KR101607388B1 - 유리판의 제조 장치 및 유리판의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 표면이 액체로 젖어 있는 유리판을 사행시키지 않고 안정되게 반송할 수 있는 반송 수단을 구비한 유리판의 제조 장치 및 유리판의 제조 방법, 및 세정 수단 및 세정 수단으로부터 유리판에 전달되는 세정 수단의 가압력 및 회전력을 강하게 하더라도 유리판을 안정되게 반송할 수 있는 반송 수단을 구비한 유리판의 제조 장치 및 유리판의 제조 방법을 제공한다. 유리판 G의 반송 장치(40)는, 표면에 요철이 없는 원기둥형 롤러(44, 48)에 의하여, 롤러(44, 48)에 의한 유리판 G의 보유 지지력을 높인 상태에서 유리판 G를 반송한다. 유리판 G의 세정 장치(60)는 반송 장치(40), 디스크 브러시(70, 72)를 구비한다. 디스크 브러시(70, 72)에 의한 세정 중에 있어서, 유리판 G의 보유 지지력을 반송 장치(40)의 롤러(44, 48)에 의하여 높인다.

Description

유리판의 제조 장치 및 유리판의 제조 방법{MANUFACTURING APPARATUS OF GLASS SHEET AND METHOD FOR MANUFACTURING GLASS SHEET}

본 발명은 유리판의 제조 장치 및 유리판의 제조 방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등의 FPD(Flat Panel Display)에 사용되는 유리판은, 도 12에 나타내는 복수의 공정을 거침으로써 제조된다.

다시 말해, 상기 유리판의 제조 공정(100)은 유리판 성형 공정(102), 연마 공정(104), 샤워 세정 공정(106), 슬러리 세정 공정(108), 제1 고압 샤워 세정 공정(110), 세제 세정 공정(112), 제2 고압 샤워 세정 공정(114), 순수 세정 공정(116), 제3 고압 샤워 세정 공정(118), 순수 샤워 린스 공정(120), 최종 린스 공정(122), 건조 공정(124) 및 검사 공정(126)을 포함한다.

유리판 성형 공정(102)은 용융 유리로부터 띠형 판유리를 성형하는 공정과, 띠형 판유리를 소정의 직사각형 크기의 유리판으로 절단하는 공정을 포함한다.

유리판은 연마 공정(104)으로부터 검사 공정(126)에 이르기까지, 컨베이어에 의하여 연속 반송되면서 각 공정에서 소정의 처리가 실시된다. 그리고, 최종 공정인 검사 공정(126)을 거친 유리판은, 팔레트 등에 곤포되어 출하된다.

여기서, 복수 매의 유리판이 적층된 것, 또는 복수 매의 유리판이 합지 등의 완충재를 개재하여 적층된 것을 유리판 적층체라고 하고, 유리판 적층체가 탑재되어 곤포되는 것을 팔레트라고 하며, 팔레트에 유리판 적층체가 곤포된 것을 유리판 곤포체라고 한다.

또한 유리판은 샤워 세정 공정(106)으로부터 건조 공정(124)에 이르기까지, 세정수, 슬러리 용액, 세제, 순수 등의 액체가 공급되는 축축한 환경 하, 다시 말해, 표면이 액체로 젖어 있는 상태에서 반송된다.

특허문헌 1에는, 반송 장치에 의하여 유리판을 수평 방향으로 반송하면서, 약액 또는 순수 등의 액체를 유리판의 표면에 적하하여 유리판을 세정하는 웨트 처리 장치(세정 장치)가 개시되어 있다.

특허문헌 1의 상기 반송 장치는, 유리판을 상방으로 만곡시켜 반송하는 것을 특징으로 하며, 일 실시 형태로서 유리판의 양단부를 상하의 반송 롤러에 끼워 넣고, 유리판의 중앙부를 하방의 중간 롤러에 의하여 상방으로 밀어 올리는 반송 장치가 개시되어 있다. 또한, 다른 실시 형태로서 유리판의 양단부를 상하의 반송 롤러에 끼워 넣고, 유리판의 중앙부를 하방의 제1 중간 롤러에 의하여 유리판의 상방으로 밀어 올리고, 또한 유리판의 중앙부와 유리판의 양단부 사이에 설치된 하방의 제2 중간 롤러에 의하여 유리판을 상방으로 밀어 올리는 반송 장치가 개시되어 있다.

특허문헌 1의 세정 장치에 의하면, 유리판의 양단부보다도 중앙부가 높게 되는, 만곡한 상태에서 유리판의 표면에 액체를 적하하기 때문에, 액체가 유리판의 중앙부로부터 양단부에 정체하지 않고 흘러 배출된다.

또한, 특허문헌 2에 있어서도, 특허문헌 1과 마찬가지로 유리판을 상방으로 만곡시켜 반송하는 반송 장치가 개시되어 있다.

한편, 유리판은, 슬러리 세정 공정(108), 세제 세정 공정(112) 및 순수 세정 공정(116)에서는, 특허문헌 3에 개시된 디스크 브러시를 사용하는 세정 장치에 의하여 세정되는 경우가 있다. 디스크 브러시는 유리판의 상하에 복수 배치되며, 유리판을 상하로부터 끼워 넣고, 유리판의 상면 및 하면을 동시에 세정한다.

디스크 브러시를 사용하는 세정 장치에서는, 유리판에 대한 디스크 브러시의 접촉 상태가 지나치게 강하면 세정 중에 유리판이 사행하고, 한편, 지나치게 약하면 유리판에 세정 잔류물이 발생한다는 문제가 있다.

