CN217017852U - 玻璃板的清洗装置 - Google Patents

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CN217017852U CN202090000634.6U CN202090000634U CN217017852U CN 217017852 U CN217017852 U CN 217017852U CN 202090000634 U CN202090000634 U CN 202090000634U CN 217017852 U CN217017852 U CN 217017852U
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田中重刚
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Abstract

一种玻璃板的清洗装置,具备:搬运机构,其搬运玻璃板;以及清洗辊,其在与由所述搬运机构搬运的所述玻璃板接触的同时对所述玻璃板进行清洗,其特征在于,所述清洗辊在外周面具有一个以上的突起部,所述突起部沿着所述清洗辊的轴向延伸。

Description

玻璃板的清洗装置
技术领域
本实用新型涉及玻璃板的清洗技术。
背景技术
近年来,液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器等平板显示器 (FPD)正在推进高精细化。与之相伴,在作为FPD用的基板使用的玻璃板中,通过FPD的制造工序而形成致密的电气回路。因而,对这种玻璃板要求不附着灰尘、污垢的高清洁性。
该玻璃板的制造工序包括从玻璃原板切出规定尺寸的玻璃板的切断工序、对该切出的玻璃板的切断端面进行端面加工的加工工序以及清洗玻璃板的清洗工序(例如参照专利文献1)。
作为清洗玻璃板的方法,可以举出利用在与玻璃板的表面接触的同时进行旋转的清洗盘将被沿规定方向搬运的玻璃板清洗的方法(例如参照专利文献2)。这里,清洗盘是能够利用盘面将玻璃板的表面擦拭并清洗的旋转体。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2017-100260号公报
专利文献2:日本特开2017-14060号公报
实用新型内容
实用新型要解决的课题
然而,玻璃原板被捆包而保管,具体而言,以隔着保护片(发泡树脂片、玻璃衬纸)而层叠于托盘上的状态被保管。此时,保护片的成分被向玻璃原板转印,层叠时进入到保护片与玻璃原板之间的环境气体中的浮游物附着于玻璃原板,其结果是,在玻璃原板产生捆包污垢。
在上述那样的要求高清洁性的玻璃板的情况下,当使用清洗盘进行清洗时,关于捆包污垢等粗大污垢、微小异物(微粒)等微小污垢的去除,依然存在不充分的方面。
本实用新型的课题在于实现玻璃板的清洗工序的清洗能力的提高。
用于解决课题的方案
为了解决上述的课题而做出的本实用新型为一种玻璃板的清洗装置,具备:搬运机构,其搬运玻璃板;以及清洗辊,其在与由所述搬运机构搬运的所述玻璃板接触的同时对所述玻璃板进行清洗,其特征在于,所述清洗辊在外周面具有一个以上的突起部,所述突起部沿着所述清洗辊的轴向延伸。
如此一来,伴随着清洗辊的旋转,突起部或者槽部的壁面与玻璃板的表面碰撞,对玻璃板的表面施加冲击力。在该冲击力的作用下高效地使附着于玻璃板的表面的污垢掉落,清洗能力提高。
在上述的结构中,优选的是,在与所述清洗辊对置的位置配置有支承辊,所述支承辊在外周面不具有凹凸部。
在上述的结构中,优选的是,所述搬运机构具备:第一搬运辊,其配置于所述清洗辊的上游侧;以及第二搬运辊,其配置于所述清洗辊的下游侧,所述第一搬运辊以及所述第二搬运辊各自包括夹着所述玻璃板的表面和背面而进行搬运的一对辊。
在上述的结构中,优选的是,清洗辊具有多个突起部。
