KR20100107692A - 소형 평판 패널용 세정 장치 - Google Patents

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KR20100107692A
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KR1020090025919A
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김정호
김규환
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삼성모바일디스플레이주식회사
에이치아이티 주식회사
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Abstract

소형 평판 패널용 세정 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치는, 평판 패널을 로딩(loading)하기 위한 평판 패널 로딩 수단; 상기 평판 패널 로딩부를 통해 로딩된 평판 패널을 진공 흡착 방식에 의해 반송하기 위한 상부 진공 컨베이어(Upper Vacuum Conveyer); 상기 상부 진공 컨베이어의 상부에 형성되어, 상기 상부 진공 컨베이어를 통해 반송되는 평판 패널의 상면을 세정하기 위한 상부 세정 수단; 상기 평판 패널의 상면 세정 후, 상기 상부 진공 컨베이어로부터 이송된 상기 평판 패널을 진공 흡착 방식에 의해 반송하기 위한 하부 진공 컨베이어(Lower Vacuum Conveyer); 상기 하부 진공 컨베이어의 하부에 형성되어, 상기 하부 진공 컨베이어를 통해 반송되는 평판 패널의 하면을 세정하기 위한 하부 세정 수단; 상기 하부 세정 수단에 의해 하면 세정 공정이 완료된 평판 패널의 세정 잔여물 제거 및 건조 공정의 수행을 위한 린스 및 건조 수단; 및 상기 린스 및 건조 수단을 통해 세정 공정이 완료된 평판 패널을 언로딩(unloading)하기 위한 평판 패널 언로딩 수단을 포함한다.
소형 평판 패널, 진공 흡착, 양면 연속 세정, 클린 벨트 유닛

Description

소형 평판 패널용 세정 장치{Apparatus for cleaning small size flat panel}
본 발명은 소형 평판 패널용 세정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 간편하고 신속하며, 보다 향상된 세정 기능을 제공할 수 있도록 개발된 소형 평판 패널용 세정 장치에 관한 것이다.
최근에는, 고품위(high definition) TV 등의 새로운 첨단 영상 기기가 개발됨에 따라, 브라운관(CRT)을 대신하여 평판 패널 표시장치에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 일반적으로, 평판 패널 표시장치는 다양한 영상들을 시각적으로 표시하는 장치로서 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), PDP(plasma display panel) 장치, ELD(electro luminescence display) 등을 포함한다.
특히, 평판 패널 표시장치는 얇고 가벼우며, 낮은 구동전압 및 낮은 소비전력을 갖는 장점이 있어, 산업 전반에 걸쳐 광범위하게 사용되고 있다.
이러한 평판 패널 표시장치는 다양한 공정, 예를 들어, 증착 공정, 식각 공 정, 패터닝 공정 등의 진행을 통해 제조되며, 이에 각각의 공정들이 종료된 경우, 각 공정에서 사용되는 약액 및 불순물 등을 제거하기 위한 세정 공정이 요구된다.
이와 같은 평판 패널 표시장치는 적용 분야에 따라 다양한 사이즈를 갖게 되는데, 최근 사용이 급증하고 있는 개인 휴대 단말기용 디스플레이 수단 등에 적용하기 위한 소형(약 7” 이하) 평판 패널의 경우, 이물질 및 입자 등의 제거를 위해 종래에는 브러쉬, 롤러 및 나이프(knife) 등을 주로 사용하였다.
하지만, 이와 같은 세정 기구들을 적용하는 경우 반송과 동시에 세정 공정을 수행하기에 어려움이 있다는 문제점이 있다.
즉, 일측면에 대한 세정 후 뒤집어서 반대면을 세정할 수밖에 없는 공정의 특성상 처리 속도 및 처리량의 저하, 잦은 에러 발생과 이 경우 지속적으로 인력이 투입되어야 한다는 등의 단점을 갖는다.
