JP2014009069A - ガラス基板の搬送方法、および、ガラス基板の搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明に係るガラス基板の搬送方法、および、ガラス基板の搬送装置は、ガラス基板の搬送時において、ガラス基板にキズが付くことを抑制し、かつ、ガラス基板の位置合わせを安定的に行うことができる。
【解決手段】本発明に係るガラス基板の搬送方法は、ガラス基板１０を水平方向に搬送する。ガラス基板１０は、複数の搬送ローラ２２によって搬送される。搬送ローラ２２は、ローラ軸２４と、ガラス基板１０を支持および搬送する複数のコロ２６とを有する。コロ２６は、基部２６ａと、ガラス基板１０を支持するブラシ２６ｂとを有する。各搬送ローラ２２において、少なくとも一つのコロ２６は、互いに異なる長さを有する複数のブラシ２６ｂを有する位置合わせコロ４６である。少なくとも一つの位置合わせコロ４６は、ガラス基板１０の幅方向の端部を支持し、ガラス基板１０の幅方向の移動を制限する。
【選択図】図１０

Description

本発明は、ガラス基板の搬送方法、および、ガラス基板の搬送装置に関する。

ガラス基板を取り扱う工程では、ガラス基板を水平方向に搬送するためのガラス基板搬送装置が用いられる。例えば、特許文献１（特開２００８−６３１４４号公報）に開示されているガラス基板搬送装置は、ガラス基板の下側の表面を、コロと呼ばれる環状部材で支持し、コロを回転させることによりガラス基板を水平方向に搬送する。コロは、搬送されるガラス基板にキズが付かないように、超高分子量ポリエチレン（ＵＰＥ）等の樹脂で成形されている。しかし、コロに異物が付着することを防止することは難しく、ガラス基板と接触するコロの外周面にガラスの微小片等の硬い異物が付着した場合、搬送されるガラス基板にキズが付くという問題点があった。

この問題点を解決するために、特許文献２（特開２００８−２７３６８７号公報）に開示されているガラス基板搬送装置は、外周面にブラシが取り付けられたコロを用いてガラス基板を搬送する。このガラス基板搬送装置では、ガラス基板の下側の表面は、コロのブラシによって支持される。ブラシは、コロの外周面と比べてガラスの微小片等の異物が付着しにくい。また、ブラシは、ガラス基板を支持している間は、ガラスの重量によって変形している。そして、コロの回転によりブラシがガラス基板の表面から離れると、変形したブラシは、ブラシの弾性による復元力を受けて、変形前の形状に戻る。このブラシ形状の変化によって、ブラシに付着している異物が取れ易くなる。従って、搬送されるガラス基板にキズが付くことが抑制される。

しかし、ブラシ付きのコロを用いるガラス基板搬送装置は、ガラス基板を搬送すると同時にガラス基板の位置合わせを安定的に行うことができない問題点を有している。具体的に説明するために、ガラス基板が搬送されている間に、ガラス基板の幅方向に沿ってガラス基板を移動させる位置合わせ工程について考える。この場合、ガラス基板の幅方向の位置を調節することで、ガラス基板を支持しているコロのブラシが変形する。このとき、変形したブラシに支持されているガラス基板は、ブラシに作用する復元力を受けるので、移動しやすい状態にある。そのため、ガラス基板の搬送工程より後の工程において、ガラス基板の位置が不適切であることに起因する問題が生じるおそれがある。

本発明の目的は、ガラス基板の搬送時において、ガラス基板にキズが付くことを抑制し、かつ、ガラス基板の位置合わせを安定的に行うことができるガラス基板の搬送方法、および、ガラス基板の搬送装置を提供することである。

本発明に係るガラス基板の搬送方法は、ガラス基板の一方の面が上向きになっている状態で、ガラス基板を水平方向に搬送する。ガラス基板は、複数の搬送ローラによって搬送される。搬送ローラは、回転軸と、回転軸に固定される複数の支持部とを有する。支持部は、ガラス基板の他方の面においてガラス基板を支持し、回転軸の回転によって回転してガラス基板を搬送する。支持部は、回転軸に取り付けられる基部と、ガラス基板を支持するブラシとを有する。ブラシは、基部の外周面から回転軸に直交する方向に突出するように基部の外周面に取り付けられる。それぞれの搬送ローラにおいて、少なくとも一つの支持部は、互いに異なる長さを有する複数のブラシを有する位置合わせ支持部である。位置合わせ支持部において、回転軸に直交する方向に沿って取り付けられるブラシは、同じ長さを有する。それぞれの搬送ローラにおいて、少なくとも一つの位置合わせ支持部は、回転軸に沿った方向におけるガラス基板の端部を支持し、かつ、回転軸に沿った方向におけるガラス基板の移動を制限する。