如此一来,伴随着清洗辊的旋转,突起部与玻璃板的表面碰撞的次数增加,对玻璃板的表面施加的冲击力也增加。因而,起因于冲击力的清洗能力大幅度提高。
在上述的结构中,优选的是,在清洗辊具有突起部的情况下,突起部沿着清洗辊的轴向延伸。
如此一来,突起部变得坚挺,因此对玻璃板的表面施加的冲击力增加,清洗能力进一步提高。
在上述的结构中,优选的是,在清洗辊具有突起部的情况下,轴向上的突起部的长度为轴向上的玻璃板的长度以上。
如此一来,突起部可靠地与玻璃板的全长接触,因此难以产生玻璃板的清洗不均。
在上述的结构中,优选的是,在与清洗辊对置的位置配置支承辊,利用清洗辊与支承辊夹着玻璃板。
如此一来,玻璃板被清洗辊与支承辊夹着,因此能够将基于突起部或者槽部的壁面的冲击力可靠地施加于玻璃板,清洗能力进一步提高。
在上述的结构中,优选的是,清洗辊与玻璃板的保证面接触,支承辊与玻璃板的同保证面相反的一侧的非保证面接触。
如此一来,能够可靠地使被要求高品质的保证面的污垢掉落。
在上述的结构中,优选的是,清洗辊向与玻璃板的搬运方向相反的方向旋转。
如此一来,能够利用突起部或者槽部的壁面对玻璃板赋予较大的阻力,因此玻璃板的清洗能力进一步提高。
在上述的结构中,优选的是,搬运机构具备向与搬运方向相同的方向旋转的多个搬运辊,清洗辊的周速度比搬运辊的周速度大。
如此一来,突起部或者槽部的壁面与玻璃板碰撞的相对速度上升,因此突起部或者槽部的壁面对玻璃板施加的冲击力变大,清洗能力进一步提高。
为了解决上述的课题而做出的本实用新型为一种玻璃板的清洗装置,具备:搬运机构,其搬运玻璃板;以及清洗辊,其在与由搬运机构搬运的玻璃板接触的同时对玻璃板进行清洗,其特征在于,清洗辊在外周面具有一个以上的突起部或者槽部。
如此一来,能够享有与已经叙述的对应的结构相同的作用效果。
在上述的结构中,优选的是,清洗辊具有多个突起部。
如此一来,能够享有与已经叙述的对应的结构相同的作用效果。
实用新型效果
根据本实用新型,能够实现玻璃板的清洗工序的清洗能力的提高。
附图说明
图1是示出本实用新型的第一实施方式的玻璃板的清洗装置的立体图。
图2是将本实用新型的第一实施方式的玻璃板的清洗装置的清洗辊周边放大示出的侧视图。
图3是示出本实用新型的第二实施方式的玻璃板的清洗装置的清洗辊的立体图。
图4是示出本实用新型的第三实施方式的玻璃板的清洗装置的清洗辊的立体图。
图5是示出实施例的清洗辊与以往的清洗盘的清洗能力的比较试验的结果的图表。
具体实施方式
以下,基于附图对本实用新型的实施方式进行说明。
(第一实施方式)
如图1以及图2所示,第一实施方式的玻璃板的清洗装置1具备作为将玻璃板G沿搬运方向X搬运的搬运机构的搬运辊2以及对由搬运辊2 搬运的玻璃板G进行清洗的清洗辊3。清洗装置1配置于处理室(例如清洁室)内。
玻璃板G是在将利用公知的成形方法成形的玻璃原板切出为规定尺寸之后对切断端面进行端面加工而成的单一的玻璃板,且该玻璃板G在第一主面Ga以及第二主面Gb中,未进行电极等的成膜而玻璃面露出。需要说明的是,第一主面Ga以及第二主面Gb是指在厚度方向上对置的面,在本实施方式中,第一主面Ga为上表面,第二主面Gb为下表面。而且,玻璃板G的上表面Ga为品质得到保证的保证面,玻璃板G的下表面Gb 为非保证面。
搬运辊2沿搬运方向X隔开间隔地配置有多根,并将玻璃板G以平置姿态搬运。
这里,对于平置姿态而言,不仅是水平姿态,还包括在与搬运方向X 正交的宽度方向上一端侧与另一端侧相比位于低位的倾斜姿态。在本实施方式中,玻璃板G被以倾斜姿态搬运。由此,附着于玻璃板G的上表面 Ga的多余液体在自重的作用下从玻璃板G的上表面Ga流下,因此能够防止在玻璃板G的上表面Ga形成成为污垢的原因的液体积存。玻璃板G的上表面Ga相对于水平面的倾斜角度例如优选为2~10°。需要说明的是,搬运时的玻璃板G的姿态没有特别限定,例如也可以是水平姿态、铅垂姿态。
