CN215391451U - 玻璃板运送装置及玻璃板清洗装置 - Google Patents
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Abstract
提供一种不会使玻璃板产生破裂或裂纹等而能够使玻璃板的保持力充分高，并且不会使玻璃板蜿蜒前进而能够将其稳定地运送的玻璃板运送装置及玻璃板清洗装置。玻璃板运送装置通过玻璃板的下表面侧的第一辊及玻璃板的上表面侧的第二辊，将玻璃板以沿厚度方向夹入的状态运送。夹于第一表层部及第二表层部之间的玻璃板以Pt/Wt为100[kPa/m]以上的方式被保持，第二辊的轴向中央部的保持压强为10kPa以上。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃板运送装置及玻璃板清洗装置。
背景技术
液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器、LED(Light Emitting Diode：发光二极管)显示器面板等FPD(Flat Panel DisPlay：平板显示器) 所使用的玻璃板通过经由图15所示的多个工序来制造。
即，玻璃板制造工序50包括成形工序52、研磨工序54、浆料清洗工序56、洗涤剂清洗工序58、纯水清洗工序62、纯水冲洗工序64、干燥工序66、检査工序68及捆包工序72。
成形工序52包括由熔融玻璃成形带状的板玻璃的工序和将带状的板玻璃切断成规定的矩形形状尺寸的玻璃板的工序。
玻璃板在从研磨工序54至检査工序68为止，一边由输送器连续运送一边在各工序中实施规定的处理。然后，经过了检査工序68的玻璃板在捆包工序72中被捆包于货盘等而出货。
另外，玻璃板在从研磨工序54以后至干燥工序66为止，被涂布清洗水、浆料溶液、洗涤剂、纯水等液体，并使用清洗部例如盘形刷等来清洗。
FPD(Flat Panel DisPlay：平板显示器)所使用的玻璃板由于在表面形成有电气电路，因此即使是极微小的瑕疵及污垢也会成为制品不良的原因。因此，对这样的玻璃板要求极高的表面特性，需要充分地除去玻璃板表面的附着物。
以往的玻璃板运送装置通过使与玻璃板的下表面抵接的圆柱形状的第一辊组旋转驱动而将所述玻璃板以水平状态沿水平方向运送。在所述第一辊组的上方配置有第二辊组，通过在所述第一辊组与所述第二辊组之间夹入所述玻璃板而防止清洗过程中的玻璃板的蜿蜒前进(参照专利文献1)。
然而，为了得到具有与以往相比更高的表面特性的玻璃板，在玻璃板清洗工序中，如果使清洗部与玻璃板较强地接触，则在清洗过程中，玻璃板蜿蜒前进，清洗部无法与玻璃表面适当地接触，存在玻璃板表面的附着物无法充分地除去的问题。而且，如果使清洗部与玻璃板较强地接触，则可能会发生玻璃板与运送路的侧壁碰撞而破裂等。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-30570
实用新型内容
实用新型的概要
实用新型要解决的课题
在玻璃板清洗工序中，需要使清洗部与以往相比更强地与玻璃板接触而充分地除去玻璃板表面的附着物。
本申请发明者们通过对即便使清洗部与以往相比更强地与玻璃板接触也能够防止玻璃板的蜿蜒前进的方法进行研究发现，如图12所示，在以往的玻璃板运送装置中，由于在玻璃板G的上方配置的辊18仅与玻璃板G的端部抵接，因此玻璃板G容易蜿蜒前进。即，在以往的玻璃板运送装置中，夹在第一辊16与第二辊18之间的玻璃板G由于其仅在辊16、18的两端部被保持，因此玻璃板G的保持力不充分。因此，在以往的玻璃板运送装置中，如果使清洗部较强地接触，则玻璃板G 会蜿蜒前进，无法使清洗部较强地接触。而且，在为了提高玻璃板G 的保持力而将第二辊较强地压紧于玻璃板的情况下，在玻璃板G的端部局部性地作用有强的压力，可能会在玻璃板产生破裂或裂纹等。
本实用新型的目的在于提供一种玻璃板运送装置，不会使玻璃板产生破裂或裂纹等而能够使玻璃板的保持力充分高，并且不会使玻璃板蜿蜒前进而能够将其稳定地运送。
用于解决课题的方案
本发明的玻璃板运送装置将具有第一表面和第二表面的玻璃板以所述第二表面朝向上方的方式沿水平方向运送，其特征在于，所述玻璃板运送装置具备：第一辊，具有与所述第一表面接触的第一表层部、第一轴；第二辊，配置在所述第一辊的上方，具有与所述第二表面接触的第二表层部、第二轴，夹在所述第一表层部与所述第二表层部之间的所述玻璃板以下述的Pt/Wt为100[kPa/m]以上的方式被保持，所述 Pt/Wt是将在所述第一辊及所述第二辊的轴向中央部测定的第一保持压强P1、在所述第一辊及所述第二辊的轴向一端部测定的第二保持压强P2、在所述第一辊及所述第二辊的轴向另一端部测定的第三保持压强P3的合计值Pt(Pt＝P1+P2+P3)除以所述第一保持压强P1的测定长度 W1、所述第二保持压强P2的测定长度W2、所述第三保持压强P3的测定长度W3的合计值Wt(Wt＝W1+W2+W3)而得到的值，且所述第一保持压强P1为10kPa以上。
