KR20210001745U

KR20210001745U - 유리판 반송 장치, 및 유리판 세정 장치

Info

Publication number: KR20210001745U
Application number: KR2020210000039U
Authority: KR
Inventors: 춘팡 텅; 힌추 선; 쿤칭 창; 치칭 천; 윙치 류; 위수 허; 카이마오 천; 성뤼 차이; 셴정 허; 웨쉰 우
Original assignee: 에이지씨 가부시키가이샤
Priority date: 2020-01-17
Filing date: 2021-01-07
Publication date: 2021-07-28
Also published as: JP3225709U; CN215391451U; TWM612185U

Abstract

유리판에 깨짐이나 크랙 등을 발생시키지 않고 유리판의 보유 지지력을 충분히 높게 할 수 있어, 유리판을 사행시키지 않고 안정적으로 반송할 수 있는 유리판 반송 장치를 제공한다. 유리판 반송 장치는, 유리판의 하면측의 제1 롤러 및 유리판의 상면측의 제2 롤러에 의해, 유리판을 두께 방향으로 집은 상태에서 반송한다. 제1 표층부 및 제2 표층부의 사이에 끼운 유리판은, Pt/Wt가 100[kPa/m] 이상으로 보유 지지되고, 제2 롤러의 축방향 중앙부의 보유 지지압은 10kPa 이상이다.

Description

유리판 반송 장치, 및 유리판 세정 장치{GLASS PLATE CONVEYANCE DEVICE AND GLASS PLATE CLEANING METHOD}

본 고안은 유리판 반송 장치, 및 유리판 세정 장치에 관한 것이다.

액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이, LED(Light Emitting Diode) 디스플레이 패널 등의 FPD(Flat Panel DisPlay)에 사용되는 유리판은, 도 15에 도시한 복수의 공정을 거침으로써 제조된다.

즉, 유리판 제조 공정(50)은 성형 공정(52), 연마 공정(54), 슬러리 세정 공정(56), 세제 세정 공정(58), 순수 세정 공정(62), 순수 린스 공정(64), 건조 공정(66), 검사 공정(68), 및 곤포 공정(72)을 갖는다.

성형 공정(52)은, 용융 유리로 띠형의 판유리를 성형하는 공정과, 띠형의 판유리를 소정의 직사각형 사이즈의 유리판으로 절단하는 공정을 포함한다.

유리판은, 연마 공정(54)으로부터 검사 공정(68)에 이르기까지, 컨베이어에 의해 연속 반송되면서 각 공정에서 소정의 처리가 실시된다. 그리고, 검사 공정(68)을 거친 유리판은, 곤포 공정(72)에서 팔레트 등에 곤포되어 출하된다.

또한, 유리판은, 연마 공정(54) 이후부터 건조 공정(66)에 이르기까지, 세정수, 슬러리 용액, 세제, 순수 등의 액체가 도포되고, 세정부, 예를 들어 디스크 브러시 등을 사용하여 세정된다.

FPD(Flat Panel DisPlay)에 사용되는 유리판은, 표면에 전기 회로가 형성되기 때문에, 극미소한 흠집 및 오염이어도 제품 불량의 원인이 된다. 그 때문에, 이러한 유리판에는 매우 높은 표면 특성이 요구되고 있어, 유리판 표면의 부착물을 충분히 제거할 필요가 있다.

종래의 유리판 반송 장치는, 유리판의 하면에 맞닿은 원주 형상의 제1 롤러군이 회전 구동됨으로써, 상기 유리판을 수평 상태에서 수평 방향으로 반송하고 있다. 상기 제1 롤러군의 상방에는, 제2 롤러군이 배치되어 있고, 상기 제1 롤러군과 상기 제2 롤러군의 사이에서 상기 유리판을 끼워 넣음으로써, 세정 중의 유리판의 사행을 방지하고 있다(특허문헌 1 참조).

그러나, 종래보다도 높은 표면 특성을 갖는 유리판을 얻기 위해서, 유리판 세정 공정에 있어서, 세정부를 유리판에 강하게 접촉시키면, 세정 중에 유리판이 사행되어, 세정부가 유리 표면에 적절하게 접촉할 수 없게 되어, 유리판 표면의 부착물을 충분히 제거할 수 없다는 문제가 있었다. 또한, 세정부를 유리판에 강하게 접촉시키면, 유리판이 반송로의 측벽에 충돌하여 깨짐 등이 발생할 우려도 있다.

일본 특허 공개 제2015-30570호

유리판 세정 공정에 있어서 세정부를 유리판에 종래보다 강하게 접촉시켜 유리판 표면의 부착물을 충분히 제거할 필요가 있다.

본원 고안자들은, 세정부를 유리판에 종래보다 강하게 접촉시켜도 유리판의 사행을 방지할 수 있는 방법을 검토한 결과, 종래의 유리판 반송 장치는, 도 12에 도시한 바와 같이, 유리판 G의 상방에 배치된 롤러(18)가 유리판 G의 단부에만 맞닿아 있기 때문에, 유리판 G가 사행되기 쉽다는 사실을 알아내었다. 즉, 종래의 유리판 반송 장치에 있어서, 제1 롤러(16)와 제2 롤러(18)의 사이에 끼워진 유리판 G는, 롤러(16, 18)의 양단부로만 보유 지지되어 있었으므로 유리판 G의 보유 지지력이 충분하지 못했다. 그 때문에, 종래의 유리판 반송 장치에서는 세정부를 강하게 접촉시키면 유리판 G가 사행되어버려, 세정부를 강하게 접촉할 수 없게 되었다. 또한, 유리판 G의 보유 지지력을 높게 하기 위해서, 제2 롤러를 유리판에 강하게 압박한 경우, 유리판 G의 단부에 국소적으로 높은 압력이 가해져, 유리판에 깨짐이나 크랙 등이 발생할 우려도 있었다.

본 고안은, 유리판에 깨짐이나 크랙 등을 발생시키지 않고 유리판의 보유 지지력을 충분히 높게 할 수 있어, 유리판을 사행시키지 않고 안정적으로 반송할 수 있는 유리판 반송 장치의 제공을 목적으로 한다.

본 고안에 따른 유리판 반송 장치는, 제1 표면과 제2 표면을 갖는 유리판을, 상기 제2 표면을 상방을 향해서 수평 방향으로 반송하는 유리판 반송 장치이며, 상기 유리판 반송 장치는, 상기 제1 표면에 접촉하는 제1 표층부와, 제1 샤프트를 갖는 제1 롤러와, 상기 제1 롤러의 상방에 배치되고, 상기 제2 표면에 접촉하는 제2 표층부와, 제2 샤프트를 갖는 제2 롤러를 구비하고, 상기 제1 표층부와 상기 제2 표층부의 사이에 끼운 상기 유리판은, 하기의 Pt/Wt가 100[kPa/m] 이상으로 보유 지지되고, 상기 Pt/Wt는, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부에서 측정하는 제1 보유 지지압 P1과, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 일단부에서 측정하는 제2 보유 지지압 P2와, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 타단부에서 측정하는 제3 보유 지지압 P3의 합계값 Pt(Pt=P1+P2+P3)을, 상기 제1 보유 지지압 P1의 측정 길이 W1, 상기 제2 보유 지지압 P2의 측정 길이 W2, 상기 제3 보유 지지압 P3의 측정 길이 W3의 합계값 Wt(Wt=W1+W2+W3)으로 나눈 값이며, 상기 제1 보유 지지압 P1은 10kPa 이상인 것을 특징으로 한다.