搬运辊2为不具有突起部的圆柱状,但并不限定于此。搬运辊2例如能够由树脂、橡胶等构成。
搬运辊2的轴向与宽度方向平行。搬运辊2的宽度(轴向长度)为玻璃板G的宽度(轴向长度)以上,但并不限定于此。例如搬运辊2也可以是在宽度方向上与玻璃板G局部地接触的结构(例如与玻璃板G的宽度方向两端部接触的结构)。
搬运辊2不仅配置于玻璃板G的下表面Gb侧,还配置于上表面Ga 侧。也就是,搬运机构包括在搬运路径上利用上下一对搬运辊2将玻璃板 G的上下两面Ga、Gb夹着并搬运的部分。配置于上表面Ga侧的搬运辊2 也可以省略。
清洗辊3作为整体呈圆柱状,且具有与玻璃板G接触的多个突起部4。由此,伴随着清洗辊3的旋转,多个突起部4与玻璃板G的表面碰撞,对玻璃板G的表面施加敲击那样的冲击力。在该冲击力的作用下,高效地使附着于玻璃板G的上表面(保证面)Ga的污垢掉落,清洗能力大幅度提高。
清洗辊3例如能够由海绵(例如PVA海绵)、无纺布这样的弹性体构成。在采用海绵的情况下,海绵的硬度优选在30%压缩应力的条件下为1~ 30kPa,更优选为5~15kPa。在采用无纺布的情况下,无纺布的硬度优选以Asker A硬度计为10~90。无纺布可以通过层叠多个无纺布而构成,也可以由单个无纺布构成。无纺布例如能够使用由针刺法形成的无纺布。对于构成无纺布的纤维而言,能够使用金属纤维、树脂纤维以及这些纤维的混合纤维。清洗辊3优选为一体物,但也可以是将多个部件组合而成的分割物。在将清洗辊3设为分割物的情况下,例如能够由树脂、橡胶、金属构成中心部且由海绵、无纺布构成突起部4这样由不同材质构成中心部与突起部4。
优选的是,利用喷淋嘴等任意的方法向清洗辊3或者其紧上游的玻璃板G供给清洗液(例如液体洗涤剂、水、碱离子水)。
清洗辊3在图示例中在搬运路径上仅配置有一根,但也可以在搬运方向X上隔开间隔地配置有多根。清洗辊3的根数能够根据所要求的清洗能力适当变更。
清洗辊3的轴向与宽度方向平行。清洗辊3的宽度(轴向长度)为玻璃板G的宽度以上,但并不限定于此。
在本实施方式中,清洗辊3配置于玻璃板G的上表面Ga侧、也就是保证面侧。由此,能够利用清洗辊3使被要求高品质的保证面的污垢可靠地掉落。
突起部4沿着清洗辊3的轴向、也就是宽度方向延伸。换言之,在清洗辊3的周向上相邻的突起部4之间形成有沿清洗辊3的轴向(宽度方向) 延伸的槽5。通过突起部4沿着轴向延伸,从而突起部4变得坚挺,例如突起部4难以变形,或者在变形了的突起部4产生的恢复力增加。其结果是,突起部4对玻璃板G施加的冲击力变大,清洗能力提高。
槽5在清洗辊3的轴直角截面中呈随着从外径侧趋向内径侧而槽宽度逐渐变窄的V状。需要说明的是,槽5的截面形状并不限定于此,例如也可以是具有一对侧壁以及将一对侧壁的下端相连的底壁的“コ”状。
突起部4的宽度(轴向长度)优选为玻璃板G的宽度(轴向长度)以上。由此,由于突起部4与玻璃板G的整个宽度接触,因此能够可靠地降低玻璃板G的清洗不均。
如图2所示,突起部4的周向的厚度T优选为2~30mm,更优选为2~ 20mm。突起部4的周向的间距(槽5的周向的宽度)P优选为2~10mm。突起部4的高度(槽5的深度)H优选为5~30mm,更优选为5~20mm。
主要与玻璃板G接触的突起部4的前端面在本实施方式中为圆筒面,但也可以是平坦面。
在与清洗辊3对置的位置,在玻璃板G的下表面Gb侧、也就是非保证面侧配置有支承辊6。换言之,清洗辊3以及支承辊6夹着玻璃板G的上下两面Ga、Gb而进行清洗。由此,成为玻璃板G的下表面Gb被支承辊6支承的状态,因此能够利用清洗辊3的突起部4更可靠地对玻璃板G 的上表面Ga赋予冲击力。其结果是,玻璃板G的上表面(保证面)Ga 的清洗能力提高。需要说明的是,支承辊6也可以省略。
