TWM612185U - 玻璃板搬送裝置及玻璃板洗淨裝置 - Google Patents
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Abstract
本創作提供一種可不使玻璃板發生破裂或龜裂等而充分提高玻璃板之保持力，且可不使玻璃板蛇行而穩定地搬送之玻璃板搬送裝置。
玻璃板搬送裝置以由玻璃板之下表面側之第1輥、及玻璃板之上表面側之第2輥，於厚度方向夾住玻璃板之狀態下進行搬送。夾於第1表層部與第2表層部之間之玻璃板之Pt/Wt保持在100[kPa/m]以上，第2輥之軸向中央部之保持壓為10 kPa以上。
Description
本創作係關於一種玻璃板搬送裝置及玻璃板洗淨裝置。
液晶顯示器、電漿顯示器、有機EL(Electro-Luminescence：電致發光)顯示器、LED(Light Emitting Diode：發光二極體)顯示器面板等FPD(Flat Panel Display：平板顯示器)所使用之玻璃板藉由經過圖15所示之複數個步驟而製造。
即，玻璃板製造步驟50具有：成形步驟52、研磨步驟54、漿料洗淨步驟56、洗滌劑洗淨步驟58、純水洗淨步驟62、純水清洗步驟64、乾燥步驟66、檢查步驟68及捆包步驟72。
成形步驟52包含：由熔融玻璃成形帶狀之板玻璃之步驟；及將帶狀之板玻璃切斷為特定矩形狀尺寸之玻璃板之步驟。
玻璃板於研磨步驟54至檢查步驟68之期間，一面由輸送機連續搬送一面於各步驟實施特定處理。且，經檢查步驟68之玻璃板於捆包步驟72被捆包於托盤等並出貨。
又，玻璃板於研磨步驟54後至乾燥步驟66之期間，被塗佈洗淨水、漿料溶液、洗滌劑、純水等液體，且使用洗淨部、例如盤形刷等而洗淨。
FPD(Flat Panel DisPlay)所使用之玻璃板因於表面形成有電性電路，故即使為極微小之瑕疵及污垢，亦會引起製品不良。因此，對於此種玻璃板要求極高之表面特性，需要充分去除玻璃板表面之附著物。
先前之玻璃板搬送裝置藉由旋轉驅動與玻璃板之下表面抵接之圓柱形狀之第1輥群，而將上述玻璃板以水平狀態於水平方向進行搬送。於上述第1輥群之上方，配置有第2輥群，藉由將上述玻璃板夾於上述第1輥群與上述第2輥群間，防止於洗淨之期間之玻璃板之蜿蜒(參照專利文獻1)。
但，為獲得具有較先前高之表面特性之玻璃板，若於玻璃板洗淨步驟中，使洗淨部與玻璃板強勁接觸，則於洗淨之期間玻璃板蜿蜒，洗淨部無法與玻璃表面適當接觸，而有玻璃板表面之附著物無法充分去除之問題。又，若使洗淨部與玻璃板強勁接觸，則亦有玻璃板與搬送路徑之側壁碰撞而發生破裂等之虞。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2015-30570
[創作所欲解決之問題]
於玻璃板洗淨步驟中，需要使洗淨部較先前更強勁地與玻璃板接觸，而將玻璃板表面之附著物充分去除。
本案創作者等對即便使洗淨部較先前更強勁地與玻璃板接觸，亦可防止玻璃板之蜿蜒的方法進行研討，結果發現，先前之玻璃板搬送裝置如圖12所示，配置於玻璃板G之上方之輥18僅與玻璃板G之端部抵接，故玻璃板G易蜿蜒。即，先前之玻璃板搬送裝置中，由於被夾於第1輥16與第2輥18間之玻璃板G僅由輥16、18之兩端部保持，故玻璃板G之保持力不夠充分。因此，先前之玻璃板搬送裝置中，若使洗淨部強勁接觸則會導致玻璃板G蜿蜒，而無法使洗淨部強勁接觸。又，為提高玻璃板G之保持力，而將第2輥強勁按壓於玻璃板之情形時，對玻璃板G之端部局部施加高壓力，而有於玻璃板發生破裂或龜裂等之虞。
本創作之目的在於提供一種可不使玻璃板發生破裂或龜裂等而充分提高玻璃板之保持力，可不使玻璃板蜿蜒而穩定搬送之玻璃板搬送裝置。
[解決問題之技術手段]
本創作之玻璃板搬送裝置之特徵在於，其係將具有第1表面與第2表面之玻璃板以上述第2表面朝向上方，於水平方向進行搬送者，上述玻璃板搬送裝置具備：第1輥，其具有與上述第1表面接觸之第1表層部、及第1軸；及第2輥，其配置於上述第1輥之上方，具有與上述第2表面接觸之第2表層部、及第2軸；夾於上述第1表層部與上述第2表層部間之上述玻璃板之下述Pt/Wt保持100[kPa/m]以上，上述Pt/Wt係將於上述第1輥及上述第2輥之軸向中央部測定之第1保持壓P1、於上述第1輥及上述第2輥之軸向一端部測定之第2保持壓P2、於上述第1輥及上述第2輥之軸向另一端部測定之第3保持壓P3之合計值Pt(Pt=P1+P2+P3)除以上述第1保持壓P1之測定長度W1、上述第2保持壓P2之測定長度W2、上述第3保持壓P3之測定長度W3之合計值Wt(Wt=W1+W2+W3)的值，且上述第1保持壓P1為10 kPa以上。
由於第2輥中央部與玻璃板抵接，故即使對玻璃板施加高保持壓，亦不會局部施加高壓力，不會發生玻璃板之破裂或龜裂等。
