WO2020012863A1 - ガラス板の製造方法およびガラス板の洗浄装置 - Google Patents

ガラス板の製造方法およびガラス板の洗浄装置 Download PDF

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薫 鑑継
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日本電気硝子株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0075—Cleaning of glass
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    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • B08B11/04—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a glass plate and an apparatus for cleaning a glass plate.
  • FPDs such as liquid crystal displays, plasma displays, and organic EL displays
  • a dense electric circuit is formed on the glass plate used as the substrate for the FPD in the manufacturing process of the FPD. Therefore, this type of glass plate is required to have high cleanliness without adhesion of dust and dirt.
  • the present invention which has been made in view of the above circumstances, has been developed in view of the fact that when cleaning the front and back surfaces of a glass plate in the process of manufacturing the glass plate, it is possible to sufficiently remove dirt while avoiding generation of scratches on the front and back surfaces. Challenges.
  • the present invention was devised to solve the above-described problems, the first cleaning member contacted to the surface of the glass plate and the second cleaning member contacted to the back surface, in a state sandwiching the glass plate in the thickness direction.
  • a method for manufacturing a glass plate including a cleaning step of rubbing the front and back surfaces, wherein the hardness of the first cleaning member is higher than the hardness of the second cleaning member.
  • the hardness of the first cleaning member is higher than the hardness of the second cleaning member. Due to the difference in hardness between the two cleaning members, the second cleaning member having a relatively low hardness serves as a cushion for the first cleaning member having a relatively high hardness, which is opposed to the first cleaning member across the glass plate. Will be fulfilled. Thereby, even when a foreign substance is interposed between the first cleaning member and the glass plate and / or the second cleaning member and the glass plate, the cushioning property of the second cleaning member allows the front and back surfaces of the glass plate to be removed. Scratches can be avoided, and breakage of the glass plate can be prevented.
  • both cleaning members can be sufficiently pressed against the front and back surfaces of the glass plate, and the front and back surfaces are suitably rubbed. It becomes possible. Therefore, dirt on the front and back surfaces of the glass plate can be sufficiently removed.
  • the present method when cleaning the front and back surfaces of the glass plate in the process of manufacturing the glass plate, it is possible to sufficiently remove dirt while avoiding generation of scratches on the front and back surfaces.
  • the first cleaning member and the second cleaning member disk-shaped members that rotate around a rotation axis extending in the thickness direction of the glass plate.
  • the front and back surfaces of the glass plate can be more appropriately rubbed by the two cleaning members, which is more advantageous in removing dirt on the front and back surfaces.
  • the hardness of the first cleaning member is 10 to 90 in Asker A hardness and the hardness of the second cleaning member is 8 to 100 in Asker C hardness.
  • the glass plate in a flat position with the front surface facing upward is cleaned, and the surface is a guaranteed surface.
  • the flat posture includes a horizontal posture and an inclined posture.
  • the horizontal posture is a posture in which the surface of the glass plate is horizontal
  • the inclined posture is a posture in which the surface of the glass plate is inclined with respect to a horizontal plane.
  • the present invention was devised to solve the above-described problems, and includes a first cleaning member that contacts the front surface of the glass plate and a second cleaning member that contacts the back surface, and the glass plate is moved in the thickness direction by both cleaning members.
  • the same operation and effect as those already described in the description of the method for manufacturing a glass sheet can be obtained.
  • the present invention when cleaning the front and back surfaces of the glass plate in the process of manufacturing the glass plate, it is possible to sufficiently remove dirt while avoiding generation of scratches on the front and back surfaces.
  • XYZ in the drawing is an orthogonal coordinate system.
  • the X direction and the Y direction are horizontal directions, and the Z direction is a vertical direction.
  • the Y direction is the transport direction of the glass sheet, and the XZ plane including the X direction and the Z direction is a plane orthogonal to the transport direction of the glass sheet.
  • a glass plate cleaning apparatus 1 (hereinafter, referred to as a cleaning apparatus 1) according to the present embodiment includes a cleaning area W for cleaning a glass plate G, and drying of the cleaned glass plate G. And a drying area D.
  • the cleaning apparatus 1 conveys the glass plate G in a flat posture in the Y direction (in the present embodiment, an inclined posture along the X direction), and secures the upper surface Ga as a guaranteed surface (front surface) and the non-guaranteed surface.
  • the lower surface Gb (back surface) is simultaneously cleaned.
  • the “guaranteed surface” refers to a surface of the front and back surfaces of the glass plate G on which a film forming process of a transparent conductive film or the like is performed in the FPD manufacturing process.
  • the glass plate G In the washing area W and the drying area D, the glass plate G is positioned such that one end is lower than the other end in the width direction of the glass plate G orthogonal to the transport direction Y (direction forming an angle ⁇ with the X direction in FIG. 3). It is conveyed in an inclined posture so as to be located. This prevents excess liquid adhering to the upper surface Ga of the glass plate G from flowing down from the upper surface Ga of the glass plate G by its own weight, and preventing the formation of a liquid pool that causes contamination on the upper surface Ga of the glass plate G. I have. In the washing area W and / or the drying area D, the glass plate G may be transported in a horizontal posture.
  • the cleaning device 1 includes squeezing rollers 2 and 3 for removing liquid adhering to the upper surface Ga and the lower surface Gb of the glass plate G in the cleaning area W; an upper cleaning mechanism 4 for cleaning the upper surface Ga of the glass plate G; And a lower cleaning mechanism 5 for cleaning the lower surface Gb of the G.
  • the glass plate G is supplied to the cleaning area W by an arbitrary mechanism such as a transport roller arranged on the upstream side.
  • the squeezing rollers 2 and 3 are composed of upper and lower roller pairs having upper rollers 2a and 3a and lower rollers 2b and 3b, which convey the glass plate G vertically. That is, the aperture rollers 2 and 3 also function as a transport mechanism. In the present embodiment, the squeeze rollers 2 and 3 are arranged on the upstream and downstream sides of the cleaning mechanisms 4 and 5, respectively.
  • the squeezing rollers 2 and 3 are constituted by rollers made of a material capable of absorbing liquid (for example, soft sponge), but are not limited thereto.
  • the upper cleaning mechanism 4 has three cleaning rows 6a to 6c arranged at intervals in the transport direction Y, and the cleaning liquid C is stored in the internal space in order to supply the cleaning liquid C to each of the cleaning rows 6a to 6c. And a housing 7.
  • the lower cleaning mechanism 5 includes three cleaning rows 8a to 8c provided at intervals in the transport direction Y so as to face the cleaning rows 6a to 6c of the upper cleaning mechanism 4 with the glass plate G interposed therebetween.
  • a housing 9 in which the cleaning liquid C is stored in the internal space is provided.
  • a liquid such as a cleaning liquid (for example, a liquid detergent) or a rinsing liquid (for example, water) can be used.
  • a cleaning liquid for example, a liquid detergent
  • a rinsing liquid for example, water
  • the lower cleaning mechanism 5 has a configuration in which the upper cleaning mechanism 4 is turned upside down, and has substantially the same configuration as the upper cleaning mechanism 4. Therefore, in the following description, the configuration of the upper cleaning mechanism 4 will be described as an example, the detailed description of the configuration of the lower cleaning mechanism 5 will be omitted, and differences from the upper cleaning mechanism 4 will be mainly described. .
