JP2005123353A - ブラシおよび洗浄装置 - Google Patents

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Satoru Honda
覚 本多
Kazuo Hatake
一男 畠
Takehiro Hagiwara
武弘 萩原
Shingo Sugimoto
真吾 杉本
Hideo Horiike
英雄 堀池
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Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd
島田理化工業株式会社
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Abstract

【課題】高い洗浄効果を有し、短時間で被洗浄物の洗浄を行なう。
【解決手段】内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、上記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第1の支持軸と、上記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第2の支持軸と、多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が上記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、エポキシ系の接着剤により、上記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジとを有するようにした。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ブラシおよび洗浄装置に関し、さらに詳細には、半導体基板、液晶素子用ガラス基板、カラーフィルタ基板、特に、Liquid Crystal Display(LCD)、Plasma Display Panel(PDP)ならびにLTPS(Low Temperature poly−silicon)−TFT(Thin Film Transistor)を含むFlat Panel Display(FPD)用のガラス基板のような各種被洗浄物を洗浄する際に用いて好適なブラシおよび洗浄装置に関する。
従来より、被洗浄物たるFPD用のガラス基板などの各種の基板(以下、単に「基板」と称する。)を洗浄する洗浄装置には、基板の表面に残留している処理液やパーティクルなどの汚染物質などを、基板の表面に当接して物理的に除去することによって洗浄するブラシが配設されている。
こうしたブラシは、例えば、ステンレス鋼により形成された主軸に、ポリビニルアルコール(PVA)などの樹脂により形成された多くの気泡孔を有するスポンジを捲回して構成されている。このブラシの主軸をモーターなどの駆動装置の駆動力によって軸線回りに回転させることにより、ブラシが回転するようになされている。
そして、従来の洗浄装置においては、水を供給しながら、回転するブラシを基板の表面に接触させてブラッシングすることで、汚染物質などが物理的に除去されて基板が洗浄されるものである。
ここで、上記したような従来の洗浄装置におけるブラシは、主軸にスポンジを捲回するのにゴム系の接着剤が使用されている。このゴム系の接着剤は、各種薬品などの洗浄液に対応しておらず、各種薬品などの洗浄液によって劣化してしまい、ブラシが良好な動作状態を維持することが困難になる恐れがあった。
このため、上記したような従来のブラシを配設した洗浄装置においては、ブラシによる洗浄の際に各種薬品などの洗浄液を供給することができず、水を供給してブラシ洗浄が行なわれるので、洗浄効果が低く、汚染物質などを基板の表面から確実に除去するためには長時間の洗浄を行う必要があるという問題点があった。
本発明は、上記したような従来の技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高い洗浄効果を有し、短時間で被洗浄物の洗浄を行なうことができるブラシおよび洗浄装置を提供しようとするものである。
上記目的を達成するために、本発明のうち請求項1に記載の発明は、内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、上記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第1の支持軸と、上記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第2の支持軸と、多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が上記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、エポキシ系の接着剤により、上記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジとを有するようにしたものである。