較佳為上述第1保持壓P1、上述第2保持壓P2及上述第3保持壓P3係相同程度之保持壓。具體而言，上述第1保持壓P1、上述第2保持壓P2及上述第3保持壓P3滿足下述(1)及(2)。
0.3≦P1/P2≦1.2・・・(1)
0.3≦P1/P3≦1.2・・・(2)
由於玻璃板之保持壓無關於輥表層部之部位而為均一，故不會對玻璃板局部施加高壓力，於玻璃板之面內品質均一。
又，較佳為上述第2輥具有凸冠形狀。
先前之玻璃板搬送裝置中，第1輥因上述第1輥之自重及載置於上方之玻璃板及第2輥之重量而彎曲。第2輥亦又因自重而彎曲，但由於施加於第2輥之力僅為自重，故彎曲量小於第1輥。因此，先前之玻璃板搬送裝置中，第2輥中央部不與玻璃板抵接。另一方面，第2輥為凸冠形狀之情形時，可使上述第2輥中央部與玻璃板抵接，玻璃板之保持力提高。
進而較佳為，上述第1輥係凹冠形狀。
藉由進而將上述第1輥設為凹冠形狀，因上述第2輥於上述玻璃板之寬向長度之全域均一抵接，故玻璃板之保持力提高。又，由於上述第2輥於玻璃板之寬向長度之全域均一抵接，故於玻璃板之面內品質均一。
又，較佳為上述第1輥係凸冠形狀。
進而將上述第1輥設為凸冠形狀，可以上述第1輥及上述第2輥均一抵接之方式進行調節。藉此，於玻璃板之面內品質均一。
本創作之玻璃板搬送裝置之特徵在於，其係將具有第1表面與第2表面之玻璃板以上述第2表面朝向上方，於水平方向進行搬送者，上述玻璃板搬送裝置具備：第1輥，其具有與上述第1表面接觸之第1表層部及第1軸；及第2輥，其配置於上述第1輥之上方，具有與上述第2表面接觸之第2表層部及第2軸；且上述第2輥具有凸冠形狀。
較佳為上述第1輥具有凹冠形狀。
又，較佳為於搬送玻璃板時，上述第2輥之軸向中央部與玻璃板抵接。
進而較佳為，於搬送玻璃板時，上述第2輥於與玻璃板之搬送方向正交之方向的玻璃板之寬向長度全域抵接。
本創作之玻璃板搬送裝置之特徵在於，其係將具有第1表面與第2表面之玻璃板以上述第2表面朝向上方，於水平方向進行搬送者，上述玻璃板搬送裝置具備：第1輥，其具有與上述第1表面接觸之第1表層部及第1軸；及第2輥，其配置於上述第1輥之上方，具有與上述第2表面接觸之第2表層部及第2軸；且上述第1輥具有凸冠形狀。
較佳為上述第2輥具有凹冠形狀。
又，較佳為於搬送玻璃板時，上述第2輥之軸向中央部與玻璃板抵接。
進而較佳為，於搬送玻璃板時，上述第2輥以與玻璃板之搬送方向正交之方向的玻璃板之寬向長度全域抵接。
又，較佳為上述第2輥之彎曲量大於上述第1輥之彎曲量。
本創作之玻璃板搬送裝置之特徵在於，其係將具有第1表面與第2表面之玻璃板以上述第2表面朝向上方，於水平方向進行搬送者，上述玻璃板搬送裝置具備：第1輥，其具有與上述第1表面接觸之第1表層部及第1軸；及第2輥，其配置於上述第1輥之上方，具有與上述第2表面接觸之第2表層部及第2軸；且上述第2輥之彎曲量大於上述第1輥之彎曲量。
又，較佳為於搬送玻璃板時，上述第2輥之軸向中央部與玻璃板抵接。
進而較佳為，於搬送玻璃板時，上述第2輥以與玻璃板之搬送方向正交之方向的玻璃板之寬向長度全域抵接。
又，較佳為上述第1表層部及上述第2表層部係樹脂製。藉由輥表層部為樹脂製，輥表層部之靜止摩擦係數提高，玻璃板之保持力提高。
又，較佳為上述第1表層部及上述第2表層部之硬度為30～70。
又，較佳為上述第1表層部及上述第2表層部之算數平均粗糙度Ra為15 μm以下。若算數平均粗糙度Ra較小，則玻璃板與輥之接觸面積變大，玻璃板之保持力提高。
又，較佳為與上述玻璃板之搬送方向正交之方向的玻璃板之寬向長度為1500 mm以上。玻璃板愈大，先前之玻璃板搬送裝置中愈難以於玻璃板之寬向長度全域抵接。另一方面，由於本創作之玻璃板搬送裝置之第2輥於玻璃板之寬向長度全域抵接，故發揮即使玻璃板較大亦可不使之蜿蜒而搬送之顯著效果。
本創作之玻璃板洗淨裝置之特徵在於具備：上述玻璃板搬送裝置；液體供給部，其對搬送中之上述玻璃板供給液體；及洗淨部，其與上述第1表面及上述第2表面接觸，將上述第1表面及上述第2表面之附著物去除。
玻璃板由上述玻璃板搬送裝置搬送，使用洗淨部將第1表面及第2表面之附著物去除。由於配備於玻璃板洗淨裝置之上述玻璃板搬送裝置以高保持壓保持玻璃板，故即使使洗淨部強勁接觸，玻璃板亦不會蜿蜒。因此，可將玻璃板表面之附著物充分去除。
[創作之效果]
根據本創作，可提供一種能不於玻璃板發生破裂或龜裂等而充分提高玻璃板之保持力，能不使玻璃板蜿蜒而穩定搬送之玻璃板搬送裝置。
以下，針對本創作之玻璃板搬送裝置之較佳實施形態進行說明。
＜玻璃板搬送裝置之構成＞
圖1所示之玻璃板搬送裝置10係將玻璃板G以水平狀態於搬送方向A進行搬送之裝置，且具備：第1輥16，其與玻璃板G之第1表面12抵接；及第2輥18，其配置於第1輥16之上方，與玻璃板G之第2表面14抵接，於與第1輥16間在厚度方向夾入玻璃板G。玻璃板G之第1表面12為下表面，玻璃板G之第2表面14為上表面。第1輥16為下輥，第2輥18為上輥。
