構成される。軸部１０は、ローラ部９の内部を貫通している。軸部１０は、図示しない駆動装置に連結されており、当該駆動装置によって回転駆動される。

　図４に示すように、各搬送ローラ７ａ，７ｂは、平面視において、ガラス板Ｇの搬送方向ＧＸに直交する方向（Ｙ軸方向）に対して、傾斜することなく、平行である。図５に示すように、各搬送ローラ７ａ，７ｂは、正面視において、水平方向（Ｙ軸方向）に対して傾斜している。すなわち、各搬送ローラ７ａ，７ｂは、ローラ部９の第一端部９ａが上下方向（Ｚ軸方向）において第二端部９ｂよりも下方に位置するように傾斜している。水平方向（Ｙ軸方向）に対する搬送ローラ７ａ，７ｂの傾斜角度θ１，θ２は、２～１５°とされることが好ましい。上側搬送ローラ７ａの傾斜角度θ１は、下側搬送ローラ７ｂの傾斜角度θ２と等しい。供給部２において、搬送装置６は、上記のように傾斜する搬送ローラ７ａ，７ｂによってガラス板Ｇを挟持することで、当該ガラス板Ｇを傾斜姿勢で搬送することができる。

　図６に示すように、規制ローラ８は、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃに接触するように、各搬送ローラ７ａ，７ｂの第一端部９ａの近傍に配置されている。規制ローラ８は、ローラ部１１と、ローラ部１１を回転可能に保持する軸部１２とを有する。

　ローラ部１１は、外皮となる弾性体１３と、弾性体１３を支持する支持部（リム）１４と、支持部１４に内包される空間部１５と、を有する。

　弾性体１３は、例えばゴムにより構成されているが、樹脂により構成されてもよい。弾性体１３（ゴム）のショアＡ硬度は、４０～８０であることが好ましい。弾性体１３の厚みは、２～２０ｍｍであることが好ましい。弾性体１３は、筒状（例えば円筒状）に構成されている。弾性体１３の内側には、支持部１４が挿通されている。弾性体１３の軸方向の各端部１３ａ，１３ｂは、支持部１４によって支持されている。弾性体１３の軸方向の中間部１３ｃは、空間部１５の存在により、支持部１４に支持されていない。

　支持部１４は、例えば樹脂やセラミック等により、筒状（例えば円筒状）に構成されている。空間部１５は、弾性体１３の軸方向の中間部１３ｃに対応するように、弾性体１３の内側に設けられる。空間部１５は、支持部１４の軸方向の中間部に形成される凹部１６によって構成される。凹部１６は、支持部１４の全周に亘って環状に構成されている。支持部１４は、この凹部１６を除く外周面が弾性体１３の内周面に接触している。空間部１５の深さは例えば１～３０ｍｍとすることができ、空間部１５の軸方向の長さは例えば５～３０ｍｍとすることができる。

　軸部１２は、例えば金属製の棒状部材により構成される。軸部１２は、支持部１４の内側に挿通されている。軸部１２は、傾斜姿勢で搬送されるガラス板Ｇの傾斜方向とほぼ直交するように、鉛直方向に対して所定の角度で傾斜している。なお、軸部１２は、軸受けを介してローラ部１１（支持部１４）を回転可能に保持してもよい。

　図６に示すように、規制ローラ８は、空間部１５の範囲内においてガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃを弾性体１３の中間部１３ｃに接触させる。このように弾性体１３の中間部１３ｃは、空間部１５に対応する位置でガラス板Ｇと接触することから、支持部１４の外周面によって規制されることなく弾性変形することが可能である。このため、弾性体１３は、空間部１５が存在しない場合と比較してガラス板Ｇが接触したときに弾性変形し易くなっている。