由于第二辊中央部与玻璃板抵接，因此即使向玻璃板施加高的保持压强，也不会局部性地作用高的压力，不会产生玻璃板的破裂或裂纹等。
优选的是，所述第一保持压强P1、所述第二保持压强P2及所述第三保持压强P3是相同程度的保持压强。具体而言，所述第一保持压强P1、第二保持压强P2及第三保持压强P3满足下述的(1)及(2)。
0.3≤P1/P2≤1.2…(1)
0.3≤P1/P3≤1.2…(2)
玻璃板的保持压强无论辊表层部的场所如何都均匀，由此不会对玻璃板局部性地作用高的压力，从而在玻璃板的面内，品质变得均匀。
另外，优选的是，所述第二辊具有凸冠形状。
在以往的玻璃板运送装置中，第一辊由于所述第一辊的自重及载置于上方的玻璃板及第二辊的重量而挠曲。第二辊也由于自重而挠曲，但是作用于第二辊的力仅为自重，因此挠曲量比第一辊小。因此，在以往的玻璃板运送装置中，第二辊中央部与玻璃板不抵接。另一方面，在第二辊成为凸冠形状的情况下，所述第二辊中央部能够与玻璃板抵接，玻璃板的保持力提高。
更优选的是，所述第一辊为凹冠形状。
通过进而使所述第一辊为凹冠形状，由此所述第二辊在所述玻璃板的宽度的整个区域均匀地抵接，因此玻璃板的保持力提高。而且，由于所述第二辊在玻璃板的宽度的整个区域均匀地抵接，因此在玻璃板的面内，品质变得均匀。
另外，优选的是，所述第一辊为凸冠形状。
进而使所述第一辊为凸冠形状，能够以所述第一辊及所述第二辊均匀地抵接的方式进行调节。由此，在玻璃板的面内，品质变得均匀。
本发明的玻璃板运送装置将具有第一表面和第二表面的玻璃板以所述第二表面朝向上方的方式沿水平方向运送，其特征在于，所述玻璃板运送装置具备：第一辊，具有与所述第一表面接触的第一表层部、第一轴；第二辊，配置在所述第一辊的上方，具有与所述第二表面接触的第二表层部、第二轴，所述第二辊具有凸冠形状。
优选的是，所述第一辊具有凹冠形状。
另外，优选的是，在玻璃板的运送时，所述第二辊的轴向中央部与玻璃板抵接。
更优选的是，在玻璃板的运送时，所述第二辊在与玻璃板的运送方向正交的方向的玻璃板的宽度整个区域进行抵接。
本发明的玻璃板运送装置将具有第一表面和第二表面的玻璃板以所述第二表面朝向上方的方式沿水平方向运送，其特征在于，所述玻璃板运送装置具备：第一辊，具有与所述第一表面接触的第一表层部、第一轴；第二辊，配置在所述第一辊的上方，具有与所述第二表面接触的第二表层部、第二轴，所述第一辊具有凸冠形状。
优选的是，所述第二辊具有凹冠形状。
另外，优选的是，在玻璃板的运送时，所述第二辊的轴向中央部与玻璃板抵接。
更优选的是，在玻璃板的运送时，所述第二辊在与玻璃板的运送方向正交的方向的玻璃板的宽度整个区域进行抵接。
另外，优选的是，所述第二辊的挠曲量比所述第一辊的挠曲量大。
本实用新型的玻璃板运送装置将具有第一表面和第二表面的玻璃板以所述第二表面朝向上方的方式沿水平方向运送，其特征在于，所述玻璃板运送装置具备：第一辊，具有与所述第一表面接触的第一表层部、第一轴；第二辊，配置在所述第一辊的上方，具有与所述第二表面接触的第二表层部、第二轴，所述第二辊的挠曲量比所述第一辊的挠曲量大。
另外，优选的是，在玻璃板的运送时，所述第二辊的轴向中央部与玻璃板抵接。
更优选的是，在玻璃板的运送时，所述第二辊在与玻璃板的运送方向正交的方向的玻璃板的宽度整个区域进行抵接。
另外，优选的是，所述第一表层部及所述第二表层部为树脂制。辊表层部为树脂制，由此辊表层部的静摩擦系数提高，玻璃板的保持力提高。
另外，优选的是，所述第一表层部及所述第二表层部的硬度为30～ 70。
另外，优选的是，所述第一表层部及所述第二表层部的算术平均粗糙度Ra为15μm以下。如果算术平均粗糙度Ra小，则玻璃板与辊的接触面积增大，玻璃板的保持力提高。
另外，优选的是，与所述玻璃板的运送方向正交的方向的玻璃板的宽度为1500mm以上。玻璃板越大，则在以往的玻璃板运送装置中，在玻璃板的宽度的整个区域进行抵接就变得困难。另一方面，本发明的玻璃板运送装置由于第二辊在玻璃板的宽度的整个区域进行抵接，因此发挥了即使玻璃板大也能够不蜿蜒前进地运送这样显著的效果。
本发明的玻璃板清洗装置的特征在于，具备：所述玻璃板运送装置；液体供给部，向运送过程中的所述玻璃板供给液体；清洗部，与所述第一表面及所述第二表面接触而除去所述第一表面及所述第二表面的附着物。
玻璃板由所述玻璃板运送装置运送，使用清洗部除去第一表面及第二表面的附着物。玻璃板清洗装置所具备的所述玻璃板运送装置以高的保持压强保持玻璃板，因此即便使清洗部较强地接触，玻璃板也不会蜿蜒前进。因此，能够充分地除去玻璃板表面的附着物。
实用新型效果
根据本实用新型，能够提供一种玻璃板运送装置，能够使玻璃板不产生破裂或裂纹等而充分地提高玻璃板的保持力，能够使玻璃板不蜿蜒前进而将其稳定地运送。
附图说明
图1是玻璃板运送装置的立体图。
图2是玻璃板运送装置的第一辊及第二辊的侧视图。
图3是第一表层部和第二表层部的中央部及两端部处的保持压强的测定区域的说明图。
图4是表示第一辊方式的主视图。
图5是辊的凸冠形状的说明图。
图6是表示第一辊方式的另一实施方式的主视图。