＜第1輥及第2輥＞
如圖2所示，第1輥16具有：第1軸22，其用以將來自驅動部(未圖示)之動力傳遞至第1輥16，使之旋轉驅動；及第1表層部26，其與玻璃板G之第1表面12抵接。第2輥18具有：用以使之旋轉之第2軸24；及與玻璃板G之第2表面14抵接之第2表層部28。可於第2輥18連接旋轉驅動機構，亦可不連接。未連接旋轉驅動機構之情形時，第2輥18因與玻璃板G之第2表面14間之摩擦阻力，追隨玻璃板G之搬送，而朝將玻璃板G於搬送方向A輸送之方向旋轉。另，亦可於第2輥18連接旋轉驅動機構。玻璃板G之尺寸變大時，可於第2輥18連接旋轉驅動機構，使第2輥18驅動，提高玻璃板G之搬送力。第2輥18之旋轉驅動機構未限定。例如，可為於第2輥18之第2軸24安裝皮帶而傳遞動力之方法；或藉由將相鄰之第2輥18之端部彼此經由齒輪連結，對齒輪施加旋轉動力而使第2輥18旋轉之旋轉驅動機構。
第1軸22、第2軸24、第1表層部26及第2表層部28可分別獨立選擇素材。即，可全部以相同素材構成，亦可全部以不同素材構成。又，亦可於第1軸22與第1表層部26間及第2軸24與第2表層部28間設置中間層。
＜第1軸及第2軸＞
第1軸22及第2軸24之素材可使用碳、金屬構件或樹脂。第1軸22及第2軸24之內部可予以填充，亦可為中空構造。為抑制用以使輥16、18旋轉驅動之消耗電力，較佳為中空構造。金屬構件未特別限定，例如可使用碳鋼或特殊鋼。碳鋼係使鐵中含有少量碳(C)之素材。特殊鋼係使鐵中除碳(C)外，亦含有一種或複數種鉻(Cr)、錳(Mn)、鎳(Ni)、鉬(Mo)、釩(V)等金屬元素之素材。
第1軸22及第2軸24所使用之樹脂未特別限定，列舉腈樹脂、矽樹脂、氟樹脂、胺基甲酸酯樹脂、丙烯酸樹脂、異戊二烯樹脂、苯乙烯樹脂、丁二烯樹脂、丁基樹脂等。
上述第1軸22及第2軸24較佳為機械強度高，且具有防鏽性之材料。因此，較佳為於鐵中含有少量的碳及金屬元素之特殊鋼，進而更佳為含有11%以上之鉻(Cr)之不鏽鋼。
夾於第1表層部26與第2表層部28之間之玻璃板G之Pt/Wt，保持在100[kPa/m]以上。由於第1表層部26與第2表層部28可以高保持壓保持玻璃板G，故即使使洗淨部較先前更強勁地與玻璃板G接觸，亦可防止玻璃板G蛇行，可將玻璃板G表面之附著物充分去除。上述Pt/Wt較佳為150[kPa/m]以上，更佳為200[kPa/m]以上，進一步佳為250[kPa/m]以上；較佳為1000[kPa/m]以下，更佳為800[kPa/m]以下，進一步佳為600[kPa/m]以下。
上述Pt/Wt係將於上述第1輥及上述第2輥之軸向中央部測定之第1保持壓P1、於上述第1輥及上述第2輥之軸向一端部測定之第2保持壓P2、於上述第1輥及上述第2輥之軸向另一端部測定之第3保持壓P3之合計值Pt(Pt=P1+P2+P3)，除以上述第1保持壓P1之測定長度W1、上述第2保持壓P2之測定長度W2、上述第3保持壓P3之測定長度W3之合計值Wt(Wt=W1+W2+W3)的值。
此處，所謂上述第1輥與上述第2輥之軸向一端部、及上述第1輥與上述第2輥之軸向另一端部，如圖3所示，於自輥表層部之一端部A至另一端部B之長度為W[m]之情形時，係指位於離一端部A Wa[m]以上Wb[m]以下及Wc[m]以上Wd[m]以下之距離之範圍。又，上述第1輥及上述第2輥之軸向中央部，係指位於離輥表層部之一端部A We[m]以上Wf[m]以下之距離之範圍。此處，Wa、Wb、Wc、Wd、We、Wf滿足以下之(3)～(8)。
Wa=0.05・・・(3)
Wb=0.45・・・(4)
Wc=W-0.45・・・(5)
Wd=W-0.05・・・(6)
We=W/2-0.2・・・(7)
Wf=W/2+0.2・・・(8)
W1、W2、W3係第1保持壓P1、第2保持壓P2、第3保持壓P3之測定長度。即，W1、W2及W3之測定長度分別為(Wf-We)[m]、(Wb-Wa)[m]及(Wd-Wc)[m]，W1=W2=W3=0.40[m]。
上述保持壓P1為10[kPa]以上。又，上述保持壓P1較佳為50[kPa]以上，進一步佳為100[kPa]以上；較佳為1000[kPa]以下，更佳為800[kPa]以下，進一步佳為600[kPa]以下。藉由使第2輥18以玻璃板G之寬向長度之全域Wg抵接，玻璃板G之保持力提高。又，由於第2輥18之中央部與玻璃板G抵接，故強勁按壓上述第2輥18時，不會對玻璃板G之端部局部施加高壓力，可防止玻璃板G破裂或龜裂。