따라서, 공정의 처리 속도 및 처리량을 증가시키는 한편, 인력 투입의 최소화에 따른 공정 비용 절감 등을 달성할 수 있도록 하기 위한 새로운 세정 장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 간편하고 신속하며, 보다 향상된 세정 기능을 제공할 수 있도록 개발된 소형 평판 패널용 세정 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치는, 평판 패널을 로딩(loading)하기 위한 평판 패널 로딩 수단; 상기 평판 패널 로딩부를 통해 로딩된 평판 패널을 진공 흡착 방식에 의해 반송하기 위한 상부 진공 컨베이어(Upper Vacuum Conveyer); 상기 상부 진공 컨베이어의 상부에 형성되어, 상기 상부 진공 컨베이어를 통해 반송되는 평판 패널의 상면을 세정하기 위한 상부 세정 수단; 상기 평판 패널의 상면 세정 후, 상기 상부 진공 컨베이어로부터 이송된 상기 평판 패널을 진공 흡착 방식에 의해 반송하기 위한 하부 진공 컨베이어(Lower Vacuum Conveyer); 상기 하부 진공 컨베이어의 하부에 형성되어, 상기 하부 진공 컨베이어를 통해 반송되는 평판 패널의 하면을 세정하기 위한 하부 세정 수단; 상기 하부 세정 수단에 의해 하면 세정 공정이 완료된 평판 패널의 세정 잔여물 제거 및 건조 공정의 수행을 위한 린스 및 건조 수단; 및 상기 린스 및 건조 수단을 통해 세정 공정이 완료된 평판 패널을 언로딩(unloading)하기 위한 평판 패널 언로딩 수단을 포함한다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치는, 로딩된 평판 패널을 세정하는 소형 평판 패널용 세정 장치에 있어서, 상기 평판 패널의 제1 면을 세정할 수 있도록 상기 평판 패널의 제2 면을 진공 흡착하여 상기 평판 패널을 반송하는 상부 진공 컨베이어; 및 상기 평판 패널의 제1 면 세정 후, 상기 상부 진공 컨베이어로부터 상기평판 패널이 이송되어 상기 평판 패널의 제2 면이 세정 가능하도록 상기 평판 패널의 제1 면을 진공 흡착하여 상기 평판 패널을 반송하는 하부 진공 컨베이어를 포함한다.
여기서, 상기 본 발명의 일 실시예에 따른 소형 평판 패널의 세정 장치에 구비되는 상기 상부 세정 수단 및 상기 하부 세정 수단은, 상기 평판 패널의 반송 방향에 대한 수직방향으로 회전 동작함으로써, 상기 평판 패널과의 마찰에 의해 평판 패널 표면의 이물질 제거 기능을 수행하기 위한 클린 벨트(clean belt)를 구비하는 클린 벨트 유닛에 의해 구성될 수 있다.
이때, 상기 상부 진공 컨베이어 및 상기 하부 진공 컨베이어는 각각 컨베이어의 하단 및 상단으로 진공펌프 또는 블로워(blower)를 통해 흡입되는 공기의 압력차를 이용하여 평판 패널을 흡착하도록 구성되는 것이 바람직할 수 있으며, 이 경우, 상기 상부 진공 컨베이어 및 상기 하부 진공 컨베이어의 컨베이어 벨트에는 상기 진공펌프 또는 블로워를 통해 이루어지는 공기의 흡입을 위한 정공 또는 타공이 엇갈린 형상, 사선 또는 유선의 형태로 형성될 수 있다.
한편, 상기 클린 벨트 유닛은 벨트 구동부 및 높이 조절부를 구비할 수 있는데, 상기 벨트 구동부는, 상기 클린 벨트의 구동을 위한 구동 롤러, 상기 구동 롤러의 동작을 제어하기 위한 서보모터 및 상기 구동 롤러에 의해 구동되는 클린 벨트의 장력(tension)을 유지하기 위한 장력 조절 롤러 등을 포함하도록 구성 가능하다.
상기 클린 벨트 유닛은, 상기 반송되는 평판 패널과 상기 클린 벨트 사이의 일정 간격 유지를 위한 PVA 바(bar)를 구비할 수 있는데, 이와 같은 상기 PVA 바는, 상기 클린 벨트와 벨트 지지체 사이에 형성될 수 있다.
또한, 상기 클린 벨트 유닛은, 상기 클린 벨트의 회전에 의해 발생되는 마찰열의 감소를 위한 폴리이미드 재질의 필름을 구비할 수 있으며, 이러한 상기 폴리이미드 재질의 필름은 상기 클린 벨트와 상기 PVA 바 사이에 형성될 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명의 소형 평판 패널용 세정 장치에 따르면, 진공 흡착에 의해 평판 패널의 반송을 수행하도록 함으로써, 세정 과정 중 평판 패널을 뒤집기 위한 공정이 불필요하게 되었다.
이에 따라, 평판 패널의 반송 과정 중 평판 패널의 양면에 대한 연속 세정 공정의 진행이 가능하게 됨으로써, 세정 공정 시간의 단축 및 처리량 증가 등의 장 점을 제공할 수 있다는 효과가 있으며, 나아가, 평판 패널의 양면 동시 세정에 대한 개념적 근거를 제공한다는 등의 효과가 있다.
또한, 평판 패널의 고정 및 뒤집기 공정의 잦은 에러 발생시 요구되던 인력 투입 등의 문제를 해소할 수 있게 됨으로써, 공정 효율성 증가 및 공정 비용 감소 등의 장점을 제공할 수 있게 되었다는 효과도 있다.