图7是辊的凹冠形状的说明图。
图8是表示第二辊方式的主视图。
图9是表示第二辊方式的另一实施方式的主视图。
图10是辊的挠曲量的说明图。
图11是表示第三辊方式的主视图。
图12是使用了以往的辊的玻璃板运送装置的说明图。
图13是玻璃板清洗装置的立体图。
图14是图13所示的玻璃板清洗装置的侧视图。
图15是玻璃板制造方法的说明图。
标号说明
A…运送方向，B…挠曲量，G…玻璃板，W…辊表层部的轴长方向的长度，Wg…与运送方向正交的方向的玻璃板的宽度，W1…第一保持压强P1的测定长度，W2…第二保持压强P2的测定长度，W3…第三保持压强P3的测定长度，10…玻璃板运送装置，12…第一表面，14…第二表面，16…第一辊，18…第二辊，22…第一轴，24…第二轴，26…第一表层部，28…第二表层部，30…玻璃板清洗装置，32…盘形刷，34…盘形刷，36…下段液体供给部，38…上段液体供给部，50…玻璃板制造工序，52…成形工序，54…研磨工序，56…浆料清洗工序，58…洗涤剂清洗工序，62…纯水清洗工序，64…纯水冲洗工序，66…干燥工序，68…检査工序，72…捆包工序。
具体实施方式
以下，说明本实用新型的玻璃板运送装置的优选的实施方式。
<玻璃板运送装置的结构>
图1所示的玻璃板运送装置10是将玻璃板G以水平状态沿运送方向A运送的装置，具备与玻璃板G的第一表面12抵接的第一辊16、配置在第一辊16的上方并与玻璃板G的第二表面14抵接而在与第一辊16之间将玻璃板G沿厚度方向夹入的第二辊18。玻璃板G的第一表面12为下表面，玻璃板G的第二表面14为上表面。第一辊16为下辊，第二辊18为上辊。
<第一辊及第二辊>
如图2所示，第一辊16具有用于将来自驱动部(未图示)的动力向第一辊16传递并使其旋转驱动的第一轴22和与玻璃板G的第一表面 12抵接的第一表层部26。第二辊18具有用于使第二辊18旋转的第二轴24和与玻璃板G的第二表面14抵接的第二表层部28。在第二辊18 可以连接旋转驱动单元，也可以不连接。在未连接旋转驱动单元的情况下，第二辊18在与玻璃板G的第二表面14之间的摩擦阻力的作用下追随玻璃板G的运送，而在将玻璃板G向运送方向A运送的方向上被旋转。需要说明的是，也可以在第二辊18连接旋转驱动单元。在玻璃板G的尺寸变大时，在第二辊18连接旋转驱动单元并使第二辊18 驱动，能够提高玻璃板G的运送力。第二辊18的旋转驱动单元不受限定。例如，可以是在第二辊18的第二轴24安装传送带来传递动力的方法、或经由齿轮使相邻的第二辊18的端部彼此连结并通过向齿轮施加旋转动力来使第二辊18旋转的旋转驱动单元。
第一轴22、第二轴24、第一表层部26及第二表层部28可以分别独立地选择原料。即，可以全部由相同的原料构成，也可以全部由不同的原料构成。而且，可以在第一轴22与第一表层部26之间及第二轴24与第二表层部28之间设置中间层。
<第一轴及第二轴>
第一轴22及第二轴24的原料使用碳、金属构件或树脂。第一轴 22及第二轴24可以是内部被填充，也可以为中空结构。为了抑制用于使辊16、18驱动旋转的消耗电力而优选为中空结构。金属构件没有特别限制，可使用例如碳素钢或特殊钢。碳素钢是指使铁中含有少量的碳(C)的原料。特殊钢是指在铁中，除了碳(C)之外还含有一种或多种铬 (Cr)、锰(Mn)、镍(Ni)、钼(Mo)、钒(V)等金属元素的原料。
第一轴22及第二轴24使用的树脂没有特别限制，可列举丁腈树脂、硅树脂、氟树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸树脂、异戊二烯树脂、苯乙烯树脂、丁二烯树脂、丁基树脂等。
所述第一轴22及第二轴24优选机械强度高且具有防锈性的材料。因此，优选在铁中含有少量的碳及金属元素的特殊钢，更优选含有铬 (Cr)11％以上的不锈钢。
夹在第一表层部26与第二表层部28之间的玻璃板G以Pt/Wt为 100[kPa/m]以上的方式被保持。第一表层部26和第二表层部28能够以高的保持压强来保持玻璃板G，因此即便使清洗部比以往强地与玻璃板G接触也能够防止玻璃板G的蜿蜒前进，能够充分除去玻璃板G表面的附着物。所述Pt/Wt优选为150[kPa/m]以上，更优选为200[kPa/m] 以上，进一步优选为250[kPa/m]以上，并优选为1000[kPa/m]以下，更优选为800[kPa/m]以下，进一步优选为600[kPa/m]以下。
所述Pt/Wt是将在所述第一辊及所述第二辊的轴向中央部测定的第一保持压强P1、在所述第一辊及所述第二辊的轴向一端部测定的第二保持压强P2、在所述第一辊及所述第二辊的轴向另一端部测定的第三保持压强P3的合计值Pt(Pt＝P1+P2+P3)除以所述第一保持压强P1的测定长度W1、所述第二保持压强P2的测定长度W2、所述第三保持压强P3的测定长度W3的合计值Wt(Wt＝W1+W2+W3)而得到的值。