  • each of the cleaning rows 6a to 6c of the upper cleaning mechanism 4 includes a plurality of first cleaning tools arranged in a row with a gap S therebetween in the width direction of the glass plate G orthogonal to the transport direction Y. 10 is provided.
  • Each first cleaning tool 10 is a disk-shaped rotating body that can be cleaned by rubbing the upper surface Ga of the glass plate G.
  • Each of the second cleaning tools 11 included in the cleaning rows 8a to 8c of the lower cleaning mechanism 5 sandwiches the glass plate G with each of the first cleaning tools 10 included in the cleaning rows 6a to 6c of the upper cleaning mechanism 4. Make a pair. The pair of the first cleaning tool 10 and the second cleaning tool 11 rotate in the same direction.
  • the three cleaning rows 6a to 6c are arranged such that the first cleaning tools 10 are shifted from each other in the width direction so that the positions in the width direction of the gap S (the range of the gap S) do not overlap with each other.
  • the three cleaning rows 6a to 6c are composed of three types of cleaning rows whose positions in the width direction of the gap S do not overlap with each other. Therefore, when viewed from the direction along the transport direction Y, all the gaps S included in any one of the cleaning rows 6a to 6c overlap the first cleaning tools 10 included in the remaining two cleaning rows.
  • the upper cleaning mechanism 4 of the present embodiment includes three rows (three types) of cleaning rows 6a to 6c, while the upper cleaning mechanism 4 and the lower cleaning mechanism 5 include two rows (two types) or more of cleaning rows. Should be provided.
  • the upper cleaning mechanism 4 and the lower cleaning mechanism 5 include three or more (three types) cleaning rows.
  • the gap S of each of the three rows (three types) of cleaning rows 6a to 6c is set. Are arranged at regular intervals in the width direction with a constant interval ⁇ L. Thereby, the uneven cleaning of the glass plate G in the width direction can be more reliably reduced.
  • the gaps S of the three rows (three types) of cleaning rows 6a to 6c may be located at unequal intervals in the width direction.
  • the diameter of the first cleaning tool 10 is preferably, for example, 50 to 200 mm, and the width of the gap S is preferably, for example, 2 to 10 mm.
  • the interval ⁇ L between the gaps S can be appropriately set according to the diameter of the first cleaning tool 10 and the type of the cleaning row.
  • the upper cleaning mechanism 4 has a configuration for supplying the cleaning liquid C stored in the housing 7 to each of the first cleaning tools 10 in the three cleaning rows 6a to 6c.
  • the cleaning liquid C is supplied from one housing 7 to each of the first cleaning tools 10 in the three cleaning rows 6a to 6c (see FIG. 1).
  • the cleaning liquid C may be supplied from a plurality of housings, for example, by providing a dedicated housing for each of the three cleaning rows 6a to 6c.
  • the housing 7 is inclined according to the inclination of the upper surface Ga of the glass plate G. Due to the inclination of the housing 7, each of the first cleaning tools 10 in each of the cleaning rows 6a to 6c is inclined in accordance with the upper surface Ga of the glass plate G.
  • the inclination angle ⁇ of the upper surface Ga of the glass plate G with respect to the horizontal plane is preferably, for example, 2 to 10 °.
  • the upper cleaning mechanism 4 includes a cylindrical spindle case 12 fixed to the housing 7 and a spindle 13 rotatably held inside the spindle case 12 at a position corresponding to each first cleaning tool 10. ing.
  • the first cleaning tool 10 is mounted on the lower end of the spindle 13 outside the housing 7 and the spindle case 12.
  • a cylindrical slide bearing (bushing) 14 is press-fitted and fixed to the lower end of the spindle case 12, and a cylindrical slide bearing (bushing) 15 is press-fitted and fixed to the upper end of the spindle case 12.
  • the outer peripheral surface of the spindle 13 is rotatably held by bearing surfaces (inner peripheral surfaces) of the slide bearings 14 and 15.
  • the slide bearings 14 and 15 may be made of, for example, metal, but are made of resin (for example, made of engineering plastic) in the present embodiment.
  • the first cleaning tool 10 is attached to the spindle 13 via the spacer 16.
  • the first cleaning tool 10 and the spacer 16 are detachable from the spindle 13.
  • the first cleaning member 10a is paired with the second cleaning member 11a provided in the second cleaning tool 11 and the glass plate G in the thickness direction.
  • the second cleaning member 11a is a disk-shaped member similar to the first cleaning member 10a, while rubbing and cleaning the lower surface Gb of the glass plate G.
  • Both cleaning members 10a and 11a are positioned so that they are in contact with each other when the glass plate G is not cleaned (before the glass plate G is supplied). That is, at the time of cleaning the glass sheet G (when supplying the glass sheet G), the glass sheet G enters between the two cleaning members 10a and 11a so as to push the two cleaning members 10a and 11a apart. . Unlike the present embodiment, when the glass plate G is not cleaned, the cleaning members 10a and 11a may be positioned so that a gap is formed between the cleaning members 10a and 11a.
  • the first cleaning member 10a is made of a nonwoven fabric, and has a hardness of 10 to 90 in Asker A hardness.
  • the nonwoven fabric for example, a nonwoven fabric in which fibers are entangled by a needle punch method can be used.
  • the non-woven fabric fibers include, for example, polyesters such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyester elastomers, polyamides such as nylon 6 and nylon 66, polyamide elastomers, polyurethanes, polyolefins, acrylonitriles, and celluloses such as rayon. Fibers can be used.
  • the second cleaning member 11a is made of a sponge and has a hardness of 8 to 100 in Asker C hardness.
  • the sponge for example, a sponge made of polyvinyl alcohol (PVA), polyurethane, fluorine rubber, nitrile rubber, chloroprene rubber, ethylene rubber, silicone rubber, or the like can be used.
  • the disk-shaped members are used as the first cleaning member 10a and the second cleaning member 11a, but roller-shaped members may be used instead.
  • the first cleaning member 10a may be configured by a brush having higher hardness than the second cleaning member 11a.
  • the second cleaning member 11a may be configured by a brush having a lower hardness than the first cleaning member 10a.
  • the “brush hardness” means the hardness (hardness) of bristles provided on the brush.
  • the contact pressure of the first cleaning member 10a with respect to the glass plate G is set smaller than the contact pressure of the upper rollers 2a and 3a with respect to the glass plate G. Thereby, the straight running stability of the glass sheet G in the transport direction Y is improved.
  • the contact pressure of the first cleaning member 10a with respect to the glass plate G is, for example, adjusting the position of the upper cleaning mechanism 4 with respect to the glass plate G, changing the thickness of the spacer 16 (when the spacer 16 is not attached). Can be adjusted).
  • the housing 7 is provided with a supply path R1 for supplying the cleaning liquid C to the internal space of the housing 7 from outside.
  • the cleaning liquid C stored in a tank (not shown) disposed outside the housing 7 is pressure-fed to the internal space of the housing 7 through the supply path R1 by a pump (not shown) or the like as shown by an arrow a. It is supposed to be.
