TWI769322B - 玻璃板的清洗裝置及玻璃板的製造方法 - Google Patents

Abstract

一種玻璃板的清洗裝置1，包括：框體5，貯存著清洗液；多個主軸殼體7，以面對框體5的內部空間的方式固定在框體5上；主軸8，以面對主軸殼體7的內部空間的方式可旋轉地保持於主軸殼體7；清洗構件9，安裝在主軸8的前端部；第一供給路徑R1，為了將框體5的內部空間的清洗液4供給至主軸殼體7的內部空間而設置在主軸殼體7上；以及第二供給路徑R2，為了將主軸殼體7的內部空間的清洗液4供給至清洗構件9而設置在主軸8上。

Description

玻璃板的清洗裝置及玻璃板的製造方法

本發明是有關於一種玻璃板的清洗裝置及包含清洗步驟的玻璃板的製造方法。

液晶顯示器、電漿顯示器、有機電致發光（electroluminescent，EL）顯示器等平板顯示器（flat panel display，FPD）的高精細化得到推進。伴隨於此，在用作FPD用的基板的玻璃板上，藉由FPD的製造步驟而形成細密的電氣電路。因此，對於此種玻璃板，要求未附著灰塵或污染的高潔淨性。

因此，在玻璃板的製造步驟中，通常是在將原玻璃板切割成規定尺寸而獲得多塊玻璃板G的切割步驟之後等，設置對玻璃板進行清洗的清洗步驟。

作為對玻璃板進行清洗的方法，可舉出如下的方法：例如，如專利文獻1所揭示，使具有包含海綿等的清洗部的清洗構件一面旋轉，一面與玻璃板的主表面接觸而進行清洗。再者，在所述專利文獻1中，是在利用一對清洗構件夾著玻璃板的兩主表面的狀態下進行清洗。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2017-14060號公報

[發明所欲解決之課題] 在專利文獻1中，已揭示藉由淋浴噴頭（shower nozzle）對玻璃板供給清洗液的技術，但在如上所述供給清洗液的情況下，清洗液無法高效率地供給至清洗構件與玻璃板的接觸部分而容易造成浪費。因此，自減少清洗液的浪費的角度考慮，較佳為對清洗構件直接供給清洗液。

但是，若為了對清洗構件直接供給清洗液，自配置在遠離清洗構件的位置上的槽（tank）將分別獨立的配管連接於各清洗構件，而欲供給貯存於槽內的清洗液時，配管的條數會增加相當於清洗構件的數量的條數，從而使配管結構變得複雜。其結果為，存在耗費配管的工夫的問題。

本發明的課題在於一方面減少清洗液的浪費，一方面儘可能地降低供給清洗液的配管的工夫。 [解決課題之手段]

為了解決所述課題而想出的本發明是一種清洗裝置，對在玻璃板的板厚方向上相向的一對主表面中的至少一者進行清洗，所述清洗裝置的特徵在於包括：框體，在內部空間貯存著清洗液；多個主軸殼體，以面對框體的內部空間的方式固定在框體上；主軸，以面對主軸殼體的內部空間的方式可旋轉地保持於主軸殼體；清洗構件，在框體及主軸殼體的外側安裝在主軸的前端部，並且與玻璃板的主表面相接觸而對玻璃板的主表面進行清洗；第一供給路徑，為了將框體的內部空間的清洗液供給至主軸殼體的內部空間而設置在主軸殼體上；以及第二供給路徑，為了將主軸殼體的內部空間的清洗液供給至清洗構件而設置在主軸上。根據如上所述的結構，將框體的內部空間的清洗液，首先，通過各主軸殼體的第一供給路徑供給至各主軸殼體的內部空間。然後，將供給至各主軸殼體的內部空間的清洗液，通過各主軸的第二供給路徑供給至各清洗構件。因此，將框體的內部空間內所貯存的清洗液，經由第一供給路徑及第二供給路徑直接供給至各清洗構件，因此不需要複雜的配管。又，由於對各清洗構件直接供給清洗液，故而清洗液的浪費亦減少。