　規制ローラ８は、上記の構成に限らず、種々の変形・変更が可能である。例えば、規制ローラ８の外皮となる弾性体１３は、発泡樹脂成形体若しくは発泡ゴム成形体等により構成されてもよい。この場合、凹部１６が形成されていなくとも、弾性体１３の内部に含まれる気泡が、弾性体１３の変形を許容する空間部１５として機能する。すなわち、気泡を有する弾性体１３にガラス板Ｇが接触した場合、この弾性体１３に含まれる空間部としての気泡が変形を許容するように収縮する。これにより、弾性体１３は、ガラス板Ｇが接触した際に、弾性変形し易くなる。

　図７乃至図９は、規制ローラ８の他の例を示す。

　図７に示す例において、規制ローラ８の支持部１４は、その外面に、弾性体１３の軸方向の端面１３ｄに接触する突起部１７を有する。突起部１７は、支持部１４の軸方向の各端部１４ａ，１４ｂに形成されている。突起部１７は、支持部１４の外面の全周にわたって環状（又はフランジ状）に形成されている。突起部１７は、弾性体１３の軸方向の位置を規制する規制部（位置決め部）として機能する。

　図８に示す例において、規制ローラ８は、複数の支持部１４Ａ，１４Ｂ、すなわち、第一支持部１４Ａと、第二支持部１４Ｂとを備える。第一支持部１４Ａ及び第二支持部１４Ｂは同一形状とされており、軸方向の一端部１４ａに凹部１６ａ，１６ｂを有し、軸方向の他端部１４ｂに突起部１７を有する。第一支持部１４Ａと第二支持部１４Ｂは、軸方向の一端部１４ａ同士を接触させ、各凹部１６ａ，１６ｂを一体化することで、弾性体１３の中間部１３ｃの内側に空間部１５を内包する。

　図９に示す例において、規制ローラ８は、図８と同様に、第一支持部１４Ａ及び第二支持部１４Ｂとを含むが、図８の例における凹部１６ａ，１６ｂを有していない。第一支持部１４Ａと第二支持部１４Ｂは、その軸方向において所定の間隔で離間された状態で軸部１２に支持されている。これにより、第一支持部１４Ａと第二支持部１４Ｂは、その間に空間部１５を内包する。

　図２及び図３に示すように、洗浄部３は、供給部２から供給されたガラス板Ｇを搬送装置６によって搬送しつつ、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２に対する擦り洗浄を行うことができる。洗浄部３は、ガラス板Ｇの搬送方向ＧＸにおける上流側に位置する第一洗浄部３ａと、下流側に位置する第二洗浄部３ｂと、を含む。

　第一洗浄部３ａは、第一洗浄具１８ａ，１８ｂと、搬送装置６における搬送ローラ（以下「第一洗浄搬送ローラ」という）７ｃ，７ｄとを備える。第一洗浄部３ａにおいて、搬送装置６の規制ローラ８は配備されていない。

　第一洗浄具１８ａ，１８ｂは、例えば洗浄ローラにより構成されるが、この構成に限定されず、洗浄ディスクその他の各種洗浄具により構成され得る。洗浄ローラは、ブラシやスポンジ（例えばＰＶＡスポンジ）、不織布で構成することができる。第一洗浄具１８ａ，１８ｂは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に接触する上側洗浄具１８ａと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に接触する下側洗浄具１８ｂとを含む。第一洗浄具１８ａ，１８ｂは、上側洗浄具１８ａと下側洗浄具１８ｂとによってガラス板Ｇを挟んだ状態で、当該ガラス板Ｇに対して擦り洗浄を行う。

　第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に接触する上側洗浄搬送ローラ７ｃと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に接触する下側洗浄搬送ローラ７ｄとを含む。第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄは、ローラ部９と、軸部１０とを備える。ローラ部９及び軸部１０の構成は、供給部２における搬送ローラ７ａ，７ｂのローラ部９及び軸部１０と同じである。

　図１０に示すように、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄは、平面視において、ローラ部９の第一端部９ａが第二端部９ｂよりもガラス板Ｇの進行方向ＧＸにおける前方（下流側）に位置するように傾斜している。ガラス板Ｇの搬送方向ＧＸに直交する方向（Ｙ軸方向）に対する上側洗浄搬送ローラ７ｃの傾斜角度θ３は、対応する下側洗浄搬送ローラ７ｄの傾斜角度θ４と等しい。この傾斜角度θ３，θ４は、０．０５～１°とされることが好ましい。