在此，如图3所示，在辊表层部的从一端部A至另一端部B的长度为W[m]的情况下，所述第一辊及所述第二辊的轴向一端部以及所述第一辊及所述第二辊的轴向另一端部是指处于距离一端部AWa[m]以上且Wb[m]以下的距离的范围以及We[m]以上且Wf[m]以下的距离的范围。而且，所述第一辊及所述第二辊的轴向中央部是指距处于距离辊表层部的一端部AWc[m]以上且Wd[m]以下的距离的范围。在此， Wa、Wb、Wc、Wd、We、Wf满足以下的(3)～(8)。
Wa＝0.05…(3)
Wb＝0.45…(4)
We＝W-0.45…(5)
Wf＝W-0.05…(6)
Wc＝W/2-0.2…(7)
Wd＝W/2+0.2…(8)
W1、W2、W3是第一保持压强P1、第二保持压强P2、第三保持压强P3的测定长度。即，W1、W2及W3的测定长度分别为(Wd-Wc)[m]、 (Wb-Wa)[m]及(Wf-We)[m]，W1＝W2＝W3＝0.40[m]。
所述保持压强P1为10[kPa]以上。而且，所述保持压强P1优选为 50[kPa]以上，更优选为100[kPa]以上，且优选为1000[kPa]以下，更优选为800[kPa]以下，进一步优选为600[kPa]以下。由于第二辊18在玻璃板G的宽度的整个区域Wg进行抵接而玻璃板G的保持力提高。而且，第二辊18的中央部与玻璃板G抵接，因此在较强地压紧所述第二辊18时，不会对玻璃板G的端部局部性地作用高的压力，能够防止玻璃板G的破裂或裂纹。
调整玻璃板G的保持压强的方法可考虑例如以下的方法。例如，通过增大第二辊18的质量而能够增大玻璃板G的保持压强。而且，也可以在第二辊18设置加压机构。通过利用所述加压机构来将第二辊18 朝向第一辊16压入，能够增大玻璃板G的保持压强。而且，所述加压机构可以设置于第一辊16。通过将第一辊16朝向第二辊18压入，能够增大玻璃板G的保持压强。
关于所述P1、P2、P3，P1与P2之比(P1/P2)优选为0.3以上，更优选为0.5以上，进一步优选为0.7以上，且优选为1.5以下，更优选为1.2以下。而且，P1与P3之比(P1/P3)优选为0.3以上，更优选为0.5 以上，进一步优选为0.7以上，且优选为1.5以下，更优选为1.2以下。比越接近1，则越能够以均匀的保持压强保持玻璃板，防止在玻璃板G 上局部性地作用高的压力的情况，因此能够更稳定地运送玻璃板G，能够在玻璃板G的面内使品质均匀。
<第一辊方式>
图4是第一辊方式的玻璃板运送装置10的主视图。
<第一辊方式的玻璃板运送装置>
在图4中，第一辊16以圆柱形状图示，但是并不限定于此。第一辊16可以为凸冠形状，也可以为凹冠形状。第一辊16为了将玻璃板G 向运送方向A运送而与运送方向A正交地配置。在第一辊16的上方配置有第二辊18，该第二辊18与玻璃板G的第二表面抵接而在与第一辊16之间将玻璃板G沿厚度方向夹入。
在本说明书中，如图5所示，凸冠形状的辊是指辊表层部的中心部处的直径R1相对于辊表层部的端处的直径R2为100μm以上(R1-R2 ≥100μm)的辊。只要辊表层部的中心部的直径R1相对于辊表层部的端处的直径R2为100μm以上即可，辊的表面形状任意，可考虑例如正弦曲线、二次函数曲线等。
在本说明书中，如图7所示，凹冠形状的辊是指辊表层部的端处的R2相对于辊表层部的中心部处的直径R1为100μm以上(R2-R1≥ 100μm)的辊。只要辊表层部的端处的直径R2相对于辊表层部的中心部处的直径R1为100μm以上即可，辊的表面形状任意，可考虑例如正弦曲线、二次函数曲线等。
在本说明书中，圆柱形状的辊是指辊表层部的中心部的直径R1 与辊表层部的端处的直径R2之差小于100μm(|R1-R2|<100μm)的辊。
在本说明书中，辊表层部的中心部是指距辊表层部的一端部A的距离为W/2的位置。而且，辊表层部的端是指距辊表层部的一端部A 的距离为0的位置。
在第一辊方式中，第二辊18为凸冠形状。通过将第二辊18设为凸冠形状而玻璃板G在第二辊18的中央部及端部处抵接，因此能够稳定地保持玻璃板G。由此，即便使清洗部比以往强地与玻璃板接触，也能够防止玻璃板G的蜿蜒前进。而且，也能够防止对玻璃板G的端部局部性地作用高的压力而在玻璃板产生破裂或裂纹等的情况。
图6是第二辊18为凸冠形状，而且第一辊16为凹冠形状的玻璃板运送装置。可以将第二辊18设为凸冠形状，而且将第一辊16设为凹冠形状。由此，能够调整为将第二辊18与玻璃板G的宽度Wg的整个区域均匀地抵接。
<第二辊方式>
图8是表示第二辊方式的玻璃板运送装置10的图。
优选将第一辊16设为凸冠形状。通过将第一辊16设为凸冠形状，与圆柱形状的辊相比，第一辊16的中央部将玻璃板G的中央部推起。因此，第二辊18的中央部与玻璃板G抵接，玻璃板G的保持力飞跃性地提高，能够防止玻璃板G的蜿蜒前进。
图8中，第二辊18图示为圆柱形状，但是并不限定于此。第二辊可以为凸冠形状，也可以为凹冠形状。而且，可以如图9所示，也可以将第一辊16设为凸冠形状，而且将第二辊18设为凹冠形状。由此，能够调整为第二辊18在玻璃板G的宽度Wg的整个区域均匀地进行抵接。
<第三辊方式>
图11是表示第三辊方式的玻璃板运送装置10的图。