従って、本発明のうち請求項1に記載の発明によれば、接着剤としてエポキシ系の接着剤を用い、このエポキシ系の接着剤がアルカリ洗浄剤のような各種薬品などの洗浄液に対応しているので、ブラシによる洗浄の際に各種薬品などの洗浄液を使用することができるようになり、高い洗浄効果で短時間に被洗浄物の洗浄を行なうことができる。
また、本発明のうち請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、上記接着剤は、シリコンパウダーが添加されたエポキシ系の接着剤であるようにしたものである。
また、本発明のうち請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の発明において、上記ブラシを移動して上記ブラシの上記スポンジが被洗浄物に当接する圧力を変化させる調整手段が、上記ブラシの少なくとも上記第1の支持軸または上記第2の支持軸のいずれか一方に配設されているようにしたものである。
また、本発明のうち請求項4に記載の発明は、中空の内部を有する槽と、上記槽の内部を貫通するように配設され、上記槽の入口から出口へ向けて連続的に被洗浄物を搬送する搬送用ローラーと、上記搬送用ローラーの上下に配設されて上記搬送用ローラーによって搬送される被洗浄物を狭持し、内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、上記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第1の支持軸と、上記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第2の支持軸と、多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が上記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、シリコンパウダーが添加されたエポキシ系の接着剤により、上記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジとを有するブラシと、上記ブラシを軸線回りに回転させる回転手段と、上記搬送用ローラーの上方に配設されて洗浄液を供給する供給手段と、上記ブラシの少なくとも上記第1の支持軸または上記第2の支持軸のいずれか一方に移動自在に配設されたスライドプレートと、上記スライドプレートに取り付けられ回転量に応じた分だけ移動する上下ネジと、上記上下ネジを駆動力によって回転させる駆動手段とを有し、上記駆動手段の駆動力によって上記上下ネジを回転した回転量に応じて上記スライドプレートを移動させて上記ブラシを移動し、上記ブラシの上記スポンジが被洗浄物に当接する圧力を変化させるようにしたものである。
本発明は、以上説明したように構成されているので、高い洗浄効果を有し、短時間で被洗浄物の洗浄を行なうことができるようになるという優れた効果を奏する。
以下、添付の図面に基づいて、本発明によるブラシおよび洗浄装置の実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。
図1には、本発明によるブラシおよび洗浄装置の実施の形態の一例の一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図が示されており、図2には、図1のI矢視図に対応する図面であって一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図が示されており、図3には、図1のII矢視図に対応する図面であって一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図が示されている。
この洗浄装置10は、箱体状の基台部12と、基台部12の上方に位置する槽14と、列状に連なって配設されて槽14の内部14aを貫通する搬送用ローラーコンベア16とを備えているものである。
ここで、列状に連なる搬送用ローラーコンベア16は、被洗浄物たる基板100を上面に載置し、当該搬送用ローラーコンベア16の駆動によって、当該上面に載置した被処理物たる基板100を順次に搬送するものである。この搬送用ローラーコンベア16によって搬送される基板100は、洗浄装置10の槽14の槽壁に穿設された搬入側開口部14bから洗浄装置10の槽14の内部14aに搬入され、搬出側開口部14cを通り抜けて洗浄装置10の外部に搬出される(図2ならびに図3の基板100の搬送方向を示す矢印参照)。
なお、この実施の形態においては、被洗浄物たる基板100として、図2に示す基板の搬送方向に直交する方向における長さL1(幅)がおよそ1100mmで、図2に示す基板の搬送方向における長さL2(長さ)がおよそ1250mmのサイズを有する基板を用いることとする。
そして、槽14は、全体がアルミの鋳物により形成されており、高い剛性を有している。こうした槽14の内部14aには、搬送用ローラーコンベア16とともに、互いに対向して配設されその間に搬送用ローラーコンベア16によって搬送される基板100を狭持する2本のブラシ20−1,20−2と、搬送用ローラーコンベア16の上方に配設されたシャワーパイプ22−1,22−2と、搬送用ローラーコンベア16のローラー16a,16bと対向して配設されローラー16a,16bとの間に搬送用ローラーコンベア16によって搬送される基板100を狭持する押さえローラー24−1,24−2とが備えられている。