  • a pump not shown
  • One or more supply paths R1 are provided in the housing 7.
  • the spindle case 12 is provided with a communication path R2 for communicating the internal space of the housing 7 with the internal space of the spindle case 12.
  • the cleaning liquid C in the internal space of the housing 7 is supplied to the internal space of the spindle case 12 through the communication path R2 as shown by the arrow b.
  • the spindle 13 and the spacer 16 are provided with a communication passage R3 for communicating the internal space of the spindle case 12 with the first cleaning tool 10.
  • the cleaning liquid C in the internal space of the spindle case 12 is supplied to the first cleaning tool 10 through the communication path R3 as shown by the arrow c.
  • the communication path R3 includes a through-hole provided in the spindle 13 and a through-hole provided in the spacer 16.
  • the first cleaning tool 10 is provided with a through hole R4 communicating with the communication path R3.
  • the cleaning liquid C supplied through the communication path R3 is supplied to the glass plate G through the through hole R4 as indicated by an arrow d.
  • the through-hole R4 may be omitted when the first cleaning tool 10 is formed of a material (for example, a porous body or the like) that can transmit the cleaning liquid C.
  • the cleaning liquid C is supplied from the supply path R1, the communication path R2, the communication path R3, and the through hole R4 to the internal space of the housing 7, the internal space of the spindle case 12, the first cleaning tool 10, and the glass plate G. Are supplied in this order. Therefore, since the cleaning liquid C supplied to the internal space of the housing 7 is directly supplied to each first cleaning tool 10 through the communication path R2 and the communication path R3, a complicated piping for supplying the cleaning liquid is not required. The waste of the cleaning liquid C is also reduced.
  • the spindle case 12 and the spindle 13 are immersed in the cleaning liquid C stored in the internal space of the housing 7, the spindle case 12 and the spindle 13 are also cooled by the cleaning liquid C. Can be expected. Therefore, even while the glass plate G is being washed by rotating the spindle 13, it is considered that the thermal expansion of the spindle case 12 and the spindle 13 can be reduced and the rotation operation of the spindle 13 can be favorably maintained.
  • a plurality of spindle cases 12 and a plurality of spindles 13 corresponding to the respective first cleaning tools 10 of the respective cleaning rows 6a to 6c are immersed in the cleaning liquid C in one housing 7.
  • the communication path R3 located at a lower position is higher than the communication path R3 located at a higher position. Also preferably has a portion with a small opening area.
  • the opening area of the through hole of the spacer 16 located at a lower position is made smaller than the opening area of the through hole of the spacer 16 located at a higher position, or the opening area of the through hole of the spindle 13 located at a lower position. Is preferably made smaller than the opening area of the through hole of the spindle 13 located at a higher position.
  • an orifice may be provided in a part of the through hole of the spindle 13 to change the opening area.
  • the upper cleaning mechanism 4 includes a rotation drive mechanism 17 that rotates the spindle 13 for each of the cleaning rows 6a to 6c.
  • the rotation drive mechanism 17 applies a rotation drive force to the upper end of the spindle 13 outside the housing 7 and the spindle case 12.
  • the rotation drive mechanism 17 includes a gear mechanism 18 and a drive unit 19.
  • the gear mechanism 18 includes a plurality of gears 18a attached to the upper end of each spindle 13, and the gears 18a adjacent in the X direction mesh with each other.
  • the drive unit 19 includes a motor 19a and a gear 19b attached to the motor 19a.
  • the gear 19b meshes with the gear 18a at one end of the gear mechanism 18 in the X direction. Therefore, when the gear 19b is rotated by the drive of the motor 19a, the power is transmitted to the gear mechanism 18, and each spindle 13 rotates.
  • the gears 18a and 19b may be made of, for example, metal (for example, stainless steel), but are made of resin (for example, engineering plastic) in the present embodiment.
  • the gears 18a and 19b may be a combination of a metal gear and a resin gear.
  • the gears 18a adjacent in the X direction are directly meshed with each other. Therefore, the spindle 13 and the first cleaning tool 10 adjacent to each other in the X direction rotate in directions opposite to each other (see FIG. 2). However, the spindle 13 and the first cleaning tool 10 rotate in the same direction by increasing the number of gears. You may.
  • the power transmission unit is not limited to the gear mechanism 18, but may be another unit such as a belt. Further, a drive unit may be individually attached to each spindle 13.
  • the bleeding of the cleaning liquid C forming the liquid layers C1 and C2 is likely to occur by increasing the pressure of the cleaning liquid C in the internal space of the housing 7.
  • the pressure of the cleaning liquid C in the internal space of the housing 7 can be adjusted, for example, by changing the supply amount of the cleaning liquid C to the internal space of the housing 7 per unit time.
  • the high-pressure gas is jetted from the air knives 20a and 20b to the upper surface Ga and the lower surface Gb of the glass plate G while the glass plate G is being conveyed by the conveying roller 21, so that the gas adheres to both surfaces Ga and Gb. Remove any water that is present.
  • the glass plate G may be dried by other known drying means other than the air knives 20a and 20b. Further, the drying area D may be omitted.
  • This manufacturing method includes a cleaning step using the above-described cleaning apparatus 1.
  • a glass ribbon is formed from the molten glass by a known forming method such as an overflow down draw method or a float method.
  • the formed glass ribbon is gradually cooled in order to reduce the warpage and internal strain of the formed glass ribbon.
  • heat treatment is performed on the original glass sheet in, for example, a heat treatment furnace.
  • the original glass plate is cut into a predetermined size to obtain one or a plurality of glass plates G.
  • a cutting method of the original glass sheet for example, bending stress cutting that causes the scribe line formed along the planned cutting line to develop in the thickness direction by bending stress, or an initial crack formed in a part of the planned cutting line by laser
  • laser cutting in which the laser is developed along the planned cutting line by thermal stress generated by irradiation and rapid cooling, or laser cutting, in which the glass is melted by laser irradiation and cut along the planned cutting line.
  • the glass plate G is preferably rectangular.
  • the size of one side of the glass plate G is preferably from 1000 mm to 3000 mm
  • the plate thickness is preferably from 0.05 mm to 10 mm, and more preferably from 0.2 mm to 0.7 mm.
  • the end face processing step including the grinding and polishing of the end face and the corner cut is performed on the glass sheet G.
  • the glass plate G is cleaned while being transported in an inclined posture using the above-described cleaning device 1, and then dried.
  • the cleaned glass plate G is inspected for scratches, dust, dirt, and the like, and / or for internal defects such as air bubbles and foreign matter.
  • the inspection is performed using an optical inspection device such as a camera.
  • the glass plate G satisfying the desired quality is packed.
  • Packing is performed by stacking a plurality of glass plates G on a predetermined pallet in a flat manner or vertically. In this case, it is preferable to interpose a protective sheet made of interleaving paper or foamed resin between the glass plates G in the laminating direction.
  • both cleaning members 10a and 11a can be sufficiently pressed against the upper and lower surfaces Ga and Gb of the glass plate G by the high hardness of the first cleaning member 10a with respect to the second cleaning member 11a,
  • the upper and lower surfaces Ga and Gb can be suitably rubbed. Therefore, dirt on the upper and lower surfaces Ga and Gb of the glass plate G can be sufficiently removed.