調整玻璃板G之保持壓之方法例如可考慮以下之方法。例如，可藉由增大第2輥18之質量，而增大玻璃板G之保持壓。又，亦可於第2輥18設置加壓機構。藉由以上述加壓機構，將第2輥18朝向第1輥16壓入，而可增大玻璃板G之保持壓。又，上述加壓機構亦可設置於第1輥16。藉由將第1輥16朝向第2輥18壓入，可增大玻璃板G之保持壓。
關於上述P1、P2、P3，P1與P2之比(P1/P2)較佳為0.3以上，更佳為0.5以上，進而佳為0.7以上，較佳為1.5以下，更佳為1.2以下。又，P1與P3之比(P1/P3)較佳為0.3以上，更佳為0.5以上，進而佳為0.7以上，較佳為1.5以下，更佳為1.2以下。比值愈接近1，愈可以均一之保持壓保持玻璃板，而防止對玻璃板G局部施加高壓力，故可更穩定地搬送玻璃板G，可於玻璃板G之面內實現品質均一化。
＜第1輥形態＞
圖4係第1輥形態之玻璃板搬送裝置10之前視圖。
＜第1輥形態之玻璃板搬送裝置＞
於圖4中，以圓柱形狀圖示第1輥16，但不限定於此。第1輥16可為凸冠形狀亦可為凹冠形狀。為於搬送方向A搬送玻璃板G，第1輥16可相對於搬送方向A垂直配置。於第1輥16之上方配置有第2輥18，該第2輥18與玻璃板G之第2表面抵接，於與第1輥16間在厚度方向夾入玻璃板G。
本說明書中，凸冠形狀之輥如圖5所示，是指輥表層部之中心部之直徑R1相對於輥表層部之端之直徑R2為100 μm以上(R1-R2≧10 μm)之輥。只要輥表層部之中心部之直徑R1相對於輥表層部之端之直徑R2為100 μm以上，則不論輥之表面形狀如何，皆可考慮例如餘弦曲線、2次函數曲線等。
本說明書中，凹冠形狀之輥如圖7所示，是指輥表層部之端之R2相對於輥表層部之中心部之直徑R1為100 μm以上(R2-R1≧100 μm)之輥。只要輥表層部之端之直徑R2相對於輥表層部之中心部之直徑R1為100 μm以上，則不論輥之表面形狀如何，皆可考慮例如餘弦曲線、2次函數曲線等。
本說明書中，圓柱形狀之輥是指輥表層部之中心部之直徑R1與輥表層部之端之直徑R2之差未達100 μm(｜R1-R2｜﹤100 μm)之輥。
本說明書中，輥表層部之中心部是指與輥表層部之一端部A之距離為W/2之位置。又，輥表層部之端是指與輥表層部之一端部A之距離為0之位置。
第1輥形態中，第2輥18為凸冠形狀。藉由將第2輥18設為凸冠形狀，因於第2輥18之中央部及端部，玻璃板G抵接，故可穩定地保持玻璃板G。藉此，即使使洗淨部較先前更強勁地與玻璃板接觸，亦可防止玻璃板G蜿蜒。又，亦可防止對玻璃板G之端部局部施加高壓力，而於基板發生破裂或龜裂等。
圖6係第2輥18為凸冠形狀，進而第1輥16為凹冠形狀之玻璃板搬送裝置。亦可將第2輥18設為凸冠形狀，進而將第1輥16設為凹冠形狀。藉此，可以於玻璃板G之寬向長度Wg之全域均一抵接之方式調整第2輥18。
＜第2輥形態＞
圖8係顯示第2輥形態之玻璃板搬送裝置10之圖。
較佳將第1輥16設為凸冠形狀。藉由將第1輥16設為凸冠形狀，與圓柱形狀之輥相比，由第1輥16之中央部將玻璃板G之中央部上推。因此，第2輥18之中央部與玻璃板G抵接，玻璃板G之保持力飛躍性提高，可防止玻璃板G蜿蜒。
圖8係以圓柱形狀圖示第2輥18，但不限定於此。第2輥可為凸冠形狀亦可為凹冠形狀。又，如圖9所示，亦可將第1輥16設為凸冠形狀，進而將第2輥18設為凹冠形狀。藉此，可以於玻璃板G之寬向長度Wg之全域均一抵接之方式調整第2輥18。
＜第3輥形態＞
圖11係顯示第3輥形態之玻璃板搬送裝置10之圖。
第1輥16及第2輥18為圓柱形狀之情形時，第2輥18之彎曲量B2大於第1輥16之彎曲量B1。藉此，第2輥18之中央部可與玻璃板G抵接。該使第2輥18之彎曲量B2大於第1輥16之彎曲量B1的方法可單獨用於圓柱形狀之輥，亦可與上述＜第1輥形態＞或上述＜第2輥形態＞併用。
此處，本說明書中，彎曲量B如圖10所示，意指因輥之自重或藉由按壓機構等自外部施加之荷重，輥表層部之中心部之彎曲程度。彎曲量B例如使用度盤規測定。首先，以輥表層部之中心部不彎曲之方式，將輥之軸端部及中央部配置於支持體之上。接著，將度盤規配置於上述輥表層部之中心部，並設為零點。其後，僅拆除輥中央部之支持體，僅保留輥軸端部之支持體，以上述度盤規測定輥之彎曲量B。
使第2輥18之彎曲量B2大於第1輥16之彎曲量B1之方法例如可考慮以下之方法。第一方法係使用使第2輥18較第1輥16易彎曲之材料，即楊氏係數較低之材料。第2方法係於第2輥18之上方配置按壓機構，按壓第2輥18之方法。第3方法係藉由降低第2輥18之剖面二次轉矩使之易彎曲之方法。降低剖面二次轉矩之方法例如可考慮將第2軸24之內部設為中空之方法。該等方法可分別單獨使用，亦可組合使用。
圖11係於第2輥18之彎曲量B2大於第1輥16之彎曲量B1之狀態下，使第2輥18與玻璃板G相對靠近之圖。由於第2輥18較第1輥16彎曲，故玻璃板G可與第2輥18之中央部抵接。其結果，玻璃板G之保持力大幅提高，可防止玻璃板G之蜿蜒。