なお、ブラシ20−1,20−2、シャワーパイプ22−1,22−2、押さえローラー24−1,24−2ならびに搬送用ローラーコンベア16のローラー16a,16bはいずれも、その延長方向が被洗浄物たる基板100の搬送方向と直交する方向に一致するようにして配設されており、延長方向における全長は、基板100の搬送方向と直交する方向における基板100の長さより長くなるようにして寸法設定されている。
ここで、図4には、ブラシ20−1,20−2の一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図が示されている。ブラシ20−1,20−2はいずれも同一の構成を備えており、全体は略棒状体状に形成されている。
より詳細には、ブラシ20−1,20−2は、内部30a,40aが中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸30,40と、フランジ軸30,40の一方の端部30b,40b側に配設された略円柱状体の支持軸32,42と、フランジ軸30,40の他方の端部30c,40c側に配設された略円柱状体の支持軸34,44と、フランジ軸30,40に外挿された略円筒状体のスポンジ36,46とを有して構成されている。
フランジ軸30,40ならびに支持軸32,34,42,44は、例えば、ステンレス鋼により形成されている。また、フランジ軸30,40の太さに比べて支持軸32,34,42,44の方が細くなるように寸法設定されている。
そして、フランジ軸30の中心軸と支持軸32ならびに支持軸34の中心軸とが一致するようにして、フランジ軸30の一方の端部30b側に支持軸32が配設され、他方の端部30c側に支持軸34が配設されている。また、フランジ軸40の中心軸と支持軸42ならびに支持軸44の中心軸とが一致するようにして、フランジ軸40の一方の端部40b側に支持軸42が配設され、他方の端部40c側に支持軸44が配設されている。
スポンジ36,46は、ポリビニルアルコール(PVA)により形成されており、多くの気泡孔を有する多孔質である。そして、スポンジ36,46の内径側36a,46aの直径は、フランジ軸30,40の軸線方向と直交する方向における長さと略同一となるように寸法設定されている。また、スポンジ36,46の軸線方向に沿った全長L3(図4参照)は、フランジ軸30,40の軸線方向に沿った全長L4(図4参照)に比べて短くなるように寸法設定されている。
そして、ブラシ20−1,20−2は、両端にそれぞれ支持軸32,34,42,44が固定的に配設されたフランジ軸30,40の外周側30d,40dに、エポキシ系の接着剤を塗布し、当該フランジ軸30,40にスポンジ36,46を外挿して、スポンジ36,46をフランジ軸30,40の外周側30d,40dに固定的に配設して組み立てられるものである。
ここで、スポンジ36,46の接着剤として用いたエポキシ系の接着剤には、シリコンパウダーが添加されている。このため、当該エポキシ系の接着剤の粘度が適度に低く維持されて、接着剤の硬化速度が適正に保たれ、ブラシ20−1,20−2の組み立て製作が非常に容易になっている。具体的には、接着剤の粘度が高くないので、全長L4が1000mm以上になるフランジ軸に柔らかいスポンジ36,46を容易に挿入することができるとともに、接着剤の粘度が極度に低くないので、接着剤がスポンジ36,46内に染み込むことがなく、接着剤の硬化とともにスポンジ36,46が固まることが防止されてスポンジ36,46の形状を維持することができる。
また、スポンジ36,46はフランジ軸30,40に捲回されるものであって、しかも、スポンジ36,46の軸線方向に沿った全長L3(図4参照)が、フランジ軸30,40の軸線方向に沿った全長L4(図4参照)に比べて短くなるように寸法設定されているので、接着剤がフランジ軸30,40の両端にそれぞれ配設された支持軸32,34,42,44にはみ出すようなことがなく、はみ出した接着剤を清掃するような煩雑な作業も必要なくなり、組み立ては非常に容易である。
そして、ブラシ20−1,20−2の支持軸32,42にはそれぞれ、ブラシ20−1,20−2を軸線回りに回転させるための回転用モーター50,52が配設されている。この実施の形態においては、回転用モーター50の駆動力によりブラシ20−1はその軸線回りの矢印A方向(図6参照)に、回転用モーター52の駆動力によりブラシ20−2はその軸線回りの矢印B方向(図6参照)に、毎分およそ600回転での高速回転が可能なように設計されている。
さらに、ブラシ20−1,20−2の支持軸32,42にはそれぞれ、上下用モーター54,56の駆動力によって駆動される上下ネジ60,62が取り付けられたスライドプレート64,66が配設されている(図5参照)。この上下ネジ60,62が上下用モーター54,56によって駆動されて回転する回転量に応じて、スライドプレート64,66が高さ方向において上下すると、ブラシ20−1,20−2の高さ方向における位置が変化する。