제2 롤러 중앙부와 유리판이 맞닿아 있기 때문에, 유리판에 높은 보유 지지압을 가해도, 국소적으로 높은 압력이 가해지는 일이 없어, 유리판의 깨짐이나 크랙 등이 발생하지 않는다.

바람직하게는, 상기 제1 보유 지지압 P1, 상기 제2 보유 지지압 P2 및 상기 제3 보유 지지압 P3은 동일 정도의 보유 지지압이다. 구체적으로는, 상기 제1 보유 지지압 P1, 제2 보유 지지압 P2 및 제3 보유 지지압 P3은, 하기의 (1) 및 (2)를 충족한다.

0.3≤P1/P2≤1.2 … (1)

0.3≤P1/P3≤1.2 … (2)

유리판의 보유 지지압이 롤러 표층부의 장소에 구애받지 않고 균일함으로써, 유리판에 국소적으로 높은 압력이 가해지지 않아, 유리판의 면내에 있어서 품질이 균일해진다.

또한, 바람직하게는 상기 제2 롤러는 볼록 크라운 형상을 갖는다.

종래의 유리판 반송 장치에 있어서, 제1 롤러는, 상기 제1 롤러의 자중 및 상방에 적재된 유리판 및 제2 롤러의 무게에 의해 휘어 있다. 제2 롤러도 또한, 자중에 의해 휘지만, 제2 롤러에 가해지는 힘은 자중뿐이기 때문에, 제1 롤러보다도 휨양이 작다. 그 때문에, 종래의 유리판 반송 장치에서는 제2 롤러 중앙부와 유리판이 맞닿지 않게 된다. 한편 제2 롤러가 볼록 크라운 형상으로 되어 있는 경우, 상기 제2 롤러 중앙부와 유리판이 맞닿게 되어, 유리판의 보유 지지력이 향상된다.

더욱 바람직하게는, 상기 제1 롤러가 오목 크라운 형상이다.

상기 제1 롤러를 또한 오목 크라운 형상으로 함으로써, 상기 제2 롤러가, 상기 유리판의 폭 길이의 전역에서 균일하게 맞닿게 되기 때문에, 유리판의 보유 지지력이 향상된다. 또한, 상기 제2 롤러가 유리판의 폭 길이의 전역에서 균일하게 맞닿게 되기 때문에, 유리판의 면내에 있어서 품질이 균일해진다.

또한, 바람직하게는 상기 제1 롤러는 볼록 크라운 형상이다.

상기 제1 롤러를 또한 볼록 크라운 형상으로 하고, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러가 균일하게 맞닿게 되도록 조절할 수 있다. 이에 의해, 유리판의 면내에 있어서 품질이 균일해진다.

본 고안에 따른 유리판 반송 장치는, 제1 표면과 제2 표면을 갖는 유리판을, 상기 제2 표면을 상방을 향해서 수평 방향으로 반송하는 유리판 반송 장치이며, 상기 유리판 반송 장치는, 상기 제1 표면에 접촉하는 제1 표층부와 제1 샤프트를 갖는 제1 롤러와, 상기 제1 롤러의 상방에 배치되고, 상기 제2 표면에 접촉하는 제2 표층부와 제2 샤프트를 갖는 제2 롤러를 구비하고, 상기 제2 롤러는 볼록 크라운 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 제1 롤러는 오목 크라운 형상을 갖는다.

또한, 바람직하게는 유리판의 반송 시에 있어서, 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부는 유리판과 맞닿게 된다.

더욱 바람직하게는, 유리판의 반송 시에 있어서, 상기 제2 롤러는, 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판의 폭 길이 전역에서 맞닿게 된다.

본 고안에 따른 유리판 반송 장치는, 제1 표면과 제2 표면을 갖는 유리판을, 상기 제2 표면을 상방을 향해서 수평 방향으로 반송하는 유리판 반송 장치이며, 상기 유리판 반송 장치는, 상기 제1 표면에 접촉하는 제1 표층부와 제1 샤프트를 갖는 제1 롤러와, 상기 제1 롤러의 상방에 배치되고, 상기 제2 표면에 접촉하는 제2 표층부와 제2 샤프트를 갖는 제2 롤러를 구비하고, 상기 제1 롤러는 볼록 크라운 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 제2 롤러는 오목 크라운 형상을 갖는다.

또한, 바람직하게는 상기 제2 롤러의 휨양은, 상기 제1 롤러의 휨양보다 크다.

본 고안에 따른 유리판 반송 장치는, 제1 표면과 제2 표면을 갖는 유리판을, 상기 제2 표면을 상방을 향해서 수평 방향으로 반송하는 유리판 반송 장치이며, 상기 유리판 반송 장치는, 상기 제1 표면에 접촉하는 제1 표층부와 제1 샤프트를 갖는 제1 롤러와, 상기 제1 롤러의 상방에 배치되고, 상기 제2 표면에 접촉하는 제2 표층부와 제2 샤프트를 갖는 제2 롤러를 구비하고, 상기 제2 롤러의 휨양은, 상기 제1 롤러의 휨양보다 큰 것을 특징으로 한다.

또한, 바람직하게는 상기 제1 표층부 및 상기 제2 표층부는 수지제이다. 롤러 표층부가 수지제임으로써, 롤러 표층부의 정지 마찰 계수가 향상되어, 유리판의 보유 지지력이 향상된다.

또한, 바람직하게는 상기 제1 표층부 및 상기 제2 표층부는, 경도가 30 내지 70이다.

또한, 바람직하게는 상기 제1 표층부 및 상기 제2 표층부는, 산술 평균 조도 Ra가 15㎛ 이하이다. 산술 평균 조도 Ra가 작으면, 유리판과 롤러의 접촉 면적이 커지게 되어, 유리판의 보유 지지력이 향상된다.

또한, 바람직하게는 상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판의 폭 길이는 1500㎜ 이상이다. 유리판이 클수록, 종래의 유리판 반송 장치에서는 유리판의 폭 길이의 전역에서 맞닿게 되는 것이 곤란해진다. 한편, 본 고안에 따른 유리판 반송 장치는, 제2 롤러가 유리판의 폭 길이의 전역에서 맞닿아 있기 때문에, 유리판이 커도 사행되지 않고 반송할 수 있다고 하는 각별한 효과가 발휘된다.

본 고안에 따른 유리판 세정 장치는, 상기 유리판 반송 장치와, 반송 중의 상기 유리판에 액체를 공급하는 액체 공급부와, 상기 제1 표면 및 상기 제2 표면에 접촉해서 상기 제1 표면 및 상기 제2 표면의 부착물을 제거하는 세정부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

유리판은 상기 유리판 반송 장치에 의해 반송되고, 세정부를 사용하여 제1 표면 및 제2 표면의 부착물을 제거한다. 유리판 세정 장치에 구비된 상기 유리판 반송 장치는, 유리판을 높은 보유 지지압으로 보유 지지하기 때문에, 세정부를 강하게 접촉시켜도 유리판이 사행되지 않는다. 그 때문에, 유리판 표면의 부착물을 충분히 제거할 수 있다.