在第一辊16及第二辊18为圆柱形状的情况下，第二辊18的挠曲量B2比第一辊16的挠曲量B1大。由此，第二辊18的中央部能够与玻璃板G抵接。使该第二辊18的挠曲量B2比第一辊16的挠曲量B1 大的方法既可以对于圆柱形状的辊单独利用，也可以与上述<第一辊方式>或上述<第二辊方式>并用。
在此，在本说明书中，如图10所示，挠曲量B是指由于利用辊的自重或按压机构等从外部施加的载荷而辊表层部的中心部挠曲多少的含义。挠曲量B使用例如度盘式指示器来测定。首先，以避免辊表层部的中心部挠曲的方式将辊的轴端部及中央部配置在支承体上。接下来，在所述辊表层部的中心部配置度盘式指示器，设为0点。然后，仅将辊中央部的支承体拆卸并仅保留辊轴端部的支承体，利用所述度盘式指示器测定辊的挠曲量B。
使第二辊18的挠曲量B2比第一辊16的挠曲量B1大的方法可考虑例如以下的方法。第一方法是将第二辊18使用比第一辊16容易挠曲的材料，即杨氏模量低的材料。第二方法是在第二辊18的上方配置按压机构，对第二辊18进行按压的方法。第三方法是通过降低第二辊 18的截面惯性矩而容易挠曲的方法。降低截面惯性矩的方法可考虑例如使第二轴24的内部为中空的方法。这些方法可以分别单独使用，也可以组合使用。
图11是在第二辊18的挠曲量B2比第一辊16的挠曲量B1大的状态下，使第二辊18与玻璃板G相对接近的图。第二辊18比第一辊 16挠曲，因此玻璃板G能够与第二辊18的中央部抵接。其结果是，玻璃板G的保持力大幅提高，能够防止玻璃板G的蜿蜒前进。
第一表层部26及第二表层部28优选为树脂制。作为树脂，可列举例如丁腈树脂、硅树脂、氟树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸树脂、异戊二烯树脂、苯乙烯树脂、丁二烯树脂、丁基树脂等。通过使用树脂而玻璃板的保持力飞跃性地提高。在所述树脂之中，特别优选聚氨酯树脂。
辊表层部的硬度优选为30以上，更优选为40以上，且优选为70 以下，更优选为60以下。表层部的硬度是遵照旧JIS K 6301的硬度。
若表层部的硬度过小，则玻璃板G的保持力下降，即使过大，玻璃板G的保持力也会下降。
辊表层部的算术平均粗糙度Ra优选为15[μm]以下，更优选为 10[μm]以下，进一步优选为5[μm]以下。辊表层部的算术平均粗糙度 Ra越小，则玻璃板G与辊的接触面积越大，玻璃板G的保持力越提高。
本实用新型的玻璃板运送装置适合于作为大型基板使用的玻璃板。大型基板优选为例如至少一条边为1500mm以上的玻璃板，作为具体的例子，长边1800mm以上、短边1500mm以上的玻璃板。
本实用新型的玻璃板运送装置使用的玻璃板更优选为至少一边为 2000mm以上的玻璃板，例如，长边2400mm以上、短边2100mm以上的玻璃板，进一步优选为至少一边为3000mm以上的玻璃板，例如，长边3000mm以上、短边2800mm以上的玻璃板，特别优选为至少一边为3200mm以上的玻璃板，例如，长边3200mm以上、短边3000mm 以上的玻璃板，最优选为至少一边为3500mm以上的玻璃板，例如，长边3800mm以上、短边3300mm以上的玻璃板。
本实用新型的玻璃板运送装置使用的玻璃板优选厚度为0.7mm以下。通过减薄玻璃板，能够实现轻量化。本实用新型的玻璃板的厚度更优选为0.65mm以下，进一步优选为0.55mm以下，优选为0.45mm 以下，最优选为0.4mm以下。也可以将厚度设为0.1mm以下或0.05mm 以下。但是，从防止自重变形的观点出发，厚度优选为0.1mm以上，更优选为0.2mm以上。
<实施方式的玻璃板清洗装置>
图13是表示玻璃板清洗装置30的一例的立体图。
需要说明的是，玻璃板清洗装置30是通过在图4的玻璃板运送装置10搭载盘形刷32、34而构成的装置，但是并不限定为图4的玻璃板运送装置10，也可以在图6、8、9、11所示的玻璃板运送装置10搭载作为清洗部的盘形刷32、34来作为实施方式的玻璃板清洗装置30。而且，所述清洗部可以是聚氨酯制的海绵。
玻璃板清洗装置30具备玻璃板运送装置10、对玻璃板G的第一表面12进行清洗的盘形刷32、对玻璃板G的第二表面14进行清洗的盘形刷34、将液体朝向玻璃板G的第一表面12喷射的下段液体供给部36、及将液体朝向玻璃板G的第二表面14喷射的上段液体供给部38。盘形刷为PVA(聚乙烯醇)的刷，为外径70～100mm的圆柱形状。盘形刷的旋转(自转)速度优选为100～500rpm。
液体根据图15所示的工序而喷射含有氧化铈等的浆料、清洗剂(碱性或酸性)及纯水中的任一种液体。例如，作为液体，如果使用含有有机膦酸、聚羧酸盐、芳香族磺酸及胺环氧烷加成物的水系清洗剂，则能够将在研磨后的玻璃板G的表面残留及/或附着的由氧化铈等构成的研磨颗粒良好地分散除去，也不会损害玻璃板G的平坦性。
盘形刷34在相邻的两根第二辊18之间沿着与玻璃板G的运送方向A正交的方向具有规定的间隔地排列。盘形刷32也同样地在相邻的两根辊之间沿着与玻璃板G的运送方向A正交的方向具有规定的间隔地排列。