支承辊6是不具有突起部的圆柱状。支承辊6例如能够由橡胶、树脂、海绵(例如PVA海绵)、刷子构成。从使作用于玻璃板G的上表面Ga以及下表面Gb的力均等而防止破损的观点出发,支承辊6优选为与清洗辊 3的突起部4相同的海绵(例如PVA海绵)。从相同的观点出发,支承辊 6的周速度优选为与清洗辊3的周速度相同。另外,支承辊6的外径优选为与清洗辊3的外径相同。需要说明的是,清洗辊3的周速度是指径向上的突起部4的前端处的周速度。
支承辊6的轴向与宽度方向平行。支承辊6的宽度(轴向长度)为玻璃板G的宽度以上,但并不限定于此。例如支承辊6也可以是在宽度方向上与玻璃板G局部地接触的结构(例如,与玻璃板G的宽度方向两端部接触的结构)。
搬运辊2向与搬运方向X相同的方向(运送玻璃板G的方向)旋转,但清洗辊3以及支承辊6向与搬运方向X相反的方向旋转。由此,突起部 4与玻璃板G碰撞的相对速度变大,因此突起部4对玻璃板G施加的冲击力变大,清洗能力进一步提高。另外,也由于突起部4与玻璃板G碰撞的次数增加而清洗能力进一步提高。当然,也可以是,清洗辊3以及支承辊 6向与搬运辊2相同的方向旋转。
从增大相对速度并且增加碰撞次数而使清洗能力进一步提高的观点出发,清洗辊3的周速度优选为比搬运辊2的周速度大,更优选为2倍以上,进一步更优选为3倍以上。其上限例如能够设为7倍。
需要说明的是,也可以是,清洗装置1例如在清洗辊3的上游侧具备冲洗装置,对此省略图示。另外,也可以是,清洗装置1例如在清洗辊3 的下游侧具备辅助清洗装置、冲洗装置、干燥装置。
清洗辊3的上游侧或者下游侧的冲洗装置例如向玻璃板G供给冲洗液 (例如液体洗涤剂、水、碱离子水),对玻璃板G进行预洗。在本实施方式中,对玻璃板G的上下两面Ga、Gb供给冲洗液,但也可以仅对玻璃板 G的上表面Ga供给冲洗液。需要说明的是,冲洗液例如通过从喷淋嘴喷雾,或者利用辊涂覆,从而被向玻璃板G供给。
辅助清洗装置例如将由在宽度方向上隔开间隔配置的多个清洗盘构成的清洗盘列沿搬运方向X配置一列或者多列而构成。清洗盘是能够将玻璃板G的表面擦拭并清洗的圆盘状的旋转体。在本实施方式中,清洗盘分别配置于玻璃板G的上表面Ga侧以及下表面Gb侧,盘面与玻璃板G的上下两面Ga、Gb接触。清洗盘也可以仅配置于玻璃板G的上表面Ga侧以及下表面Gb侧中的一方。辅助清洗装置也可以为了代替清洗盘或与之并用,而具备前述的清洗辊3、刷辊。
干燥装置例如具备分别配置于玻璃板G的上表面Ga的上方侧以及下表面Gb的下方侧的气刀。干燥装置从气刀将高压的气体向玻璃板G的上表面Ga以及下表面Gb喷射,从而将附着于这些表面的水分去除。需要说明的是,干燥装置也可以利用气刀以外的其他公知的干燥机构来使玻璃板G干燥。
接下来,对本实施方式的玻璃板的制造方法进行说明。本制造方法包括使用了上述的玻璃板的清洗装置1的清洗工序。
详细而言,玻璃板的制造方法例如包括开捆工序、切断工序、清洗工序(包括干燥工序)、检查工序以及捆包工序。需要说明的是,也可以在切断工序之后并且清洗工序之前包括端面加工工序。
在开捆工序中,从层叠有由衬纸、发泡树脂等构成的保护片与玻璃原板的托盘,将玻璃原板依次取出并向切断工序供给。玻璃原板能够使用溢流下拉法、狭缝下拉法、再拉法等下拉法、浮法等公知的成形方法来制作。其中,溢流下拉法由于两侧的表面成为锻造面而能够实现高的表面品质,因此优选。
在切断工序中,将玻璃原板切断为规定尺寸,获得一张或者多张玻璃板G。作为玻璃原板的切断方法,例如能够利用划线割断、激光热割断、激光熔断等切断方法。玻璃板G优选为矩形形状。玻璃板G的一边的大小优选为1000mm~3000mm,板厚优选为0.05mm~10mm,更优选为 0.2mm~0.7mm。
在端面加工工序中,利用磨石对玻璃板G进行包括端面的磨削、研磨以及切角中的至少一个在内的端面加工。
在清洗工序中,使用上述的清洗装置1,将玻璃板G在搬运的同时清洗,之后使玻璃板G干燥。