특허문헌 3에서는, 반송 장치에 의하여 반송되고 있는 유리판의 두께를 측정하고, 측정한 두께에 기초하여 최적의 높이로 디스크 브러시를 조정함으로써, 상기 문제를 해소하고 있다.

또한, 특허문헌 3의 반송 장치는, 유리판의 하면이 접촉되는 롤러 군을 구비하고, 롤러 군의 각 롤러가 벨트에 의하여 회전 구동됨으로써, 유리판이 반송된다. 또한, 특허문헌 3에서는, 세정 시에 사용하는 액체로서 순수, 수돗물, 또는 알칼리 혼합수 등이 예시되어 있다.

일본 특허 공개 제2002-9041호 공보 일본 특허 공개 제2003-100581호 공보 일본 특허 공개 제2003-112951호 공보

그러나, 특허문헌 1에 개시된 반송 장치는, 상하의 반송 롤러에 의하여 유리판의 양단부만을 끼워 넣고, 유리판의 다른 부분은, 유리판을 상방으로 밀어 올리는 1개 또는 3개의 중간 롤러를 유리판의 하방에 구비하고 있을 뿐이므로, 유리판을 사행시키지 않고 안정되게 반송하는 것은 곤란하였다.

또한, 특허문헌 1의 반송 장치는, 유리판에 액체를 적하하는 세정 장치에 적용되어 있지만, 세정 수단으로서, 유리판에 가압되고 또한 회전되어 세정력을 높이는, 특허문헌 3과 같은 디스크 브러시를 사용한 세정 장치에 적용되었을 경우에는, 디스크 브러시로부터 유리판에 전달되는 디스크 브러시의 가압력 및 회전력에 의하여, 유리판의 사행을 저지하는 것은 곤란하였다.

한편, 특허문헌 3의 반송 장치는, 유리판의 하면이 접촉되는 롤러 군만 구비한 구성이므로, 유리판을 안정되게 반송하는 것은 원래 곤란하였다. 그리고, 이러한 반송 장치에, 디스크 브러시를 사용한 세정 장치를 적용하면, 디스크 브러시로부터 유리판에 전달되는 디스크 브러시의 가압력 및 회전력에 의하여, 유리판의 사행을 저지하는 것은 곤란하였다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 표면이 액체로 젖어 있는 유리판을 사행시키지 않고 안정되게 반송할 수 있는 반송 수단을 구비한 유리판의 제조 장치, 및 당해 장치를 사용하는 유리판의 제조 방법, 및 세정 수단 및 세정 수단으로부터 유리판에 전달되는 세정 수단의 가압력 및 회전력을 강하게 하더라도, 유리판을 안정되게 반송할 수 있는 반송 수단을 구비한 유리판의 제조 장치, 및 당해 장치를 사용하는 유리판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 표면이 액체로 젖어 있는 유리판을 수평 방향으로 반송하는 반송 수단을 구비한 유리판의 제조 장치에 있어서, 상기 반송 수단은, 원기둥형의 제1 롤러 군이며, 상기 유리판의 하면이 접촉되고, 회전 구동됨으로써 상기 유리판을 수평 상태에서 수평 방향으로 반송하는, 상기 유리판과의 접촉면이 수지제인 제1 롤러 군과, 상기 제1 롤러 군의 상방에 배치되고, 또한 상기 유리판의 상면에 접촉되어 상기 제1 롤러 군과의 사이로 상기 유리판을 끼워 넣는, 상기 유리판과의 접촉면이 수지제인 제2 롤러 군을 구비하고, 상기 제1 롤러 군의 각 롤러의 축 길이는 상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 상기 유리판의 폭 치수보다 긴 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 표면에 요철이 없는 원기둥형의, 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제인 제1 롤러 군의 각 롤러는, 유리판의 하면에 있어서, 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 폭 전체 영역에 밀착되므로, 제1 롤러 군에 의한 유리판의 하면 보유 지지력이 인용 문헌 1의 하면측의 롤러 군보다도 향상된다. 또한, 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제인 제2 롤러 군의 각 롤러는, 유리판의 상면에 접촉되어 밀착된다. 이에 따라 유리판은, 제1 롤러 군과 제2 롤러 군에 의하여 보유 지지력이 높여진 상태에서 반송되므로, 유리판은, 표면이 액체에 의하여 젖어 있는 상태이더라도 사행하지 않고 안정되게 반송된다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상기 반송 수단의 상기 제1 롤러 군 및 상기 제2 롤러 군의 각 롤러는, 가요성 부재에 의하여 구성되고, 또한 양단부가 롤러 지지부에 지지됨으로써 상기 롤러의 자중에 의하여 하방으로 만곡형으로 휜 상태로 배치되는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 유리판은, 제1 롤러 군 및 제2 롤러 군의 만곡형의 형상을 본뜬 형상으로 탄성 변형되어 반송된다. 다시 말해 유리판은, 중앙부가 양단부보다도 낮게 된 만곡형으로 반송되므로, 직선 막대형 롤러와 비교하여 반송 방향에 대하여 직교하는 방향의 어긋남(사행)이 규제된 상태에서 반송된다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상기 반송 수단의 상기 제2 롤러 군은 원기둥형 롤러에 의하여 구성되고, 또한 상기 제2 롤러 군의 각 롤러의 축 길이는 상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 상기 유리판의 폭 치수보다 긴 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 표면에 요철이 없는 원기둥형의, 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제인 제2 롤러 군의 각 롤러는, 유리판의 상면에 있어서, 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 폭 전체 영역에 밀착되므로, 제2 롤러 군에 의한 유리판의 상면 보유 지지력이 한층 더 높아진다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상기 반송 수단의 상기 제2 롤러 군은 상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향에 있어서 상기 유리판의 양단부에만 접촉되는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 제2 롤러 군의 각 롤러를, 유리판의 양단부만 접촉 가능한 짧은 축 길이의 롤러로 하더라도, 특허문헌 1의 반송 장치보다도 롤러에 의한 유리판의 보유 지지력이 향상된다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 제2 롤러 군의 각 롤러는, 유리판의 품질 영역인 유리판의 중앙부에는 접촉하고 있지 않다. 이로 인하여, 제2 롤러 군의 각 롤러가 품질 영역에 접촉하는 것에 기인한, 품질 영역의 흠집 발생을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 유리판에 대한 제2 롤러 군의 각 롤러의 접촉 면적을 저감시킬 수 있으므로, 제2 롤러 군의 각 롤러가 유리판에 접촉하는 것에 기인한, 오염의 부착량을 저감시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상기 반송 수단의 상기 제1 롤러 군 및 상기 제2 롤러 군의 각 롤러의 상기 유리판과의 접촉면은 우레탄제인 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 롤러의 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)을 우레탄제로 함으로써, 유리판의 표면이 액체로 젖은 상태에 있어서, 롤러에 의한 유리판의 보유 지지력이 비약적으로 향상된다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리판의 반송 수단과, 반송 중인 상기 유리판에 액체를 공급하는 액체 공급 수단과, 상기 유리판에 부착되어 있는 부착물을 제거하는 세정 수단이 구비된 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 본 발명의 반송 수단의 롤러에 의하여 유리판의 보유 지지력이 향상되어 있으므로, 세정 수단으로부터 유리판에 전달되는 세정 수단의 가압력 및 회전력을 강하게 하여 세정력을 높이더라도, 유리판은 사행하지 않고 안정되게 반송된다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상기 세정 수단은, 연직 방향의 축을 중심으로 자전, 연직 방향의 축을 중심으로 공전, 또는 연직 방향의 2개의 축을 중심으로 자전 및 공전하는 복수의 디스크 브러시에 의하여 구성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 유리판에 대한 디스크 브러시의 가압력과 회전력(자전력, 공전력)에 의하여, 유리판에 부착된 오염을 확실하게 제거할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태는, 상기 세정 수단의 상기 복수의 디스크 브러시는, 제1 롤러 군의 인접하는 2개의 롤러 사이에, 상기 유리판의 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격을 갖고 배열되고, 또한, 제2 롤러 군의 인접하는 2개의 롤러 사이에, 상기 유리판의 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격을 갖고 배열되며, 상기 복수의 디스크 브러시에는, 상기 유리판에 대한 높이를 조정하는 조정 수단이 구비되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 제1 롤러 군 및 제2 롤러 군 각 롤러의 자중에 의한 휨량에 따른 높이 위치에 디스크 브러시를 배치할 수 있다. 다시 말해, 유리판에 가압 접촉되는 디스크 브러시의 브러시 선단부의 위치를 미세 조정할 수 있다. 따라서, 디스크 브러시에 의한 유리판의 세정 성능이 향상된다.