  • the aperture roller may be omitted.
  • the squeezing roller may be replaced with a transport roller composed of a pair of upper and lower rollers that does not absorb liquid.
  • the transport roller may be configured to transport only the both ends in the width direction of the glass plate, that is, may be configured not to contact the central portion in the width direction of the glass plate.
  • a drying area may be provided downstream of each cleaning area, or a drying area may be provided only downstream of the most downstream cleaning area.
  • the first cleaning member is brought into contact with the upper surface (front surface) of the glass plate, and the second cleaning member is brought into contact with the lower surface (back surface) of the glass plate.
  • Step 2) and a second cleaning step In the second cleaning step, the second cleaning member is brought into contact with the upper surface (front surface) of the glass plate, and the first cleaning member is brought into contact with the lower surface (back surface) of the glass plate. You may let it. This makes it possible to improve the quality of not only the front surface but also the back surface while avoiding the occurrence of scratches on the front and back surfaces.

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Abstract

ガラス板Ｇの上面Ｇａに接触させた第一洗浄部材１０ａと下面Ｇｂに接触させた第二洗浄部材１１ａとにより、ガラス板Ｇを厚み方向に挟んだ状態で上下面Ｇａ，Ｇｂを擦って洗浄する洗浄工程を備えたガラス板の製造方法において、第一洗浄部材１０ａの硬度を第二洗浄部材１０ｂの硬度よりも高くした。

Description

ガラス板の製造方法およびガラス板の洗浄装置
　本発明は、ガラス板の製造方法およびガラス板の洗浄装置に関する。
　液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は高精細化が推進されている。これに伴って、ＦＰＤ用の基板として用いられるガラス板に対しては、ＦＰＤの製造工程にて緻密な電気回路が形成される。従って、この種のガラス板には塵や汚れの付着のない高い清浄性が要求される。
　そこで、この種のガラス板の製造工程では、例えば、大面積のガラス板から小面積の製品サイズのガラス板を切り出すと共に、切り出したガラス板に対して端面加工（研削および研磨加工）を施した後、その表裏面を洗浄する。ここで、ガラス板の表裏面を洗浄する手法の一例が、特許文献１に開示されている。同手法では、ガラス板の表裏面のそれぞれに回転するディスク状の洗浄部材を接触させ、両洗浄部材によりガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄する。この場合、通常、両洗浄部材は、いずれも同じ材質で構成されることから、硬度が同じである
特開２０１７－１４０６０号公報
　しかしながら、上記の手法には下記のような解決すべき問題があった。
　すなわち、上記の手法では、両洗浄部材の硬度を高くすると、ガラス板の表裏面を満足に擦ることによって汚れを十分に除去することができるが、洗浄部材とガラス板との間に挟まった異物（例えばガラス粉）によりガラス板の表裏面に傷を生じやすくなる。その結果、ガラス板が破損に至るおそれもある。一方、両洗浄部材の硬度を低くすると、傷の発生を回避できるが、ガラス板の表裏面を満足に擦ることができず、汚れを十分に除去することが困難になる。
　上記の事情に鑑みなされた本発明は、ガラス板を製造する過程でガラス板の表裏面を洗浄するに際し、表裏面における傷の発生を回避しつつ汚れの十分な除去を可能とすることを技術的な課題とする。
　上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の表面に接触させた第一洗浄部材と裏面に接触させた第二洗浄部材とにより、ガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄する洗浄工程を備えたガラス板の製造方法であって、第一洗浄部材の硬度を第二洗浄部材の硬度よりも高くしたことに特徴付けられる。
　本方法では、第一洗浄部材の硬度を第二洗浄部材の硬度よりも高くしている。このように両洗浄部材の硬度に差があることで、相対的に硬度の低い第二洗浄部材が、ガラス板を挟んで対向する相対的に硬度の高い第一洗浄部材に対し、クッションの役割を果たすようになる。これにより、第一洗浄部材とガラス板、及び／又は、第二洗浄部材とガラス板との間に異物が挟まった場合であっても、第二洗浄部材のクッション性によりガラス板の表裏面における傷の発生を回避でき、ガラス板の破損も防止できる。また、本方法では、第二洗浄部材に対する第一洗浄部材の硬度の高さを利用して、両洗浄部材をガラス板の表裏面に対して十分に押し付けることができ、表裏面を好適に擦ることが可能となる。従って、ガラス板の表裏面の汚れを十分に除去できる。以上のことから、本方法によれば、ガラス板を製造する過程でガラス板の表裏面を洗浄するに際し、表裏面における傷の発生を回避しつつ汚れの十分な除去が可能となる。
　上記の方法において、第一洗浄部材および第二洗浄部材として、それぞれガラス板の厚み方向に延びる回転軸を中心として回転するディスク状部材を用いることが好ましい。
　このようにすれば、両洗浄部材によりガラス板の表裏面を一層好適に擦ることができるため、表裏面の汚れを除去する上で一層有利となる。