아울러, 개선된 구조를 갖는 컨베이어 벨트 및 클린 벨트(clean belt)를 이용한 세정 공정의 수행을 통해 세정 기능의 개선을 이룰 수 있게 되었다는 등의 부가적인 효과도 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 설명도이고, 도 2a는 도 1에 도시된 소형 평판 패널용 세정 장치의 실시예에 따른 보다 세부적인 구성을 설명하기 위한 구성도이다.
도 1 및 도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치는, 평판 패널 로딩 수단(110), 상부 진공 컨베이어(120), 상부 세정 수단(130), 하부 진공 컨베이어(140), 하부 세정 수단(150), 린스부(160), 건조부(170) 및 언로딩 수단(180) 등을 포함하여 구성됨을 알 수 있다.
평판 패널 로딩 수단(110)을 통해 세정을 위한 평판 패널이 로딩되면, 평판 패널은 먼저 상부 진공 컨베이어(120)를 따라 반송이 이루어지게 된다.
상부 진공 컨베이어(120)는, 진공 흡착 방식에 의해 세정을 위한 평판 패널을 지지 반송하게 되는데, 이를 위해 상부 진공 컨베이어(120)에 구비되는 컨베이어 벨트에는, 별도로 구비된 진공펌프나 블로워(blower)에 의한 원활한 공기의 흡입이 이루어질 수 있도록 하기 위한 다양한 형태의 정공 또는 타공 등이 형성될 수 있다. 즉, 평판 패널이 상부 진공 컨베이어(120) 상을 이동하는 동안, 진공펌프나 블로워는 평판 패널의 하부면이 컨베이어 벨트와 밀착된 채 반송이 이루어질 수 있도록 공기 흡입을 수행하게 되며, 이와 같은 공기의 흡입은 컨베이어 벨트 상에 형 성된 정공 또는 타공을 통해 이루어지게 되는 것이다. 이에 따라 컨베이어 벨트의 하단으로 공기가 흡입, 유출됨으로써 컨베이어 벨트 상하면에 발생되는 압력차에 의해 안정적인 평판 패널의 흡착이 가능할 수 있는 것이다.
정공 또는 타공이 형성되는 컨베이어 벨트의 구성에 대한 보다 자세한 사항은 추후 별도의 도면을 통해 설명하도록 한다.
상부 진공 컨베이어(120)의 상부에는, 상부 진공 컨베이어(120)를 통해 반송되는 평판 패널의 상면을 세정하기 위한 상부 세정 수단(130)이 구비된다.
상부 세정 수단(130)은 컨베이어 벨트를 통해 하부면이 밀착된 채 반송되는 평판 패널의 상부면에 대한 이물질 제거 등의 세정 공정을 수행하기 위한 장치로써, 통상의 다양한 세정 기구를 통해 구성 가능하지만, 본 발명의 실시예에 있어서는 클린 벨트(clean belt)를 구비하는 클린 벨트 유닛에 의해 상부 세정 수단(130)의 구성이 이루어지는 것이 가장 바람직할 수 있다.
클린 벨트는 평판 패널의 반송 방향에 대한 수직 방향으로 회전하며, 이때 발생되는 마찰력에 의해 평판 패널 표면의 이물질 등을 제거하게 된다.
이러한 클린 벨트 유닛은 벨트 구동부 및 높이 조절부 등으로 구성될 수 있으며, 또한 벨트 구동부는, 클린 벨트의 구동을 위한 구동 롤러, 동 롤러의 동작을 제어하기 위한 서보모터 및 구동 롤러에 의해 구동되는 클린 벨트의 장력(tension)을 유지하기 위한 장력 조절 롤러 등으로 구성될 수 있는데, 이에 대한 보다 상세한 구성은 추후 별도의 도면을 통해 설명하도록 하겠다.
상부 세정 수단(130)에 의해 상면 세정 공정이 완료된 평판 패널은, 진공펌프나 블로워에 의해 평판 패널의 상부면이 컨베이어 벨트와 밀착된 채 반송이 이루어질 수 있도록 공기 흡입이 수행되는 하부 진공 컨베이어(140)로 유입된다. 이때 상부 진공 컨베이어(120)는 하부 진공 컨베이어(140)와 대향하는 특정 영역에서 공기 흡입이 이루어지지 않는다. 이는 평판 패널이 상부 진공 컨베이어(120)에서 하부 진공 컨베이어(140)측으로 용이하게 이송될 수 있도록 하기 위함이다. 이에, 특정 영역에는 진공 플레이트를 설치하지 않는 것이 바람직하다.