본 고안에 의하면, 유리판에 깨짐이나 크랙 등을 발생시키지 않고 유리판의 보유 지지력을 충분히 높게 할 수 있어, 유리판을 사행시키지 않고 안정적으로 반송할 수 있는 유리판 반송 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 유리판 반송 장치의 사시도
도 2는 유리판 반송 장치의 제1 롤러 및 제2 롤러의 측면도
도 3은 제1 표층부와 제2 표층부에 있어서의 중앙부 및 양단부에서의 보유 지지압의 측정 영역의 설명도
도 4는 제1 롤러 형태를 나타낸 정면도
도 5는 롤러의 볼록 크라운 형상의 설명도
도 6은 제1 롤러 형태의 다른 실시 형태를 나타내는 정면도
도 7은 롤러의 오목 크라운 형상의 설명도
도 8은 제2 롤러 형태를 나타낸 정면도
도 9는 제2 롤러 형태의 다른 실시 형태를 나타내는 정면도
도 10은 롤러의 휨양의 설명도
도 11은 제3 롤러 형태를 나타낸 정면도
도 12는 종래의 롤러를 사용한 유리판 반송 장치의 설명도
도 13은 유리판 세정 장치의 사시도
도 14는 도 13에 도시한 유리판 세정 장치의 측면도
도 15는 유리판 제조 방법의 설명도

이하, 본 고안에 따른 유리판 반송 장치의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다.

<유리판 반송 장치의 구성>

도 1에 도시한 유리판 반송 장치(10)는, 유리판 G를 수평 상태에서 반송 방향 A로 반송하는 장치이며, 유리판 G의 제1 표면(12)에 맞닿게 되는 제1 롤러(16)와, 제1 롤러(16)의 상방에 배치되며, 또한 유리판 G의 제2 표면(14)에 맞닿게 되어 제1 롤러(16)와의 사이에서 유리판 G를 두께 방향으로 집는 제2 롤러(18)를 구비한다. 유리판 G의 제1 표면(12)은 하면이며, 유리판 G의 제2 표면(14)은 상면이다. 제1 롤러(16)는 하부 롤러이며, 제2 롤러(18)는 상부 롤러이다.

<제1 롤러 및 제2 롤러>

도 2에 도시한 바와 같이, 제1 롤러(16)는, 구동부(도시생략)로부터의 동력을 제1 롤러(16)에 전달하고, 회전 구동시키기 위한 제1 샤프트(22)와, 유리판 G의 제1 표면(12)에 맞닿게 되는 제1 표층부(26)를 갖는다. 제2 롤러(18)는, 회전시키기 위한 제2 샤프트(24)와, 유리판 G의 제2 표면(14)에 맞닿게 되는 제2 표층부(28)를 갖는다. 제2 롤러(18)에는, 회전 구동 수단이 접속되어 있어도, 접속되어 있지 않아도 된다. 회전 구동 수단이 접속되지 않은 경우, 제2 롤러(18)는, 유리판 G의 제2 표면(14) 사이의 마찰 저항에 의해, 유리판 G의 반송에 추종하여, 유리판 G를 반송 방향 A로 보내는 방향으로 회전된다. 또한, 제2 롤러(18)에 회전 구동 수단을 접속하는 것도 가능하다. 유리판 G의 사이즈가 커질 때, 제2 롤러(18)에 회전 구동 수단을 접속하여, 제2 롤러(18)를 구동시켜, 유리판 G의 반송력을 높일 수 있다. 제2 롤러(18)의 회전 구동 수단은 한정되지 않는다. 예를 들어, 제2 롤러(18)의 제2 샤프트(24)에 벨트를 설치하여, 동력을 전달하는 방법이나, 인접하는 제2 롤러(18)의 단부끼리를, 기어를 통해 연결시켜, 기어에 회전 동력을 가함으로써 제2 롤러(18)를 회전시키는 회전 구동 수단이어도 된다.

제1 샤프트(22), 제2 샤프트(24), 제1 표층부(26) 및 제2 표층부(28)는, 각각 독립적으로 소재를 선택해도 된다. 즉, 모두 동일한 소재로 구성되어 있어도, 모두 다른 소재로 구성되어 있어도 된다. 또한, 제1 샤프트(22)와 제1 표층부(26)의 사이 및 제2 샤프트(24)와 제2 표층부(28)의 사이에, 중간층을 마련해도 된다.

<제1 샤프트 및 제2 샤프트>

제1 샤프트(22) 및 제2 샤프트(24)의 소재는, 카본, 금속 부재 또는 수지가 사용된다. 제1 샤프트(22) 및 제2 샤프트(24)는, 내부가 충전되어 있어도, 중공 구조여도 된다. 롤러(16, 18)를 회전 구동시키기 위한 소비 전력을 억제하기 위해서, 중공 구조인 것이 바람직하다. 금속 부재는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 탄소강이나 특수강이 사용된다. 탄소강이란, 철에 소량의 탄소(C)를 함유시킨 소재이다. 특수강이란, 철에 탄소(C) 외에, 크롬(Cr), 망간(Mn), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 바나듐(V) 등의 금속 원소를, 단독 또는 복수 함유시킨 소재이다.

제1 샤프트(22) 및 제2 샤프트(24)에 사용되는 수지는 특별히 한정되지 않고 니트릴 수지, 실리콘 수지, 불소 수지, 우레탄 수지, 아크릴 수지, 이소프렌 수지, 스티렌 수지, 부타디엔 수지, 부틸 수지 등을 들 수 있다.

상기 제1 샤프트(22) 및 제2 샤프트(24)는 기계적 강도가 높고, 방청성을 갖는 재료가 바람직하다. 그 때문에, 철에 소량의 탄소 및 금속 원소를 함유하는 특수강이 바람직하고, 크롬(Cr)을 11％ 이상 더 함유한 스테인리스가 보다 바람직하다.

제1 표층부(26)와 제2 표층부(28)의 사이에 끼운 유리판 G는, Pt/Wt가 100[kPa/m] 이상으로 보유 지지된다. 제1 표층부(26)와 제2 표층부(28)가, 높은 보유 지지압으로 유리판 G를 보유 지지할 수 있으므로, 세정부를 유리판 G에 종래보다 강하게 접촉시켜도 유리판 G의 사행을 방지할 수 있어, 유리판 G 표면의 부착물을 충분히 제거할 수 있다. 상기 Pt/Wt는, 150[kPa/m] 이상이 바람직하고, 200[kPa/m] 이상이 보다 바람직하고, 250[kPa/m] 이상이 더욱 바람직하고, 1000[kPa/m] 이하가 바람직하고, 800[kPa/m] 이하가 보다 바람직하며, 600[kPa/m] 이하가 더욱 바람직하다.

상기 Pt/Wt는, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부에서 측정하는 제1 보유 지지압 P1과, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 일단부에서 측정하는 제2 보유 지지압 P2와, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 타단부에서 측정하는 제3 보유 지지압 P3의 합계값 Pt(Pt=P1+P2+P3)을, 상기 제1 보유 지지압 P1의 측정 길이 W1, 상기 제2 보유 지지압 P2의 측정 길이 W2, 상기 제3 보유 지지압 P3의 측정 길이 W3의 합계값 Wt(Wt=W1+W2+W3)으로 나눈 값이다.

여기서, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 일단부 그리고 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 타단부는, 도 3에 도시한 바와 같이, 롤러 표층부의 일단부 A로부터 타단부 B까지의 길이 W[m]인 경우, 일단부 A로부터 Wa[m] 이상 Wb[m] 이하 및 Wc[m] 이상 Wd[m] 이하의 거리에 있는 범위를 말한다. 또한, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부는, 롤러 표층부의 일단부 A로부터 We[m] 이상 Wf[m] 이하의 거리에 있는 범위를 말한다. 여기서, Wa, Wb, Wc, Wd, We, Wf는 이하의 (3) 내지 (8)을 충족시킨다.

Wa=0.05 …(3)

Wb=0.45 …(4)

Wc=W-0.45 …(5)

Wd=W-0.05 …(6)

We=W/2-0.2 …(7)

Wf=W/2+0.2 …(8)

W1, W2, W3은, 제1 보유 지지압 P1, 제2 보유 지지압 P2, 제3 보유 지지압 P3의 측정 길이이다. 즉, W1, W2 및 W3의 측정 길이는, 각각 (Wf-We)[m], (Wb-Wa)[m] 및 (Wd-Wc)[m]이며, W1=W2=W3=0.40[m]이다.