　図１１に示すように、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄは、正面視において、水平方向（Ｙ軸方向）に対して所定の角度θ５，θ６で傾斜している。すなわち、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄは、ローラ部９の第一端部９ａが上下方向（Ｚ軸方向）において第二端部９ｂよりも下方に位置するように傾斜している。

　上側洗浄搬送ローラ７ｃの水平方向（Ｙ軸方向）に対する傾斜角度θ５は、対応する下側洗浄搬送ローラ７ｄの傾斜角度θ６と異なる。すなわち、上側洗浄搬送ローラ７ｃの傾斜角度θ５は、下側洗浄搬送ローラ７ｄの傾斜角度θ６よりも小さい。

　第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄの傾斜角度θ５，θ６は、上記の態様に限定されない。第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄは、ローラ部９の第一端部９ａから第二端部９ｂに向かうにつれて、上側洗浄搬送ローラ７ｃと下側洗浄搬送ローラ７ｄの軸間距離が徐々に短くなるように配置されていればよい。

　上記のような傾斜角度θ５，θ６の相違により、上側洗浄搬送ローラ７ｃの第二端部９ｂと、下側洗浄搬送ローラ７ｄの第二端部９ｂとの間隔（軸心間の距離）Ｄ２は、上側洗浄搬送ローラ７ｃの第一端部９ａと、下側洗浄搬送ローラ７ｄの第一端部９ａとの間隔（軸心間の距離）Ｄ１よりも小さくなる。間隔Ｄ１と間隔Ｄ２の差（Ｄ１－Ｄ２）は１～４ｍｍとすることが好ましい。

　この構成により、上側洗浄搬送ローラ７ｃと下側洗浄搬送ローラ７ｄとによってガラス板Ｇを挟持した場合、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄにおけるローラ部９の第二端部９ｂ側の部分は、第一端部９ａ側の部分よりも大きく弾性変形する。したがって、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄの各ローラ部９は、ガラス板Ｇを搬送する場合に、第二端部９ｂ側の部分が、第一端部９ａ側の部分よりも大きな接触圧力（弾性復元力）で当該ガラス板Ｇを押圧する。

　図２、図３及び図１２に示すように、第二洗浄部３ｂは、第二洗浄具１９ａ，１９ｂと、搬送装置６の搬送ローラ（以下「第二洗浄搬送ローラ」という）７ｅ，７ｆとを備える。第二洗浄部３ｂにおいて、搬送装置６の規制ローラ８は配備されていない。

　第二洗浄具１９ａ，１９ｂは、複数の洗浄ディスクをガラス板Ｇの幅方向に整列させて配置することにより構成されるが、この構成に限定されず、洗浄ローラその他の各種洗浄具により構成されてもよい。第二洗浄具１９ａ，１９ｂは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に接触する上側洗浄具１９ａと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に接触する下側洗浄具１９ｂとを含む。

　第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に接触する上側洗浄搬送ローラ７ｅと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に接触する下側洗浄搬送ローラ７ｆとを含む。第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆは、ローラ部９と、軸部１０とを備える。ローラ部９及び軸部１０の構成は、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄのローラ部９及び軸部１０と同じである。

　図１２に示すように、第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆは、平面視において、ローラ部９の第一端部９ａが第二端部９ｂよりもガラス板Ｇの進行方向ＧＸにおける前方に位置するように傾斜している。第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆの傾斜角度θ７，θ８は、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄの傾斜角度θ３，θ４と等しい。これに限らず、第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆの傾斜角度θ７，θ８は、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄの傾斜角度θ３，θ４と異なっていてもよい。