　上記の方法において、第一洗浄部材を不織布で構成すると共に、第二洗浄部材をスポンジで構成することが好ましい。
　このようにすれば、第一洗浄部材による洗浄能力が良好となると共に、第二洗浄部材によるクッション性が良好となる。このため、表裏面における傷の発生を確実に回避しつつ汚れを十分かつ効率的に除去することが可能となる。
　上記の方法において、第一洗浄部材の硬度がアスカーＡ硬度で１０～９０であると共に、第二洗浄部材の硬度がアスカーＣ硬度で８～１００であることが好ましい。
　このようにすれば、第一洗浄部材による洗浄能力が良好となると共に、第二洗浄部材によるクッション性が良好となる。このため、表裏面における傷の発生を確実に回避しつつ汚れを十分かつ効率的に除去することが可能となる。
　上記の方法において、洗浄工程では、表面を上面とする平置き姿勢のガラス板を洗浄し、表面が保証面であることが好ましい。
　このようにすれば、第一洗浄部材と第二洗浄部材との比較において、相対的に硬度が高くて洗浄能力の高い第一洗浄部材により、保証面を洗浄することが可能となる。そのため、本方法により製造されるガラス板の品質を向上させる上で有利となる。なお、本発明において、平置き姿勢は、水平姿勢と傾斜姿勢とを含むものとする。水平姿勢とは、ガラス板の表面が水平である姿勢であり、傾斜姿勢とは、ガラス板の表面が水平面に対して傾斜する姿勢である。
　また、上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の表面に接触する第一洗浄部材と裏面に接触する第二洗浄部材とを備え、両洗浄部材によりガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄するガラス板の洗浄装置であって、第一洗浄部材の硬度が第二洗浄部材の硬度よりも高いことに特徴付けられる。
　本装置によれば、上記のガラス板の製造方法に係る説明で既に述べた作用・効果と同一の作用・効果が得られる。
　本発明によれば、ガラス板を製造する過程でガラス板の表裏面を洗浄するに際し、表裏面における傷の発生を回避しつつ汚れの十分な除去が可能となる。
本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置を示す側面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置に備わった洗浄列に含まれる洗浄具の配列状態を示す平面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置に備わった洗浄機構を示す断面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置に備わったスピンドルケースの下端部（先端部）側を拡大して示す断面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置に備わったスピンドルケースの上端部（基端部）側を拡大して示す断面図である。
　以下、本発明の実施形態に係るガラス板の洗浄装置、及び、当該装置を用いたガラス板の製造方法について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、図中のＸＹＺは直交座標系である。Ｘ方向及びＹ方向は水平方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。Ｙ方向はガラス板の搬送方向であり、Ｘ方向及びＺ方向を含むＸＺ平面はガラス板の搬送方向と直交する平面である。
　図１に示すように、本実施形態に係るガラス板の洗浄装置１（以下、洗浄装置１と表記）は、ガラス板Ｇを洗浄するための洗浄エリアＷと、洗浄後のガラス板Ｇを乾燥させるための乾燥エリアＤとを備えている。この洗浄装置１は、ガラス板ＧをＹ方向に平置き姿勢（本実施形態ではＸ方向に沿っては傾斜姿勢）で搬送しながら、保証面（表面）である上面Ｇａ、及び、非保証面（裏面）である下面Ｇｂを同時に洗浄するものである。ここで言う「保証面」とは、ガラス板Ｇの表裏面のうち、ＦＰＤの製造工程で透明導電膜等の成膜処理が施される側の面を意味する。
　洗浄エリアＷおよび乾燥エリアＤでは、ガラス板Ｇは、搬送方向Ｙと直交するガラス板Ｇの幅方向（図３でＸ方向と角度θをなす方向）において、一端側が他端側よりも低位に位置するように、傾斜した姿勢で搬送される。これにより、ガラス板Ｇの上面Ｇａに付着した余分な液体が自重でガラス板Ｇの上面Ｇａから流れ落ち、ガラス板Ｇの上面Ｇａに汚れの原因となる液体溜りが形成されるのを防止している。なお、洗浄エリアＷ、及び／又は、乾燥エリアＤにおいて、ガラス板Ｇを水平姿勢で搬送してもよい。
　洗浄装置１は、洗浄エリアＷにおいて、ガラス板Ｇの上面Ｇａおよび下面Ｇｂに付着した液体を除去する絞りローラ２，３と、ガラス板Ｇの上面Ｇａを洗浄する上側洗浄機構４と、ガラス板Ｇの下面Ｇｂを洗浄する下側洗浄機構５とを備えている。洗浄エリアＷには、その上流側に配置された搬送ローラ等の任意の機構によりガラス板Ｇが供給される。
　絞りローラ２，３は、ガラス板Ｇを上下に挟んで搬送する、上側ローラ２ａ，３ａと下側ローラ２ｂ，３ｂとを備えた上下ローラ対により構成されている。すなわち、絞りローラ２，３は、搬送機構としても機能する。本実施形態では、絞りローラ２，３は、洗浄機構４，５の上流側および下流側にそれぞれ配置されている。
　絞りローラ２，３は、液体を吸収可能な材質（例えば軟質スポンジ）からなるローラにより構成されるが、これに限定されるものではない。
　上側洗浄機構４は、搬送方向Ｙに間隔を置いて三列設けられた洗浄列６ａ～６ｃと、各洗浄列６ａ～６ｃに洗浄液Ｃを供給するために、内部空間に洗浄液Ｃが貯留された筐体７とを備えている。
　下側洗浄機構５は、上側洗浄機構４の洗浄列６ａ～６ｃとガラス板Ｇを挟んで対向するように、搬送方向Ｙに間隔を置いて三列設けられた洗浄列８ａ～８ｃと、各洗浄列８ａ～８ｃに洗浄液Ｃを供給するために、内部空間に洗浄液Ｃが貯留された筐体９とを備えている。
　洗浄液Ｃとしては、例えば、洗浄液（例えば液体洗剤）や、すすぎ液（例えば水）といった液体を使用することができる。
　ここで、下側洗浄機構５は、上側洗浄機構４を上下反転させたような構成であり、上側洗浄機構４と略同一の構成を有する。従って、以下の説明においては、上側洗浄機構４の構成を例に挙げて説明し、下側洗浄機構５の構成については詳細な説明を省略し、主として上側洗浄機構４との相違点について説明する。
　図２に示すように、上側洗浄機構４の各洗浄列６ａ～６ｃは、搬送方向Ｙと直交するガラス板Ｇの幅方向において、隙間Ｓを空けて一列に並べられた複数の第一洗浄具１０を備えている。各第一洗浄具１０は、ガラス板Ｇの上面Ｇａを擦って洗浄可能なディスク状の回転体である。なお、下側洗浄機構５の洗浄列８ａ～８ｃに含まれる各第二洗浄具１１は、上側洗浄機構４の洗浄列６ａ～６ｃに含まれる各第一洗浄具１０とガラス板Ｇを挟んで対をなす。対をなす第一洗浄具１０と第二洗浄具１１とは、互いに同方向に回転するようになっている。