상기 보유 지지압 P1은 10[kPa] 이상이다. 또한, 상기 보유 지지압 P1은 50[kPa] 이상이 바람직하고, 100[kPa] 이상이 더욱 바람직하고, 1000[kPa] 이하가 바람직하고, 800[kPa] 이하가 보다 바람직하며, 600[kPa] 이하가 더욱 바람직하다. 제2 롤러(18)가 유리판 G의 폭 길이의 전역 Wg에서 맞닿아 있음으로써 유리판 G의 보유 지지력이 향상된다. 또한, 제2 롤러(18)의 중앙부가 유리판 G에 맞닿아 있기 때문에, 상기 제2 롤러(18)를 강하게 압박할 때, 유리판 G의 단부에 국소적으로 높은 압력이 가해지지 않아, 유리판 G의 깨짐이나 크랙을 방지할 수 있다.

유리판 G의 보유 지지압을 조정하는 방법은, 예를 들어 이하의 방법을 생각할 수 있다. 예를 들어, 제2 롤러(18)의 질량을 크게 함으로써, 유리판 G의 보유 지지압을 크게 할 수 있다. 또한, 제2 롤러(18)에 가압 기구를 마련해도 된다. 상기 가압 기구로, 제2 롤러(18)를 제1 롤러(16)를 향해서 압입함으로써, 유리판 G의 보유 지지압을 크게 할 수 있다. 또한, 상기 가압 기구는 제1 롤러(16)에 마련해도 된다. 제1 롤러(16)를 제2 롤러(18)를 향해서 압입함으로써, 유리판 G의 보유 지지압을 크게 할 수 있다.

상기 P1, P2, P3에 관하여, P1과 P2의 비(P1/P2)는 0.3 이상이 바람직하고, 0.5 이상이 보다 바람직하고, 0.7 이상이 더욱 바람직하고, 1.5 이하가 바람직하며, 1.2 이하가 보다 바람직하다. 또한, P1과 P3의 비(P1/P3)은 0.3 이상이 바람직하고, 0.5 이상이 보다 바람직하고, 0.7 이상이 더욱 바람직하고, 1.5 이하가 바람직하며, 1.2 이하가 보다 바람직하다. 비가 1에 가까울수록 유리판을 균일한 보유 지지압으로 보유 지지하고, 유리판 G에 국소적으로 높은 압력이 가해지는 것을 방지할 수 있으므로, 유리판 G를 보다 안정적으로 반송할 수 있어, 유리판 G의 면내에서 품질을 균일하게 할 수 있다.

<제1 롤러 형태>

도 4는, 제1 롤러 형태의 유리판 반송 장치(10)의 정면도이다.

<제1 롤러 형태의 유리판 반송 장치>

도 4에 있어서, 제1 롤러(16)는 원주 형상으로 도시되어 있지만, 이것에 한정되지는 않는다. 제1 롤러(16)는 볼록 크라운 형상이어도 오목 크라운 형상이어도 된다. 제1 롤러(16)는 유리판 G를 반송 방향 A로 반송하기 위해서, 반송 방향 A에 대하여 직행하여 배치되어 있다. 제1 롤러(16)의 상방에는, 유리판 G의 제2 표면에 맞닿게 되어 제1 롤러(16)와의 사이에서 유리판 G를 두께 방향으로 끼워 넣는 제2 롤러(18)가 배치되어 있다.

본 명세서 중에 있어서, 볼록 크라운 형상의 롤러는, 도 5에 도시한 바와 같이, 롤러 표층부에 있어서의 중심부에서의 직경 R1이 롤러 표층부에 있어서의 단부에서의 직경 R2에 대하여 100㎛ 이상(R1-R2≥100㎛)인 롤러를 말한다. 롤러 표층부에 있어서의 중심부의 직경 R1, 롤러 표층부에 있어서의 단부에서의 직경 R2에 대하여 100㎛ 이상이면, 롤러의 표면 형상은 불문이고, 예를 들어 사인 곡선, 2차 함수 곡선 등을 생각할 수 있다.

본 명세서 중에 있어서, 오목 크라운 형상의 롤러란, 도 7에 도시한 바와 같이 롤러 표층부에 있어서의 단부에서의 R2가 롤러 표층부에 있어서의 중심부에서의 직경 R1에 대하여, 100㎛ 이상(R2-R1≥100㎛)인 롤러를 말한다. 롤러 표층부에 있어서의 단부에서의 직경 R2가 롤러 표층부에 있어서의 중심부에서의 직경 R1에 대하여 100㎛ 이상이면 롤러의 표면 형상은 불문이고, 예를 들어 사인 곡선, 2차 함수 곡선 등을 생각할 수 있다.

본 명세서 중에 있어서, 원주 형상의 롤러란, 롤러 표층부의 중심부의 직경 R1과 롤러 표층부의 단부에서의 직경 R2의 차가 100㎛ 미만(|R1-R2|<100㎛)인 롤러를 말한다.

본 명세서 중에 있어서, 롤러 표층부에 있어서의 중심부란, 롤러 표층부의 일단부 A로부터의 거리가 W/2인 위치를 말한다. 또한, 롤러 표층부에 있어서의 단부란, 롤러 표층부의 일단부 A로부터의 거리가 0인 위치를 말한다.

제1 롤러 형태에 있어서, 제2 롤러(18)는 볼록 크라운 형상이다. 제2 롤러(18)를 볼록 크라운 형상으로 함으로써, 제2 롤러(18)의 중앙부 및 단부에 있어서 유리판 G가 맞닿게 되기 때문에, 유리판 G를 안정적으로 보유 지지할 수 있다. 이에 의해, 세정부를 유리판에 종래보다 강하게 접촉시켜도 유리판 G의 사행을 방지할 수 있다. 또한, 유리판 G의 단부에 국소적으로 높은 압력이 가해져, 유리판에 깨짐이나 크랙 등이 발생하는 것도 방지할 수 있다.

도 6은, 제2 롤러(18)가 볼록 크라운 형상이며, 또한 제1 롤러(16)가 오목 크라운 형상인 유리판 반송 장치이다. 제2 롤러(18)를 볼록 크라운 형상으로 하고, 또한 제1 롤러(16)를 오목 크라운 형상으로 해도 된다. 이에 의해, 제2 롤러(18)를 유리판 G의 폭 길이 Wg의 전역에 균일하게 맞닿게 하도록 조정할 수 있다.

<제2 롤러 형태>

도 8은, 제2 롤러 형태의 유리판 반송 장치(10)를 나타낸 도면이다.

제1 롤러(16)를 볼록 크라운 형상으로 하는 것이 바람직하다. 제1 롤러(16)를 볼록 크라운 형상으로 함으로써, 원주 형상의 롤러와 비교하여, 제1 롤러(16)의 중앙부가 유리판 G의 중앙부를 밀어올린다. 그 때문에, 제2 롤러(18)의 중앙부와 유리판 G가 맞닿게 되고, 유리판 G의 보유 지지력이 비약적으로 향상되어, 유리판 G의 사행을 방지할 수 있다.