第1表層部26及第2表層部28較佳為樹脂製。作為樹脂，列舉例如腈樹脂、矽樹脂、氟樹脂、胺基甲酸酯樹脂、丙烯酸樹脂、異戊二烯樹脂、苯乙烯樹脂、丁二烯樹脂、丁基樹脂等。藉由使用樹脂，玻璃板之保持力飛躍性提高。上述樹脂之中尤佳為胺基甲酸酯樹脂。
輥表層部之硬度較佳為30以上，更佳為40以上，較佳為70以下，更佳為60以下。表層部之硬度係依據舊JIS K 6301之硬度。
若表層部之硬度過小，則玻璃板G之保持力降低，即使過大，玻璃板G之保持力亦降低。
輥表層部之算術平均粗糙度Ra較佳為15[μm]以下，更佳為10[μm]以下，進而佳為5[μm]以下。輥表層部之算數平均粗糙度Ra愈小，玻璃板G與輥之接觸面積愈大，玻璃板G之保持力提高。
本創作之玻璃板搬送裝置較適於作為大型基板使用之玻璃板。所謂大型基板，例如較佳為至少一邊為1500 mm以上之玻璃板，作為具體例，長邊為1800 mm以上，短邊為1500 mm以上之玻璃板。
本創作之玻璃板搬送裝置所使用之玻璃板更佳為至少一邊為2000 mm以上之玻璃板，例如長邊為2400 mm以上，短邊為2100 mm以上之玻璃板，進而佳為至少一邊為3000 mm以上之玻璃板，例如長邊為3000 mm以上，短邊為2800 mm以上之玻璃板，尤佳為至少一邊為3200 mm以上之玻璃板，例如長邊為3200 mm以上，短邊為3000 mm以上之玻璃板，最佳為至少一邊為3500 mm以上之玻璃板，例如長邊為3800 mm以上，短邊為3300 mm以上之玻璃板。
本創作之玻璃板搬送裝置所使用之玻璃板之厚度較佳為0.7 mm以下。藉由將玻璃板薄化，可達成輕量化。本創作之玻璃板之厚度更佳為0.65 mm以下，進而佳為0.55 mm以下，較佳為0.45 mm以下，最佳為0.4 mm以下。亦可將厚度設為0.1 mm以下或0.05 mm以下。但，基於防止自重彎曲之觀點，厚度較佳為0.1 mm以上，更佳為0.2 mm以上。
＜實施形態之玻璃板洗淨裝置＞
圖13係顯示玻璃板洗淨裝置30之一例之立體圖。
另，玻璃板洗淨裝置30係藉由於圖4之玻璃板搬送裝置10搭載盤形刷32、34而構成之裝置，但不限定於圖4之玻璃板搬送裝置10，亦可於圖6、8、9、11所示之玻璃板搬送裝置10搭載作為洗淨部之盤形刷32、34，而作為實施形態之玻璃板洗淨裝置30。又，上述洗淨部亦可為胺基甲酸酯製之海綿。
玻璃板洗淨裝置30具備：玻璃板搬送裝置10、洗淨玻璃板G之第1表面12之盤形刷32、洗淨玻璃板G之第2表面14之盤形刷34、向玻璃板G之第1表面12噴射液體之下段液體供給部36、及向玻璃板G之第2表面14噴射液體之上段液體供給部38。盤形刷為PVA(聚乙烯醇)刷子，且係外徑為70～100 mm之圓柱形狀。盤形刷之旋轉(自轉)速度較佳設為100～500 rpm。
液體根據圖15所示之步驟，噴射含有氧化鈰等之漿料、洗淨劑(鹼性或酸性)及純水中之任一種液體。例如，若使用包含機膦酸、聚羧酸鹽、芳香族磺酸、及胺-環氧烷加成物之水系洗淨劑作為液體，則可將殘留及/或附著於研磨後之玻璃板G表面之包含氧化鈰等之研磨顆粒良好地分散去除，無損玻璃板G之平坦性。
盤形刷34於相鄰之2根第2輥18間，在相對於玻璃板G之搬送方向A正交之方向具有特定間隔地排列。盤形刷32亦同樣，於相鄰之2根輥間，在相對於玻璃板G之搬送方向A正交之方向具有特定間隔地排列。
盤形刷32、34具有相對於玻璃板G之第1表面12及第2表面14正交之鉛直方向之旋轉軸，盤形刷32、34之刷子部分與玻璃板G之第1表面12及第2表面14抵接。另，上述實施形態係使盤形刷32、34藉由上述旋轉軸自轉之構成，但亦可為藉由相對於玻璃板G之表面正交之鉛直方向之公轉軸(未圖示)公轉之形態。又，亦可為藉由上述旋轉軸與上述公轉軸之2根軸使之自轉及公轉之形態。
藉此，搬送中之玻璃板G之第1表面12及第2表面14之全面由複數個盤形刷32、34擦拭。各盤形刷32、34以其之刷子部分按壓於玻璃板G之第1表面12及第2表面14之狀態旋轉，藉此，確實去除附著於玻璃板G之第1表面12及第2表面14之附著物。
於盤形刷32、34之洗淨期間，由於玻璃板搬送裝置10之Pt/Wt較高，故即使加強盤形刷32、34之按壓力及旋轉力來提高洗淨力，玻璃板G亦不會蜿蜒，而被穩定地搬送。
又，於各盤形刷32、34，具備調整相對於玻璃板G之第1表面12及第2表面14之高度之調整機構(未圖示)。可藉由該調整機構，於任意之高度位置配置各盤形刷32、34。即，可將按壓於玻璃板G之第1表面12及第2表面14之盤形刷32、34之刷子前端之位置進行微調整。
作為上述調整方式，較佳為對照第1輥16之高度調整配置於下段之各盤形刷32之高度後，以該等各盤形刷32之高度為基準，將配置於上段之各盤形刷34之高度以相當於玻璃板G之厚度之量定位於上方。