より詳細には、上下ネジ60が所定の方向に回転するのに伴ってスライドプレート64が上方方向に移動すると、ブラシ20−1が上方方向(図6に示す矢印C参照)に移動し、上下ネジ60が所定の方向とは反対の方向に回転するのに伴ってスライドプレート64が下方方向に移動すると、ブラシ20−1が下方方向(図6に示す矢印D参照)に移動する。また、上下ネジ62が所定の方向に回転するのに伴ってスライドプレート66が上方方向に移動すると、ブラシ20−2が上方方向(図6に示す矢印E参照)に移動し、上下ネジ62が所定の方向とは反対の方向に回転するのに伴ってスライドプレート66が下方方向に移動すると、ブラシ20−2が下方方向(図6に示す矢印F参照)に移動する
シャワーパイプ22−1,22−2は、搬送用ローラーコンベア16の上方に配設されており、より詳細には、基板100の搬送方向に沿ったブラシ20−1の後方側にシャワーパイプ22−1が配設され、基板100の搬送方向に沿ったブラシ20−2の前方側にシャワーパイプ22−2が配設されている。
シャワーパイプ22−1,22−2には、各種薬品などの洗浄液(液体)を充填したタンク(図示せず)からパイプを介して洗浄液が供給され、当該シャワーパイプ22−1,22−2から下方方向に洗浄液が噴射される。なお、この実施の形態においては、洗浄液としてアルカリ洗浄剤を用いていることとする。
一方、押さえローラー24−1,24−2は、ブラシ20−1に隣接して搬送用ローラー16a,16bの上方に配設されており、より詳細には、基板100の搬送方向に沿ったブラシ20−1の後方側に押さえローラー24−1が配設され、基板100の搬送方向に沿ったブラシ20−1の前方側に押さえローラー24−2が配設されている。
そして、押さえローラー24−1,24−2は搬送用ローラーコンベア16と図示しないギアで連結されている。従って、押さえローラー24−1,24−2は対向する搬送用ローラーコンベア16のローラー16a,16bとの間に基板100を狭持し、基板100を搬送する際に矢印G方向に回転するローラー16a,16bとともに矢印H方向に回転して、ブラシ20−1,20−2の回転(図6に示す矢印A方向ならびに矢印B方向参照)による抵抗に抗して基板100を搬送するものである。
以上の構成において、本発明による洗浄装置10を用いて被洗浄物たる基板100の表面100aを洗浄するには、まず、搬送用ローラーコンベア16によって、基板100を槽14の搬入側開口部14bから内部14aに自動的に搬入する。
この際、搬送用ローラーコンベア16の搬送用ローラー16a,16bが矢印G方向に回転するのとともに、押さえローラー24−1,24−2は矢印H方向に回転し、搬送用ローラー16a,16bと押さえローラー24−1,24−2との間に狭持されて、基板100は搬送方向(図6の矢印参照)に搬送される。
一方、ブラシ20−1,20−2は基板100の搬送方向に逆らうようにして、回転用モーター50の駆動力によりブラシ20−1が軸線回りの矢印A方向に回転し、回転用モーター52の駆動力によりブラシ20−2が軸線回りの矢印B方向に回転する。なお、ブラシ20−1,20−2が基板100の搬送方向に逆らうように回転しても、搬送用ローラーコンベア16と連結されている押さえローラー24−1,24−2の回転により、こうしたブラシ20−1,20−2の抵抗に抗して基板100は所定の速度で搬送される。
また、シャワーパイプ22−1,22−2は下方方向にアルカリ洗浄剤を噴射し、搬送される基板100の表面100aに供給される。そして、搬送される基板100の表裏両面を挟み込むようにして、回転しているブラシ20−1,20−2が基板100に当接し、基板100の表面100aに接触するブラシ20−1により基板100の表面100aのブラシ洗浄が行われる。
この際、基板100の表面100aに残留している処理液やパーティクルなどの汚染物質などは、基板100の表面100aに接触するブラシ20−1のスポンジ36によって物理的に除去されるとともに、シャワーパイプ22−1,22−2から噴射されて基板100の表面100aに供給された洗浄液たるアルカリ洗浄剤によって溶解される。
さらに、基板100の表面100aに供給された洗浄液は、基板100の表面100aと当該表面100aに当接するブラシ20−1のスポンジ36との間の潤滑に寄与し、ブラシ20−1の基板100の搬送方向に逆らう回転(図6に示す矢印A参照)をスムーズにする。また、基板100の表面100aに供給された洗浄液は、ブラシ20−1による物理力や洗浄液の溶解力によって基板100の表面100aから取り除かれた処理液やパーティクルなどの汚染物質などの各種異物を、速やかに洗い流して基板100の表面100aから排出する。
ここで、ブラシ20−1によって基板100の表面100aに残留している処理液やパーティクルなどの汚染物質などを物理的が除去されるときに、基板100の表面100aに当接するブラシ20−1のスポンジ36が、ポリビニルアルコールにより形成された多くの気泡孔を有する多孔質なので、弾性変形して基板100の表面100aに密接し易く、しかも、ブラシ20−1とともにスポンジ36も基板100の搬送方向に逆らうように回転しているので、各種異物を効率良く除去できる。
さらに、上下用モーター54の駆動力によって上下ネジ60が回転する回転量に応じて、スライドプレート64を高さ方向において上下させることにより、ブラシ20−1の高さ方向における位置を変化させることができる。これにより、ブラシ20−1のスポンジ36を、基板100の表面100aに所定の圧力で接触させることができるので、ブラシ20−1が基板100の表面100aから各種異物を物理的に除去する洗浄力を所定のレベルに維持することができる。