　三列の洗浄列６ａ～６ｃは、隙間Ｓの幅方向における位置（隙間Ｓの範囲）が互いに重複しないように、相互に第一洗浄具１０が幅方向にずれた状態で配置されている。つまり、三列の洗浄列６ａ～６ｃは、隙間Ｓの幅方向における位置が互いに重複しない三種の洗浄列から構成されている。従って、搬送方向Ｙに沿う方向から視た場合に、洗浄列６ａ～６ｃ中の任意の一列に含まれる全ての隙間Ｓは、残り二列の洗浄列に含まれる第一洗浄具１０と重なる。このように本実施形態の上側洗浄機構４は、三列（三種）の洗浄列６ａ～６ｃを備えるが、上側洗浄機構４及び下側洗浄機構５は、二列（二種）以上の洗浄列を備えればよい。
　本実施形態のように三列（三種）の洗浄列を備えれば、ガラス板Ｇの上面Ｇａにおいて、三列の洗浄列６ａ～６ｃ中の任意の一列の隙間Ｓを通過する領域は、残り二列の洗浄列に含まれる第一洗浄具１０と二回に亘って必ず接触するため、洗浄時間を十分に確保することができる。また、三列の洗浄列６ａ～６ｃ中のいずれか一列の洗浄列（又は、いずれか一列に含まれる第一洗浄具１０）が故障等により使用できなくとも、残り二列の洗浄列でガラス板Ｇの上面Ｇａの全幅を隙間なく洗浄できる。従って、幅方向におけるガラス板Ｇの洗浄ムラを確実に低減することが可能となる。したがって、上側洗浄機構４及び下側洗浄機構５は、三列（三種）以上の洗浄列を備えることが好ましい。
　更に、本実施形態では、ガラス板Ｇと第一洗浄具１０との総接触時間が幅方向でばらつくのを抑制するために、三列（三種）の洗浄列６ａ～６ｃのそれぞれの隙間Ｓが、幅方向に一定の間隔ΔＬを空けて等間隔に位置している。これにより、幅方向におけるガラス板Ｇの洗浄ムラをより確実に低減できる。なお、三列（三種）の洗浄列６ａ～６ｃのそれぞれの隙間Ｓは、幅方向に不等間隔で位置してもよい。
　第一洗浄具１０の直径は、例えば５０～２００ｍｍであることが好ましく、隙間Ｓの幅は、例えば２～１０ｍｍであることが好ましい。隙間Ｓの相互間の間隔ΔＬは、第一洗浄具１０の直径や洗浄列の種類に応じて適宜設定することができる。
　図３に示すように、上側洗浄機構４は、三列の洗浄列６ａ～６ｃの各第一洗浄具１０に、筐体７に貯留された洗浄液Ｃを供給するための構成を備えている。本実施形態では、三列の洗浄列６ａ～６ｃの各第一洗浄具１０に対して、一つの筐体７から洗浄液Ｃを供給するようになっている（図１を参照）。なお、例えば三列の洗浄列６ａ～６ｃ毎に専用の筐体を設けるなどして、複数の筐体から洗浄液Ｃを供給するようにしてもよい。
　上側洗浄機構４は、ガラス板Ｇの上面Ｇａの傾斜に倣って筐体７が傾斜している。この筐体７の傾斜により、各洗浄列６ａ～６ｃの各第一洗浄具１０が、ガラス板Ｇの上面Ｇａに倣って傾斜している。ガラス板Ｇの上面Ｇａの水平面に対する傾斜角度θは、例えば２～１０°であることが好ましい。
　上側洗浄機構４は、各第一洗浄具１０に対応する位置において、筐体７に固定された筒状のスピンドルケース１２と、スピンドルケース１２の内側で回転可能に保持されたスピンドル１３とを備えている。第一洗浄具１０は、筐体７及びスピンドルケース１２の外側でスピンドル１３の下端部に装着されている。
　スピンドルケース１２の下端部には、筒状の滑り軸受（ブッシング）１４が圧入固定されており、スピンドルケース１２の上端部には、筒状の滑り軸受（ブッシング）１５が圧入固定されている。スピンドル１３の外周面は、滑り軸受１４，１５の軸受面（内周面）によって回転可能に保持されている。滑り軸受１４，１５は、例えば金属製であってもよいが、本実施形態では樹脂製（例えばエンジニアリングプラスチック製）である。
　第一洗浄具１０は、スピンドル１３に対してスペーサ１６を介して取り付けられている。第一洗浄具１０及びスペーサ１６は、スピンドル１３に対して着脱可能である。
　第一洗浄具１０は、ガラス板Ｇの上面Ｇａに接触した状態で上面Ｇａを擦って洗浄する第一洗浄部材１０ａと、第一洗浄部材１０ａが取り付けられた支持部１０ｂとを備えている。第一洗浄部材１０ａは、ガラス板Ｇの厚み方向に延びる回転軸（ここでは、スピンドル１３の回転軸に等しい）を中心として回転するディスク状部材である。
　ここで、第一洗浄部材１０ａは、第二洗浄具１１に備わった第二洗浄部材１１ａとガラス板Ｇを厚み方向に挟んで対となっている。この第二洗浄部材１１ａは、ガラス板Ｇの下面Ｇｂを擦って洗浄すると共に、第一洗浄部材１０ａと同様のディスク状部材である。
　両洗浄部材１０ａ，１１ａは、ガラス板Ｇの非洗浄時（ガラス板Ｇの供給前）には、両者が相互に接触するように位置している。つまり、ガラス板Ｇの洗浄時（ガラス板Ｇの供給時）には、両洗浄部材１０ａ，１１ａを押し分けるようにして、両洗浄部材１０ａ，１１ａの相互間にガラス板Ｇが進入していく。なお、本実施形態とは異なり、ガラス板Ｇの非洗浄時に、両洗浄部材１０ａ，１１ａの相互間に隙間が形成されるように、両洗浄部材１０ａ，１１ａを位置させてもよい。
　第一洗浄部材１０ａの硬度は、第二洗浄部材１１ａの硬度よりも高くなっている。なお、本実施形態とは異なり、ガラス板Ｇの上面Ｇａではなく下面Ｇｂが保証面である場合には、ガラス板Ｇの下面Ｇｂ側に硬度の高い第一洗浄部材１０ａを配置し、上面Ｇａ側に硬度の低い第二洗浄部材１１ａを配置することが好ましい。
　第一洗浄部材１０ａは不織布で構成されており、その硬度はアスカーＡ硬度で１０～９０の範囲内となっている。ここで、不織布としては、例えば、ニードルパンチ法によって繊維を絡み合わせた不織布を用いることができる。不織布の繊維には、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプチレンテレフタレート、ポリエステルエラストマ等のポリエステル系、ナイロン６やナイロン６６、ポリアミドエラストマ等のポリアミド系、ポリウレタン系、ポリオレフイン系、アクリルニトリル系、レーヨン等のセルロース系の繊維を用いることができる。
　第二洗浄部材１１ａはスポンジで構成されており、その硬度はアスカーＣ硬度で８～１００の範囲内となっている。ここで、スポンジとしては、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）やポリウレタン、フッ素ゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、エチレンゴム、シリコーンゴム等からなるスポンジを用いることができる。
　ここで、本実施形態では、第一洗浄部材１０ａおよび第二洗浄部材１１ａとしてディスク状部材を用いているが、これに代えてローラ状部材を用いてもよい。また、第一洗浄部材１０ａは、第二洗浄部材１１ａよりも硬度の高いブラシで構成されていてもよい。さらに、第二洗浄部材１１ａは、第一洗浄部材１０ａよりも硬度の低いブラシで構成されていてもよい。なお、「ブラシの硬度」とは、ブラシに備わった毛の硬度（硬さ）を意味する。
　ガラス板Ｇに対する第一洗浄部材１０ａの接触圧は、ガラス板Ｇに対する上側ローラ２ａ，３ａの接触圧よりも小さく設定されることが好ましい。これにより、ガラス板Ｇの搬送方向Ｙにおける直進安定性が向上する。なお、ガラス板Ｇに対する第一洗浄部材１０ａの接触圧は、例えば、ガラス板Ｇに対して上側洗浄機構４の位置を調整すること、スペーサ１６の厚みを変更すること（スペーサ１６を取り付けない場合も含む）などにより調整できる。