另，實施形態中，已例示盤形刷32、34作為洗淨部，但並非限定於此者，亦可為在相對於玻璃板G之搬送方向A正交之方向具有旋轉軸之輥狀之刷子或海綿。
＜玻璃板製造方法＞
FPD所使用之玻璃板製造方法至少具有圖15所示之複數個步驟。具體而言，玻璃板製造步驟具50具有：成形步驟52、研磨步驟54、漿料洗淨步驟56、洗滌劑洗淨步驟58、純水洗淨步驟62、純水清洗步驟64、乾燥步驟66、檢查步驟68及捆包步驟72。亦可於各步驟間具有其他步驟。
又，本創作之玻璃板搬送裝置所使用之步驟不限定於洗淨步驟。亦可使用於洗淨步驟以外之成形步驟52、研磨步驟54、乾燥步驟66及檢查步驟68。
成形步驟52包含由熔融玻璃成形帶狀之板玻璃之步驟；及將帶狀之板玻璃切斷為特定矩形狀尺寸之玻璃板之步驟。
漿料洗淨步驟56一面對玻璃板表面供給包含氧化鈰等之漿料，一面以洗淨部洗淨玻璃板表面。藉由一面供給漿料，一面研磨玻璃板表面，可將殘留於上述玻璃板表面之漿料殘渣去除。亦可於上述漿料洗淨步驟56之前，設置前洗淨步驟。上述前洗淨步驟較佳為高壓噴淋洗淨。
洗滌劑洗淨步驟58一面對玻璃板表面供給洗淨劑，一面以洗淨部洗淨玻璃板表面。作為洗淨劑，例如較佳為包含有機膦酸、聚羧酸鹽、芳香族磺酸、及胺-環氧烷加成物之水系洗淨劑。藉由使用上述水系洗淨劑，可將殘留於玻璃表面之包含氧化鈰等之研磨顆粒去除。亦可於上述洗滌劑洗淨步驟58之前，設置上述洗淨步驟。上述前洗淨步驟較佳為高壓噴淋洗淨。
純水洗淨步驟62一面對玻璃板表面供給純水，一面以洗淨部例如盤形刷洗淨玻璃板表面。藉此，可將上述洗滌劑洗淨步驟58中使用之洗滌劑置換成純水。亦可於上述純水洗淨步驟62之前，設置前洗淨步驟。上述前洗淨步驟較佳為高壓噴淋洗淨。
可藉由純水清洗步驟64，將殘留於玻璃板表面之微量藥品去除。上述純水清洗步驟亦可設置複數次。藉由設置複數個清洗步驟，可將殘留於玻璃板表面之微量藥品精度良好地去除。
以乾燥步驟66，使清洗步驟中使用之純水乾燥，經檢查步驟68後，以捆包步驟72捆包於托盤等並出貨。
＜實施例＞
以下，針對實施例進行說明，但本創作不限定於該等實施例。以下，例1及例2為實施例，例3為比較例。
作為玻璃板G，準備長邊(與搬送方向A平行之方向之長度)為1800 mm，短邊(與搬送方向A垂直之方向之長度)為1500 mm，厚度為0.5 mm之玻璃板。第1輥及第2輥之表層部以硬度為50之胺基甲酸酯製作。
例3使用第1輥16及第2輥18為圓柱形狀之輥。例1及例2使用第1輥為圓柱形狀之輥，第2輥18為冠量不同之凸冠形狀之輥。
此處，所謂冠量，是指輥表層部之中心部之直徑R1與輥表層部之端之直徑R2之差(R1-R2)。又，以例中使用之第2輥之質量相同之方式製作。
使用具備表1所示之例1～例3之各輥之玻璃板洗淨裝置30，製作了玻璃板。使用包含氧化鈰之漿料研磨上述玻璃板G。使用具備例1～3之各輥之玻璃板洗淨裝置30及盤形刷32、34，以包含氧化鈰之漿料洗淨經研磨之上述玻璃板G。其後，使用洗淨液高壓噴淋洗淨，進而一面將洗淨液塗佈於上述玻璃板G，一面以盤形刷32、34洗淨。接著，使用純水進行高壓噴淋洗淨，進而一面將純水塗佈於上述玻璃板G，一面以盤形刷32、34洗淨。最後，藉由使用純水進行2次清洗，並使上述玻璃板G乾燥而獲得玻璃板。其後，測定上述玻璃板之面內微粒量。
洗淨時之盤形刷32、34之按壓量，設為使玻璃板G與盤形刷32、34至開始蛇行為止地相對接近後，使盤形刷34自該位置相對離開0.3 mm之狀態。
將例1～例3中之玻璃板之面內微粒量之評估顯示於表1。又，將輥表層部之硬度與玻璃板之保持力之關係顯示於表2。按以下方法測定各個測定項目。
＜本創作之玻璃板搬送裝置之玻璃板之保持壓之測定＞
使用面壓計(製造商：TECHSTOME Co.,Ltd.製)測定玻璃板G之保持壓。面壓計所使用之面壓測定片之尺寸係長邊為400 mm，短邊為100 mm，於面內具有400個測定點。以上述面壓測定片之長邊與上述第2輥18之軸長平行之方式，配置上述面壓測定片。使第2輥18自上述面壓測定片之上方與之抵接。於上述第1輥及上述第2輥之軸向一端部所測定之第2保持壓P2、於上述第1輥及上述第2輥之軸向另一端部測定之第3保持壓P3、及於上述第1輥及上述第2輥之軸向中央部測定之第1保持壓P1，求得該等之壓力之合計值Pt(P1+P2+P3)[kPa]。P1、P2、P3分別為於上述面壓片內之各測定點測定出之保持壓之合計值。此處，不對第2輥18加壓，施加於上述第2輥18之力僅有自重。
藉由將上述壓力之合計值Pt，除以上述第1保持壓P1測定長度W1[m]、上述第2保持壓P2測定長度W2[m]、上述第3保持壓P3測定長度W3[m]之合計值We(W1+W2+W3)[m]，求得Pt/Wt(Pt/Wt)[kPa/m]。