在检查工序中,对清洗过的玻璃板G检查在表面是否有损伤、灰尘、污垢等和/或是否有气泡、异物等内部缺陷。检查使用相机等光学检查装置来进行。
在捆包工序中,将检查的结果是满足所希望的品质的玻璃板G捆包。捆包通过对规定的托盘平置地层叠多张玻璃板G或者纵置地层叠多张玻璃板G来进行。在该情况下,优选的是,在玻璃板G的层叠方向的彼此之间夹设有保护片。
(第二实施方式)
在上述的第一实施方式中,例示了清洗辊3具有沿着轴向延伸的槽5 的情况,但在第二实施方式中,如图3所示,例示清洗辊3除了沿着轴向延伸的第一槽5a以外还具备沿着周向延伸的第二槽5b的情况。
各个突起部4的周围被第一槽5a与第二槽5b划分。需要说明的是,第二槽5b在图示例中在规定的轴向位置处的整周上连续,但也可以在规定的轴向位置处的周向上不连续,或者随着沿周向移动而使轴向位置偏移。
本实施方式中的其他结构与第一实施方式相同。由于第二实施方式的清洗辊3除了第一槽5a以外还具有第二槽5b,因此突起部4也能够沿轴向变形。由此,第二实施方式的清洗辊3与第一实施方式相比,能够较强地按压玻璃板G,较容易与玻璃板G紧贴。因此,能够使玻璃板G的上表面Ga的清洗能力进一步提高。
(第三实施方式)
在上述的第二实施方式中,例示了在清洗辊3中第一槽5a与轴向平行且第二槽5b与周向平行的情况,但在第三实施方式中,如图4所示,例示第一槽5a相对于轴向倾斜且第二槽5b相对于周向倾斜的情况。
第一槽5a的相对于轴向的倾斜角例如优选为30~60°,第二槽5b的相对于周向的倾斜角例如优选为30~60°。
本实施方式中的其他结构与第一实施方式相同。第三实施方式的清洗辊3除了第一槽5a以外还具有第二槽5b,因此突起部4能够沿多个方向变形。由此,第三实施方式的清洗辊3与第一实施方式相比,能够较强地按压玻璃板G,较容易与玻璃板G紧贴。因此,能够使玻璃板G的上表面Ga的清洗能力进一步提高。
以上,说明了本实用新型的实施方式,但本实用新型当然不被该方式限定,而能够在本实用新型的范围内采取各种方式。
在上述的实施方式中,例示了利用清洗辊3与支承辊6夹着玻璃板G 的情况,但也可以省略支承辊6。出于使玻璃板G的上表面Ga的清洗能力提高的观点,优选配置支承辊6。在需要使玻璃板G的下表面Gb的清洗能力提高的情况下,优选的是,代替支承辊6而配置清洗辊3,并利用清洗辊3彼此夹着玻璃板G。
在上述的实施方式中,搬运机构并不限定于搬运辊2,例如也可以是搬运带等。
在上述的实施方式中,例示了在玻璃板G的搬运路径上的一个位置设置清洗装置1的情况,但也可以在玻璃板G的搬运路径上的多个位置设置清洗装置1。
在上述的实施方式中,说明了清洗辊3在外周面具有多个突起部4、多个槽部5的情况,但也可以是,清洗辊3在外周面仅具有一个突起部或者一个槽部。
在上述的实施方式中,也可以是,在将清洗辊3使用了规定期间之后,将该使用了的清洗辊3以轴向左右反转的方式重新安装并再利用。或者也可以是,不将使用了的清洗辊3的轴向左右反转,而是将旋转方向设为相反的方向并再利用。如此一来,一根清洗辊3的寿命延长至约2倍,非常经济。
实施例
进行了第一实施方式的清洗辊与以往的清洗盘的清洗能力的比较试验。在比较试验中,作为实施例对配置有一根图2所示的清洗辊的情况下的清洗能力进行了评价,且作为比较例对配置有一列清洗盘的情况下的清洗能力进行了评价。清洗能力根据在玻璃板的清洗后检测出的捆包污垢等粗大污垢(例如当量圆直径为25μm以上)的数量、以及检测出的微小异物(微粒)等微小污垢(例如当量圆直径小于25μm)的数量来评价。玻璃板的尺寸为2200mm×2500mm。在粗大污垢的检测中使用了KUBOTEK 株式会社制的表面污垢检测器,在微小污垢的检测中使用了株式会社日立高新技术高精细系统制的GI检查机。比较试验的结果在图5中示出。