본 발명의 일 실시 형태는, 본 발명의 유리판 제조 장치를 사용하는, 유리판의 제조 방법을 제공한다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 유리판의 표면이 액체에 의하여 젖어 있는 상태이더라도, 유리판을 사행시키지 않고 안정되게 반송할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 표면이 액체로 젖어 있는 유리판을 사행시키지 않고 안정되게 반송할 수 있는 반송 수단을 구비한 유리판의 제조 장치 및 당해 장치를 사용하는 유리판의 제조 방법, 및 세정 수단 및 세정 수단으로부터 유리판에 전달되는 세정 수단의 가압력 및 회전력을 강하게 하더라도 유리판을 안정되게 반송할 수 있는 반송 수단을 구비한 유리판의 제조 장치 및 당해 장치를 사용하는 유리판의 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 제1 실시 형태의 유리판의 반송 장치의 주요부 구성을 도시한 사시도.
도 2는 도 1에 도시한 반송 장치의 측면도.
도 3은 도 1에 도시한 반송 장치의 평면도.
도 4의 (a)는 제1 롤러 군의 우레탄제의 각 롤러에 유리판을 적재한 상태를 도시한 사시도, 도 4의 (b)는 종래의 롤러 군에 유리판을 적재한 상태를 도시한 사시도.
도 5는 제2 실시 형태의 유리판의 반송 장치의 주요부 구성을 도시한 사시도.
도 6은 제3 실시 형태의 유리판의 반송 장치의 주요부 구성을 도시한 사시도.
도 7은 도 6의 반송 장치를 구성하는 롤러의 주요부 단면도.
도 8은 도 6에 도시한 반송 장치의 변형예의 주요부 구성을 도시한 정면도.
도 9는 실시 형태의 유리판의 세정 장치를 도시한 주요부 사시도.
도 10은 도 9의 Ⅰ-Ⅰ 선을 따른 단면도.
도 11은 도 9에 도시한 세정 장치의 평면도.
도 12는 FPD용 유리판의 제조 공정을 나타낸 블록도.

이하, 첨부 도면에 따라, 본 발명에 따른 유리판의 제조 장치 및 유리판의 제조 방법의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다.

실시 형태의 유리판의 제조 장치 및 당해 장치를 사용하는 유리판의 제조 방법의 반송 장치(반송 수단)로서, 유리판을 도 12에 나타낸 제조 공정에 따라 순차 반송시키는 반송 장치, 다시 말해, 표면이 액체로 젖어 있는 상태의 유리판을 수평 상태에서 수평 방향으로 반송하는 반송 장치를 예시한다. 또한, 실시 형태의 세정 장치(세정 수단)로서는, 디스크 브러시를 사용하는 슬러리 세정 공정(108), 세제 세정 공정(112) 및 순수 세정 공정(116) 중 적어도 하나의 공정에 설치되는 세정 장치를 예시한다.