도 8은, 제2 롤러(18)는 원주 형상으로서 도시되어 있지만, 이것에 한정되지는 않는다. 제2 롤러는 볼록 크라운 형상이어도 오목 크라운 형상이어도 된다. 또한, 도 9에 도시한 바와 같이, 제1 롤러(16)를 볼록 크라운 형상으로 하고, 또한 제2 롤러(18)를 오목 크라운 형상으로 해도 된다. 이에 의해, 제2 롤러(18)가 유리판 G의 폭 길이 Wg의 전역에 있어서, 균일하게 맞닿게 되도록 조정할 수 있다.

<제3 롤러 형태>

도 11은, 제3 롤러 형태의 유리판 반송 장치(10)를 나타낸 도면이다.

제1 롤러(16) 및 제2 롤러(18)가 원주 형상인 경우, 제2 롤러(18)의 휨양 B2는 제1 롤러(16)의 휨양 B1보다도 크다. 이에 의해, 제2 롤러(18)의 중앙부를 유리판 G에 맞닿게 할 수 있다. 이 제2 롤러(18)의 휨양 B2를 제1 롤러(16)의 휨양 B1보다도 크게 하는 방법은, 원주 형상의 롤러에 대하여 단독으로 이용해도 되고, 상기 <제1 롤러 형태> 또는 상기 <제2 롤러 형태>와 병용해도 된다.

여기서, 본 명세서 중에 있어서 휨양 B는, 도 10에 도시한 바와 같이, 롤러의 자중이나, 압박 기구 등에 의해 외부로부터 인가된 하중에 의해, 롤러 표층부의 중심부가 얼마나 휘어 있는지를 의미하고 있다. 휨양 B는, 예를 들어 다이얼 게이지를 사용하여 측정된다. 우선, 롤러 표층부의 중심부가 휘지 않도록, 롤러의 샤프트 단부 및 중앙부를 지지체의 위에 배치한다. 이어서, 상기 롤러 표층부의 중심부에 다이얼 게이지를 배치하고, 제로점으로 한다. 그 후, 롤러 중앙부의 지지체만을 분리하고, 롤러 샤프트 단부의 지지체만을 남겨, 롤러의 휨양 B를 상기 다이얼 게이지로 측정한다.

제2 롤러(18)의 휨양 B2를 제1 롤러(16)의 휨양 B1보다도 크게 하는 방법은, 예를 들어 이하의 방법을 생각할 수 있다. 제1 방법은, 제2 롤러(18)를 제1 롤러(16)보다도 휘기 쉬운 재료, 즉 영률이 낮은 재료를 사용하는 것이다. 제2 방법은, 제2 롤러(18)의 상방에 압박 기구를 배치하여, 제2 롤러(18)를 압박하는 방법이다. 제3 방법은, 제2 롤러(18)의 단면 2차 모멘트를 저하시킴으로써, 휘기 쉽게 하는 방법이다. 단면 2차 모멘트를 내리는 방법은, 예를 들어 제2 샤프트(24)의 내부를 중공으로 하는 방법을 생각할 수 있다. 이들 방법은, 각각을 단독으로 사용해도, 조합해서 사용해도 된다.

도 11은, 제2 롤러(18)의 휨양 B2가 제1 롤러(16)의 휨양 B1보다도 큰 상태에서, 제2 롤러(18)와 유리판 G를 상대적으로 접근한 도면이다. 제2 롤러(18)가 제1 롤러(16)보다도 휘어 있기 때문에, 유리판 G가 제2 롤러(18)의 중앙부와 맞닿게 될 수 있다. 그 결과, 유리판 G의 보유 지지력이 대폭 향상되어, 유리판 G의 사행을 방지할 수 있다.

제1 표층부(26) 및 제2 표층부(28)는, 수지제가 바람직하다. 수지로서는, 예를 들어 니트릴 수지, 실리콘 수지, 불소 수지, 우레탄 수지, 아크릴 수지, 이소프렌 수지, 스티렌 수지, 부타디엔 수지, 부틸 수지 등을 들 수 있다. 수지를 사용함으로써 유리판의 보유 지지력이 비약적으로 향상된다. 상기 수지 중에서도 특히 우레탄 수지가 바람직하다.

롤러 표층부의 경도는, 30 이상이 바람직하고, 40 이상이 보다 바람직하고, 70 이하가 바람직하며, 60 이하가 보다 바람직하다. 표층부의 경도란, 구 JIS K 6301에 준한 경도이다.

표층부의 경도가 너무 작으면 유리판 G의 보유 지지력이 저하되고, 너무 커도 또한 유리판 G의 보유 지지력이 저하된다.

롤러 표층부의 산술 평균 조도 Ra는, 15[㎛] 이하가 바람직하고, 10[㎛] 이하가 보다 바람직하며, 5[㎛] 이하가 더욱 바람직하다. 롤러 표층부의 산술 평균 조도 Ra가 작을수록, 유리판 G와 롤러의 접촉 면적이 커지게 되어 유리판 G의 보유 지지력이 향상된다.

본 고안의 유리판 반송 장치는, 대형 기판으로서 사용하는 유리판에 적합하다. 대형 기판이란, 예를 들어 적어도 한 변이 1500㎜ 이상인 유리판, 구체적인 예로서는, 긴 변 1800㎜ 이상, 짧은 변 1500㎜ 이상의 유리판에 적합하다.

본 고안의 유리판 반송 장치에 사용되는 유리판은, 적어도 한 변이 2000㎜ 이상인 유리판, 예를 들어 긴 변 2400㎜ 이상, 짧은 변 2100㎜ 이상의 유리판에 보다 바람직하고, 적어도 한 변이 3000㎜ 이상인 유리판, 예를 들어 긴 변 3000㎜ 이상, 짧은 변 2800㎜ 이상의 유리판에 더욱 바람직하고, 적어도 한 변이 3200㎜ 이상인 유리판, 예를 들어 긴 변 3200㎜ 이상, 짧은 변 3000㎜ 이상의 유리판에 특히 바람직하며, 적어도 한 변이 3500㎜ 이상인 유리판, 예를 들어 긴 변 3800㎜ 이상, 짧은 변 3300㎜ 이상의 유리판에 가장 바람직하다.

본 고안의 유리판 반송 장치에 사용되는 유리판은, 두께가 0.7㎜ 이하가 바람직하다. 유리판을 얇게 함으로써 경량화를 달성할 수 있다. 본 고안의 유리판은, 두께가 0.65㎜ 이하가 보다 바람직하고, 0.55㎜ 이하가 더욱 바람직하고, 0.45㎜ 이하가 바람직하며, 가장 바람직하게는 0.4㎜ 이하이다. 두께를 0.1㎜ 이하, 혹은 0.05㎜ 이하로 할 수도 있다. 단, 자중 휨을 방지하는 관점에서는, 두께는 0.1㎜ 이상이 바람직하고, 0.2㎜ 이상이 보다 바람직하다.

<실시 형태의 유리판 세정 장치>

도 13은, 유리판 세정 장치(30)의 일례를 나타낸 사시도이다.

또한, 유리판 세정 장치(30)는 도 4의 유리판 반송 장치(10)에 디스크 브러시(32, 34)를 탑재함으로써 구성된 장치이지만, 도 4의 유리판 반송 장치(10)에 한정되지 않고, 도 6, 8, 9, 11에 도시한 유리판 반송 장치(10)에 세정부로서의 디스크 브러시(32, 34)를 탑재해서 실시 형태의 유리판 세정 장치(30)로 해도 된다. 또한, 상기 세정부는 우레탄제의 스펀지여도 된다.