　筐体７には、筐体７の内部空間に外部から洗浄液Ｃを供給するための供給路Ｒ１が設けられている。これにより、筐体７の外部に配置されたタンク（不図示）に貯留された洗浄液Ｃが、矢印ａで示すように供給路Ｒ１を通じて筐体７の内部空間にポンプ（不図示）等によって圧送されるようになっている。この洗浄液Ｃの圧送により、筐体７の内部空間に供給された洗浄液Ｃの圧力が高い状態に維持される。なお、供給路Ｒ１は、筐体７に一つ又は複数設けられる。
　スピンドルケース１２には、筐体７の内部空間とスピンドルケース１２の内部空間とを連通する連通路Ｒ２が設けられている。これにより、筐体７の内部空間の洗浄液Ｃが、矢印ｂで示すように連通路Ｒ２を通じてスピンドルケース１２の内部空間に供給されるようになっている。
　スピンドル１３及びスペーサ１６には、スピンドルケース１２の内部空間と第一洗浄具１０とを連通する連通路Ｒ３が設けられている。これにより、スピンドルケース１２の内部空間の洗浄液Ｃが、矢印ｃで示すように連通路Ｒ３を通じて第一洗浄具１０に供給されるようになっている。なお、連通路Ｒ３は、スピンドル１３に設けられた貫通孔と、スペーサ１６に設けられた貫通孔とから構成されている。
　第一洗浄具１０には、連通路Ｒ３に連通する貫通孔Ｒ４が設けられている。これにより、連通路Ｒ３によって供給された洗浄液Ｃが、矢印ｄで示すように貫通孔Ｒ４を通じてガラス板Ｇに供給されるようになっている。貫通孔Ｒ４は、第一洗浄具１０が洗浄液Ｃを透過可能な材質（例えば多孔質体等）で形成される場合には省略してもよい。
　このようにすれば、供給路Ｒ１、連通路Ｒ２、連通路Ｒ３及び貫通孔Ｒ４により、洗浄液Ｃが、筐体７の内部空間→スピンドルケース１２の内部空間→第一洗浄具１０→ガラス板Ｇの順に供給される。従って、筐体７の内部空間に供給された洗浄液Ｃが、連通路Ｒ２と連通路Ｒ３を介して各第一洗浄具１０に直接供給されるため、洗浄液供給用の複雑な配管が必要なくなると共に洗浄液Ｃの無駄も少なくなる。
　更に、スピンドルケース１２及びスピンドル１３の大部分は、筐体７の内部空間に貯留された洗浄液Ｃに浸漬された状態となるため、スピンドルケース１２及びスピンドル１３が洗浄液Ｃによって冷却されるという効果も期待できる。従って、スピンドル１３を回転させてガラス板Ｇを洗浄している間も、スピンドルケース１２及びスピンドル１３の熱膨張を低減し、スピンドル１３の回転動作を良好に維持できると考えられる。なお、本実施形態では、各洗浄列６ａ～６ｃの各第一洗浄具１０に対応する、複数のスピンドルケース１２及び複数のスピンドル１３が一つの筐体７内の洗浄液Ｃに浸漬されている。
　ここで、本実施形態では、筐体７の傾斜によって、筐体７内において各洗浄列６ａ～６ｃに含まれる各第一洗浄具１０に対応する位置で高低差が生じている。このため、この高低差による圧力差によって、各洗浄列６ａ～６ｃに含まれる各第一洗浄具１０に供給される洗浄液Ｃの量にばらつきが生じる場合がある。従って、図示は省略するが、高低差による洗浄液Ｃの供給量のばらつきを低減する観点からは、各洗浄列６ａ～６ｃにおいて、低位に位置する連通路Ｒ３が、高位に位置する連通路Ｒ３よりも開口面積の小さい部分を有することが好ましい。具体的には、例えば、低位に位置するスペーサ１６の貫通孔の開口面積を高位に位置するスペーサ１６の貫通孔の開口面積よりも小さくしたり、低位に位置するスピンドル１３の貫通孔の開口面積を高位に位置するスピンドル１３の貫通孔の開口面積よりも小さくしたりすることが好ましい。あるいは、スピンドル１３の貫通孔の一部にオリフィスを設けて、開口面積を変化させてもよい。
　上側洗浄機構４は、洗浄列６ａ～６ｃ毎に、スピンドル１３を回転駆動する回転駆動機構１７を備えている。回転駆動機構１７は、筐体７及びスピンドルケース１２の外側でスピンドル１３の上端部に回転駆動力を付与するようになっている。
　回転駆動機構１７は、ギア機構１８と、駆動部１９とを備えている。ギア機構１８は、各スピンドル１３の上端部に取り付けられた複数のギア１８ａを備え、Ｘ方向に隣接するギア１８ａ同士が噛み合っている。駆動部１９は、モータ１９ａと、モータ１９ａに取り付けられたギア１９ｂとを備え、ギア１９ｂがギア機構１８のＸ方向の一端側でギア１８ａと噛み合っている。従って、モータ１９ａの駆動によりギア１９ｂを回転させると、その動力がギア機構１８に伝達され、各スピンドル１３が回転するようになっている。
　ギア１８ａ，１９ｂは、例えば金属製（例えばステンレス製）であってもよいが、本実施形態では樹脂製（例えばエンジニアリングプラスチック製）である。なお、ギア１８ａ，１９ｂには、金属製のものと樹脂製のものを組み合わせて用いてもよい。
　なお、各洗浄列６ａ～６ｃにおいて、Ｘ方向に隣接するギア１８ａ同士が直接噛み合っている。そのため、Ｘ方向に隣接するスピンドル１３及び第一洗浄具１０は、互いに反対向きに回転するようになっているが（図２を参照）、ギアを増やす等して互いに同じ向きに回転するようにしてもよい。また、動力伝達部は、ギア機構１８に限定されるものではなく、例えばベルト等の他の手段であってもよい。更に、各スピンドル１３に対して個別に駆動部を取り付けてもよい。
　図４及び図５に示すように、滑り軸受１４の軸受面とスピンドル１３の下端部の外周面との間、及び、滑り軸受１５の軸受面とスピンドル１３の上端部の外周面との間には、それぞれ液層Ｃ１，Ｃ２が形成されている。液層Ｃ１，Ｃ２は、スピンドルケース１２の内部空間に供給された洗浄液Ｃが液層Ｃ１，Ｃ２に対応する部分から滲み出すことによって形成される。従って、液層Ｃ１，Ｃ２は、洗浄液Ｃに由来する潤滑機能を有するため、滑り軸受１４，１５、及び／又は、スピンドル１３の摩耗を防止することができる。
　液層Ｃ１，Ｃ２を形成する洗浄液Ｃの滲み出しは、筐体７の内部空間の洗浄液Ｃの圧力を高めることによって生じやすくなる。筐体７の内部空間の洗浄液Ｃの圧力は、例えば、筐体７の内部空間への洗浄液Ｃの単位時間当たりの供給量を変更することで調整できる。
　図１に示すように、洗浄装置１は、乾燥エリアＤにおいて、エアナイフ２０ａ，２０ｂと、搬送ローラ２１とを備えている。エアナイフ２０ａは搬送ローラ２１よりも上方に配置され、エアナイフ２０ｂは搬送ローラ２１よりも下方に配置される。
　乾燥エリアＤでは、搬送ローラ２１によってガラス板Ｇを搬送しつつ、エアナイフ２０ａ，２０ｂから高圧の気体をガラス板Ｇの上面Ｇａおよび下面Ｇｂに噴射することで、これらの両面Ｇａ，Ｇｂに付着している水分を除去する。なお、乾燥エリアＤでは、エアナイフ２０ａ，２０ｂ以外の他の公知の乾燥手段によりガラス板Ｇを乾燥させてもよい。また、乾燥エリアＤは省略してもよい。
　次に、本実施形態に係るガラス板の製造方法を説明する。本製造方法は、上述の洗浄装置１を用いた洗浄工程を含む。
