TW201811450A - 平板玻璃洗淨裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種齒輪彼此的磨耗所導致之發塵可獲得抑制的平板玻璃洗淨裝置。 本發明平板玻璃洗淨裝置(10)，係供洗淨平板玻璃(G)的玻璃面，且具備：複數個洗淨構件(11)、支持上述複數個洗淨構件(11)各者的轉軸(12)、設於上述轉軸(12)各者的齒輪(13)、及驅動上述轉軸(12)的至少一者之旋轉驅動機構即馬達(M)；上述齒輪(13)係以鄰接之齒輪彼此相互嚙合且其材質互異。
Description
[0001] 本發明係有關一種平板玻璃洗淨裝置之技術。
[0002] 一般而言，液晶顯示器、有機EL顯示器等之平板顯示器(FPD)用玻璃基板在製造時，於製造過程之中，係進行用以將玻璃基板之玻璃面(具體而言，玻璃面中之形成有電子機能元件等的有效面)上所附著的微小玻璃片與塵芥等異物除去之洗淨處理。藉此，玻璃基板之玻璃面乃被潔淨化，而於後續步驟等之中，將因此可在玻璃基板之玻璃面上精度良好地形成電子機能元件等。 [0003] 例如，專利文獻1中曾揭示一種用以將晶圓(例如玻璃基板)之表面及背面洗淨的基板處理裝置。 [0004] 專利文獻1中所揭示之基板處理裝置，係具備：將多數個晶圓浸漬於純液中之液中裝載器、背面洗淨裝置、表面洗淨裝置、及搬送裝置。背面洗淨裝置具有固定於轉軸之上端的圓形毛刷，藉由對於自液中裝載器取出的晶圓供給處理液，且將圓形毛刷抵接於晶圓之背面並令其旋轉，而自下方將晶圓之背面作毛刷洗淨。表面洗淨裝置藉由對利用背面洗淨裝置洗淨後之晶圓供給化學處理用藥液，而將晶圓之表面自上方作毛刷洗淨。 [0005] 又，先前迄今，業已使用一種平板玻璃洗淨裝置，此洗淨裝置具有複數個如上述圓形毛刷般之洗淨構件，其一面令該洗淨構件旋轉一面壓抵於平板玻璃之玻璃面，而將平板玻璃之玻璃面上所附著的異物除去。根據如此般之平板玻璃洗淨裝置，為了使複數個洗淨構件旋轉，係於洗淨構件之各轉軸設置齒輪(例如正齒輪)，藉由使鄰接之齒輪彼此嚙合，並使其中的一個驅動用齒輪由驅動機構旋轉而令複數個齒輪同時旋轉，可使複數個洗淨構件旋轉。 ［先前技術文獻］ ［專利文獻］ [0006] [專利文獻1] 日本特開平7-74133號公報
［發明解決之課題］ [0007] 然而，上述之平板玻璃洗淨裝置所具有之使複數個齒輪嚙合的機構中，當鄰接之齒輪彼此由相同之材質構成時，摩擦阻力會變大，因此導因於齒輪彼此之磨耗而會發塵，而成為污染平板玻璃之玻璃面的原因。為此，有關如此般之平板玻璃洗淨裝置，被期望的乃是齒輪彼此之磨耗所導致之發塵可獲得抑制的構成。 [0008] 本發明係有鑑以上所示之現狀的問題點開發而成者，其課題係在提供一種可謀求齒輪彼此之磨耗所導致之發塵獲得抑制的平板玻璃洗淨裝置。 ［用以解決課題之手段］ [0009] 本發明之企圖解決的課題乃如以上所示，以下說明為解決此一課題的手段。 [0010] 具體言之，本發明相關之平板玻璃洗淨裝置，係洗淨平板玻璃的玻璃面的平板玻璃洗淨裝置，其特徵在於：具備：複數個洗淨構件、支持上述複數個洗淨構件各者的轉軸、設於上述轉軸的齒輪、及驅動上述轉軸之至少一者的旋轉驅動機構；上述齒輪係以鄰接之齒輪彼此相互嚙合且其材質互異。 [0011] 根據如此般之平板玻璃洗淨裝置，藉由使鄰接之齒輪彼此材質互異，與齒輪由相同材質構成之情況比較，摩擦阻力變小，而可抑制齒輪彼此之磨耗所導致的發塵。 [0012] 又，於本發明相關之平板玻璃洗淨裝置中，較佳的是上述鄰接之齒輪彼此，其一方之齒輪為金屬製，而另一方之齒輪為樹脂製。 [0013] 根據如此般之平板玻璃洗淨裝置，金屬製之齒輪彼此嚙合而構成的情況下所發生之金屬粉將不易產生。 藉此，可防止金屬粉所導致之對於平板玻璃之玻璃面的污染。 