在所述結構中，較佳為：主軸殼體經由樹脂製的滑動軸承而可旋轉地保持著主軸。在金屬製的滾動軸承中是使用潤滑油或滑脂（grease），然而在樹脂製的滑動軸承的情況，即使不使用潤滑油或滑脂，亦可維持主軸的旋轉性能。因此，可防止潤滑油或滑脂滲出而污染玻璃板的現象。又，在樹脂製的滑動軸承的情況，即使滑動軸承發生磨損，因磨損而產生的磨損粉亦是來自於樹脂的比較柔軟的粉末。因此，亦具有如下的優點：即使磨損粉附著在玻璃板上，亦難以使玻璃板劃傷。

在所述結構中，較佳為：在滑動軸承的軸承面與主軸的外周面之間，形成有清洗液的層。如此一來，清洗液的層發揮如潤滑材料般的作用，因此可降低滑動軸承或主軸的磨損。

在所述結構中，較佳為：框體仿照玻璃板的主表面的傾斜而傾斜，且設置在藉由框體的傾斜而位於低位的主軸上的第二供給路徑，具有剖面積小於設置在藉由框體的傾斜而位於高位的主軸上的第二供給路徑的剖面積的部分。如此一來，自清洗液的壓力相對升高的設置在位於低位的主軸上的第二供給路徑難以輸出清洗液，自清洗液的壓力相對降低的設置在位於高位的主軸上的第二供給路徑容易輸出清洗液。因此，即使伴隨著高低差在清洗液中產生壓力差，亦可使自各主軸的第二供給路徑供給至各清洗構件的清洗液的量大致均勻，從而降低清洗不均。

在所述結構中，較佳為：主軸在主軸的前端部，包括用以調整清洗構件的相對於玻璃板的基準位置的間隔件。如此一來，可藉由改變間隔件的厚度來調整清洗構件的基準位置，因此即使玻璃板的厚度或清洗構件的厚度發生變化，亦可使相對於玻璃板的清洗構件的抵接狀態為固定。

在所述結構中，較佳為：為了將清洗液壓送至框體的內部空間，在框體上設置第三供給路徑。如此一來，藉由通過第三供給路徑而壓送的清洗液，而使得框體的內部空間的清洗液的壓力提高，因此可通過主軸殼體的第一供給路徑或主軸的第二供給路徑順暢地供給清洗液。又，由於通過第三供給路徑對框體的內部空間依次供給清洗液，故即使減小框體的體積，在清洗過程中清洗液亦不會自框體的內部空間消失。因此，可減小框體而實現整個清洗裝置的空間節省。

在所述結構中，較佳為：構成為在框體及主軸殼體的外側對主軸的與前端部為相反側的基端部賦予旋轉驅動力。如此一來，在框體及主軸殼體的外側對主軸賦予旋轉驅動力，因此框體的內部空間的清洗液不會與旋轉驅動機構直接接觸，可防止清洗液受到污染。又，被賦予旋轉驅動力的主軸的基端部位於與位於玻璃板側的前端部為相反側的位置，因此亦具有自旋轉驅動機構產生的灰塵物不易附著在玻璃板上的優點。

為了解決所述課題而想出的本發明是一種玻璃板的製造方法，包括對在玻璃板的板厚方向上相向的一對主表面中的至少一者進行清洗的清洗步驟，所述玻璃板的製造方法的特徵在於：設置有包括如下構件的清洗裝置：框體，在內部空間貯存著清洗液；多個主軸殼體，以面對框體的內部空間的方式固定在框體上；主軸，以面對主軸殼體的內部空間的方式可旋轉地保持於主軸殼體；以及清洗構件，在框體及主軸殼體的外側安裝在主軸的前端部，並且與玻璃板的主表面相接觸而對玻璃板的主表面進行清洗；且在清洗步驟中，將框體的內部空間的清洗液供給至主軸殼體的內部空間之後，經由主軸將主軸殼體的內部空間的清洗液供給至清洗構件。根據如上所述的結構，可獲得與以上所述的相對應的結構同樣的作用效果。

在所述結構中，較佳為：將清洗液壓送而供給至框體的內部空間。 [發明的效果]