《제1 실시 형태의 반송 장치(10)》

도 1은, 제1 실시 형태의 유리판 G의 반송 장치(10)의 주요부 구성을 도시한 사시도이다. 도 2는, 도 1에 도시한 반송 장치(10)의 측면도, 도 3은, 도 1에 도시한 반송 장치(10)의 평면도이다.

〔반송 장치(10)의 구성〕

반송 장치(10)는 유리판 G를 수평 상태에서 수평 방향으로 반송하는 장치이며, 유리판 G의 하면이 접촉되는 제1 롤러 군(반송 롤러 군이라고도 함)(12)과, 제1 롤러 군(12)의 상방에 배치되고, 또한 유리판 G의 상면에 접촉되고 제1 롤러 군(12)과의 사이로 유리판 G를 두께 방향으로 끼워 넣는 제2 롤러 군(핀치 롤러 군이라고도 함)(14)을 구비한다.

제1 롤러 군(12)을 구성하는 복수의 롤러(반송 롤러라고도 함)(16)는, 직선 막대형이며 원기둥형으로 구성된다. 또한, 복수의 롤러(16)는 유리판 G를 화살표 A 방향(반송 방향)으로 반송하기 위하여, 반송 방향을 따라 소정의 간격을 두고 병설된다. 다시 말해, 롤러(16)의 축(16A)의 방향이, 수평 방향에 있어서 반송 방향에 대하여 직교하고 있다.

롤러(16)는, 유리판 G의 하면과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제이고, 또한 둘레면에 요철이 없는 롤러이다. 각 롤러(16)는 벨트 등의 동력 전달 수단(도시 생략)을 통하여 회전 구동 수단(도시 생략)에 접속되고, 이 회전 구동 수단으로부터의 동력이 전달됨으로써, 도 1의 화살표 B 방향으로 회전 구동된다. 이 회전에 의하여 유리판 G가 화살표 A 방향으로 반송된다.

또한, 롤러(16)의 축(16A)의 길이는, 유리판 G의 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판 G의 폭 W의 치수보다 길게 설정되며, 롤러(16)의 양단부가 유리판 G로부터 비어져 나와 있다. 따라서, 유리판 G는 폭 W의 전체 영역에 있어서 롤러(16)에 접촉된다.

제2 롤러 군(14)을 구성하는 복수의 롤러(핀치 롤러라고도 함)(18)도, 롤러(16)와 마찬가지로 직선 막대형이며 원기둥형으로 구성된다. 또한, 롤러(18)는 롤러(16) 바로 위에 배치된다. 다시 말해 롤러(18)는, 롤러(16)와 마찬가지로 반송 방향을 따라 소정의 간격을 두고 병설된다. 다시 말해, 롤러(18)의 축(18A)의 방향이, 수평 방향에 있어서 반송 방향에 대하여 직교하고 있다. 이에 따라, 유리판 G는 롤러(16)와 롤러(18)에 의하여 끼워 넣어진다. 또한 롤러(18)도, 롤러(16)와 마찬가지로 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제이고, 또한 둘레면에 요철이 없는 롤러이지만, 롤러(18)는 이것에 한정되는 것은 아니다. 그러나, 롤러(18)에 의한 유리판 G의 상면의 보유 지지력을 향상시키기 위해서는, 롤러(18)도, 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제인 것이 바람직하다. 또한, 수지로서는 우레탄 수지, 실리콘 수지, 불소 수지가 예시되지만, 이들 중, 우레탄 수지인 것이 상기 보유 지지력을 더 높일 수 있으므로 바람직하다.

롤러(18)에는 회전 구동 수단이 접속되어 있지 않으며, 롤러(18)는 유리판 G의 상면과의 사이의 마찰 저항에 의하여, 유리판 G의 반송에 추종하여 도 1의 화살표 C 방향으로 종동 회전된다. 또한, 유리판 G의 크기가 소정의 크기보다도 대형으로 되면, 롤러(18)를 롤러(16)와 마찬가지로 회전 구동 수단에 의하여 회전시켜, 유리판 G의 반송력을 높여도 된다. 롤러(18)의 회전 구동 수단으로서는, 롤러(16)의 벨트를 사용한 회전 구동 수단에 한정되지 않는다. 예를 들어, 인접하는 롤러(18)의 단부끼리를 기어를 통하여 연결시켜, 기어에 회전 동력을 가함으로써 롤러(18)를 회전시키는 회전 구동 수단이어도 된다.

또한, 각 롤러(18)의 축(18A)의 길이는, 유리판 G의 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판 G의 폭 W의 치수보다 길게 설정되며, 롤러(18)의 양단부가 유리판 G로부터 비어져 나와 있다. 따라서, 유리판 G는 폭 W의 전체 영역에 있어서 롤러(18)에 접촉된다.

〔반송 장치(10)의 작용〕

제1 실시 형태의 반송 장치(10)에 의하면, 표면에 요철이 없는 원기둥형의, 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제인 제1 롤러 군(12)의 각 롤러(16)는 유리판 G의 하면에 있어서, 유리판 G의 반송 방향에 직교하는 방향의 폭 W 전체 영역에 밀착되므로, 제1 롤러 군(12)에 의한 유리판 G의 하면의 보유 지지력이 인용 문헌 1의 하면측의 롤러 군보다도 향상된다. 또한, 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제인 제2 롤러 군(14)의 각 롤러(18)는 유리판 G의 상면에 접촉되어 밀착된다.