再者，因使用金屬製之齒輪，較之樹脂製之齒輪彼此嚙合而構成的情況，齒輪之耐久性提升、齒輪之更換頻度降低、且裝置之維修不費工夫。 [0014] 又，於本發明相關之平板玻璃洗淨裝置中，較佳的是上述金屬製之齒輪與上述樹脂製之齒輪係以交替嚙合之方式作複數性配置。 [0015] 根據如此般之平板玻璃洗淨裝置，利用旋轉驅動機構驅動複數個齒輪中之至少一個即可驅動複數個齒輪，因此無需複數之旋轉驅動機構，維修變得容易。 ［發明之效果］ [0016] 根據本發明，藉由使鄰接之齒輪彼此材質互異，與齒輪由相同材質構成之情況比較，摩擦阻力變小，而可抑制齒輪彼此之磨耗所導致的發塵。
[0018] 以下，針對本發明一個實施方式相關之平板玻璃洗淨裝置10，使用第1圖至第3圖進行。 又，有關以下之說明，為方便計，將第1圖、第3圖中所示之上下方向分別規定為平板玻璃洗淨裝置10之上下方向，據以進行敘述。 另外，將第1圖、第2圖中箭頭F之方向規定為平板玻璃G之搬送方向，據以進行敘述。 此外，將第1圖、第2圖中，與搬送方向正交之方向規定為寬幅方向，據以進行敘述。 [0019] 如第1圖所示，本實施方式之平板玻璃洗淨裝置10(以下，僅稱之為洗淨裝置10)，係利用作為旋轉驅動機構的馬達M將洗淨構件11旋轉驅動而將平板玻璃G之玻璃面的兩面(表面及背面)予以洗淨之裝置。 洗淨裝置10例如為配置於平板玻璃G之製造裝置中之搬送裝置的搬送路徑上，用以將藉由搬送裝置自上游側朝下游側(第2圖中，自圖中左側至右側)以水平狀態搬送之矩形平板玻璃G之玻璃面的兩面(表面及背面)予以洗淨之裝置。 [0020] 又，洗淨裝置10之上游側，設有對於平板玻璃G實施切斷加工或端面加工等各種加工之加工裝置等(圖未示)。 [0021] 洗淨裝置10係用以實行洗淨處理，而將因途經設於上游側之各種加工步驟而在平板玻璃G之玻璃面的表面及背面附著之微小玻璃粉與塵芥等異物予以除去者。洗淨裝置10於平板玻璃G之玻璃面之表面側及背面側分別具有複數個洗淨構件11、11…。 又，例如於本實施方式中，洗淨裝置10為了洗淨平板玻璃G之玻璃面的表面側及背面側(本實施方式中為上面側及下面側)，複數個洗淨構件11、11…係介隔以平板玻璃G而上下對向配置。 又，本實施方式之洗淨裝置10，係作為洗淨平板玻璃G之玻璃面的兩面之裝置而構成，但並未特別限定，也可以只將平板玻璃G之玻璃面之一個面(例如玻璃面中之形成有電子機能元件等的有效面)洗淨的裝置構成。 再者，於第1圖及第2圖中，洗淨裝置10中，平板玻璃G之上面側配置之複數個洗淨構件11、11的圖示省略，僅圖示平板玻璃G之下側面配置的複數個洗淨構件11、11…。 [0022] 洗淨裝置10具備：複數個洗淨構件11、11…、支持複數個洗淨構件11、11…各者之轉軸12、12…、設於轉軸12、12…各者之齒輪(正齒輪)13、13…、及驅動轉軸12、12…之旋轉驅動機構即馬達M。第1圖中，馬達M係使轉軸12直接旋轉，但也可為在馬達M之未圖示的轉軸上設置未圖示之齒輪，藉由使馬達M之齒輪與洗淨構件11之轉軸12上所設之齒輪13嚙合，而由馬達M旋轉齒輪13之形態。 [0023] 洗淨構件11為碟盤形狀之構件，主要具有：相對平板玻璃G之玻璃面對向配置之洗淨墊14、及用以保持洗淨墊14之洗淨頭15。 又，洗淨構件11在俯視觀察下，係於相對搬送方向正交之方向並排配置。 [0024] 洗淨墊14可使用硬質樹脂、軟質樹脂等之彈性體，例如氈狀之纖維成形體、海綿狀之發泡樹脂成形體、或是海綿狀之發泡橡膠成形體等，形成為圓形者。本實施方式中，洗淨墊14之材質為聚乙烯醇(PVA)。 [0025] 洗淨墊14之與平板玻璃G的對向面(接觸面)上，於圓周方向設有在徑向呈放射狀形成的複數條(本實施方式為6條)凹溝14a。 