盘形刷32、34具有与玻璃板G的第一表面12及第二表面14正交的铅垂方向的旋转轴，盘形刷32、34的刷部分与玻璃板G的第一表面 12及第二表面14抵接。需要说明的是，上述实施方式是通过所述旋转轴使盘形刷32、34自转的结构，但也可以是通过与玻璃板G的表面正交的铅垂方向的公转轴(未图示)而使盘形刷32、34公转的方式。而且，也可以是通过所述旋转轴和所述公转轴这两根轴而使盘形刷32、34自转及公转的方式。
由此，运送过程中的玻璃板G的第一表面12及第二表面14的整面由多个盘形刷32、34擦拭。各盘形刷32、34以其刷部分被按压于玻璃板G的第一表面12及第二表面14的状态旋转，由此，在玻璃板 G的第一表面12及第二表面14附着的附着物被可靠地除去。
在基于盘形刷32、34的清洗过程中，由于玻璃板运送装置10的 Pt/Wt高，因此即使增强盘形刷32、34的按压力及旋转力来提高清洗力，玻璃板G也不会蜿蜒前进，能稳定地被运送。
另外，在各盘形刷32、34具备调整相对于玻璃板G的第一表面 12及第二表面14的高度的调整单元(未图示)。通过该调整单元，能够将各盘形刷32、34配置于任意的高度位置。即，能够对被按压于玻璃板G的第一表面12及第二表面14的盘形刷32、34的刷前端的位置进行微调。
作为所述调整单元，优选将配置于下段的各盘形刷32的高度对应于第一辊16的高度而进行了调整之后，以该各盘形刷32的高度为基准而使配置于上段的各盘形刷34的高度位于上方相当于玻璃板G的厚度的量。
需要说明的是，在实施方式中，作为清洗部，虽然例示了盘形刷 32、34，但是并不限定于此，也可以是沿着与玻璃板G的运送方向A 正交的方向具有旋转轴的辊状的刷或海绵。
<玻璃板制造方法>
FPD使用的玻璃板制造方法至少包括图15所示的多个工序。具体而言，玻璃板制造工序50包括成形工序52、研磨工序54、浆料清洗工序56、洗涤剂清洗工序58、纯水清洗工序62、纯水冲洗工序64、干燥工序66、检査工序68及捆包工序72。在各工序之间也可以存在其他工序。
另外，使用本实用新型的玻璃板运送装置的工序并不限定为清洗工序。也可以在清洗工序以外的成形工序52、研磨工序54、干燥工序 66及检査工序68中使用。
成形工序52包括由熔融玻璃成形带状的板玻璃的工序、将带状的板玻璃切断为规定的矩形形状尺寸的玻璃板的工序。
浆料清洗工序56一边向玻璃板表面供给包含氧化铈等的浆料，一边利用清洗部对玻璃板表面进行清洗。一边供给浆料，一边对玻璃板表面进行研磨，由此能够除去在所述玻璃板表面残存的浆料残渣。在所述浆料清洗工序56之前，可以设置预清洗工序。所述预清洗工序优选为高压喷淋清洗。
洗涤剂清洗工序58一边向玻璃板表面供给清洗剂，一边利用清洗部对玻璃板表面进行清洗。作为清洗剂，优选例如包含有机膦酸、聚羧酸盐、芳香族磺酸及胺环氧烷加成物的水系清洗剂。通过使用所述水系清洗剂，能够将在玻璃表面残留的由氧化铈等构成的研磨颗粒除去。在所述洗涤剂清洗工序58之前，可以设置预清洗工序。所述预清洗工序优选为高压喷淋清洗。
纯水清洗工序62一边向玻璃板表面供给纯水，一边利用清洗部，例如盘形刷对玻璃板表面进行清洗。由此，能够将在所述洗涤剂清洗工序58中使用的清洗剂置换为纯水。在所述纯水清洗工序62之前，也可以设置预清洗工序。所述预清洗工序优选为高压喷淋清洗。
通过纯水冲洗工序64，能够除去玻璃板表面残留的微量的药品。所述纯水冲洗工序可以设置多次。通过设置多个冲洗工序，能够将在玻璃板的表面残留的微量的药品高精度地除去。
在干燥工序66中，使冲洗工序中使用的纯水干燥，在经过了检査工序68之后，在捆包工序72中捆包于货盘等而出货。
<实施例>
以下，说明实施例，但是本实用新型并不限定为这些实施例。以下，例1及2为实施例，例3为比较例。
作为玻璃板G，准备了长边(与运送方向A平行的方向的长度)为 1800mm、短边(与运送方向A垂直的方向的长度)为1500mm、厚度为 0.5mm的玻璃板。第一辊及第二辊的表层部由硬度为50的聚氨酯制作。
例3的第一辊16及第二辊18使用圆柱形状的辊。例1及2的第一辊为圆柱形状的辊，第二辊18使用冠量不同的凸冠形状的辊。
在此，冠量是指辊表层部的中心部处的直径R1与辊表层部的端处的直径R2之差(R1-R2)。而且，以例中使用的第二辊的质量相同的方式进行了制作。
使用具备表1所示的例1～例3的各辊的玻璃板清洗装置30，制作了玻璃板。使用包含氧化铈的浆料对所述玻璃板G进行了研磨。使用具备例1～3的各辊的玻璃板清洗装置30及盘形刷32、34利用包含氧化铈的浆料对研磨后的所述玻璃板G进行了清洗。然后，使用清洗液进行高压喷淋清洗，而且一边将清洗液向所述玻璃板G涂布，一边利用盘形刷32、34进行了清洗。接下来，使用纯水进行高压喷淋清洗，而且一边将纯水向所述玻璃板G涂布，一边利用盘形刷32、34进行了清洗。最后使用纯水，进行两次冲洗，并使所述玻璃板G干燥，由此得到了玻璃板。然后，测定了所述玻璃板的面内粒子量。
清洗时的盘形刷32、34的压入量设为在玻璃板G与盘形刷32、 34相对地接近至蜿蜒前进开始为止之后，从该位置使盘形刷34相对地远离0.3mm的状态。