유리판 세정 장치(30)는, 유리판 반송 장치(10), 유리판 G의 제1 표면(12)을 세정하는 디스크 브러시(32), 유리판 G의 제2 표면(14)을 세정하는 디스크 브러시(34), 액체를 유리판 G의 제1 표면(12)을 향해서 분사하는 하단 액체 공급부(36), 및 액체를 유리판 G의 제2 표면(14)을 향해서 분사하는 상단 액체 공급부(38)를 구비한다. 디스크 브러시는 PVA(폴리비닐알코올)의 브러시이고, 외경 70 내지 100㎜의 원주 형상이다. 디스크 브러시의 회전(자전) 속도는 100 내지 500rpm으로 하는 것이 바람직하다.

액체는, 도 15에 도시한 공정에 따라서, 산화세륨 등을 함유하는 슬러리, 세정제(알칼리성 또는 산성) 및 순수 중, 어느 하나의 액체를 분사한다. 예를 들어, 액체로서, 유기 포스폰산, 폴리카르복실산염, 방향족 술폰산, 및 아민-알킬렌옥사이드 부가물을 포함하는 수계 세정제를 사용하면, 연마 후의 유리판 G의 표면에 잔류 및/또는 부착된 산화세륨 등으로 이루어지는 연마 지립을, 양호하게 분산해서 제거할 수 있어, 유리판 G의 평탄성을 손상시키는 일도 없다.

디스크 브러시(34)는, 인접하는 2개의 제2 롤러(18) 사이에, 유리판 G의 반송 방향 A에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격을 갖고 배열된다. 디스크 브러시(32)도 마찬가지로, 인접하는 2개의 롤러 간에, 유리판 G의 반송 방향 A에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격을 갖고 배열된다.

디스크 브러시(32, 34)는, 유리판 G의 제1 표면(12) 및 제2 표면(14)에 대하여 직교하는 연직 방향의 회전축을 갖고, 디스크 브러시(32, 34)의 브러시 부분이 유리판 G의 제1 표면(12) 및 제2 표면(14)에 맞닿게 된다. 또한, 상기 실시 형태는, 디스크 브러시(32, 34)를 상기 회전축에 의해 자전시키는 구성이지만, 유리판 G의 표면에 대하여 직교하는 연직 방향의 공전 축(도시생략)에 의해 공전시키는 형태여도 된다. 또한, 상기 회전축과 상기 공전 축의 2개의 축에 의해 자전 및 공전시키는 형태여도 된다.

이에 의해, 반송 중의 유리판 G의 제1 표면(12) 및 제2 표면(14)의 전체면이 복수의 디스크 브러시(32, 34)에 의해 문질러진다. 각 디스크 브러시(32, 34)는, 그 브러시 부분이 유리판 G의 제1 표면(12) 및 제2 표면(14)에 압박된 상태에서 회전되고, 이에 의해, 유리판 G의 제1 표면(12) 및 제2 표면(14)에 부착된 부착물이 확실하게 제거된다.

디스크 브러시(32, 34)에 의한 세정 중에 있어서, 유리판 반송 장치(10)의 Pt/Wt가 높기 때문에, 디스크 브러시(32, 34)의 압박력 및 회전력을 강하게 해서 세정력을 높여도, 유리판 G는 사행되지 않아, 안정적으로 반송된다.

또한, 각 디스크 브러시(32, 34)에는, 유리판 G의 제1 표면(12) 및 제2 표면(14)에 대한 높이를 조정하는 조정 수단(도시생략)이 구비되어 있다. 이 조정 수단에 의해, 임의의 높이 위치에 각 디스크 브러시(32, 34)를 배치할 수 있다. 즉, 유리판 G의 제1 표면(12) 및 제2 표면(14)에 압박되는 디스크 브러시(32, 34)의 브러시 선단의 위치를 미세 조정할 수 있다.

상기 조정 수단으로서는, 하단에 배치된 각 디스크 브러시(32)의 높이를 제1 롤러(16)의 높이에 맞춰서 조정한 후, 그 각 디스크 브러시(32)의 높이를 기준으로 하여 상단에 배치된 각 디스크 브러시(34)의 높이를, 유리판 G의 두께에 상당하는 분만큼 상방에 위치시키는 것이 바람직하다.

또한, 실시 형태에서는, 세정부로서 디스크 브러시(32, 34)를 예시하였지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 유리판 G의 반송 방향 A에 대하여 직교 방향으로 회전 축을 갖는 롤러형의 브러시 또는 스펀지여도 된다.

<유리판 제조 방법>

FPD에 사용되는 유리판 제조 방법은, 적어도 도 15에 도시한 복수의 공정을 갖는다. 구체적으로는, 유리판 제조 공정(50)은, 성형 공정(52), 연마 공정(54), 슬러리 세정 공정(56), 세제 세정 공정(58), 순수 세정 공정(62), 순수 린스 공정(64), 건조 공정(66), 검사 공정(68) 및 곤포 공정(72)을 갖는다. 각 공정 간에 다른 공정이 있어도 된다.

또한, 본 고안의 유리판 반송 장치가 사용되는 공정은, 세정 공정에 한정되지는 않는다. 세정 공정 이외의 성형 공정(52), 연마 공정(54), 건조 공정(66) 및 검사 공정(68)에서 사용해도 된다.

슬러리 세정 공정(56)은, 유리판 표면에 산화세륨 등을 포함하는 슬러리를 공급하면서, 세정부에서 유리판 표면을 세정한다. 슬러리를 공급하면서, 유리판 표면을 연마함으로써, 상기 유리판 표면에 남아 있는 슬러리 잔사를 제거할 수 있다. 상기 슬러리 세정 공정(56) 전에, 전세정 공정을 마련해도 된다. 상기 전세정 공정은, 고압 샤워 세정이 바람직하다.

세제 세정 공정(58)은, 유리판 표면에 세정제를 공급하면서, 세정부에서 유리판 표면을 세정한다. 세정제로서는, 예를 들어 유기 포스폰산, 폴리카르복실산염, 방향족 술폰산, 및 아민-알킬렌옥사이드 부가물을 포함하는 수계 세정제가 바람직하다. 상기 수계 세정제를 사용함으로써, 유리 표면에 잔류하고 있는 산화세륨 등으로 이루어지는 연마 지립을 제거할 수 있다. 상기 세제 세정 공정(58) 전에, 전세정 공정을 마련해도 된다. 상기 전세정 공정은, 고압 샤워 세정이 바람직하다.

순수 세정 공정(62)은, 유리판 표면에 순수를 공급하면서, 세정부, 예를 들어 디스크 브러시로 유리판 표면을 세정한다. 이에 의해, 상기 세제 세정 공정(58)에서 사용된 세정제를, 순수로 치환할 수 있다. 상기 순수 세정 공정(62) 전에, 전세정 공정을 마련해도 된다. 상기 전세정 공정은, 고압 샤워 세정이 바람직하다.

순수 린스 공정(64)에 의해, 유리판 표면에 잔류하는 미량의 약품을 제거할 수 있다. 상기 순수 린스 공정은, 복수 회 마련해도 된다. 린스 공정을 복수 마련함으로써, 유리판의 표면에 잔류하는 미량의 약품을 고정밀도로 제거할 수 있다.

건조 공정(66)에서, 린스 공정에서 사용한 순수를 건조시켜, 검사 공정(68)을 거친 후에, 곤포 공정(72)에서 팔레트 등에 곤포되어 출하된다.

<실시예>

이하, 실시예에 대하여 설명하지만, 본 고안은 이들 실시예에 한정되지는 않는다. 이하에 있어서, 예 1 및 2는 실시예이며, 예 3은 비교예이다.

유리판 G로서, 긴 변(반송 방향 A에 평행한 방향의 길이)이 1800㎜, 짧은 변(반송 방향 A에 수직인 방향의 길이)이 1500㎜, 두께가 0.5㎜의 유리판을 준비하였다. 제1 롤러 및 제2 롤러의 표층부는, 경도가 50인 우레탄으로 제작하였다.