又，洗淨墊14中，於其中心部及中心部附近形成有用以供給洗淨液之複數個(本實施方式中為3個)圓形供給口14b。 [0026] 而且，供給口14b係與洗淨頭15所具有之圖未示洗淨液供給孔連通，在洗淨處理實施中，洗淨液係經由供給口14b而被供給。 [0027] 又，洗淨頭15例如由鋁合金或不鏽鋼等金屬材料形成為圓盤狀。 [0028] 轉軸12係前端固定有洗淨構件11之洗淨頭15的軸構件。 複數個轉軸12、12…係如第3圖所示，係以彼此之轉軸12的軸向成為平行的方式，旋轉自如地支持於轉軸支持部16。 另，於第3圖中，支持平板玻璃G上面側之轉軸12、12之轉軸支持部16及轉軸12、12各者上所設之齒輪13、13的圖示於此省略。 [0029] 此處，轉軸支持部16係藉由圖未示之上下位置驅動機構，可將複數個洗淨墊14構成為於與平板玻璃G之一個面抵接的前進位置(抵接位置)、與將該等洗淨墊14自平板玻璃G離開的後退位置(離開位置)之間往復動，且可作旋轉。 [0030] 複數之轉軸12、12…中之一者之上連結有馬達M，藉由使該馬達M旋轉驅動，可使轉軸12旋轉驅動。 複數之轉軸12、12…乃如第1圖所示，係由連結於馬達M之轉軸即驅動軸12a、及未連結於馬達M之轉軸即從動軸12b、12b…所構成。 [0031] 齒輪13係以鄰接之齒輪彼此相互嚙合，且其材質互異。 又，齒輪13係在轉軸12之軸向中途部設置的正齒輪。 具體而言，齒輪13係由金屬製之齒輪13a與合成樹脂製之齒輪13b所構成，其相互嚙合且交替配置成直列狀。 亦即，複數之齒輪13、13…構成直列狀嚙合之齒輪列，且以相對平板玻璃G之搬送方向成正交的方式配置。 [0032] 金屬製之齒輪13a，較佳的是使用不易生鏽的金屬，宜使用不鏽鋼。 合成樹脂製之齒輪13b，較佳的是硬質樹脂，例如可使用聚二醚酮樹脂(PEEK樹脂)、MC耐隆樹脂等。 [0033] 又，本實施方式中，作為齒輪13係使用正齒輪，但並未特別限定。 例如，正齒輪以外，還可使用斜齒輪而構成。 [0034] 本實施方式之洗淨裝置10中，如第2圖所示，沿著與平板玻璃G之搬送方向的正交方向成直列狀複數個配置而構成之洗淨構件11、11…的列，係沿著平板玻璃G之搬送方向(水平方向)以特定間隔作複數列配置。 具體而言，在本實施方式之洗淨裝置10中，沿著平板玻璃G之搬送方向(水平方向)，於上游側及下游側係作2列配置。 [0035] 洗淨構件11、11…之配置方式，係設定成在平板玻璃G之一個面的洗淨區域內不會發生未洗淨之部位。 本實施方式中，於平板玻璃G之搬送方向(水平方向)相鄰的各洗淨構件11、11…係配置成於平板玻璃G之寬幅方向的位置彼此互異(偏移)。 [0036] 亦即，平板玻璃G之搬送方向之中，於上游側及下游側相鄰之洗淨構件11、11…之各列中，各洗淨構件11之平板玻璃G之寬幅方向的位置彼此互異。 藉此，可防止平板玻璃G之一個面的洗淨區域內殘留未洗淨之部位。 [0037] 另，有關洗淨構件11、11…之配置方式，只要平板玻璃G之洗淨面內不會發生未洗淨之部位，則可任意設定。 [0038] 其次，說明利用洗淨裝置10將平板玻璃G的一個面洗淨之步驟。 [0039] 首先，利用搬送裝置將平板玻璃G以水平狀態一搬入洗淨裝置10，則洗淨裝置10之中最上游側之洗淨構件11、11…的列因馬達M之驅動而旋轉並一面移動至前進位置(抵接位置)，且各洗淨構件11之洗淨墊14分別抵接於平板玻璃G之表面及背面(本實施方式中為上面及下面)，開始進行洗淨處理。 此時，藉由馬達M之旋轉驅動，相互嚙合之複數個齒輪13、13…(齒輪13a、13a…及齒輪13b、13b…)連動，而被旋轉驅動。 [0040] 而後於第1圖中，於利用洗淨構件11之洗淨處理實施中，自各洗淨構件11所設之供給口14b，對於平板玻璃G之上面及下面連續地供給暨吐出洗淨液。 