例1～例3中的玻璃板的面内粒子量的评价如表1所示。而且，辊表层部的硬度与玻璃板的保持力的关系如表2所示。各个测定项目通过以下的方法测定。
<本实用新型的玻璃板运送装置的玻璃板的保持压强的测定>
玻璃板G的保持压强使用面压计(制造商：TECHSTOMECo.,Ltd. 制)进行了测定。面压计使用的面压测定片的尺寸是长边为400mm，短边为100mm，在面内具有400点的测定点。以所述面压测定片的长边与所述第二辊18的轴长平行的方式配置了所述面压测定片。使第二辊 18从所述面压测定片的上方进行了抵接。测定在所述第一辊及所述第二辊的轴向一端部测定的第二保持压强P2、在所述第一辊及所述第二辊的轴向另一端部测定的第三保持压强P3及在所述第一辊及所述第二辊的轴向中央部测定的第一保持压强P1，并求出了上述的压力的合计值Pt(P1+P2+P3)[kPa]。P1、P2、P3分别是在所述面压片内的各测定点测定的保持压强的合计值。在此，不对第二辊18进行加压，作用于所述第二辊18的力仅为自重。
将所述压力的合计值Pt除以所述第一保持压强P1测定长度 W1[m]、所述第二保持压强P2测定长度W2[m]、所述第三保持压强P3 测定长度W3[m]的合计值Wt(W1+W2+W3)[m]，由此求出 Pt/Wt(Pt/Wt)[kPa/m]。
<面内粒子量>
面内粒子量使用粒子计数器，测定了0.3[μm]以上的粒子数。准备以相同条件制作的三张玻璃板，测定所述三张玻璃板的面内粒子量，将它们的平均值设为所述条件下的玻璃板的面内粒子量。面内粒子量评价将玻璃板的面内的粒子量小于600个设为A，将600个以上且小于1000个设为B，将1000个以上设为C。
<辊表层部的硬度的测定>
辊表层部的硬度使用硬度计(株式会社teclock制，型号：GS-706G) 进行了测定。测定方法以旧JIS K 6301记载的方法进行了测定。
接下来，测定了玻璃板G的保持力。准备了以规定的硬度(30、40、 50、60)制作的聚氨酯制的第一辊16及第二辊18。将第一辊16排列两根，在对于第一表层部26及玻璃板G的第一表面12涂布了纯水之后，在所述两根第一辊16上载置了玻璃板G。接下来，从玻璃板G的上方载置第二辊18，对玻璃板G进行了保持。然后，牵引玻璃板G，取得了玻璃板G滑动时的力，即最大静摩擦力。
辊表层部的算术平均粗糙度Ra使用激光显微镜进行了测定。在第一表层部26进行四点测定，将其平均值作为所述第一表层部的算术平均粗糙度Ra。
<结果>
关于表1，在例3中，P1为0kPa。这是指如图12所示玻璃板G 与第二辊18的中央部未抵接。另一方面，在例1及例2中，在第二辊 18的中央部被施加压力，玻璃板G的Pt/Wt[kPa/m]飞跃性地提高。
另外，使用Pt/Wt[kPa/m]越高的玻璃板运送装置，则玻璃板的面内粒子的评价越好。这是因为，所述Pt/Wt越高，则越能够增强玻璃板G与盘形刷32、34的接触状态，能够充分地除去玻璃板表面的附着物。
【表1】
关于表2，辊表层部的硬度为50的辊的玻璃板的保持力最高。作为辊表层部，辊表层部的硬度为30～70比较适合。
【表2】
| 材质 | 硬度 | Ra(μm) | 保持力(N) |
| 聚氨酯 | 30 | 15.8 | 11.1 |
| 聚氨酯 | 40 | 7.5 | 17.7 |
| 聚氨酯 | 50 | 8.6 | 25 |
| 聚氨酯 | 60 | 7.7 | 16.5 |
以上，说明了本公开的玻璃板运送装置及玻璃板清洗装置的实施方式，但是本公开并不限定为上述实施方式等。在本实用新型的权利要求书记载的范围内，能够进行各种变更、修正、置换、附加、删除及组合。这些当然也属于本公开的技术范围。
Claims (23)
1.一种玻璃板运送装置，将具有第一表面和第二表面的玻璃板以所述第二表面朝向上方的方式沿水平方向运送，其特征在于，
所述玻璃板运送装置具备：
第一辊，具有与所述第一表面接触的第一表层部、第一轴；及
第二辊，配置在所述第一辊的上方，具有与所述第二表面接触的第二表层部、第二轴，
夹在所述第一表层部与所述第二表层部之间的所述玻璃板以下述的Pt/Wt为100kPa/m以上的方式被保持，
所述Pt/Wt是将在所述第一辊及所述第二辊的轴向中央部测定的第一保持压强P1、在所述第一辊及所述第二辊的轴向一端部测定的第二保持压强P2、在所述第一辊及所述第二辊的轴向另一端部测定的第三保持压强P3的合计值Pt除以所述第一保持压强P1的测定长度W1、所述第二保持压强P2的测定长度W2、所述第三保持压强P3的测定长度W3的合计值Wt而得到的值，
所述第一保持压强P1为10kPa以上。
2.根据权利要求1所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第一保持压强P1、所述第二保持压强P2及所述第三保持压强P3满足下述的式(1)及(2)，
0.3≤P1/P2≤1.2…(1)