하부 진공 컨베이어(140)는 앞서 설명한 상부 진공 컨베이어(120)와 마찬가지로, 컨베이어 벨트의 상하면에서 발생되는 압력차를 이용해 평판 패널을 안정적으로 지지 반송하게 되는데, 단, 평판 패널의 하부면 세정을 위해 상부면이 컨베이어와 밀착되도록 한다는 점이 상부 진공 컨베이어(120)와 상이하다.
평판 패널이 하부 진공 컨베이어(140)를 통과하는 동안 하부 진공 컨베이어(140)의 하부에 형성된 하부 세정 수단(150)을 통해 평판 패널의 하부에 대한 세정 공정이 이루어지게 되며, 이때에도 하부 세정 수단(150)으로는 클린 벨트를 구비하는 클린 벨트 유닛이 적용되는 것이 가장 바람직할 수 있다.
하부 진공 컨베이어(140)에 구비되는 컨베이어 벨트 및 하부 세정 수단으로 적용 가능한 클린 벨트 유닛에 대한 보다 상세한 구성은 추후 별도의 도면을 통해 설명하도록 한다.
이상의 과정을 통해 평판 패널의 상부 및 하부에 대한 세정 공정이 모두 완료되면, 평판 패널은 린스부(160)를 통한 세정 잔여물 제거 공정과 건조부(170)를 통한 건조 공정에 의해 모든 세정 공정을 마무리 짓게 되며, 이후 평판 패널이 언로딩(unloading) 수단(180)을 통해 외부로 반송됨으로써 전체 공정이 완료된다.
이때, 도 1 및 도 2a에 도시된 본 발명의 실시예에 있어서는, 평판 패널의 상부 세정 공정 수행 후 하부 세정 공정이 수행되는 경우에 대해서만 나타내었지만, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 경우에 따라서는 평판 패널의 하부 세정 공정이 먼저 수행되고 이어서 상부 세정 공정이 이루어지도록 세정 장치의 배치가 이루어질 수 있음은 당업자에 있어 자명할 것이다.
여기서, 자세히 설명하지는 않았지만, 상부 세정 공정 및 하부 세정 공정의 수행 후 각각 디아이(DI) 샤워 등을 통한 잔유물 제거 공정이 추가로 이루어질 수 있음은 당연하다.
한편, 도 2b와 도 2c는 도 1에 있어, 소형 평판 패널용 세정 장치의 다른 실시예에 따른 세부적인 구성을 설명하기 위한 구성도이다.
도 2b와 도 2c를 참조하면, 도 2b와 같이 상부 진공 컨베이어 벨트와 하부 진공 컨베이어 벨트 사이에 장력 조절용 롤러(roller)(200)를 삽입한 후, 에어 실린더(cylinder)가 장력 조절용 롤러(200)를 상하 직선운동 하도록 제어함으로써, 상부, 하부 진공 컨베이어 벨트의 일정 장력을 유지한다. 여기서 에어 실린더외에 모터 등을 통해서도 장력 조절용 롤러(200)의 제어가 가능함은 자명한 사항이다.
또한 도 2c와 같이 상부, 하부 진공 컨베이어(120, 140)의 좌우측에 구비되는 구동 롤러(121, 123, 151, 153) 중 어느 하나의 구동 롤러(121, 123, 151, 153)에 장력 조절부(125)를 추가 형성하여 상부, 하부 진공 컨베이어 벨트의 일정 장력을 유지한다. 이때 장력 조절부(125)는 좌우 직선운동에 의해 상부, 하부 진공 컨베이어 벨트의 일정 장력을 유지시킨다.
여기서, 장력 조절부(125)는 상부 진공 컨베이어(120)와 하부 진공 컨베이어(140)의 좌우측의 구동 롤러(121, 153) 모두에 추가 형성되어도 무방하다.
이러한 장력 조절용 롤러(200)와 장력 조절부(125)는 상부 진공 컨베이어 벨트와 하부 진공 컨베이어 벨트의 장력을 가변시켜 일정 장력이 되도록 유지시킨다.
도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 상부 진공 컨베이어 및 상기 하부 진공 컨베이어의 구성을 나타낸 설명도이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 상부 진공 컨베이어 및 하부 진공 컨베이어는, 컨베이어 벨트(310), 컨베이어 벨트의 구동을 위한 구동 롤러(320), 평판 패널의 흡착을 위한 공기 흡입을 수행하는 흡입 챔버(330) 및 공기 배출부(340) 등으로 구성됨을 알 수 있다.
즉, 컨베이어 벨트(310)의 양단에는 구동 롤러(320)가 구비되며, 이의 회전에 의해 컨베이어 벨트(310)가 구동됨에 따라 컨베이어 벨트 상에 위치되는 평판 패널의 이동이 이루어질 수 있게 되는 것이다.