具体的には、ブラシ20−1を上方方向(図6に示す矢印C参照)に移動させると、スポンジ36が基板100の表面100aに接触する圧力が減少し、ブラシ20−1を下方方向(図6に示す矢印D参照)に移動させれば、スポンジ36が基板100の表面100aに接触する圧力を増加させることができる。
そして、基板100の表面100aから各種異物が除去されて洗浄が終了すると、搬送用ローラーコンベア16によって、基板100は槽14の搬出側開口部14cから洗浄装置10の外部に自動的に搬出される。
上記したようにして、本発明によるブラシ20−1,20−2および洗浄装置10においては、スポンジ36,46の接着剤としてエポキシ系の接着剤を用いるようにした。このエポキシ系の接着剤は、シャワーパイプ22−1,22−2から供給されるアルカリ洗浄剤のような各種薬品などの洗浄液に対応しており、これら各種薬品などの洗浄液によって劣化することがない。このため、本発明によるブラシ20−1,20−2が配設された洗浄装置10においては、ブラシ20−1,20−2によるブラシ洗浄の際に、各種薬品などの洗浄液(液体)を使用することができるようになった。
その結果、基板100の表面100aに残留している処理液やパーティクルなどの汚染物質などの各種異物が、ブラシ20−1のスポンジ36によって物理的に除去されるのに加えて、洗浄液たるアルカリ洗浄剤によって溶解されるようになり、従来と比較して異物除去性能が向上して、高い洗浄効果で短時間に被洗浄物の洗浄を行なうことができる。
本発明によるブラシ20−1,20−2および洗浄装置10においては、上下用モーター54の駆動力によってブラシ20−1のスポンジ36が基板100の表面100aに接触する圧力を変化させることができる。つまり、ブラシ20−1を基板100の表面100aに対して押し込む(ラップする)押し込み量を変化させることによって面圧が変化し、深く押し込めば面圧が上昇して洗浄力をアップさせることができる。従って、被洗浄物の汚れ具合や付着している異物の種類などに応じて圧力を調整して洗浄することもできるので、高精度の洗浄が実現される。
また、ブラシ20−1のスポンジ36が洗浄液などの液体によって湿潤状態となることで、スポンジ36の硬さが変化するようなことがあっても、あるいは、スポンジ36が経時的変化によってその弾性が低下したり磨耗したりしても、ブラシの押し込み量を変化させることができるので、所定の圧力を維持しながら洗浄を継続させることができ、一層高精度の洗浄が実現される。
また、本発明によるブラシ20−1,20−2は、フランジ軸30,40が内部30a,40aが中空の略円柱状体に形成されているので、中空のパイプ形状であって軽量であり、自重たわみが少なく、高回転に対応できるとともに、交換作業も容易である。しかも、槽14の全体がアルミの鋳物により形成されて機械剛性が向上されており、本発明によるブラシ20−1,20−2および洗浄装置10は、大型の被洗浄物や300rpmを超える高速回転に対応可能となっている。
なお、上記した実施の形態は、以下の(1)乃至(5)に説明するように適宜に変形してもよい。
(1)上記した実施の形態においては、搬送用ローラーコンベア16の上方にのみシャワーパイプ22−1,22−2が配設されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、洗浄液を供給するシャワーパイプを搬送用ローラーコンベア16の下方側にも配設するようにしてもよい。このようにすると、搬送される基板100の表裏両面を挟み込むようにして回転するブラシ20−1,20−2とともに、基板100の表面100aならびに裏面100bそれぞれに供給される洗浄液によって、基板100の表裏面を同時に洗浄することができる。
なお、上記した実施の形態においては、シャワーパイプ22−1,22−2からアルカリ洗浄剤が噴射されるようにしたが、これ以外の各種薬品などの洗浄液や純水を噴射するようにしてもよいことは勿論である。
また、上記したようにして基板100の裏面100bを洗浄するときには、上下用モーター56の駆動力によって上下ネジ62が回転する回転量に応じて、スライドプレート66を高さ方向において上下させることにより、ブラシ20−2の高さ方向における位置を変化させて、ブラシ20−2のスポンジ46が基板100の裏面100bに所定の圧力で接触するようにすればよい。
(2)上記した実施の形態においては、スポンジ36,46はポリビニルアルコール(PVA)により形成されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、各種の多孔質材料やあるいは多孔質材料とは異なる弾性材料などによりスポンジを形成するようにしてもよい。また、スポンジが被洗浄物と接触する外表面に所定のコーティングを施すようにして、さらに洗浄効果を向上させるようにしてもよい。
(3)上記した実施の形態においては、上下用モーター54,56の駆動力によって駆動される上下ネジ60,62が取り付けられたスライドプレート64,66を支持軸32,42に配設して、ブラシ20−1,20−2を高さ方向において移動自在としたが、これに限られるものではないことは勿論であり、ブラシ20−1,20−2の支軸34,44側に上下ネジが取り付けられたスライドプレートが配設されるようにしてもよい。