＜面內微粒量＞
面內微粒量係使用微粒計數器，測定0.3[μm]以上之微粒數。準備3塊以相同條件製作之玻璃板，測定上述3塊玻璃板之面內微粒量，將該等之平均值設為上述條件下之玻璃板之面內微粒量。面內微粒量評估係玻璃板之面內之微粒量未達600個為A，600個以上未達1000個為B，1000個以上為C。
＜輥表層部之硬度測定＞
輥表層部之硬度係使用硬度計(Teclock股份有限公司製，型號：GS-706G)測定。測定方法以舊JIS K 6301所記載之方法測定。
接著，測定玻璃板G之保持力。準備以特定硬度(30、40、50、60)製作之胺基甲酸酯製之第1輥16及第2輥18。排列2根第1輥16，對第1表層部26及玻璃板G之第1表面12塗佈純水後，於上述2根第1輥16之上載置玻璃板G。接著，自玻璃板G之上方載置第2輥18，保持玻璃板G。其後，牽引玻璃板G，取得玻璃板G滑動時之力，即最大靜止摩擦力。
使用雷射顯微鏡測定輥表層部之算數平均粗糙度Ra。於第1表層部26進行4點測定，將其平均值設為上述第1表層部之算數平均粗糙度Ra。
＜結果＞
關於表1，於例3中P1為0 kPa。其係如圖12所示，意指玻璃板G與第2輥18之中央部未抵接。另一方面，例1及例2中，於第2輥18之中央部施加有壓力，玻璃板G之Pt/Wt[kPa/m]飛躍性提高。
又，使用Pt/Wt[kPa/m]愈高之玻璃板搬送裝置者，玻璃板之面內微粒之評估愈佳。其理由在於，上述Pt/Wt愈高，愈可加強玻璃板G與盤形刷32、34之接觸狀態，可將玻璃板表面之附著物充分去除之故。
[表1]
| 輥表層部之軸長方向之長度W(m) | 重量(kg) | P1 (kPa) | P2 (kPa) | P3 (kPa) | Pt/Wt (kPa/m) | P1/P2 | P1/P3 | 冠量(μm) | 面內微粒評估 | |
| 例1 | 1.6 | 8.6 | 32 | 84 | 75 | 159 | 0.38 | 0.43 | 500 | B |
| 例2 | 1.6 | 8.6 | 77 | 143 | 118 | 282 | 0.54 | 0.65 | 1200 | A |
| 例3 | 1.6 | 8.6 | 0 | 40 | 36 | 63 | 0 | 0 | 0 | C |
關於表2，輥表層部之硬度為50之輥，玻璃板之保持力最高。作為輥表層部，輥表層部之硬度較佳為30～70。
[表2]
| 材質 | 硬度 | Ra(μm) | 保持力(N) |
| 胺基甲酸酯 | 30 | 15.8 | 11.1 |
| 胺基甲酸酯 | 40 | 7.5 | 17.7 |
| 胺基甲酸酯 | 50 | 8.6 | 25 |
| 胺基甲酸酯 | 60 | 7.7 | 16.5 |
以上，已針對本創作之玻璃板搬送裝置及玻璃板洗淨裝置之實施形態進行說明，但本創作不限定於上述實施形態等。於實用新型登記申請專利範圍所記載之範疇內，可進行各種變更、修正、置換、附加、刪除及組合。對於該等當然亦屬於本創作之技術範圍內。
10:玻璃板搬送裝置
12:第1表面
14:第2表面
16:第1輥
18:第2輥
22:第1軸
24:第2軸
26:第1表層部
28:第2表層部
30:玻璃板洗淨裝置
32:盤形刷
34:盤形刷
36:下段液體供給部
38:上段液體供給部
50:玻璃板製造步驟
52:成形步驟
54:研磨步驟
56:漿料洗淨步驟
58:洗滌劑洗淨步驟
62:純水洗淨步驟
64:純水清洗步驟
66:乾燥步驟
68:檢查步驟
72:捆包步驟
A:搬送方向
B:彎曲量
G:玻璃板
R1:直徑
R2:直徑
W:輥表層部之軸長方向之長度
W1:第1保持壓P1之測定長度
W2:第2保持壓P2之測定長度
W3:第3保持壓P3之測定長度
Wa:距離
Wb:距離
Wc:距離
Wd:距離
We:距離
Wf:距離
Wg:與搬送方向正交方向之玻璃板之寬向長度
圖1係玻璃板搬送裝置之立體圖。
圖2係玻璃板搬送裝置之第1輥及第2輥之側視圖。
圖3係第1表層部與第2表層部之中央部及兩端部之保持壓之測定區域之說明圖。
圖4係顯示第1輥形態之前視圖。
圖5係輥之凸冠形狀之說明圖。
圖6係顯示第1輥形態之其他實施形態之前視圖。
圖7係輥之凹冠形狀之說明圖。
圖8係顯示第2輥形態之前視圖。
圖9係顯示第2輥形態之其他實施形態之前視圖。
圖10係輥之彎曲量之說明圖。
圖11係顯示第3輥形態之前視圖。
圖12係使用先前之輥之玻璃板搬送裝置之說明圖。
圖13係玻璃板洗淨裝置之立體圖。
圖14係圖13所示之玻璃板洗淨裝置之側視圖。
圖15係玻璃板製造方法之說明圖。
12:第1表面
14:第2表面
16:第1輥
18:第2輥
22:第1軸
24:第2軸
26:第1表層部
28:第2表層部