이때, 상부 진공 컨베이어의 하부 및 하부 진공 컨베이어의 상부에는 각각 흡입 챔버(330)가 형성되어 컨베이어 벨트(310) 상을 이동하는 평판 패널에 대한 흡착 기능을 수행함으로써, 별도의 고정 수단 없이 평판 패널이 세정 공정 중 안정적으로 컨베이어 벨트 상에 지지될 수 있도록 한다.
진공펌프나 블로워 등과 연결됨으로써 구성 가능한 흡입 챔버(330)는, 컨베이어 라인 상에 일정 간격으로 다수개 형성되는 것이 보다 바람직할 수 있다.
한편, 공기 배출구(340)는 평판 패널을 언로딩 하기 위한 것으로, 흡착된 평판 패널이 상부 진공 컨베이어 또는 하부 진공 컨베이어로부터 용이하게 이탈될 수 있도록 한다. 바람직하게, 본 발명의 일실시예에서는 하부 진공 컨베이어에 공기 배출구(340)를 구비 한다.
상부 진공 컨베이어의 하부 및 하부 진공 컨베이어에 구비되는 컨베이어 벨트의 세부 구성에 대해서는 첨부된 도면을 통해 후술하도록 한다.
한편, 세정중인 평판 패널은 물에 의해 평판과 컨베이어 벨트 사이의 표면 장력이 발생하여 상부 컨베이어 벨트에서 하부 컨베이어 벨트로 이송이 원활하지 않은 경우가 발생할 수 있다. 이에, 대한 보완책으로 컨베이어 벨트의 정공 또는 타공의 크기는 진공 플레이트상의 정공 또는 타공의 크기와 같거나 크게 하고, 개수는 진공 플레이트상의 정공 또는 타공의 개수와 같거나 작게 한다.
또한 다른 보완책으로 상부 컨베이어 벨트 끝단에 이송 보조기를 구비한다. 이에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3c는 본 발명의 실시예에 따라 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 이송 보조기를 설명하기 위한 예시도이다.
도 3c를 참조하면, 이송 보조기(420)는 평판 패널의 상부면의 세정완료 후에 평판 패널과 상부 컨베이어 벨트(410) 사이에 표면장력이 발생하여 상부 컨베이어 벨트(410)와 더욱 밀착된 평판 패널로 에어(air)를 분사한다. 여기서 이송 보조기(420)는 평면구조 뿐만 아니라, 슬리트(slit) 형 및 에어 홀 형 중 적어도 하나의 구조로 이루어진다. 즉, 슬리트 형의 구조일 수 있고, 에어 홀 형 구조일 수 있으며, 슬리트와 에어 홀 형이 조합된 구조일 수도 있다.
또한 진공력에 의해 진공 플레이트와 컨베이어 벨트(410 혹은 430) 사이의 흡착 발생시, 컨베이어 벨트 회전이 불규칙해지거나 소음 발생등의 문제가 발생할 수 있으므로, 도 3d의 (a)와 (b)에 도시된 바와 같이 진공 플레이트에 접하는 벨트면에 홈(groove)을 구비함으로써, 공기의 유동이 원활해져 컨베이어 벨트의 회전력을 개선한다.
즉, 컨베이어 벨트에 형성된 전공 또는 타공 사이로 벨트 회전 방향에 따라 홈(예컨대, U, V자 형태의 다양한 형태의 홈)을 형성한다. 이때 홈은 컨베이어 벨트에 형성된 전공 또는 타공과 겹치지 않게 생성되므로, 진공에는 영향을 주지 않을 뿐만 아니라, 컨베이어 벨트의 표면적을 줄이고, 공기의 흐름 통로를 형성하므로 컨베이어 벨트와 진공 플레이트상의 흡착력을 감소시켜 컨베이어 벨트의 회전력을 개선시킨다. 이러한 컨베이어 벨트의 회전력과 관련하여 형성되는 홈을 진공 플레이트에도 적용가능하며, 컨베이어 벨트의 회전력을 개선시킬 수 있다.
도 4는 도 3a 및 도 3b에 도시된 상부 진공 컨베이어 및 하부 진공 컨베이어 에 구비되는 컨베이어 벨트의 구성을 나타낸 설명도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 컨베이어 벨트(310)는, 벨트부(312) 및 서스(SUS)판(314) 등으로 구성됨을 알 수 있다.
평판 패널과 실질적으로 접촉하여 이의 이송을 담당하는 벨트부(312)는, 통상의 컨베이어 벨트와 마찬가지로 고무 등의 재질로 형성 가능하며, 일정 간격으로 정공 또는 타공이 형성될 수 있다.
이때, 앞서 설명한 바와 같이 컨베이어 벨트에 형성된 정공 또는 타공으로는, 별도로 구비된 흡입 챔버를 통한 지속적인 공기의 흡입이 이루어짐에 따라 평판 패널의 흡착 고정이 가능하게 된다.