이에 따라 유리판 G는, 제1 롤러 군(12)과 제2 롤러 군(14)에 의하여 보유 지지력이 높여진 상태에서 반송되므로, 유리판 G는, 표면이 액체로 젖어 있는 상태이더라도 사행하지 않고 안정되게 반송된다.

또한, 제1 실시 형태의 반송 장치(10)에 의하면, 표면에 요철이 없는 원통형의, 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 수지제인 제2 롤러 군(14)의 각 롤러(18)는 유리판 G의 상면에 있어서, 유리판 G의 반송 방향에 직교하는 방향의 폭 W 전체 영역에 밀착되므로, 제2 롤러 군(14)에 의한 유리판 G의 상면의 보유 지지력이 한층 더 향상된다. 이에 따라, 유리판 G의 사행을 더 규제할 수 있다.

또한, 제1 실시 형태의 반송 장치(10)에 의하면, 롤러(16, 18)의 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)이 우레탄제이므로, 유리판 G의 표면이 액체로 젖어 있는 상태이더라도, 롤러(16, 18)에 의한 유리판 G의 보유 지지력이 비약적으로 향상된다. 이에 따라, 유리판 G의 사행을 한층 더 규제할 수 있다.

〔실험예〕

제1 롤러 군(12)에 의한 유리판 G의 보유 지지력과, 종래의 롤러 군에 의한 유리판 G의 보유 지지력을 실험으로 비교하였다.

도 4의 (a)는, 제1 롤러 군(12)의 우레탄제의 각 롤러(16)에 유리판 G를 적재한 사시도이다. 도 4의 (b)는, 종래의 롤러 군(20)에 유리판 G를 적재한 사시도이다.

종래의 롤러 군(20)의 각 롤러(22)는, 직선 막대형 회전축(24)에 복수의 링 롤러(26)가 소정의 간격을 두고 배치됨으로써 구성된다.

롤러(16)의 배치 간격(유리판 G의 반송 방향에 있어서의 피치)과 롤러(22)의 배치 간격(유리판 G의 반송 방향에 있어서의 피치)을 120㎜로 설정하고, 롤러(16)와 링 롤러(26)의 외경을 30㎜로 하였다.

유리판 G로서는 긴 변(길이)이 520㎜, 짧은 변(폭)이 410㎜, 두께가 0.7㎜인 것을 시험품으로서 준비하였다.

유리판 G의 하면, 롤러(16)의 표면(둘레면) 및 링 롤러(26)의 표면(둘레면)에 순수를 도포하여, 유리판 G의 표면을 액체로 젖은 상태로 하였다.

상기 조건에 있어서, 유리판 G의 중앙부(무게중심 위치)에, 도시하지 않은 견인 선재의 선단부를 접착하고, 견인 선재를 화살표 D와 같이 롤러(16) 및 롤러(22)의 축 방향(유리판 G의 반송 방향에 직교하는 방향)으로 견인하여, 유리판 G가 미끄럼 이동했을 때의 하중, 다시 말해, 최대 정지 마찰력을 취득함으로써, 제1 롤러 군(12)에 의한 유리판 G의 보유 지지력과, 롤러 군(20)에 의한 유리판 G의 보유 지지력을 비교하였다.

이 결과, 제1 롤러 군(12)에 의한 최대 정지 마찰력의 평균값 F(N)은 0.68N이고, 이에 비하여 롤러(20)의 최대 정지 마찰력의 평균값 F(N)은 0.37N이었다.

상기 실험 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 제1 롤러 군(12)에 의하면, 종래의 롤러 군(20)에 비하여 유리판 G에 대한 보유 지지력이 비약적으로 향상되는 것을 확인할 수 있었다.

《제2 실시 형태의 반송 장치(30)》

도 5는, 제2 실시 형태의 유리판 G의 반송 장치(30)의 주요부 구성을 도시한 사시도이다.

반송 장치(30)의 구성을 설명하는 데 있어서, 도 1 내지 도 3에 도시한 반송 장치(10)와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 부여하며, 그 설명은 생략한다.

도 5에 도시하는 제2 롤러 군(32)을 구성하는 각 롤러(34)는, 유리판 G의 반송 방향에 직교하는 방향에 있어서, 유리판 G의 양단부에만 접촉되는 길이로 구성되며, 각 롤러(34)의 일단부가 유리판 G로부터 비어져 나와 있다.

이와 같이 각 롤러(34)를 유리판 G의 양단부에만 접촉 가능한 짧은 축 길이의 롤러로 하더라도, 특허문헌 1의 반송 장치보다도 롤러(34)에 의한 유리판 G의 보유 지지력이 향상된다.

또한 각 롤러(34)는, 유리판 G의 품질 영역인 유리판 G의 상면 중앙부에는 접촉하고 있지 않다. 이로 인하여, 각 롤러(34)가 품질 영역에 접촉하는 것에 기인한, 품질 영역의 흠집 발생을 방지할 수 있다.

또한, 유리판 G의 상면에 대한 각 롤러(34)의 접촉 면적을 저감시킬 수 있으므로, 각 롤러(34)가 유리판 G에 접촉하는 것에 기인한, 오염의 부착량을 저감시킬 수 있다.

또한, 롤러(34)의 유리판과의 접촉면(예를 들어, 표층부)도 수지제이며, 그 중에서 우레탄제로 하는 것이, 롤러(34)에 의한 유리판 G의 보유 지지력을 높이는 점에서 바람직하다.

《제3 실시 형태의 반송 장치(40)》

도 6은, 제3 실시 형태의 유리판 G의 반송 장치(40)의 주요부 구성을 도시한 사시도이다.