　第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆは、正面視において、ローラ部９の第一端部９ａが上下方向（Ｚ軸方向）において第二端部９ｂよりも下方に位置するように傾斜している（図１１参照）。上側洗浄搬送ローラ７ｅの水平方向（Ｙ軸方向）に対する傾斜角度θ９（図１１参照）は、第一洗浄部３ａにおける上側洗浄搬送ローラ７ｃの傾斜角度θ５と等しい。下側洗浄搬送ローラ７ｆの水平方向（Ｙ軸方向）に対する傾斜角度θ１０（図１１参照）は、第一洗浄部３ａにおける下側洗浄搬送ローラ７ｄの傾斜角度θ６と等しい。この構成に限らず、第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆの傾斜角度θ９，θ１０は、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄの傾斜角度θ５，θ６と異なっていてもよい。

　図２、図３及び図１３に示すように、リンス部４は、リンス液供給部４ａ，４ｂと、搬送装置６における搬送ローラ７ｇ，７ｈ及び規制ローラ８と、を備える。リンス液供給部４ａ，４ｂは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１にリンス液を供給する第一リンス液供給部４ａと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２にリンス液を供給する第二リンス液供給部４ｂとを含む。　

　第一リンス液供給部４ａは、搬送ローラ７ｇ，７ｈよりも上方に配置されている。第一リンス液供給部４ａは、下方に向かってリンス液を噴出する。第二リンス液供給部４ｂは、搬送ローラ７ｇ，７ｈよりも下方に配置されている。第二リンス液供給部４ｂは、上方に向かってリンス液を噴出する。

　搬送ローラ７ｇ，７ｈは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に接触する上側搬送ローラ７ｇと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に接触する下側搬送ローラ７ｈとを含む。リンス部４における搬送ローラ７ｇ，７ｈ及び規制ローラ８の構成は、供給部２における搬送ローラ７ａ，７ｂ及び規制ローラ８と同じである。搬送ローラ７ｇ，７ｈは、供給部２における搬送ローラ７ａ，７ｂと同じ角度θ１，θ２で傾斜している。

　図２、図３及び図１４に示すように、乾燥部５は、エアナイフ５ａ，５ｂと、搬送装置６における搬送ローラ７ｉ，７ｊ及び規制ローラ８と、を備える。エアナイフ５ａ，５ｂは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１にエアを吹き付ける上側エアナイフ５ａと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２にエアを吹き付ける下側エアナイフ５ｂとを含む。

　搬送ローラ７ｉ，７ｊは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に接触する上側搬送ローラ７ｉと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に接触する下側搬送ローラ７ｊとを含む。乾燥部５における搬送ローラ７ｉ，７ｊ及び規制ローラ８の構成は、リンス部４における搬送ローラ７ｇ，７ｈ及び規制ローラ８と同じである。搬送ローラ７ｉ，７ｊは、供給部２における搬送ローラ７ａ，７ｂと同じ角度θ１，θ２で傾斜している。なお、乾燥部５における規制ローラ８には、空間部１５を有さなくてもよい。

　以下、上記構成の洗浄装置１を使用してガラス板Ｇを製造する方法について説明する。図１５に示すように、本方法は、洗浄工程Ｓ１と、リンス工程Ｓ２と、乾燥工程Ｓ３とを主に備える。この他、本方法は、洗浄工程Ｓ１から乾燥工程Ｓ３までガラス板Ｇを搬送する搬送工程を備える。

　洗浄工程Ｓ１は、第一洗浄部３ａによってガラス板Ｇを洗浄する第一洗浄工程と、第二洗浄部３ｂによってガラス板Ｇを洗浄する第二洗浄工程とを含む。

　第一洗浄工程では、上側洗浄具１８ａをガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に接触させ、下側洗浄具１８ｂをガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に接触させた状態で、各洗浄具１８ａ，１８ｂを回転させる。この際、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２には所定の洗浄液が供給される。これにより、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２に付着している異物、汚れが除去される。

　第二洗浄工程では、第二洗浄部３ｂに搬入されたガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に上側洗浄具１９ａを接触させ、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２に下側洗浄具１９ｂを接触させた状態で、各洗浄具１９ａ，１９ｂを回転させる。この際、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２には所定の洗浄液が供給される。これにより、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２に残存する異物、汚れが除去される。