컨베이어 벨트는 연속 회전운동을 하므로 컨베이어 벨트의 정공(타공)은 공기를 연속적으로 흡입할 수 없는데, 이와 같은 컨베이어 벨트의 하단부에는 간격이 조밀한 정공 또는 타공이 엇갈린 형상이나, 사선 또는 유선 등의 형태의 홀(hole)이 형성된 SUS판(314)이 구비됨으로 인해, 컨베이어 벨트가 다음 SUS 판의 정공(또는 타공) 위치로 움직여도 SUS판의 다른 정공(또는 타공)에서 공기를 흡입하게 된다. 따라서, 컨베이어 벨트의 정공은 모든 구간에서 흡입과 비흡입이 반복되기 때문에 평판 패널을 하부로 이동시키더라도 이에 대한 안정적인 고정이 이루어질 수 있게 되는 것이다.
흡입 챔버는 일정한 간격으로 복수개 구비되는 것이 바람직할 수 있으며, 이는 진공펌프 등의 공기 흡입 수단과 직렬 또는 병렬로 연결되는 구성을 갖게 된다.
SUS판의 정공은 컨베이어 벨트 쪽으로 가스 유입 브랜치(branch)와 연결되고, 반대쪽으로 흡입 챔버와 연결되어 가스 흐름 통로의 역할을 하게 되며, 컨베이어 벨트의 정공 및 SUS판의 정공과 연결된 브랜치가 일치하는 곳에서 공기 흡입이 이루어지게 된다.
한편, 컨베이어 벨트와 평판 패널 사이에 물(DI WATER) 등이 묻어있거나, 컨베이어 벨트 상에서 공기 흡입만이 이루어질 때에는 초기 공기 흡입에 의해 평판 패널이 컨베이어 벨트와 단단한 흡착이 발생하게 된다. 이 경우, 평판 패널이 배출단에서 이탈되지 못하고 배출측 구동 롤러를 따라 위로 회전하게 되는 경우가 발생한다.
이러한 단점을 보완하기 위해, 본 발명의 실시예에 있어서는 배출측 구동 롤러의 앞단에 공기 배출부를 형성시킴으로써, 어떠한 경우라도 평판 패널이 구동 롤러를 따라 계속하여 회전하지 않을 수 있도록 하였음을 도면을 통해 확인할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 도 1에 도시된 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 클린 벨트 유닛의 구성을 나타낸 설명도이다.
도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 클린 벨트 유닛(500)은 벨트 구동부(510) 및 높이 조절부(520) 등으로 구성된다.
평판 패널은 그 사이즈 별로 그 두께(높이)에 미세한 차이가 있으므로, 마이크로 단위의 정밀 세정 공정에서는 이와 같은 평판 패널의 두께에 따라 벨트 구동부가 상하로 이동 가능하도록 구성되는 것이 필수적이다.
이에 따라, 높이 조절부(520) 등을 통한 벨트 구동부(510)의 높이 조절이 가능한 것이 좋은데, 이러한 높이 조절부(520)는 자동 또는 수동 방식이나 이의 겸용 방식에 의해 작동되는 통상의 경우와 동일하게 동작한다.
즉, 수동 방식일 경우 서보모터(530) 등의 동력 수단의 구동은 불필요하며, 단지 사용자에 의해 직접 조종 가능한 높이 조절용 핸들(540) 등이 사용될 수 있다.
이와 같은 높이 조절용 핸들(540)을 사용자가 직접 조종함으로써 벨트 구동부의 높이 조절을 수행하며, 이 경우 게이지(550)의 눈금 등을 통해 사용자가 이의 이동 거리를 쉽게 파악하도록 하는 등이 구성을 가질 수 있음은 당업자에 있어 자명할 것이다.
반면에 자동 방식의 경우에는, 입력부를 통해 사용자가 특정 수치를 입력하면 이에 대응되도록 벨트 구동부가 구동하게 된다. 이때 벨트 구동부에는 구동용 서보모터(530) 등이 별도로 구비될 수 있으며, 이의 구동을 통해 높이 조절 기능을 수행할 수 있다.
한편, 도면에 도시된 바와 같이, 벨트 구동부에는 클린 벨트의 구동 및 이의 장력 조절을 위한 4개의 롤러가 구비될 수 있다.
구동 롤러(512)는 서보모터의 구동에 의해 클린 벨트의 구동과 멈춤을 제어하는 기능을 수행하게 되며, 장력 조절 롤러(514)는 클린 벨트가 적당한 장력(tension)을 유지함으로써 장비로부터 이탈하지 않을 수 있도록 하는 기능을 수행한다.