도 7은, 반송 장치(40)의 제1 롤러 군(42)의 각 롤러(44) 및 제2 롤러 군(46)의 각 롤러(48)의 주요부 단면도이며, 가요성 부재에 의하여 구성된 롤러(44, 48)가 도시되어 있다.

롤러(44, 48)는 3중관 구성이며, 내관(50)은 카본제, 중관(52)은 스테인리스제, 외관(54)은 우레탄제이다. 다시 말해 롤러(44, 48)는, 중심관인 스테인리스제의 중관(52)이 카본제의 내관(50)에 의하여 보강되고, 중관(52)이 외관(54)에 끼워 넣어짐으로써 표층부가 우레탄제인 롤러로 구성되어 있다. 또한 롤러(44, 48)는, 자중으로 하방으로 만곡형으로 휘도록, 두께가 2㎜ 이하인 중관(52)이 사용되고 있다.

또한, 중관(52)의 재질은 스테인리스에 한정되는 것은 아니며, 금속, 수지 등의 기타 재질이어도 된다. 또한, 내관(50)은 있어도 없어도 되고, 내관(50)을 설치하는 경우, 그 재질은 카본에 한정되는 것은 아니며, 금속, 수지 등의 기타 재질이어도 된다.

또한 내관(52)의 두께는, 롤러가 자중으로 하방으로 만곡형으로 휘는 두께이면 특별히 한정되지 않으며, 내관(52)의 재질로서 카본을 사용했을 경우, 전형적으로는 2㎜ 이하이다. 그 외의 재질을 사용했을 경우, 그 두께는 롤러가 자중으로 하방으로 만곡형으로 휘는 두께의 범위 내에서 적절히 설정할 수 있다.

또한 롤러(44, 48)의 축의 길이는, 유리판 G의 반송 방향에 직교하는 방향의 유리판 G의 폭 W의 치수보다 길게 설정되며, 롤러(44, 48)의 양단부가 유리판 G로부터 비어져 나와 있다. 그리고 유리판 G는, 폭 W의 전체 영역에 있어서 롤러(44, 48)에 접촉된다.

롤러(44, 48)는, 양단부가 롤러 지지부(56)의 베어링(58)에 지지된다. 이에 따라 롤러(44, 48)는, 도 6과 같이 롤러(44, 48)의 자중에 의하여 하방으로 만곡형으로 휜 상태로 배치되어 있다. 또한, 일례로서 롤러(44, 48)의 휨량은, 축 길이 3500㎜에 있어서 0.5㎜ 내지 1㎜이다.

반송 장치(40)에 의하면, 유리판 G는, 제1 롤러 군(42) 및 제2 롤러 군(46)의 만곡형의 형상을 본뜬 형상으로 탄성 변형되어 반송된다. 다시 말해 유리판 G는, 중앙부가 양단부보다도 낮게 된 만곡형으로 반송되므로, 예를 들어 도 4의 (b)에 도시한 직선 막대형 롤러 군(20)과 비교하여, 반송 방향에 대하여 직교하는 방향의 어긋남(사행)이 규제된 상태에서 반송된다. 이에 따라, 반송 장치(40)에 의하면 유리판 G의 사행을 방지할 수 있다.

도 8은, 도 6에 도시한 반송 장치(40)의 변형예의 주요부 구성을 도시한 정면도이다.

도 8의 반송 장치(40)는, 롤러(48)의 휨량을 롤러(44)의 휨량보다도 작게 하고, 롤러(48)를 유리판 G의 양단부에만 접촉시킨 형태이다. 이 반송 장치(40)에 의하면, 도 5에 도시한 반송 장치(30)와 마찬가지의 효과, 다시 말해, 품질 영역의 흠집 발생 방지 효과 및 오염 부착량의 저감 효과를 얻을 수 있다.

《실시 형태의 세정 장치(60)》

도 9는, 실시 형태의 세정 장치(60)의 주요부 사시도이다. 도 10은, 도 9의Ⅰ-Ⅰ 선을 따른 단면도이다. 도 11은, 도 9의 세정 장치(60)의 평면도이다.

또한, 도 9 내지 도 11의 세정 장치(60)는, 도 6에 도시한 반송 장치(40)에 디스크 브러시 군(세정 수단)(62, 64)을 탑재함으로써 구성된 장치이지만, 도 6의 반송 장치(40)에 한정되지 않으며, 도 1 내지 도 3에 도시한 반송 장치(10), 도 5에 도시한 반송 장치(30) 및 도 8에 도시한 반송 장치(40)에 디스크 브러시 군(62, 64)을 탑재하여 실시 형태의 세정 장치로 해도 된다.

도 9와 같이 세정 장치(60)는 반송 장치(40), 유리판 G의 하면을 세정하는 하단 디스크 브러시 군(62), 유리판 G의 상면을 세정하는 상단 디스크 브러시 군(64), 액체를 유리판 G의 하면을 향하여 분사하는 하단 노즐(액체 공급 수단)(66) 및 액체를 유리판 G의 상면을 향하여 분사하는 상단 노즐(액체 공급 수단)(68)을 구비한다. 디스크 브러시는 PVA(폴리비닐알코올)의 스펀지제이며, 외경 70 내지 100㎜의 원기둥형이다. 디스크 브러시의 회전(자전) 속도는 100 내지 500rpm으로 하는 것이 바람직하다.

액체는, 도 12에 나타내는 공정에 따라, 산화세륨 등을 함유하는 슬러리, 세정제(알칼리성 또는 산성) 및 순수 중, 어느 한 액체를 분사한다. 예를 들어, 액체로서 유기 포스폰산, 폴리카르복실산염, 방향족 술폰산 및 아민알킬렌옥사이드 부가물을 포함하는 수계 세정제를 사용하면, 연마 후의 유리판 G의 표면에 잔류 및/또는 부착된 산화세륨 등을 포함하는 연마 지립을 양호하게 분산시켜 제거할 수 있어, 유리판 G의 평탄성을 손상시키는 일도 없다.

