JP2016093801A - 乾式指紋洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
Description
100:本発明の一実施形態による乾式指紋洗浄装置
110:基板搬送部
120:超音波洗浄部
130:洗浄液洗浄部
140:プラズマ洗浄部
Claims (6)
- 被洗浄基板を一方の方向に搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送部の入口の上側に配設され、前記基板搬送部により搬送される被洗浄基板の上面を超音波を用いて洗浄する超音波洗浄部と、
前記超音波洗浄部に隣設され、前記被洗浄基板の上面を洗浄液が塗布されている洗浄タオルでこすって洗浄する洗浄液洗浄部と、
前記洗浄液洗浄部に隣設され、前記被洗浄基板の上面にプラズマを噴射して洗浄するプラズマ洗浄部と、
を備えることを特徴とする乾式指紋洗浄装置。 - 前記基板搬送部が、
前記基板搬送部の両側端部に配設される一対の回転ローラと、
多数の吸着孔が均一に形成され、前記一対の回転ローラに巻き取られた状態で無限軌道に沿って回動しながら前記被洗浄基板を水平に移動させるコンベヤと、
前記基板搬送部における前記洗浄液洗浄部の下側に配設され、前記コンベヤの下面を真空吸着して前記コンベヤの上面に載置された洗浄用基板の下面を吸着する真空吸着モジュールと、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の乾式指紋洗浄装置。 - 前記洗浄液洗浄部が、
前記真空吸着モジュールの上側に配設され、洗浄タオルを巻き取った状態で供給する洗浄タオル繰出ロールと、
前記洗浄タオル繰出ロールに隣設され、使用済みの洗浄タオルを巻き取って回収する洗浄タオル回収ロールと、
前記洗浄タオル繰出ロールと洗浄タオル回収ロールとの間に配設され、前記洗浄タオルを前記洗浄用基板の上面に向かって押し付けて前記洗浄タオルを前記洗浄用基板の上面に押し当てる加圧ローラと、
前記加圧ローラの前方に配設され、前記洗浄タオルに洗浄液を噴射する洗浄液噴射部と、
前記洗浄液洗浄部を前後方向に往復駆動させる往復駆動部と、
を備えることを特徴とする請求項2に記載の乾式指紋洗浄装置。 - 前記洗浄液が、
イソプロピルアルコール(IPA)であることを特徴とする請求項3に記載の乾式指紋洗浄装置。 - 前記加圧ローラが、
伸縮性を有する発泡シリコン材質からなることを特徴とする請求項3に記載の乾式指紋洗浄装置。 - 前記プラズマ洗浄部が、
常圧アルゴンプラズマ噴射装置であることを特徴とする請求項1に記載の乾式指紋洗浄装置。
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