　リンス工程Ｓ２では、リンス部４において、第一リンス液供給部４ａおよび第二リンス液供給部４ｂから吐出されるリンス液をガラス板Ｇの第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２に供給する。これにより、洗浄工程Ｓ１においてガラス板Ｇに付着した洗浄液が除去される。　

　乾燥工程Ｓ３では、上側エアナイフ５ａ及び下側エアナイフ５ｂから噴出したエアをガラス板Ｇの第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２に吹き付ける。これにより、リンス工程Ｓ２においてガラス板Ｇに付着したリンス液が除去される。

　以下、上記の洗浄工程Ｓ１、リンス工程Ｓ２及び乾燥工程Ｓ３と同時に進行するガラス板Ｇの搬送工程について、図１６乃至図２０を参照しながら説明する。図１６に示すように、搬送工程は、供給搬送工程Ｓ１０と、洗浄搬送工程Ｓ１１と、リンス搬送工程Ｓ２１と、乾燥搬送工程Ｓ３１とを備える。このうち、洗浄搬送工程Ｓ１１では、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃの位置を規制することなく搬送し、後続のリンス搬送工程Ｓ２１では、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃを規制ローラ８に接触させた状態で搬送する。このため、リンス搬送工程Ｓ２１は、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃを規制ローラ８に接触させる接触工程を含む。

　供給搬送工程Ｓ１０において、搬送装置６は、供給部２における搬送ローラ７ａ，７ｂによってガラス板Ｇの第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２を支持し、かつガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃを規制ローラ８に接触させた状態で、当該ガラス板Ｇを下流側の洗浄部３に搬送する（図１７参照）。これにより、ガラス板Ｇは、基準位置を維持しつつ、第一側端部Ｇｃが下方に位置し、第二側端部Ｇｄが上方に位置する傾斜姿勢で洗浄部３に供給される。

　洗浄搬送工程Ｓ１１は、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄによってガラス板Ｇを搬送する第一洗浄搬送工程と、第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆによってガラス板Ｇを搬送する第二洗浄搬送工程とを含む。

　図１７に示すように、第一洗浄搬送工程では、第一洗浄部３ａの第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄによって、ガラス板Ｇを挟持した状態で、当該ガラス板Ｇを第二洗浄部３ｂに向かって搬送する。この場合において、ガラス板Ｇは、第一側端部Ｇｃが下方に位置し、第二側端部Ｇｄが上方に位置する傾斜姿勢を維持しつつ、搬送方向ＧＸの下流側に移動する。

　この移動の際、第一側端部Ｇｃと基準線ＢＬとの間隔が徐々に大きくなる。また、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃにおける前半部分ＦＨと基準線ＢＬとの間隔（前半間隔）は、当該第一側端部Ｇｃの後半部分ＲＨと基準線ＢＬとの間隔（後半間隔）よりも大きくなる。換言すると、図１７に示すように、ガラス板Ｇの前端部Ｇａと第一側端部Ｇｃとの間の角部Ｃ１と、基準線ＢＬとの間隔Ｄ３は、ガラス板Ｇの後端部Ｇｂと第一側端部Ｇｃとの間の角部Ｃ２と、基準線ＢＬとの間隔Ｄ４よりも大きくなる。

　ガラス板Ｇと基準線ＢＬとの間隔Ｄ３，Ｄ４は、当該ガラス板Ｇが下流側（第二洗浄部３ｂ側）に移動するにつれて徐々に大きくなる。この作用は、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄが、上記のような角度θ３，θ４で傾斜していること、及びローラ部９における第二端部９ｂ側の部分が、第一端部９ａ側の部分よりも大きな接触圧力でガラス板Ｇを押圧することに因る。

　図１８に示すように、第二洗浄搬送工程では、第一洗浄部３ａから第二洗浄部３ｂへと移行したガラス板Ｇを第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆによって下流側のリンス部４へと搬送する。この場合において、ガラス板Ｇは、第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄと同様に構成される第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆによって搬送されることで、第一側端部Ｇｃが基準線ＢＬからさらに離れるように移動する。