このガラス基板の搬送方法では、ブラシ付きのコロによってガラス基板が水平に支持され、コロの回転によってガラス基板が水平方向に搬送される。そして、少なくとも一つのコロは、ガラス基板の幅方向の端部を支持し、かつ、ガラス基板の幅方向の移動を制限する位置合わせコロである。「ガラス基板の幅方向」は、ガラス基板の搬送方向に直交する水平面内の方向であり、搬送ローラの回転軸に沿った方向である。位置合わせコロは、回転軸の端部に近いほど長いブラシを有する。例えば、位置合わせコロのブラシは、回転軸に直交する方向に沿って見た場合に、階段状になっている。ここで、位置合わせコロの最大の長さを有さないブラシによって、ガラス基板の幅方向の端部が支持されている場合を考える。この場合、ガラス基板の幅方向の端部を支持しているブラシより長いブラシによって、ガラス基板の幅方向の移動が制限される。そのため、ブラシ付きのコロによって搬送されているガラス基板を幅方向に位置合わせしても、それによって変形したブラシに作用する復元力によって、ガラス基板が幅方向に移動することが抑制される。従って、位置合わせコロを用いてガラス基板を支持することで、ガラス基板の位置合わせを安定的に行うことができる。また、ブラシ付きのコロを用いてガラス基板を搬送することで、ガラス基板にキズが付くことが抑制される。

また、ガラス基板は、搬送ローラによって搬送されている間に、位置合わせユニットによって、回転軸に沿った方向におけるガラス基板の端部に力が加えられて位置合わせされることが好ましい。この場合、位置合わせ支持部は、位置合わせユニットによって力が加えられるガラス基板の端部に最も近い支持部である。また、位置合わせ支持部は、位置合わせユニットによって力が加えられるガラス基板の端部に近いほど、長いブラシを有する。

また、搬送ローラにおいて、位置合わせ支持部のブラシの最大の長さは、位置合わせ支持部以外の支持部のブラシの長さと同じであることが好ましい。

本発明に係るガラス基板の搬送装置は、ガラス基板の一方の面が上向きになっている状態で、ガラス基板を水平方向に搬送する。このガラス基板の搬送装置は、ガラス基板を搬送する複数の搬送ローラを備える。搬送ローラは、回転軸と、回転軸に固定される複数の支持部とを有する。支持部は、ガラス基板の他方の面においてガラス基板を支持し、回転軸の回転によって回転してガラス基板を搬送する。支持部は、回転軸に取り付けられる基部と、ガラス基板を支持するブラシとを有する。ブラシは、基部の外周面から回転軸に直交する方向に突出するように基部の外周面に取り付けられる。それぞれの搬送ローラにおいて、少なくとも一つの支持部は、互いに異なる長さを有する複数のブラシを有する位置合わせ支持部である。位置合わせ支持部において、回転軸に直交する方向に沿って取り付けられるブラシは、同じ長さを有する。それぞれの搬送ローラにおいて、少なくとも一つの位置合わせ支持部は、回転軸に沿った方向におけるガラス基板の端部を支持し、かつ、回転軸に沿った方向におけるガラス基板の移動を制限する。

本発明に係るガラス基板の搬送方法、および、ガラス基板の搬送装置は、ガラス基板の搬送時において、ガラス基板にキズが付くことを抑制し、かつ、ガラス基板の位置合わせを安定的に行うことができる。

実施形態に係るガラス基板洗浄装置の概略図である。 位置合わせユニットの上面図である。 ガラス基板搬送装置の上面図である。 ガラス基板搬送装置の側面図である。 ローラ軸に沿った方向から見た通常コロの側面図である。 図５のＶＩ−ＶＩ線における通常コロの断面図である。 ローラ軸に沿った方向から見た位置合わせコロの側面図である。 図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線における位置合わせコロの断面図である。 ブラシの線状部材の束が植毛される穴の配置を表す図である。 ガラス基板の搬送方向に沿った方向から見た、通常コロおよび位置合わせコロによって支持されるガラス基板を表す図である。 変形例Ａに係る位置合わせコロの断面図である。