하지만, 전술한 바와 같이, 도면을 통해 이상에서 설명한 클린 벨트 유닛의 구성은 본 발명의 실시예에 적용 가능한 일 예일 뿐이며, 본 발명의 소형 평판 패널용 세정 장치에 통상의 어떠한 구성을 갖는 클린 벨트 유닛도 적용 가능할 수 있음은 당업자에 있어 자명할 것이다.
여기서, 본 발명의 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 클린 벨트 유닛의 클린 벨트는, 클린 벨트와 벨트 지지체 사이에 형성됨으로써 컨베이어 벨트를 통해 반송되는 평판 패널과 클린 벨트 사이 간격을 일정하게 유지시키기 위한 PVA 바(bar)를 구비할 수 있다.
다시 말해, PVA 바는 평판 패널의 도입 시 클린 벨트 방향으로 일정하게 압력을 가하도록 동작함으로써, 도면에 도시된 바와 같이, 클린 벨트가 볼록한 형태를 가지게 되어, 결국, 평판 패널의 도입 과정에서 평판 패널의 모서리와 클린 벨트의 끝단과의 충돌을 방지 할 수 있도록 하는 등의 기능을 수행한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 클린 벨트 유닛의 클린 벨트에는, 클린 벨트와 PVA 바 사이에 형성되어 클린 벨트의 회전에 의해 발생되는 마찰열을 감소시키기 위한 폴리이미드 재질의 필름이 구비될 수 있다. 종래의 클린 벨트 유닛에 구비되는 클린 벨트의 경우 회전에 의한 마찰열 발생으로 인해 심한 경우 클린 벨트가 끊어지는 등의 문제점이 있었는데, 본 발명의 실시예에 나타낸 바와 같이 클린 벨트와 PVA 바 사이에 폴리이미드 필름을 형성시킴으로써, 이러한 문제점을 해결할 수 있도록 한 것이다.
이상 도면을 통해 설명한 본 발명의 실시예에 있어서는, 평판 패널의 상부 세정 공정 수행 후 하부 세정 공정이 수행되는 경우에 대해서만 나타내었지만, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 경우에 따라서는 평판 패널의 하부 세정 공정이 먼저 수행되고 이어서 상부 세정 공정이 이루어지도록 세정 장치의 배치가 이루어질 수 있으며, 아울러, 상부 세정 공정 및 하부 세정 공정 등 각각의 공정 수행 후 디아이(DI) 샤워 등을 통한 잔유물 제거 공정이 추가로 이루어질 수 있음 등에 대해서는 전술한 바 있다.
또한, 특별히 한정하지 아니하였지만, 지금까지 설명된 본 발명의 실시예에 언급된 평판 패널은 7인치 이하의 소형 평판 패널에 한정하여 이해되어도 무방하다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이 며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 소형 평판 패널용 세정 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 설명도이다.
도 2a는 도 1에 도시된 소형 평판 패널용 세정 장치의 실시예에 따른 세부적인 구성을 설명하기 위한 구성도이다.
도 2b와 도 2c는 도 1에 있어, 소형 평판 패널용 세정 장치의 다른 실시예에 따른 세부적인 구성을 설명하기 위한 구성도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 상부 진공 컨베이어 및 하부 진공 컨베이어의 구성을 나타낸 설명도이다.
도 3c는 본 발명의 실시예에 따라 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 이송 보조기를 설명하기 위한 예시도이다.
도 4는 도 3a 및 도 3b에 도시된 상부 진공 컨베이어 및 하부 진공 컨베이어에 구비되는 컨베이어 벨트의 구성을 나타낸 설명도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 1에 도시된 소형 평판 패널용 세정 장치에 구비되는 클린 벨트 유닛의 구성을 나타낸 설명도이다.