　このため、第二洗浄搬送工程において、ガラス板Ｇの前側の角部Ｃ１と基準線ＢＬとの間隔Ｄ５は、第一洗浄搬送工程における当該角部Ｃ１と基準線ＢＬとの間隔Ｄ３よりも大きくなる。また、ガラス板Ｇの後側の角部Ｃ２と基準線ＢＬとの間隔Ｄ６は、第一洗浄搬送工程における当該角部Ｃ２と基準線ＢＬとの間隔Ｄ４よりも大きくなる。

　第一洗浄搬送工程と同様に、ガラス板Ｇは、第二洗浄搬送工程においても、前側の角部Ｃ１と基準線ＢＬとの間隔Ｄ５が後側の角部Ｃ２と基準線ＢＬとの間隔Ｄ６よりも大きくなる平面視傾斜状態で搬送される。

　洗浄部３とリンス部４の境界において、ガラス板Ｇと基準線ＢＬとの間隔Ｄ５及びＤ６は、例えば４～９０ｍｍとすればよい。この場合、ガラス板Ｇの前側の角部Ｃ１と基準線ＢＬとの間隔Ｄ５と、ガラス板Ｇの後側の角部Ｃ２と基準線ＢＬとの間隔Ｄ６との差（Ｄ５－Ｄ６）は、例えば２～４５ｍｍとすればよい。

　ガラス板Ｇと基準線ＢＬとの間隔Ｄ５，Ｄ６は、当該ガラス板Ｇが下流側に移動するにつれて徐々に大きくなる。この作用は、第二洗浄搬送ローラ７ｅ，７ｆが第一洗浄搬送ローラ７ｃ，７ｄと同様に、上記のような角度θ７，θ８で傾斜していること、及びローラ部９における第二端部９ｂ側の部分が、第一端部９ａ側の部分よりも大きな接触圧力でガラス板Ｇを押圧することに因る。

　ガラス板Ｇは、第一側端部Ｇｃが基準線ＢＬから離間した状態で、第二洗浄部３ｂからリンス部４へと搬入される。

　リンス搬送工程Ｓ２１は、第二洗浄部３ｂからリンス部４に搬入されたガラス板Ｇを、搬送ローラ７ｇ，７ｈ及び規制ローラ８によって下流側の乾燥部５へと搬送する。リンス搬送工程Ｓ２１は、ガラス板Ｇを搬送しながらガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃを規制ローラ８に接触させる第一リンス搬送工程（接触工程）と、第一リンス搬送工程後に、ガラス板Ｇの第一側端部Ｇｃを規制ローラ８に接触させた状態で搬送する第二リンス搬送工程と、を含む。

　図１９において一点鎖線で示すように、第一リンス搬送工程では、ガラス板Ｇは、第一側端部Ｇｃが基準線ＢＬから離れた状態で、搬送ローラ７ｇ，７ｈのみによって下流側へと搬送（搬入）される。この場合において、第一側端部Ｇｃの前半部分ＦＨと、当該前半部分ＦＨに対向する規制ローラ８との間隔は、当該第一側端部Ｇｃの後半部分ＲＨと、当該後半部分ＲＨに対向する規制ローラ８との間隔よりも大きくなっている。すなわち、ガラス板Ｇは、前側の角部Ｃ１と基準線ＢＬとの間隔Ｄ７が、後側の角部Ｃ２と基準線ＢＬとの間隔Ｄ８よりも大きくなる平面視傾斜状態を維持しつつ下流側に搬送される。

　既述のように、リンス部４に配置される上側搬送ローラ７ｇ及び下側搬送ローラ７ｈは、平行とされ、かつ、所定の角度θ１，θ２で傾斜している。このため、ガラス板Ｇは、搬送ローラ７ｇ，７ｈのみによって搬送される間に、その自重によって規制ローラ８（基準線ＢＬ）に徐々に近づくように移動（傾斜方向に沿って下降）する。このため、第一リンス搬送工程では、ガラス板Ｇが下流側に移動するにつれて、上記の間隔Ｄ７，Ｄ８は、徐々に小さくなる。