（１）ガラス基板洗浄装置の構成
本発明に係るガラス基板の搬送方法の実施形態について、図面を参照しながら説明する。以下、本実施形態のガラス基板の搬送方法を用いるガラス基板搬送装置２０を備えるガラス基板洗浄装置１００について説明する。

ガラス基板洗浄装置１００は、ガラス基板１０の製造工程において、ガラス原料から
成形され所定の大きさに切断されたガラス基板１０の表面を洗浄する。ガラス基板１０は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイおよび有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に用いられるディスプレイ用ガラス基板である。ＦＰＤの製造工程では、ガラス基板１０の一方の主表面に、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）およびカラーフィルタ等からなる薄膜が形成される。ガラス基板１０の表面に塵およびガラスの微小片等の異物が付着していると、ガラス基板１０の表面に配置されるＴＦＴ等が破壊されるおそれがある。そのため、ガラス基板１０の製造工程において、ガラス基板１０の表面を洗浄する工程は必須である。

図１は、ガラス基板洗浄装置１００の概略図である。ガラス基板洗浄装置１００は、主として、位置合わせユニット１１０と、超音波洗浄ユニット１２０とからなる。位置合わせユニット１１０は、ガラス基板搬送装置２０を備える。

位置合わせユニット１１０は、ガラス基板搬送装置２０を用いてガラス基板１０を水平に搬送しながら、ガラス基板１０の位置合わせを行う。図２は、位置合わせユニット１１０の上面図である。図２には、ガラス基板１０の搬送方向を表す矢印が示されている。位置合わせユニット１１０は、ガラス基板１０の幅方向の位置を調節するために使用される可動位置合わせローラ３０および固定位置合わせローラ４０を備える。ここで、「ガラス基板１０の幅方向」は、ガラス基板１０の搬送方向に直交する水平面内の方向を表す。以下、「ガラス基板１０の端面」は、ガラス基板１０の幅方向の端面を表す。

可動位置合わせローラ３０は、ガラス基板１０の幅方向に移動可能である。固定位置合わせローラ４０は、固定して設置されている。位置合わせユニット１１０では、可動位置合わせローラ３０が、ガラス基板１０の一方の端面をガラス基板１０の幅方向に沿って押し込むことで、ガラス基板１０を固定位置合わせローラ４０に向かって移動させる。最終的に、ガラス基板１０の両方の端面は、可動位置合わせローラ３０および固定位置合わせローラ４０に接触した状態になる。これにより、位置合わせユニット１１０は、ガラス基板１０の幅方向の位置を調節する。そして、位置合わせユニット１１０は、幅方向の位置が調節されたガラス基板１０を、超音波洗浄ユニット１２０に送る。

超音波洗浄ユニット１２０は、位置合わせユニット１１０によって位置合わせされたガラス基板１０の表面を超音波洗浄する。超音波洗浄ユニット１２０は、ガラス基板１０を水平に搬送して、洗浄槽に貯留されている純水等の洗浄液にガラス基板１０を浸す。次に、超音波洗浄ユニット１２０は、ガラス基板１０が浸されている洗浄液に超音波を照射してガラス基板１０を振動させ、ガラス基板１０に付着している異物および汚れを除去する。

（２）ガラス基板搬送装置の構成
次に、位置合わせユニット１１０が備えるガラス基板搬送装置２０について説明する。図３は、ガラス基板搬送装置２０の上面図である。図４は、図３の矢印ＩＶから見た、ガラス基板搬送装置２０の側面図である。図３には、可動位置合わせローラ３０が示されている。図４には、ガラス基板１０が示されている。