예 3은 제1 롤러(16) 및 제2 롤러(18)가 원주 형상의 롤러를 사용하고 있다. 예 1 및 2는, 제1 롤러는 원주 형상의 롤러이며, 제2 롤러(18)는 크라운양이 다른 볼록 크라운 형상의 롤러를 사용하고 있다.

여기서, 크라운양이란, 롤러 표층부의 중심부에서의 직경 R1과, 롤러 표층부의 단부에서의 직경 R2의 차(R1-R2)임을 말한다. 또한, 예에서 사용한 제2 롤러의 질량은 동일해지도록 제작하였다.

표 1에 나타낸 예 1 내지 예 3의 각 롤러를 구비하는 유리판 세정 장치(30)를 사용하여, 유리판을 제작하였다. 상기 유리판 G를, 산화세륨을 포함하는 슬러리를 사용하여 연마하였다. 연마한 상기 유리판 G를, 예 1 내지 3의 각 롤러를 구비하는 유리판 세정 장치(30) 및 디스크 브러시(32, 34)를 사용하여, 산화세륨을 포함하는 슬러리로 세정하였다. 그 후, 세정액을 사용하여 고압 샤워 세정하고, 또한 세정액을 상기 유리판 G에 도포하면서, 디스크 브러시(32, 34)로 세정하였다. 이어서, 순수를 사용하여 고압 샤워 세정하고, 또한 순수를 상기 유리판 G에 도포하면서 디스크 브러시(32, 34)로 세정하였다. 마지막으로 순수를 사용하여, 린스를 2회 행하고, 상기 유리판 G를 건조시킴으로써 유리판을 얻었다. 그 후, 상기 유리판의 면내 파티클양을 측정하였다.

세정 시의 디스크 브러시(32, 34)의 압입량은, 유리판 G와 디스크 브러시(32, 34)가 사행 개시할 때까지 상대적으로 접근한 후, 그 위치로부터 디스크 브러시(34)를 상대적으로 0.3㎜ 멀리 떨어지게 한 상태로 하였다.

예 1 내지 예 3에서의, 유리판의 면내 파티클양의 평가를 표 1에 나타내었다. 또한, 롤러 표층부의 경도와 유리판의 보유 지지력의 관계를 표 2에 나타내었다. 각각의 측정 항목은, 이하의 방법으로 측정하였다.

<본 고안의 유리판 반송 장치의 유리판의 보유 지지압의 측정>

유리판 G의 보유 지지압은 면압계(메이커: TECHSTOME Co., Ltd.제)를 사용하여 측정하였다. 면압계로 사용하는 면압 측정 시트의 사이즈는 긴 변이 400㎜, 짧은 변이 100㎜이며, 면내에 400점의 측정점을 갖고 있다. 상기 면압 측정 시트의 긴 변과 상기 제2 롤러(18)의 축길이가 평행해지도록, 상기 면압 측정 시트를 배치하였다. 상기 면압 측정 시트 위로부터 제2 롤러(18)가 맞닿게 되었다. 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 일단부에서 측정하는 제2 보유 지지압 P2와, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 타단부에서 측정하는 제3 보유 지지압 P3 및 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부에서 측정하는 제1 보유 지지압 P1을 측정하고, 그들 압력의 합계값 Pt(P1+P2+P3)[kPa]를 구하였다. P1, P2, P3은, 각각, 상기 면압 시트 내의 각 측정점에서 측정한 보유 지지압의 합계값이다. 여기서, 제2 롤러(18)에 가압은 하지 않고, 상기 제2 롤러(18)에 가해지는 힘은 자중뿐이다.

상기 압력의 합계값 Pt를 상기 제1 보유 지지압 P1 측정 길이 W1[m], 상기 제2 보유 지지압 P2 측정 길이 W2[m], 상기 제3 보유 지지압 P3 측정 길이 W3[m]의 합계값 Wt(W1+W2+W3)[m]으로 나눔으로써, Pt/Wt(Pt/Wt)[kPa/m]을 구하였다.

<면내 파티클양>

면내 파티클양은 파티클 카운터를 사용하여, 0.3[㎛] 이상의 파티클 수를 측정하였다. 동일한 조건에서 제작한 유리판을 3장 준비하고, 상기 3장의 유리판의 면내 파티클양을 측정하고, 그들의 평균값을 상기 조건에서의 유리판의 면내 파티클양으로 하였다. 면내 파티클양 평가는, 유리판의 면내 파티클양이, 600개 미만을 A, 600개 이상 1000개 미만을 B, 1000개 이상을 C라 하였다.

<롤러 표층부의 경도의 측정>

롤러 표층부의 경도는, 듀로미터(가부시키가이샤 테크락제, 형식: GS-706G)를 사용하여 측정하였다. 측정 방법은, 구 JIS K 6301에 기재된 방법으로 측정하였다.

다음으로, 유리판 G의 보유 지지력을 측정하였다. 소정의 경도(30, 40, 50, 60)로 제작한 우레탄제의 제1 롤러(16) 및 제2 롤러(18)를 준비하였다. 제1 롤러(16)를 2개 배열하고, 제1 표층부(26) 및 유리판 G의 제1 표면(12)에 대하여, 순수를 도포한 후, 상기 2개의 제1 롤러(16) 위에 유리판 G를 적재하였다. 이어서, 유리판 G의 상방으로부터 제2 롤러(18)를 적재하고, 유리판 G를 보유 지지하였다. 그 후, 유리판 G를 견인하고, 유리판 G가 미끄럼 이동할 때의 힘, 즉 최대 정지 마찰력을 취득하였다.

롤러 표층부의 산술 평균 조도 Ra는, 레이저 현미경을 사용하여 측정하였다. 제1 표층부(26)에서 4점 측정하고, 그 평균값을 상기 제1 표층부의 산술 평균 조도 Ra라 하였다.

<결과>

표 1에 관하여, 예 3에서는, P1은 0kPa였다. 이것은, 도 12에 도시한 바와 같이, 유리판 G와, 제2 롤러(18)의 중앙부가 맞닿아 있지 않음을 의미하고 있다. 한편, 예 1 및 예 2에서는 제2 롤러(18)의 중앙부에서 압력이 인가되고 있어, 유리판 G의 Pt/Wt[kPa/m]이 비약적으로 향상되었다.

또한, Pt/Wt[kPa/m]이 높은 유리판 반송 장치를 사용한 것일수록, 유리판의 면내 파티클의 평가가 좋다. 이것은, 상기 Pt/Wt가 높을수록, 유리판 G와 디스크 브러시(32, 34)의 접촉 상태를 강하게 할 수 있어, 유리판 표면의 부착물을 충분히 제거할 수 있기 때문이다.

표 2에 관하여, 롤러 표층부의 경도가 50인 롤러가, 가장 유리판의 보유 지지력이 높았다. 롤러 표층부로서는, 롤러 표층부의 경도가 30 내지 70이 적합하다.

이상, 본 개시에 따른 유리판 반송 장치 및 유리판 세정 장치의 실시 형태에 대하여 설명하였지만, 본 개시는 상기 실시 형태 등에 한정되지는 않는다. 실용 신안 등록 청구범위에 기재된 범주 내에서, 각종 변경, 수정, 치환, 부가, 삭제, 및 조합이 가능하다. 그들에 대해서도 당연히 본 개시의 기술적 범위에 속한다.