　詳細には、ガラス板の製造方法は、例えば、成形工程と、徐冷工程と、採板工程と、切断工程と、洗浄工程（乾燥工程を含む）と、検査工程と、梱包工程とを備えている。なお、採板工程の後に熱処理工程を備えてもよい。また、切断工程の後に端面加工工程を備えてもよい。
　成形工程では、オーバーフローダウンドロー法やフロート法等の公知の成形方法により、溶融ガラスからガラスリボンを成形する。
　徐冷工程では、成形されたガラスリボンの反り及び内部歪を低減するために、成形されたガラスリボンを徐冷する。
　採板工程では、徐冷されたガラスリボンを所定の長さごとに切断し、複数枚の元ガラス板を得る。
　熱処理工程では、例えば熱処理炉において、元ガラス板に対して熱処理を行う。
　切断工程では、元ガラス板を所定サイズに切断し、一枚又は複数枚のガラス板Ｇを得る。元ガラス板の切断方法としては、例えば、切断予定線に沿って形成されたスクライブ線を曲げ応力によって厚み方向に進展させる曲げ応力割断や、切断予定線の一部に形成された初期クラックをレーザー照射と急冷により生じた熱応力で切断予定線に沿って進展させるレーザー割断や、レーザー照射によりガラスを溶融させながら切断予定線に沿って切断するレーザー溶断等を利用することができる。なお、ガラス板Ｇは矩形状であることが好ましい。ガラス板Ｇの一辺の大きさは１０００ｍｍ～３０００ｍｍであることが好ましく、板厚は０．０５ｍｍ～１０ｍｍであることが好ましく、０．２ｍｍ～０．７ｍｍであることがより好ましい。
　端面加工工程では、ガラス板Ｇに対して端面の研削・研磨加工、及び、コーナーカットを含む端面加工を行う。
　洗浄工程では、上述の洗浄装置１を用いて、ガラス板Ｇを傾斜姿勢で搬送しながら洗浄した後に乾燥させる。
　検査工程では、洗浄されたガラス板Ｇに対して表面に傷、塵、汚れ等がないか、及び／又は、気泡、異物等の内部欠陥がないかを検査する。検査は、カメラ等の光学検査装置を用いて行う。
　梱包工程では、検査の結果、所望の品質を満たすガラス板Ｇを梱包する。梱包は、所定のパレットに対して、複数枚のガラス板Ｇを平置きで積層したり、縦置きで積層したりすることによって行う。この場合、ガラス板Ｇの積層方向の相互間には、合紙や発泡樹脂等からなる保護シートを介在させることが好ましい。
　以下、上記の製造方法による主たる作用・効果について説明する。
　上記の製造方法においては、第一洗浄部材１０ａと第二洗浄部材１１ａとの硬度の差により、硬度の低い第二洗浄部材１１ａが、ガラス板Ｇを挟んで対向する硬度の高い第一洗浄部材１０ａに対し、クッションの役割を果たす。これにより、第一洗浄部材１０ａとガラス板Ｇ、及び／又は、第二洗浄部材１１ａとガラス板Ｇとの間に異物が挟まった場合でも、第二洗浄部材１１ａのクッション性によりガラス板Ｇの上下面Ｇａ，Ｇｂにおける傷の発生を回避でき、ガラス板Ｇの破損も防止できる。また、本方法では、第二洗浄部材１１ａに対する第一洗浄部材１０ａの硬度の高さにより、両洗浄部材１０ａ，１１ａをガラス板Ｇの上下面Ｇａ，Ｇｂに対して十分に押し付けることができ、上下面Ｇａ，Ｇｂを好適に擦ることが可能となる。従って、ガラス板Ｇの上下面Ｇａ，Ｇｂの汚れを十分に除去できる。
　ここで、本発明は上記の実施形態で説明した態様や構成に限定されるものではなく、上記の作用・効果に限定されるものでもない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。
　上記の実施形態では、洗浄液が貯留された筐体を用いて洗浄液を供給する場合を説明したが、洗浄液の供給方法はこれに限定されない。例えば、シャワーノズル等を用いて洗浄液を洗浄部材及び／又はガラス板に対して噴射供給してもよい。
　上記の実施形態において、絞りローラを省略してもよい。また、絞りローラを、液体を吸着しない上下ローラ対からなる搬送ローラに代えてもよい。この場合、搬送ローラは、ガラス板の幅方向の両端部のみを挟んで搬送する構成、つまり、ガラス板の幅方向の中央部には接触しない構成としてもよい。
　上記の実施形態では、洗浄装置において、一つの洗浄エリアを設ける場合を説明したが、複数の洗浄エリアを設けてもよい。この場合、各洗浄エリアの下流側に乾燥エリアを設けてもよいし、最下流の洗浄エリアの下流側にのみ乾燥エリアを設けてもよい。
　上記の実施形態の洗浄工程では、第一洗浄部材をガラス板の上面（表面）に接触せると共に、第二洗浄部材をガラス板の下面（裏面）に接触させるが、この洗浄工程（第一洗浄工程）に加えて第二洗浄工程を実施し、第二洗浄工程では、第二洗浄部材をガラス板の上面（表面）に接触せると共に、第一洗浄部材をガラス板の下面（裏面）に接触させてもよい。これにより、表裏面における傷の発生を回避しつつ、表面のみならず裏面の品質を向上させることができる。
　上記の実施形態では、平置き姿勢のガラス板を洗浄するが、縦姿勢のガラス板を洗浄してもよい。
　１　　　　　洗浄装置
　１０ａ　　　第一洗浄部材
　１１ａ　　　第二洗浄部材
　Ｇ　　　　　ガラス板
　Ｇａ　　　　上面
　Ｇｂ　　　　下面

Claims (6)

  1. 　ガラス板の表面に接触させた第一洗浄部材と裏面に接触させた第二洗浄部材とにより、前記ガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄する洗浄工程を備えたガラス板の製造方法であって、
    　前記第一洗浄部材の硬度を前記第二洗浄部材の硬度よりも高くしたことを特徴とするガラス板の製造方法。
  2. 　前記第一洗浄部材および前記第二洗浄部材として、それぞれ前記ガラス板の厚み方向に延びる回転軸を中心として回転するディスク状部材を用いることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
  3. 　前記第一洗浄部材を不織布で構成すると共に、前記第二洗浄部材をスポンジで構成することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
  4. 　前記第一洗浄部材の硬度がアスカーＡ硬度で１０～９０であると共に、
    　前記第二洗浄部材の硬度がアスカーＣ硬度で８～１００であることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
  5. 　前記洗浄工程では、前記表面を上面とする平置き姿勢の前記ガラス板を洗浄し、
    　前記表面が保証面であることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
  6. 　ガラス板の表面に接触する第一洗浄部材と裏面に接触する第二洗浄部材とを備え、両洗浄部材により前記ガラス板を厚み方向に挟んだ状態で表裏面を擦って洗浄するガラス板の洗浄装置であって、
    　前記第一洗浄部材の硬度が前記第二洗浄部材の硬度よりも高いことを特徴とするガラス板の洗浄装置。
PCT/JP2019/023414 2018-07-10 2019-06-13 ガラス板の製造方法およびガラス板の洗浄装置 WO2020012863A1 (ja)

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