また、上下ネジ60,62が取り付けられたスライドプレート64,66に代わって、昇降装置をブラシ20−1,20−2に接続して、ブラシ20−1,20−2の高さ方向における位置が変化するように構成してもよい。
(4)上記した実施の形態において、さらに、槽14の内部14aに、被洗浄物を乾燥するためのエアーナイフや、内部14aに飛散する処理液やリンス液などの飛沫(ミスト)や蒸気を外部へ吸引するための排気ダクトなど、洗浄装置に必要な各種構成を付加するようにしてもよい。
(5)上記した実施の形態ならびに上記(1)乃至(4)に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。
本発明は、半導体製造工程におけるスクラブ洗浄や、FPD用のガラス基板の洗浄工程におけるカラーフィルター基板の研磨後の異物除去や、アクティブマトリクス基板の異物除去、または、半導体ウエハのケミカル・メカニカル・ポリッシング処理に利用することができる。
本発明によるブラシおよび洗浄装置の実施の形態の一例の一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 図1のI矢視図に対応する図面であって一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 図1のII矢視図に対応する図面であって一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 ブラシの一部を破断するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 図1の一部を拡大するとともに一部を省略して示した概略構成説明図である。 本発明によるブラシおよび洗浄装置の動作を説明する説明図である。
符号の説明
10 洗浄装置
12 基台部
14 槽
16 搬送用ローラーコンベア
20−1,20−2 ブラシ
22−1,22−2 シャワーパイプ
24−1,24−2 押さえローラー
30,40 フランジ軸
32,34,42,44 支持軸
36,46 スポンジ

Claims (4)

  1. 内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、
    前記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第1の支持軸と、
    前記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第2の支持軸と、
    多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が前記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、エポキシ系の接着剤により、前記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジと
    を有するブラシ。
  2. 請求項1に記載のブラシにおいて、
    前記接着剤は、シリコンパウダーが添加されたエポキシ系の接着剤である
    ブラシ。
  3. 請求項1または請求項2のいずれか1項に記載のブラシにおいて、
    前記ブラシを移動して前記ブラシの前記スポンジが被洗浄物に当接する圧力を変化させる調整手段が、前記ブラシの少なくとも前記第1の支持軸または前記第2の支持軸のいずれか一方に配設されている
    ブラシ。
  4. 中空の内部を有する槽と、
    前記槽の内部を貫通するように配設され、前記槽の入口から出口へ向けて連続的に被洗浄物を搬送する搬送用ローラーと、
    前記搬送用ローラーの上下に配設されて前記搬送用ローラーによって搬送される被洗浄物を狭持し、内部が中空の略円柱状体に形成されたフランジ軸と、前記フランジ軸の一方の端部側に配設された略円柱状体の第1の支持軸と、前記フランジ軸の他方の端部側に配設された略円柱状体の第2の支持軸と、多孔質材料により略円筒状体に形成され、軸線方向に沿った全長が前記フランジ軸の軸線方向に沿った全長に比べて短く、シリコンパウダーが添加されたエポキシ系の接着剤により、前記フランジ軸の外周側に固定的に配設されたスポンジとを有するブラシと、
    前記ブラシを軸線回りに回転させる回転手段と、
    前記搬送用ローラーの上方に配設されて洗浄液を供給する供給手段と、
    前記ブラシの少なくとも前記第1の支持軸または前記第2の支持軸のいずれか一方に移動自在に配設されたスライドプレートと、
    前記スライドプレートに取り付けられ回転量に応じた分だけ移動する上下ネジと、
    前記上下ネジを駆動力によって回転させる駆動手段と
    を有し、
    前記駆動手段の駆動力によって前記上下ネジを回転した回転量に応じて前記スライドプレートを移動させて前記ブラシを移動し、前記ブラシの前記スポンジが被洗浄物に当接する圧力を変化させる
    ものである洗浄装置。
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