ガラス基板搬送装置２０は、ガラス基板１０の搬送方向に沿って配置されている複数の搬送ローラ２２と、搬送ローラ２２の回転を制御するローラ制御機構（図示せず）とからなる。ガラス基板１０は、複数の搬送ローラ２２上に載置された状態で支持され、搬送ローラ２２の回転によって水平方向に搬送される。搬送ローラ２２は、ガラス基板１０の搬送方向に直交する方向に沿って水平に配置される回転軸であるローラ軸２４と、ローラ軸２４に等間隔に取り付けられる複数のコロ２６とを有する。コロ２６は、超高分子量ポリエチレン（ＵＰＥ）で成形された環状の本体である基部２６ａと、基部２６ａに取り付けられる複数のブラシ２６ｂとからなる。基部２６ａは、ローラ軸２４が貫通するための孔を有している。ブラシ２６ｂは、ローラ軸２４に直交する方向に沿って一周する基部２６ａの表面（以下、基部２６ａの「外周面」と呼ぶ。）に取り付けられている。ブラシ２６ｂは、樹脂により成形される複数の線状部材からなる。各線状部材は、０．１ｍｍの径を有する。搬送ローラ２２は、コロ２６のブラシ２６ｂによってガラス基板１０を支持し、ローラ軸２４の回転に連動するコロ２６の回転によってガラス基板１０を搬送する。

コロ２６は、通常コロ３６および位置合わせコロ４６の２種類に分類される。各搬送ローラ２２は、１つの位置合わせコロ４６を有している。位置合わせコロ４６は、図３に示されるように、可動位置合わせローラ３０に最も近い位置に配置されるコロ２６である。各搬送ローラ２２において、位置合わせコロ４６以外のコロ２６は、通常コロ３６である。図５は、ローラ軸２４に沿った方向から見た通常コロ３６の側面図である。図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線における通常コロ３６の断面図である。図７は、ローラ軸２４に沿った方向から見た位置合わせコロ４６の側面図である。図８は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線における位置合わせコロ４６の断面図である。図５および図７は、図３の矢印ＩＶから見た側面図に相当する。以下、ブラシ２６ｂの「長さ」を、基部２６ａの外周面と接触しているブラシ２６ｂの根元からブラシ２６ｂの先端までの長さと定義する。

コロ２６のブラシ２６ｂは、基部２６ａの外周面に形成された穴に、線状部材の束が植毛されて取り付けられている。図９は、ブラシ２６ｂの線状部材の束が植毛される穴である植毛穴２６ｃの配置を表す図である。図９は、ガラス基板１０の搬送方向に沿って見たコロ２６の外周面の一部である。植毛穴２６ｃは、基部２６ａの外周面の全周に亘って均一に配置されている。本実施形態におけるコロ２６の基部２６ａの外周面には、ローラ軸２４に沿って３列の円形の植毛穴２６ｃが形成されている。図９に示されるように、中央の列の植毛穴２６ｃは、基部２６ａの外周面が一周する方向に沿って、両側の列の植毛穴２６ｃと異なる位置に配置されている。ローラ軸２４に沿って３列の植毛穴２６ｃを見た場合、中央の列の植毛穴２６ｃは、両側の列の植毛穴２６ｃの間に位置している。

通常コロ３６の基部３６ａの外周面には、複数のブラシ３６ｂが取り付けられている。図５および図６に示されるように、通常コロ３６の全てのブラシ３６ｂは、同じ長さを有している。通常コロ３６の全てのブラシ３６ｂは、ガラス基板１０の表面に接触した状態でガラス基板１０を支持する。本実施形態において、通常コロ３６のブラシ３６ｂの長さは５ｍｍである。

位置合わせコロ４６の基部４６ａの外周面には、複数のブラシ４６ｂが取り付けられている。図７および図８に示されるように、位置合わせコロ４６の全てのブラシ４６ｂは、ローラ軸２４に沿って互いに異なる長さを有している。また、ローラ軸２４に直交する方向に沿って基部４６ａの外周面の全周に亘って取り付けられるブラシ４６ｂは、同じ長さを有している。本実施形態において、位置合わせコロ４６のブラシ４６ｂの長さは３種類あり、長い順に５ｍｍ、４ｍｍ、３ｍｍである。ブラシ４６ｂは、長いほど、可動位置合わせローラ３０に近い位置に取り付けられている。位置合わせコロ４６の一部のブラシ４６ｂは、ガラス基板１０の幅方向の端部の表面を支持する。位置合わせコロ４６のブラシ４６ｂの最大の長さは、通常コロ３６のブラシ３６ｂの長さと等しい。以下、最大の長さを有する位置合わせコロ４６のブラシ４６ｂを、「位置合わせブラシ４６ｂ１」と呼ぶ。