亦即，於洗淨構件11(洗淨墊14)與平板玻璃G之間有特定量之洗淨液介入的狀態下，實施平板玻璃G之上面及下面之洗淨處理。 [0041] 而後，伴隨著平板玻璃G往下游側逐漸被搬送，自各洗淨墊14之供給口14b洗淨液被供給，且同時洗淨構件11、11…之次列(第2圖中右側之列)旋轉並一面依序自後退位置(離開位置)移動至前進位置(抵接位置)，而實行平板玻璃G之上面及下面之洗淨處理。 [0042] 根據以上之方式構成的洗淨裝置10，馬達M之旋轉驅動力係經由直列狀之齒輪13、13…之列，傳遞至與各個齒輪13、13…對應之複數個轉軸12、12…，藉此，此等轉軸12、12…乃被旋轉驅動。 據此，各轉軸12之前端所設之洗淨構件11旋轉。 [0043] 由於洗淨裝置10如此般之動作，嚙合之齒輪間雖會產生摩擦，但如本實施方式般，金屬製之齒輪13a與合成樹脂製之齒輪13b交替嚙合而構成的情況下，與金屬製之齒輪彼此嚙合而構成的情況比較，摩擦阻力降低，因此導因於齒部分擦刮的磨耗減少，而可抑制金屬粉等之發塵。 [0044] 又，本實施方式之洗淨裝置10中，齒輪13係以鄰接之齒輪13、13彼此相互嚙合且其材質互異。 藉由如此般之構成，與所有之齒輪13、13…由相同之材質構成的情況比較，摩擦阻力變小，而可抑制齒輪彼此之磨耗所導致之發塵。 [0045] 另外，本實施方式之洗淨裝置10中，鄰接之齒輪13、13彼此之中，一方之齒輪13係金屬製之齒輪13a，而另一方之齒輪13係合成樹脂製之齒輪13b。 一般而言，金屬製之齒輪13a、13a彼此嚙合而構成之情況下，因齒輪13a、13a彼此之磨耗而有發塵(發生金屬粉)的掛慮，但藉由本實施方式如此般之設置，金屬製之齒輪彼此嚙合而構成的情況時會發生之金屬粉將變得不易發生。 藉此，可防止金屬粉所造成之對於平板玻璃G之玻璃面的污染。 再者，由於使用金屬製之齒輪13a，因此較之合成樹脂製之齒輪13b、13b彼此嚙合而構成的情況，齒輪13之耐久性提升，各齒輪13之更換頻度降低，且裝置之維修不費工夫。 [0046] 再者，本實施方式之洗淨裝置10中，金屬製之齒輪13a與合成樹脂製之齒輪13b係以交替嚙合的方式作複數性配置。 藉此，藉由將複數之齒輪13、13…的至少一個利用馬達M驅動，可將複數個齒輪13、13…(齒輪13a、13a…及齒輪13b、13b…)驅動，因此無需複數之旋轉驅動機構，可使裝置構成簡單化，且維修也變得容易。 ［產業上之可利用性］ [0047] 本發明之平板玻璃洗淨裝置，例如於製造平板顯示器用之玻璃基板時，能夠利用於將玻璃基板之玻璃面洗淨。
[0048]
10‧‧‧平板玻璃洗淨裝置
11‧‧‧洗淨構件
12‧‧‧轉軸
13‧‧‧齒輪
13a‧‧‧金屬製之齒輪
13b‧‧‧樹脂製之齒輪
G‧‧‧平板玻璃
M‧‧‧馬達(旋轉驅動機構)
[0017] 第1圖為本發明一個實施方式之平板玻璃洗淨裝置中，其洗淨構件附近之構成的概念立體圖。 第2圖為自上方觀察平板玻璃洗淨裝置之洗淨構件的俯視圖。 第3圖為第2圖之A-A線箭頭方向觀察之剖視圖。
Claims (3)
- 一種平板玻璃洗淨裝置，係洗淨平板玻璃的玻璃面的平板玻璃洗淨裝置，其特徵在於：具備： 複數個洗淨構件、 支持上述複數個洗淨構件各者的轉軸、 設於上述轉軸各者的齒輪、及 驅動上述轉軸之至少一者的旋轉驅動機構； 上述齒輪係以鄰接之齒輪彼此相互嚙合且其材質互異。
- 如申請專利範圍第1項之平板玻璃洗淨裝置，其中上述鄰接之齒輪彼此，其一方之齒輪為金屬製，而另一方之齒輪為樹脂製。
- 如申請專利範圍第1或2項之平板玻璃洗淨裝置，其中上述金屬製之齒輪與上述樹脂製之齒輪係以交替嚙合之方式作複數性配置。
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