0.3≤P1/P3≤1.2…(2)。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第二辊具有凸冠形状。
4.根据权利要求3所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第一辊具有凹冠形状。
5.根据权利要求1或2所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第一辊具有凸冠形状。
6.根据权利要求5所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第二辊具有凹冠形状。
7.一种玻璃板运送装置，将具有第一表面和第二表面的玻璃板以所述第二表面朝向上方的方式沿水平方向运送，其特征在于，
所述玻璃板运送装置具备：
第一辊，具有与所述第一表面接触的第一表层部、第一轴；及
第二辊，配置在所述第一辊的上方，具有与所述第二表面接触的第二表层部、第二轴，
所述第二辊具有凸冠形状。
8.根据权利要求7所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第一辊具有凹冠形状。
9.根据权利要求7或8所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
在玻璃板的运送时，所述第二辊的轴向中央部与玻璃板抵接。
10.根据权利要求9所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
在玻璃板的运送时，所述第二辊在与玻璃板的运送方向正交的方向的玻璃板的宽度整个区域进行抵接。
11.一种玻璃板运送装置，将具有第一表面和第二表面的玻璃板以所述第二表面朝向上方的方式沿水平方向运送，其特征在于，
所述玻璃板运送装置具备：
第一辊，具有与所述第一表面接触的第一表层部、第一轴；及
第二辊，配置在所述第一辊的上方，具有与所述第二表面接触的第二表层部、第二轴，
所述第一辊具有凸冠形状。
12.根据权利要求11所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第二辊具有凹冠形状。
13.根据权利要求11或12所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
在玻璃板的运送时，所述第二辊的轴向中央部与玻璃板抵接。
14.根据权利要求13所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
在玻璃板的运送时，所述第二辊在与玻璃板的运送方向正交的方向的玻璃板的宽度整个区域进行抵接。
15.根据权利要求1、7、11中任一项所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第二辊的挠曲量比所述第一辊的挠曲量大。
16.一种玻璃板运送装置，将具有第一表面和第二表面的玻璃板以所述第二表面朝向上方的方式沿水平方向运送，其特征在于，
所述玻璃板运送装置具备：
第一辊，具有与所述第一表面接触的第一表层部、第一轴；及
第二辊，配置在所述第一辊的上方，具有与所述第二表面接触的第二表层部、第二轴，
所述第二辊的挠曲量比所述第一辊的挠曲量大。
17.根据权利要求16所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
在玻璃板的运送时，所述第二辊的轴向中央部与玻璃板抵接。
18.根据权利要求17所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
在玻璃板的运送时，所述第二辊在与玻璃板的运送方向正交的方向的玻璃板的宽度整个区域进行抵接。
19.根据权利要求1、7、11、16中任一项所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第一表层部及所述第二表层部为树脂制。
20.根据权利要求1、7、11、16中任一项所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第一表层部及所述第二表层部的硬度为30～70。
21.根据权利要求1、7、11、16中任一项所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
所述第一表层部及所述第二表层部的算术平均粗糙度Ra为15μm以下。
22.根据权利要求1、7、11、16中任一项所述的玻璃板运送装置，其特征在于，
与所述玻璃板的运送方向正交的方向的所述玻璃板的宽度为1500mm以上。
23.一种玻璃板清洗装置，其特征在于，具备：
权利要求1～22中任一项所述的玻璃板运送装置；
液体供给部，向运送过程中的所述玻璃板供给液体；及
清洗部，与所述第一表面及所述第二表面接触而除去所述第一表面及所述第二表面的附着物。
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