図１０は、ガラス基板１０の搬送方向に沿った方向から見た、通常コロ３６および位置合わせコロ４６によって支持されるガラス基板１０を表す図である。図１０において、通常コロ３６および位置合わせコロ４６は、それぞれ、図６および図８に示される断面図を表す。図１０に示されるガラス基板１０は、可動位置合わせローラ３０によって幅方向に位置合わせされている。そのため、位置合わせされたガラス基板１０に接触している通常コロ３６のブラシ３６ｂは、ガラス基板１０の幅方向の移動によって、ガラス基板１０の幅方向に曲がって変形している。具体的には、可動位置合わせローラ３０は、図１０の左側から右側に向かってガラス基板１０の端面を押してガラス基板１０を位置合わせしているので、通常コロ３６のブラシ３６ｂは、基部３６ａの外周面からブラシ３６ｂの先端に向かって、右向きに曲がっている。

一方、位置合わせコロ４６は、位置合わせブラシ４６ｂ１以外のブラシ４６ｂによって、ガラス基板１０の幅方向の端部の表面を支持している。位置合わせブラシ４６ｂ１は、ガラス基板１０を支持している他のブラシ４６ｂよりも長いので、ガラス基板１０は、位置合わせブラシ４６ｂ１によって幅方向の移動が制限される。図１０において、通常コロ３６の変形しているブラシ３６ｂには、ブラシ３６ｂの線状部材の弾性に起因して、その変形を除去するような復元力が左向きに作用している。そのため、通常コロ３６のブラシ３６ｂに支持されているガラス基板１０には、位置合わせコロ４６に向かう幅方向の力が作用している。位置合わせコロ４６の位置合わせブラシ４６ｂ１は、ガラス基板１０を支持している他のブラシ４６ｂよりも長いため、ガラス基板１０のこのような幅方向の移動を抑制することができる。

（３）特徴
本実施形態のガラス基板洗浄装置１００の位置合わせユニット１１０で用いられるガラス基板搬送装置２０は、搬送ローラ２２のブラシ２６ｂ付きのコロ２６によってガラス基板１０を支持しながら、コロ２６の回転によってガラス基板１０を水平方向に搬送する。各搬送ローラ２２のコロ２６の１つは、可動位置合わせローラ３０によって位置合わせされたガラス基板１０の幅方向の移動を制限する位置合わせコロ４６である。

ここで、各搬送ローラ２２のコロ２６が全て通常コロ３６である位置合わせユニットについて考える。この場合、可動位置合わせローラ３０によるガラス基板１０の幅方向の位置合わせによって、通常コロ３６のブラシ３６ｂが変形する。変形したブラシ３６ｂは、その線状部材の弾性による復元力によって元の形状に戻ろうとする。そのため、変形したブラシ３６ｂに支持されているガラス基板１０は、ブラシ３６ｂの復元力によって、ガラス基板１０の位置合わせによる移動方向とは反対の方向に移動してしまう。従って、この位置合わせユニットでは、ガラス基板１０の位置合わせが安定的に行われず、位置合わせされたガラス基板１０の位置が不均一になる。そのため、位置合わせユニットの下流にある超音波洗浄ユニット１２０において、ガラス基板１０が均一に洗浄されず、また、さらに下流の工程において、ガラス基板１０の割れ等の問題が生じるおそれがある。

本実施形態では、各搬送ローラ２２は、１つの位置合わせコロ４６を有している。ガラス基板１０の位置合わせによって変形した通常コロ３６のブラシ３６ｂには、元の形状に戻ろうとする復元力が作用する。位置合わせコロ４６の位置合わせブラシ４６ｂ１は、この復元力によって幅方向に移動しようとするガラス基板１０の端面を受け止める。そのため、位置合わせコロ４６は、ガラス基板の１０の幅方向に沿って位置合わせされた後のガラス基板１０の幅方向の移動を制限することができる。従って、位置合わせユニット１１０は、位置合わせコロ４６によってガラス基板１０の位置合わせを安定的に行うことができる。