A: 반송 방향
B: 휨양
G: 유리판
W: 롤러 표층부의 축길이 방향의 길이
Wg: 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판의 폭 길이
W1: 제1 보유 지지압 P1의 측정 길이
W2: 제2 보유 지지압 P2의 측정 길이
W3: 제3 보유 지지압 P3의 측정 길이
10: 유리판 반송 장치
12: 제1 표면
14: 제2 표면
16: 제1 롤러
18: 제2 롤러
22: 제1 샤프트
24: 제2 샤프트
26: 제1 표층부
28: 제2 표층부
30: 유리판 세정 장치
32: 디스크 브러시
34: 디스크 브러시
36: 하단 액체 공급부
38: 상단 액체 공급부
50: 유리판 제조 공정
52: 성형 공정
54: 연마 공정
56: 슬러리 세정 공정
58: 세제 세정 공정
62: 순수 세정 공정
64: 순수 린스 공정
66: 건조 공정
68: 검사 공정
72: 곤포 공정

Claims

제1 표면과 제2 표면을 갖는 유리판을, 상기 제2 표면을 상방을 향해서 수평 방향으로 반송하는 유리판 반송 장치이며,
상기 유리판 반송 장치는,
상기 제1 표면에 접촉하는 제1 표층부와, 제1 샤프트를 갖는 제1 롤러와,
상기 제1 롤러의 상방에 배치되고, 상기 제2 표면에 접촉하는 제2 표층부와, 제2 샤프트를 갖는 제2 롤러
를 구비하고,
상기 제1 표층부와 상기 제2 표층부의 사이에 끼운 상기 유리판은, 하기의 Pt/Wt가 100[kPa/m] 이상으로 보유 지지되고,
상기 Pt/Wt는, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부에서 측정하는 제1 보유 지지압 P1과, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 일단부에서 측정하는 제2 보유 지지압 P2와, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러의 축방향 타단부에서 측정하는 제3 보유 지지압 P3의 합계값 Pt(Pt=P1+P2+P3)을, 상기 제1 보유 지지압 P1의 측정 길이 W1, 상기 제2 보유 지지압 P2의 측정 길이 W2, 상기 제3 보유 지지압 P3의 측정 길이 W3의 합계값 Wt(Wt=W1+W2+W3으)로 나눈 값이며,
상기 제1 보유 지지압 P1은 10kPa 이상인
것을 특징으로 하는, 유리판 반송 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 보유 지지압 P1, 상기 제2 보유 지지압 P2 및 상기 제3 보유 지지압 P3은, 하기의 식 (1) 및 (2)를 충족하는, 유리판 반송 장치.
0.3≤P1/P2≤1.2 …(1)
0.3≤P1/P3≤1.2 …(2)
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 롤러는 볼록 크라운 형상을 갖는, 유리판 반송 장치.
제3항에 있어서,
상기 제1 롤러는 오목 크라운 형상을 갖는, 유리판 반송 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 롤러는 볼록 크라운 형상을 갖는, 유리판 반송 장치.
제5항에 있어서,
상기 제2 롤러는 오목 크라운 형상을 갖는, 유리판 반송 장치.
제1 표면과 제2 표면을 갖는 유리판을, 상기 제2 표면을 상방을 향해서 수평 방향으로 반송하는 유리판 반송 장치이며,
상기 유리판 반송 장치는,
상기 제1 표면에 접촉하는 제1 표층부와 제1 샤프트를 갖는 제1 롤러와,
상기 제1 롤러의 상방에 배치되고, 상기 제2 표면에 접촉하는 제2 표층부와 제2 샤프트를 갖는 제2 롤러
를 구비하고, 상기 제2 롤러는 볼록 크라운 형상을 갖는
것을 특징으로 하는, 유리판 반송 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1 롤러는 오목 크라운 형상을 갖는, 유리판 반송 장치.
제7항 또는 제8항에 있어서,
유리판의 반송 시에 있어서, 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부는 유리판과 맞닿게 되는, 유리판 반송 장치.
제9항에 있어서,
유리판의 반송 시에 있어서, 상기 제2 롤러는, 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판의 폭 길이 전역에서 맞닿게 되는, 유리판 반송 장치.
제1 표면과 제2 표면을 갖는 유리판을, 상기 제2 표면을 상방을 향해서 수평 방향으로 반송하는 유리판 반송 장치이며,
상기 유리판 반송 장치는,
상기 제1 표면에 접촉하는 제1 표층부와 제1 샤프트를 갖는 제1 롤러와,
상기 제1 롤러의 상방에 배치되고, 상기 제2 표면에 접촉하는 제2 표층부와 제2 샤프트를 갖는 제2 롤러
를 구비하고, 상기 제1 롤러는 볼록 크라운 형상을 갖는 것을 특징으로 하는, 유리판 반송 장치.
제11항에 있어서,
상기 제2 롤러는 오목 크라운 형상을 갖는, 유리판 반송 장치.
제11항 또는 제12항에 있어서,
유리판의 반송 시에 있어서, 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부는 유리판과 맞닿게 되는, 유리판 반송 장치.
제13항에 있어서,
유리판의 반송 시에 있어서, 상기 제2 롤러는, 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판의 폭 길이 전역에서 맞닿게 되는, 유리판 반송 장치.
제1항, 제2항, 제7항, 제8항, 제11항 및 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 롤러의 휨양은, 상기 제1 롤러의 휨양보다 큰, 유리판 반송 장치.
제1 표면과 제2 표면을 갖는 유리판을, 상기 제2 표면을 상방을 향해서 수평 방향으로 반송하는 유리판 반송 장치이며,
상기 유리판 반송 장치는,
상기 제1 표면에 접촉하는 제1 표층부와 제1 샤프트를 갖는 제1 롤러와,
상기 제1 롤러의 상방에 배치되고, 상기 제2 표면에 접촉하는 제2 표층부와 제2 샤프트를 갖는 제2 롤러
를 구비하고, 상기 제2 롤러의 휨양은, 상기 제1 롤러의 휨양보다 큰
것을 특징으로 하는, 유리판 반송 장치.
제16항에 있어서,
유리판의 반송 시에 있어서, 상기 제2 롤러의 축방향 중앙부는 유리판과 맞닿게 되는, 유리판 반송 장치.
제17항에 있어서,
유리판의 반송 시에 있어서, 상기 제2 롤러는, 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판의 폭 길이 전역에서 맞닿게 되는, 유리판 반송 장치.
제1항, 제2항, 제7항, 제8항, 제11항, 제12항, 제16항, 제17항 및 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 표층부 및 상기 제2 표층부는 수지제인, 유리판 반송 장치.
제1항, 제2항, 제7항, 제8항, 제11항, 제12항, 제16항, 제17항 및 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 표층부 및 상기 제2 표층부는, 경도가 30 내지 70인, 유리판 반송 장치.
제1항, 제2항, 제7항, 제8항, 제11항, 제12항, 제16항, 제17항 및 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 표층부 및 상기 제2 표층부는, 산술 평균 조도 Ra가 15㎛ 이하인, 유리판 반송 장치.
제1항, 제2항, 제7항, 제8항, 제11항, 제12항, 제16항, 제17항 및 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 상기 유리판의 폭 길이는 1500㎜ 이상인, 유리판 반송 장치.
제1항, 제2항, 제7항, 제8항, 제11항, 제12항, 제16항, 제17항 및 제18항 중 어느 한 항에 기재된 유리판 반송 장치와,
반송 중의 상기 유리판에 액체를 공급하는 액체 공급부와,
상기 제1 표면 및 상기 제2 표면에 접촉하여 상기 제1 표면 및 상기 제2 표면의 부착물을 제거하는 세정부
를 구비하는, 유리판 세정 장치.