하단 디스크 브러시 군(62)의 복수 디스크 브러시(70)는, 도 9, 도 10과 같이 제1 롤러 군(42)의 인접하는 2개의 롤러(44, 44) 사이에, 유리판 G의 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격을 두고 배열된다. 또한, 상단 디스크 브러시 군(64)의 복수 디스크 브러시(72)는, 도 11과 같이 제2 롤러 군(46)의 인접하는 2개의 롤러(48, 48) 사이에, 유리판 G의 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격을 두고 배열된다.

디스크 브러시(70, 72)는, 유리판 G의 표면(상면 및 하면)에 대하여 직교하는 연직 방향의 회전축을 갖고, 디스크 브러시(70, 72)의 브러시 부분이 유리판 G의 표면에 접촉된다.

또한 디스크 브러시(70)는, 인접하는 2대의 디스크 브러시(72) 사이의 하방에 배치되어 있다. 다시 말해 디스크 브러시(70)의 회전축은, 인접하는 2대의 디스크 브러시(72)의 회전축의 피치의 중앙 위치에 배치되어 있다.

또한 상기 실시 형태는, 디스크 브러시(70, 72)를 상기 회전축에 의하여 자전시키는 구성이지만, 유리판 G의 표면에 대하여 직교하는 연직 방향의 공전축(도시 생략)에 의하여 공전시키는 형태이어도 되고, 또한 상기 회전축과 상기 공전축의 2개의 축에 의하여 자전 및 공전시키는 형태이어도 된다.

또한, 수평 방향에 있어서 인접하는 2열의 하단 디스크 브러시 군(62)의 각 디스크 브러시(70)는, 위치가 번갈아 어긋나게 되어 있으며, 1열째의 인접하는 디스크 브러시(70)와 디스크 브러시(70) 사이의 간극에, 2열째의 디스크 브러시(70)가 배치되어 있다. 또한, 상단 디스크 브러시 군(64)의 각 디스크 브러시(72)도 마찬가지로 배치되어 있다. 다시 말해, 하단 디스크 브러시 군(62) 및 상단 디스크 브러시 군(64)은 지그재그형(zigzag alignment)으로 배치되어 있다. 지그재그형으로 배치됨으로써, 반송 방향의 상류측의 디스크 브러시 사이에서 제거되지 않은 부착물을, 반송 방향의 하류측의 디스크 브러시로 제거할 수 있다. 이에 따라, 반송 중인 유리판 G의 상면 및 하면의 전체면이, 복수의 디스크 브러시(70, 72)에 의하여 문질러진다. 각 디스크 브러시(70, 72)는, 그 브러시 부분이 유리판 G의 상면 및 하면에 가압된 상태에서 회전되고, 이에 따라 유리판 G의 상면 및 하면에 부착된 부착물이 확실하게 제거된다.

디스크 브러시(70, 72)에 의한 세정 중에 있어서, 유리판 G의 보유 지지력, 다시 말해, 유리판의 직진 반송 성능이 반송 장치(40)의 롤러(44, 48)에 의하여 높여져 있으므로, 디스크 브러시(70, 72)로부터 유리판 G에 전달되는 디스크 브러시(70, 72)의 가압력 및 회전력을 강하게 하여 세정력을 높이더라도, 유리판 G는 사행하지 않고 안정되게 반송된다.

또한 각 디스크 브러시(70, 72)에는, 유리판 G의 상면 및 하면에 대한 높이를 조정하는 조정 수단이 구비되어 있다.

이 조정 수단에 의하여, 도 10과 같이 롤러(44, 48)의 자중에 의한 휨량에 따른 높이 위치에 각 디스크 브러시(70, 72)를 배치할 수 있다. 다시 말해, 유리판 G의 상면 및 하면에 가압 접촉되는 디스크 브러시(70, 72)의 브러시 선단부의 위치를 미세 조정할 수 있다. 따라서, 디스크 브러시(70, 72)에 의한 유리판 G의 세정 성능이 향상된다.

상기 조정 수단으로서는, 하단에 배치된 각 디스크 브러시(70)의 높이를 롤러(44)의 높이에 맞춰 조정한 후, 그 각 디스크 브러시(72)의 높이를 기준으로 하여 상단에 배치된 각 디스크 브러시(72)의 높이를, 유리판 G의 두께에 상당하는 분량만큼 상방에 위치시키는 것이 바람직하다.

하단에 배치된 각 디스크 브러시(70)의 높이 조정은, 우선 롤러(44)의 길이 방향에 있어서의 휨량을 다이얼 게이지 등의 계측 수단에 의하여 미리 계측한다. 이 경우, 비(非)만곡부인 롤러(44)의 양단부를 제로점 위치로 한다. 이어서, 각 디스크 브러시(70)의 높이가, 그 디스크 브러시(70)와 대응하는 롤러(44)의 부위의 높이에 맞도록 다이얼 게이지 등의 계측 수단에 의하여 조정한다.

디스크 브러시(70)는, 회전축인 나사 막대에 로크 너트 및 플랜지를 통하여 고정되어 있다. 디스크 브러시(70)의 높이 조정 시에는, 로크 너트를 느슨하게 하고 나사축에 대하여 플랜지를 회전시켜, 디스크 브러시(70)의 높이를 나사의 이송 작용에 의하여 조정한다. 이후, 로크 너트를 나사축에 체결함으로써 높이 조정 작업이 종료된다.