また、位置合わせユニット１１０では、ガラス基板１０は、ブラシ２６ｂ付きのコロ２６に支持されながら搬送される。ガラス基板１０の表面に接触しているブラシ２６ｂの先端面は、コロ２６の基部２６ａの外周面に比べて表面積が小さい。そのため、位置合わせユニット１１０内の雰囲気中を浮遊する塵およびガラスの微小片等の異物は、ブラシ２６ｂの先端面に付着しにくい。従って、これらの異物がブラシ２６ｂと接触するガラス基板１０の表面に付着する機会が少ない。また、通常コロ３６のブラシ３６ｂに付着した異物は、変形したブラシ３６ｂの復元力によってブラシ３６ｂが元の形に戻る際に、ブラシ３６ｂから弾き飛ばされやすい。すなわち、基部２６ａの外周面に比べて、ブラシ２６ｂには異物が付着しにくい。以上より、位置合わせユニット１１０は、ガラス基板搬送装置２０によって搬送されるガラス基板１０にキズが付くことを抑制することができる。

（４）変形例
（４−１）変形例Ａ
本実施形態では、搬送ローラ２２の位置合わせコロ４６は、３種類の異なる長さのブラシ４６ｂを有している。しかし、位置合わせコロ４６は、複数種類の異なる長さのブラシ４６ｂを有していればよく、例えば、図１１に示されるように、５種類の異なる長さのブラシ４６ｂを有していてもよい。

ガラス基板搬送装置２０は、ガラス基板１０に反りが発生していない状態で、ガラス基板１０を搬送することが好ましい。そして、ガラス基板１０の幅方向の反りを抑えるためには、搬送ローラ２２のコロ２６のブラシ２６ｂに支持されているガラス基板１０の高さ位置が、ガラス基板１０の幅方向に沿って可能な限り均一であることが好ましい。しかし、ブラシ２６ｂに支持されているガラス基板１０の高さ位置は、通常コロ３６のブラシ３６ｂの変形の度合いに応じて変化する。ブラシ３６ｂの変形の度合いは、ガラス基板１０の重量、および、ブラシ３６ｂの経年変化等に起因して様々に変化する。従って、位置合わせコロ４６は、通常コロ３６のブラシ３６ｂに支持されているガラス基板１０の高さ位置に応じて、適切な高さ位置でガラス基板１０を支持できることが好ましい。そのため、位置合わせコロ４６は、より多くの種類の異なる長さのブラシ４６ｂを有することが好ましい。しかし、位置合わせコロ４６のブラシ４６ｂの長さの種類が多いほど、より少ない数のブラシ４６ｂの線状部材によってガラス基板１０を支持する必要がある。そのため、位置合わせコロ４６のブラシ４６ｂは、通常コロ３６のブラシ３６ｂと比べて、変形しやすい。従って、位置合わせコロ４６のブラシ４６ｂは、通常コロ３６のブラシ３６ｂと比べて、より太い径の線状部材からなるか、より硬い素材の線状部材からなることが好ましい。

（４−２）変形例Ｂ
本実施形態では、搬送ローラ２２のコロ２６の外周面には、複数のブラシ２６ｂが取り付けられている。ブラシ２６ｂの先端面と接触するガラス基板１０の表面積を抑えてガラス基板１０に付着する異物の量を低減するためには、コロ２６のブラシ２６ｂは少ないほど好ましい。しかし、コロ２６のブラシ２６ｂが少ないほど、ガラス基板１０の搬送方向の先端部は、搬送時にコロ２６の基部２６ａの外周面に接触しやすくなる。これにより、ガラス基板１０の先端部が破壊されるおそれがある。従って、搬送ローラ２２のコロ２６は、ガラス基板１０が基部２６ａに接触しない程度の数のブラシ２６ｂを有することが好ましい。

（４−３）変形例Ｃ
本実施形態では、搬送ローラ２２の位置合わせコロ４６は、ガラス基板１０の幅方向の移動を制限する位置合わせブラシ４６ｂ１を有している。位置合わせブラシ４６ｂ１は、通常コロ３６のブラシ３６ｂの復元力によって、ガラス基板１０の端面からガラス基板１０の幅方向の力を受ける。そのため、位置合わせブラシ４６ｂ１は、ガラス基板１０から受ける力によって変形しにくいことが好ましい。本実施形態では、ブラシ２６ｂの線状部材の径は０．１ｍｍであるが、位置合わせブラシ４６ｂ１の線状部材の径は０．２ｍｍであってもよい。