< 도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
110: 평판 패널 로딩 수단 120: 상부 진공 컨베이어
130: 상부 세정 수단 140: 하부 진공 컨베이어
150: 하부 세정 수단 160: 린스부
170: 건조부 180: 언로딩 수단

Claims (14)

  1. 평판 패널을 로딩(loading)하기 위한 평판 패널 로딩 수단;
    상기 평판 패널 로딩부를 통해 로딩된 평판 패널을 진공 흡착 방식에 의해 반송하기 위한 상부 진공 컨베이어(Upper Vacuum Conveyer);
    상기 상부 진공 컨베이어의 상부에 형성되어, 상기 상부 진공 컨베이어를 통해 반송되는 평판 패널의 상면을 세정하기 위한 상부 세정 수단;
    상기 평판 패널의 상면 세정 후, 상기 상부 진공 컨베이어로부터 이송된 상기 평판 패널을 진공 흡착 방식에 의해 반송하기 위한 하부 진공 컨베이어(Lower Vacuum Conveyer);
    상기 하부 진공 컨베이어의 하부에 형성되어, 상기 하부 진공 컨베이어를 통해 반송되는 평판 패널의 하면을 세정하기 위한 하부 세정 수단;
    상기 하부 세정 수단에 의해 하면 세정 공정이 완료된 평판 패널의 세정 잔여물 제거 및 건조 공정의 수행을 위한 린스 및 건조 수단; 및
    상기 린스 및 건조 수단을 통해 세정 공정이 완료된 평판 패널을 언로딩(unloading)하기 위한 평판 패널 언로딩 수단을 포함하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  2. 로딩된 평판 패널을 세정하는 소형 평판 패널용 세정 장치에 있어서,
    상기 평판 패널의 제1 면을 세정할 수 있도록 상기 평판 패널의 제2 면을 진공 흡착하여 상기 평판 패널을 반송하는 상부 진공 컨베이어; 및
    상기 평판 패널의 제1 면 세정 후, 상기 상부 진공 컨베이어로부터 상기평판 패널이 이송되어 상기 평판 패널의 제2 면이 세정 가능하도록 상기 평판 패널의 제1 면을 진공 흡착하여 상기 평판 패널을 반송하는 하부 진공 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 세정 수단 및 상기 하부 세정 수단은, 상기 평판 패널의 반송 방향에 대한 수직방향으로 회전 동작함으로써, 상기 평판 패널과의 마찰에 의해 평판 패널 표면의 이물질 제거 기능을 수행하기 위한 클린 벨트(clean belt)를 구비하는 클린 벨트 유닛에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 상부 진공 컨베이어 및 상기 하부 진공 컨베이어는 각각 컨베이어의 하단 및 상단으로 진공펌프 또는 블로워(blower)를 통해 흡입되는 공기의 압력차를 이용하여 평판 패널을 흡착하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 상부 진공 컨베이어 및 상기 하부 진공 컨베이어의 컨베이어 벨트와상기 컨베이어 벨트의 하측에 위치하는 진공 플레이트는 상기 진공펌프 또는 블로워를 통해 이루어지는 공기의 흡입을 위한 정공 또는 타공이 엇갈린 형상, 사선 또는 유선의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 클린 벨트 유닛은 벨트 구동부 및 높이 조절부를 구비하되,
    상기 벨트 구동부는, 상기 클린 벨트의 구동을 위한 구동 롤러;
    상기 구동 롤러의 동작을 제어하기 위한 서보모터; 및
    상기 구동 롤러에 의해 구동되는 클린 벨트의 장력(tension)을 유지하기 위한 장력 조절 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  7. 제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 상부 진공 컨베이어에서 상기 하부 진공 컨베이어로 상기 평판 패널 이송시, 상기 평판 패널로 에어(air)를 분사하는 이송보조기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 이송보조기는,
    슬리트(slit) 및 홀(hole) 구조 중 적어도 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  9. 제5 항에 있어서, 상기 진공 컨베이어 벨트는, 상기 진공 플레이트의 정공 또는 타공의 크기에 비해 크거나 같은 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  10. 제5 항에 있어서, 상기 컨베이어 벨트는, 상기 진공 플레이트의 정공 또는 타공의 개수에 비해 적거나 같은 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  11. 제5 항에 있어서, 상기 컨베이어 벨트는,
    상기 정공 또는 타공 사이에 특정 형상의 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  12. 제5 항에 있어서, 상기 진공 플레이트는,
    상기 정공 또는 타공 사이에 특정 형상의 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  13. 제11 항 또는 제12 항에 있어서, 상기 특정 형상은,
    U자 및 V자 형상 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
  14. 제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 상부 진공 컨베이어는,
    상기 평판 패널을 반송하는 컨베이어 벨트; 및
    상기 컨베이어 벨트위의 상기 평판 패널을 상기 진공흡입하는 진공 플레이트를 포함하되,
    상기 진공 플레이트는 상기 하부 진공 컨베이어와 대향하는 특정 영역에서 진공 흡착이 정지되는 것을 특징으로 하는 소형 평판 패널용 세정 장치.
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KR101358847B1 (ko) * 2012-02-21 2014-02-05 주식회사 에이유테크 연마패드 부하율 보정장치가 설치된 디스플레이용 패널세정장치
KR101382472B1 (ko) * 2014-01-27 2014-04-08 한동희 패널 세정장치
DE102020115623B4 (de) 2020-06-12 2022-01-05 Greenerity Gmbh Verfahren zur Bereitstellung einer gereinigten Gasdiffusionslage für elektrochemische Anwendungen
EP4231398A1 (de) * 2022-02-17 2023-08-23 Sonplas GmbH Vorrichtung und verfahren zum bearbeiten eines folienartigen elektrodenblattes

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