根据图5可知,粗大污垢(该图中的表面污垢检出数量)对于比较例的清洗盘而言为0.79个/片,相对于此,对于实施例的清洗辊而言减少到 0.50个/片。另一方面,微小污垢(该图中的微粒个数)对于比较例的清洗盘而言为60.0个/m2,相对于此,对于实施例的清洗辊而言减少到5.7个/m2。由此,也能够确认实施例的清洗辊与比较例的清洗盘相比,针对粗大污垢以及微小污垢的清洗能力大幅度提高。需要说明的是,粗大污垢以及微小污垢均是出自于有机物的情况较多。
附图标记说明
1 清洗装置
2 搬运辊
3 清洗辊
4 突起部
5 槽
6 支承辊
G 玻璃板
X 搬运方向。

Claims (10)

1.一种玻璃板的清洗装置,具备:搬运机构,其搬运玻璃板;以及清洗辊,其在与由所述搬运机构搬运的所述玻璃板接触的同时对所述玻璃板进行清洗,其特征在于,
所述清洗辊在外周面具有一个以上的突起部,
所述突起部沿着所述清洗辊的轴向延伸。
2.根据权利要求1所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
在与所述清洗辊对置的位置配置有支承辊,
所述支承辊在外周面不具有凹凸部。
3.根据权利要求1所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
所述搬运机构具备:第一搬运辊,其配置于所述清洗辊的上游侧;以及第二搬运辊,其配置于所述清洗辊的下游侧,
所述第一搬运辊以及所述第二搬运辊各自包括夹着所述玻璃板的表面和背面而进行搬运的一对辊。
4.根据权利要求2所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
所述搬运机构具备:第一搬运辊,其配置于所述清洗辊的上游侧;以及第二搬运辊,其配置于所述清洗辊的下游侧,
所述第一搬运辊以及所述第二搬运辊各自包括夹着所述玻璃板的表面和背面而进行搬运的一对辊。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
所述清洗辊具有多个所述突起部。
6.根据权利要求1~4中任一项所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
所述轴向上的所述突起部的长度为所述轴向上的所述玻璃板的长度以上。
7.根据权利要求2或4所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
利用所述清洗辊与所述支承辊夹着所述玻璃板。
8.根据权利要求7所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
所述清洗辊与所述玻璃板的保证面接触,所述支承辊与所述玻璃板的同所述保证面相反的一侧的非保证面接触。
9.根据权利要求1~4中任一项所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
所述清洗辊向与所述搬运方向相反的方向旋转。
10.根据权利要求9所述的玻璃板的清洗装置,其特征在于,
所述搬运机构具备向与所述搬运方向相同的方向旋转的多个搬运辊,
所述清洗辊的周速度比所述搬运辊的周速度大。
CN202090000634.6U 2019-07-16 2020-07-07 玻璃板的清洗装置 Active CN217017852U (zh)

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JP2019-131102 2019-07-16
PCT/JP2020/026586 WO2021010230A1 (ja) 2019-07-16 2020-07-07 ガラス板の製造方法及びガラス板の洗浄装置

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