（４−４）変形例Ｄ
本実施形態では、各搬送ローラ２２は、１つの位置合わせコロ４６を有しているが、複数の位置合わせコロ４６を有してもよい。本変形例では、位置合わせユニット１１０は、ガラス基板１０の幅方向の大きさに応じて、ガラス基板１０の幅方向の移動の制限に使用される位置合わせコロ４６を変更することができる。従って、このような位置合わせユニット１１０は、複数種類の大きさのガラス基板１０に対応することができる。なお、本変形例では、搬送ローラ２２のローラ軸２４に取り付けられる位置合わせコロ４６の位置は、ガラス基板１０の大きさに応じて適切に設定される必要がある。

１０ ガラス基板
２２ 搬送ローラ
２４ ローラ軸（回転軸）
２６ コロ（支持部）
２６ａ 基部
２６ｂ ブラシ
４６ 位置合わせコロ（位置合わせ支持部）

特開２００８−６３１４４号公報 特開２００８−２７３６８７号公報

Claims (4)

1. ガラス基板の一方の面が上向きになっている状態で、前記ガラス基板を水平方向に搬送するためのガラス基板の搬送方法であって、
   前記ガラス基板は、複数の搬送ローラによって搬送され、
   前記搬送ローラは、回転軸と、前記回転軸に固定され、前記ガラス基板の他方の面において前記ガラス基板を支持し、前記回転軸の回転によって回転して前記ガラス基板を搬送する複数の支持部とを有し、
   前記支持部は、前記回転軸に取り付けられる基部と、前記基部の外周面から前記回転軸に直交する方向に突出するように前記基部の外周面に取り付けられ、前記ガラス基板を支持するブラシとを有し、
   それぞれの前記搬送ローラにおいて、少なくとも一つの前記支持部は、互いに異なる長さを有する複数の前記ブラシを有し、かつ、前記回転軸に直交する方向に沿って取り付けられる前記ブラシは同じ長さを有する、位置合わせ支持部であり、
   それぞれの前記搬送ローラにおいて、少なくとも一つの前記位置合わせ支持部は、前記回転軸に沿った方向における前記ガラス基板の端部を支持し、かつ、前記回転軸に沿った方向における前記ガラス基板の移動を制限する、
   ガラス基板の搬送方法。
2. 前記ガラス基板は、前記搬送ローラによって搬送されている間に、位置合わせユニットによって、前記回転軸に沿った方向における前記ガラス基板の端部に力が加えられて位置合わせされ、
   前記位置合わせ支持部は、前記位置合わせユニットによって力が加えられる前記ガラス基板の端部に最も近い前記支持部であり、かつ、前記位置合わせユニットによって力が加えられる前記ガラス基板の端部に近いほど、長い前記ブラシを有する、
   請求項１に記載のガラス基板の搬送方法。
3. それぞれの前記搬送ローラにおいて、前記位置合わせ支持部の前記ブラシの最大の長さは、前記位置合わせ支持部以外の前記支持部の前記ブラシの長さと同じである、
   請求項２に記載のガラス基板の搬送方法。
4. ガラス基板の一方の面が上向きになっている状態で、前記ガラス基板を水平方向に搬送するガラス基板の搬送装置であって、
   前記ガラス基板を搬送する複数の搬送ローラを備え、
   前記搬送ローラは、回転軸と、前記回転軸に固定され、前記ガラス基板の他方の面において前記ガラス基板を支持し、前記回転軸の回転によって回転して前記ガラス基板を搬送する複数の支持部とを有し、
   前記支持部は、前記回転軸に取り付けられる基部と、前記基部の外周面から前記回転軸に直交する方向に突出するように前記基部の外周面に取り付けられ、前記ガラス基板を支持するブラシとを有し、
   それぞれの前記搬送ローラにおいて、少なくとも一つの前記支持部は、互いに異なる長さを有する複数の前記ブラシを有し、かつ、前記回転軸に直交する方向に沿って取り付けられる前記ブラシは同じ長さを有する、位置合わせ支持部であり、
   それぞれの前記搬送ローラにおいて、少なくとも一つの前記位置合わせ支持部は、前記回転軸に沿った方向における前記ガラス基板の端部を支持し、かつ、前記回転軸に沿った方向における前記ガラス基板の移動を制限する、
   ガラス基板の搬送装置。

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