이어서, 상단 디스크 브러시 군(64)의 각 디스크 브러시(72)의 높이 조정을 행한다. 이 높이 조정도 디스크 브러시(70)의 높이 조정과 마찬가지이다. 다시 말해, 롤러(48)의 길이 방향에 있어서의 휨량을 다이얼 게이지 등의 계측 수단에 의하여 미리 계측한다. 이 경우, 비만곡부인 롤러(48)의 양단부를 제로점 위치로 한다. 이어서, 각 디스크 브러시(72)의 높이가, 그 디스크 브러시(72)와 대응하는 롤러(48)의 부위의 높이에 맞도록 다이얼 게이지 등의 계측 수단에 의하여 조정한다.

디스크 브러시(72)도, 디스크 브러시(70)와 마찬가지로 회전축인 나사 막대에 로크 너트 및 플랜지를 통하여 고정되어 있다. 디스크 브러시(72)의 높이 조정 시에는, 로크 너트를 느슨하게 하고 나사축에 대하여 플랜지를 회전시켜, 디스크 브러시(72)의 높이를 나사의 이송 작용에 의하여 조정한다. 이후, 로크 너트를 나사축에 체결함으로써 높이 조정 작업이 종료된다.

또한, 상기 조정 수단은 상기 수단에 한정되는 것은 아니다. 또한, 실시 형태에서는, 세정 수단으로서 디스크 브러시(62)를 예시했지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 유리판 G의 반송 방향에 대하여 직교 방향으로 회전축을 갖는 롤형 브러시이어도 된다.

본 발명을 상세하게 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 여러 변형이나 수정을 가할 수 있음은, 당업자에게 있어서 명확하다.

본 출원은 2013년 8월 1일 출원된 일본 특허 출원 제2013-160371호에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.

G: 유리판
10: 반송 장치
12: 제1 롤러 군
14: 제2 롤러 군
16: 롤러
16A: 축
18: 롤러
18A: 축
20: 롤러 군
22: 롤러
24: 회전축
26: 링 롤러
30: 반송 장치
32: 제2 롤러 군
34: 롤러
40: 반송 장치
42: 제1 롤러 군
44: 롤러
46: 제2 롤러 군
48: 롤러
50: 내관
52: 중관
54: 외관
56: 롤러 지지부
58: 베어링
60: 세정 장치
62: (하단) 디스크 브러시 군
64: (상단) 디스크 브러시 군
66: 하단 노즐
68: 상단 노즐
70: 디스크 브러시
72: 디스크 브러시

Claims (9)

1. 표면이 액체로 젖어 있는 유리판을 수평 방향으로 반송하는 반송 수단을 구비한 유리판의 제조 장치로서,
   상기 반송 수단은,
   원기둥형 제1 롤러 군이며, 상기 유리판의 하면이 접촉되고, 회전 구동됨으로써 상기 유리판을 수평 상태에서 수평 방향으로 반송하는, 상기 유리판과의 접촉면이 수지제인 제1 롤러 군과,
   상기 제1 롤러 군의 상방에 배치되고, 또한 상기 유리판의 상면에 접촉되어 상기 제1 롤러 군과의 사이로 상기 유리판을 끼워 넣는, 상기 유리판과의 접촉면이 수지제인 제2 롤러 군
   을 구비하고,
   상기 제1 롤러 군의 각 롤러의 축 길이는 상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 상기 유리판의 폭 치수보다 길고,
   상기 반송 수단의 상기 제1 롤러 군 및 상기 제2 롤러 군의 각 롤러는, 가요성 부재에 의하여 구성되고, 또한 양단부가 롤러 지지부에 지지됨으로써 상기 롤러의 자중에 의하여 상기 롤러가 하방으로 만곡형으로 휜 상태로 배치되고,
   상기 반송 수단의 상기 제2 롤러 군이 상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향에 있어서 상기 유리판의 양단부에 접촉되는 것을 특징으로 하는, 유리판의 제조 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 반송 수단의 상기 제2 롤러 군은 원기둥형 롤러에 의하여 구성되고, 또한 상기 제2 롤러 군의 각 롤러의 축 길이는 상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향의 상기 유리판의 폭 치수보다 긴, 유리판의 제조 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 반송 수단의 상기 제2 롤러 군은 상기 유리판의 반송 방향에 직교하는 방향에 있어서 상기 유리판의 양단부에만 접촉되는, 유리판의 제조 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 반송 수단의 상기 제1 롤러 군 및 상기 제2 롤러 군의 각 롤러의 상기 유리판과의 접촉면이 우레탄제인, 유리판의 제조 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 기재된 유리판의 반송 수단과,
   반송 중인 상기 유리판에 액체를 공급하는 액체 공급 수단과,
   상기 유리판에 부착되어 있는 부착물을 제거하는 세정 수단
   이 구비된 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 세정 수단은, 연직 방향의 축을 중심으로 자전, 연직 방향의 축을 중심으로 공전, 또는 연직 방향의 2개의 축을 중심으로 자전 및 공전하는 복수의 디스크 브러시에 의하여 구성되는, 유리판의 제조 장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 세정 수단의 상기 복수의 디스크 브러시는, 제1 롤러 군의 인접하는 2개의 롤러 사이에, 상기 유리판의 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격을 갖고 배열되고, 또한 제2 롤러 군의 인접하는 2개의 롤러 사이에, 상기 유리판의 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격을 갖고 배열되며,
   상기 복수의 디스크 브러시에는 상기 유리판에 대한 높이를 조정하는 조정 수단이 구비되어 있는, 유리판의 제조 장치.
8. 제1항 또는 제2항에 기재된 유리판의 제조 장치를 사용하는, 유리판의 제조 방법.
9. 삭제

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