　その後、第一リンス搬送工程において基準線ＢＬに近づくように移動していたガラス板Ｇが規制ローラ８に接触する。この場合、図１９において二点鎖線で示すように、ガラス板Ｇの後半部分ＲＨの一部が、前半部分ＦＨよりも先に、最も上流側に位置する規制ローラ８に接触する。その後、ガラス板Ｇの前半部分ＦＨが下流側に位置する規制ローラ８に接触する。具体的には、前半部分ＦＨ及び後半部分ＲＨは、規制ローラ８の弾性体１３の中間部１３ｃに接触する。この接触により、中間部１３ｃは、空間部１５側に弾性変形する。このため、接触時の衝撃を緩和でき、ガラス板Ｇを破損させることなく搬送することができる。

　ガラス板Ｇは、図２０に示すように、基準位置に配された状態で、搬送ローラ７ｇ，７ｈによって乾燥部５に搬送される。

　乾燥搬送工程Ｓ３１では、リンス部４から乾燥部５に搬入されたガラス板Ｇを、規制ローラ８によって基準位置に規制しつつ、搬送ローラ７ｉ，７ｊによって搬送方向ＧＸに沿って搬送する。

　以上説明した本実施形態に係るガラス板Ｇの製造方法によれば、供給搬送工程Ｓ１０、第二リンス搬送工程及び乾燥搬送工程Ｓ３１において、ガラス板Ｇの第一測端部Ｇｃは、規制ローラ８の外皮である弾性体１３の中間部１３ｃに接触することになる。この場合において、支持部１４に空間部１５が内包されていることで、弾性体１３の中間部１３ｃは、空間部１５を介して弾性変形し易くなる。これにより、ガラス板Ｇが規制ローラ８に接触した際の衝撃を低減し、ガラス板Ｇの第一測端部Ｇｃの破損を防止することが可能となる。また、ガラス板Ｇの接触及び摩擦による弾性体１３の発塵（摩耗粉の発生）を抑制することも可能となる。

　また、第二リンス搬送工程及び乾燥搬送工程Ｓ３１において、ガラス板Ｇを基準位置に配して搬送することで、乾燥搬送工程Ｓ３１の終了後におけるガラス板Ｇの取り出し及び梱包を効率良くかつ精度良く行うことが可能になる。

　なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

　上記の実施形態では、第一リンス搬送工程（接触工程）において、規制ローラ８から離れて移動するガラス板Ｇをその自重によって移動させ、第一側端部Ｇｃを規制ローラ８に接触させる例を示したが、本発明はこの態様に限定されない。

　例えば、図２１に示すように、第一リンス搬送工程では、ガラス板Ｇの第二側端部Ｇｄに接触することが可能な当接部材２０ａ，２０ｂを有する押出装置２０Ａ，２０Ｂによって、ガラス板Ｇを規制ローラ８に向かって強制的に移動させてもよい。

　押出装置２０Ａ，２０Ｂは、ガラス板Ｇの搬送方向ＧＸの上流側に配される第一押出装置２０Ａと、第一押出装置２０Ａの下流側に配される第二押出装置２０Ｂとを含む。各押出装置２０Ａ，２０Ｂにおける当接部材２０ａ，２０ｂは、例えばゴム等の弾性体により構成される。当接部材２０ａ，２０ｂは、図示しないアクチュエータにより、ガラス板Ｇに対して接近・離反可能に構成される。

　各押出装置２０Ａ，２０Ｂは、ガラス板Ｇの第二側端部Ｇｄから離れた待機位置（図２１において実線で示す位置）にある当接部材２０ａ，２０ｂをガラス板Ｇに向かって移動させる。当接部材２０ａ，２０ｂは、図２１において二点鎖線で示すように、規制ローラ８から離れた位置で移動するガラス板Ｇの第二側端部Ｇｄに接触する。