G:玻璃板
Claims (23)
- 一種玻璃板搬送裝置，其特徵在於： 其係將具有第1表面與第2表面之玻璃板以上述第2表面朝向上方，於水平方向進行搬送者， 上述玻璃板搬送裝置包含： 第1輥，其具有與上述第1表面接觸之第1表層部、及第1軸；及 第2輥，其配置於上述第1輥之上方，具有與上述第2表面接觸之第2表層部、及第2軸；且 夾於上述第1表層部與上述第2表層部間之上述玻璃板之下述Pt/Wt，係保持100[kPa/m]以上， 上述Pt/Wt係將於上述第1輥及上述第2輥之軸向中央部測定之第1保持壓P1、於上述第1輥及上述第2輥之軸向一端部測定之第2保持壓P2、及於上述第1輥及上述第2輥之軸向另一端部測定之第3保持壓P3之合計值Pt(Pt=P1+P2+P3)，除以上述第1保持壓P1之測定長度W1、上述第2保持壓P2之測定長度W2、上述第3保持壓P3之測定長度W3之合計值Wt(Wt=W1+W2+W3)的值，且 上述第1保持壓P1為10 kPa以上。
- 如請求項1之玻璃板搬送裝置，其中上述第1保持壓P1、上述第2保持壓P2及上述第3保持壓P3滿足下述式(1)及(2) 0.3≦P1/P2≦1.2・・・(1) 0.3≦P1/P3≦1.2・・・(2)。
- 如請求項1或2之玻璃板搬送裝置，其中上述第2輥具有凸冠形狀。
- 如請求項3之玻璃板搬送裝置，其中上述第1輥具有凹冠形狀。
- 如請求項1或2之玻璃板搬送裝置，其中上述第1輥具有凸冠形狀。
- 如請求項5之玻璃板搬送裝置，其中上述第2輥具有凹冠形狀。
- 一種玻璃板搬送裝置，其特徵在於： 其係將具有第1表面與第2表面之玻璃板以上述第2表面朝向上方，於水平方向進行搬送者， 上述玻璃板搬送裝置包含： 第1輥，其具有與上述第1表面接觸之第1表層部及第1軸；及 第2輥，其配置於上述第1輥之上方，具有與上述第2表面接觸之第2表層部及第2軸；且 上述第2輥具有凸冠形狀。
- 如請求項7之玻璃板搬送裝置，其中上述第1輥具有凹冠形狀。
- 如請求項7或8之玻璃板搬送裝置，其中於搬送玻璃板時，上述第2輥之軸向中央部與玻璃板抵接。
- 如請求項9之玻璃板搬送裝置，其中於搬送玻璃板時，上述第2輥於與玻璃板之搬送方向正交之方向的玻璃板之寬向長度全域抵接。
- 一種玻璃板搬送裝置，其特徵在於， 其係將具有第1表面與第2表面之玻璃板以上述第2表面朝向上方，於水平方向進行搬送者， 上述玻璃板搬送裝置包含： 第1輥，其具有與上述第1表面接觸之第1表層部及第1軸；及 第2輥，其配置於上述第1輥之上方，具有與上述第2表面接觸之第2表層部及第2軸；且 上述第1輥具有凸冠形狀。
- 如請求項11之玻璃板搬送裝置，其中上述第2輥具有凹冠形狀。
- 如請求項11或12之玻璃板搬送裝置，其中於搬送玻璃板時，上述第2輥之軸向中央部與玻璃板抵接。
- 如請求項13之玻璃板搬送裝置，其中於搬送玻璃板時，上述第2輥於與玻璃板之搬送方向正交之方向的玻璃板之寬向長度全域抵接。
- 如請求項1、2、7、8、11、12中任一項之玻璃板搬送裝置，其中上述第2輥之彎曲量大於上述第1輥之彎曲量。
- 一種玻璃板搬送裝置，其特徵在於： 其係將具有第1表面與第2表面之玻璃板以上述第2表面朝向上方，於水平方向進行搬送者， 上述玻璃板搬送裝置包含： 第1輥，其具有與上述第1表面接觸之第1表層部及第1軸；及 第2輥，其配置於上述第1輥之上方，具有與上述第2表面接觸之第2表層部及第2軸；且 上述第2輥之彎曲量大於上述第1輥之彎曲量。
- 如請求項16之玻璃板搬送裝置，其中於搬送玻璃板時，上述第2輥之軸向中央部與玻璃板抵接。
- 如請求項17之玻璃板搬送裝置，其中於搬送玻璃板時，上述第2輥於與玻璃板之搬送方向正交之方向的玻璃板之寬向長度全域抵接。
- 如請求項1、2、7、8、11、12、16至18中任一項之玻璃板搬送裝置，其中上述第1表層部及上述第2表層部為樹脂製。
- 如請求項1、2、7、8、11、12、16至18中任一項之玻璃板搬送裝置，其中上述第1表層部及上述第2表層部之硬度為30～70。
- 如請求項1、2、7、8、11、12、16至18中任一項之玻璃板搬送裝置，其中上述第1表層部及上述第2表層部之算數平均粗糙度Ra為15 μm以下。
- 如請求項1、2、7、8、11、12、16至18中任一項之玻璃板搬送裝置，其中與上述玻璃板之搬送方向正交之方向的上述玻璃板之寬向長度為1500 mm以上。
- 一種玻璃板洗淨裝置，其特徵在於包含： 請求項1至22中任一項之玻璃板搬送裝置； 液體供給部，其對搬送中之上述玻璃板供給液體；及 洗淨部，其與上述第1表面及上述第2表面接觸，將上述第1表面及上述第2表面之附著物去除。
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