　具体的には、第一押出装置２０Ａは、その当接部材２０ａを、第二押出装置２０Ｂの当接部材２０ｂよりも先にガラス板Ｇの第二側端部Ｇｄにおける後半部分ＲＨに接触させる。その後、第二押出装置２０Ｂは、その当接部材２０ｂをガラス板Ｇの第二側端部Ｇｄにおける前半部分ＦＨに接触させる。

　これにより、ガラス板Ｇは、その傾斜姿勢を維持しつつ、当接部材２０ａ，２０ｂによって規制ローラ８に近づくように付勢される。なお、押出装置２０Ａ，２０Ｂは、その後、当接部材２０ａ，２０ｂを待機位置へと移動させる。

　上記のように当接部材２０ａ，２０ｂによってガラス板Ｇを付勢することで、ガラス板Ｇを規制ローラ８に向かって迅速に移動させることができる。これにより、ガラス板Ｇの搬送経路を短縮するとともに、ガラス板Ｇの製造効率を向上させることが可能となる。なお、押出装置２０Ａ，２０Ｂの当接部材２０ａ，２０ｂとしては、上記の構成に限らず、ローラ（例えば規制ローラ８）を使用してもよい。

　洗浄工程の洗浄具は、洗浄ディスクや洗浄ローラその他の各種洗浄具により構成され得るが、洗浄ディスクを含むことが好ましい。洗浄ディスクの回転に伴って平面視においてガラス板が意図せず回転し、その結果、ガラス板が規制ローラと衝突しやすい。このため、洗浄具が洗浄ディスクを含めば、洗浄工程後においてガラス板を破損させることなく搬送することができるという本発明の効果がさらに顕著となる。

　上記の実施形態では、洗浄装置１によってガラス板Ｇを洗浄する際に本発明を適用する場合について説明したが、本発明はこの態様に限定されるものではない。例えば、加工装置によってガラス板Ｇを加工する場合や、姿勢変更装置によってガラス板Ｇの姿勢を変更する場合等に本発明を適用してもよい。

　７　　　　　　搬送ローラ
　８　　　　　　規制ローラ
１１　　　　　　規制ローラのローラ部
１２　　　　　　規制ローラの軸部
１３　　　　　　弾性体
１４　　　　　　支持部
１５　　　　　　空間部
１３ａ　　　　　弾性体の軸方向の端部
１３ｂ　　　　　弾性体の軸方向の端部
１３ｃ　　　　　弾性体の軸方向の中間部
　Ｇ　　　　　　ガラス板
　Ｇ１　　　　　ガラス板の第一主面（表面）
　Ｇ２　　　　　ガラス板の第二主面（表面）
　Ｇｃ　　　　　ガラス板の第一側端部
　Ｓ１　　　　　洗浄工程
　Ｓ１０　　　　供給搬送工程
　Ｓ２１　　　　リンス搬送工程
　Ｓ３１　　　　乾燥搬送工程

Claims

　傾斜姿勢のガラス板の表面に搬送ローラを接触させることにより前記ガラス板を搬送する搬送工程を含むガラス板の製造方法であって、
　前記搬送工程は、前記ガラス板の端部に規制ローラを接触させる接触工程を含み、
　前記規制ローラは、回転可能に保持されるローラ部を有し、
　前記ローラ部は、外皮となる弾性体と、前記弾性体を支持する支持部と、前記ローラ部に内包される空間部と、を有することを特徴とするガラス板の製造方法。
　前記弾性体は、筒状に構成されており、
　前記支持部は、前記弾性体の軸方向の端部を支持しており、
　前記空間部は、前記弾性体の軸方向の中間部に対応するように、前記弾性体の内側に設けられる請求項１に記載のガラス板の製造方法。
　前記弾性体は、ゴムを含む請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
　前記ガラス板の厚みは、０．８ｍｍ以下である請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
　前記接触工程の前工程として、前記ガラス板を搬送しながら前記ガラス板の前記表面を擦り洗浄する洗浄工程を含む請求項１から４のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。