根據如上所述的本發明，可一方面減少清洗液的浪費，一方面儘可能地降低供給清洗液的配管的工夫。

以下，一面參照圖式，一面對本實施形態的玻璃板的清洗裝置及玻璃板的製造方法進行說明。再者，圖中的XYZ是正交座標系。X方向及Y方向是水平方向，Z方向是鉛垂方向。包含X方向及Z方向的XZ平面是與玻璃板的搬運方向正交的平面。

（第一實施形態） 如圖1所示，第一實施形態的玻璃板的清洗裝置1一面利用輥式輸送機（roller conveyor）或帶式輸送機（belt conveyor）等搬運機構（未圖示）以水平姿勢搬運玻璃板G，一面同時清洗在玻璃板G的板厚方向上相向的一對主表面Ga、主表面Gb。

清洗裝置1包括對玻璃板G的上方側的主表面Ga進行清洗的第一清洗機構2、以及對玻璃板G的下方側的主表面Gb進行清洗的第二清洗機構3。由於第一清洗機構2的結構與第二清洗機構3的結構大致相同，因此以下，以第一清洗機構2的結構為中心進行說明，第二清洗機構3的結構的詳細說明則予以省略。

第一清洗機構2包括在內部空間貯存著清洗液4的框體5、以及對玻璃板G的主表面Ga進行清洗的多個清洗單元6。作為清洗液4，例如可使用水。或者，作為清洗液4，亦可使用添加有洗劑等的水。

多個清洗單元6沿與玻璃板G的搬運方向（圖2的Y方向）正交的玻璃板G的寬度方向（X方向）呈列狀排列。各清洗單元6包括：主軸殼體7，以面對框體5的內部空間的方式固定在框體5上；主軸8，以面對主軸殼體7的內部空間的方式可旋轉地保持於主軸殼體7；以及清洗構件9，在框體5及主軸殼體7的外側安裝在主軸8的前端部。此處，主軸殼體7及主軸8的「前端部」是指玻璃板G側的端部，該些「基端部」是指與玻璃板G側的前端部為相反側的端部。

在主軸殼體7的前端部，壓入固定有筒狀的滑動軸承（襯套（bushing））10，在主軸殼體7的基端部，壓入固定有筒狀的滑動軸承（襯套）11。主軸8的外周面被滑動軸承10、滑動軸承11的軸承面（內周面）可旋轉地保持著。滑動軸承10、滑動軸承11例如亦可為金屬製等，但在本實施形態中為樹脂製（例如工程塑膠（engineering plastic）製）。

清洗構件9可相對於主軸8而拆裝。清洗構件9包括與玻璃板G的主表面Ga相接觸而對玻璃板G的主表面Ga進行清洗的清洗部9a、以及安裝有清洗部9a的支持部9b。清洗部9a在清洗過程中以固定壓力按壓玻璃板G的主表面Ga。清洗部9a的種類例如亦可為刷子（brush）等，但在本實施形態中為海綿。清洗部9a的形狀並無特別限定，但在本實施形態中為圓盤（disk）狀。

在主軸殼體7上，設置有將框體5的內部空間與主軸殼體7的內部空間加以連通的第一供給路徑R1，將框體5的內部空間的清洗液4如箭頭a所示通過第一供給路徑R1供給至主軸殼體7的內部空間。

在主軸8上，設置有將主軸殼體7的內部空間與清洗構件9加以連通的第二供給路徑R2，將主軸殼體7的內部空間的清洗液4如箭頭b所示通過第二供給路徑R2供給至清洗構件9。

在框體5上，設置有用以自外部對框體5的內部空間供給清洗液4的第三供給路徑R3，將配置在框體5的外部的槽（未圖示）內所貯存的清洗液4如箭頭c所示通過第三供給路徑R3藉由泵（未圖示）等而壓送至框體5的內部空間。藉由所述清洗液4的壓送，而使得供給至框體5的內部空間的清洗液4維持在壓力高的狀態。再者，在本實施形態中，第三供給路徑R3在框體5上僅設有一個，但亦可設有多個。

在清洗構件9中，設置有與第二供給路徑R2連通的貫通孔R4，將藉由第二供給路徑R2而供給的清洗液4如箭頭d所示通過貫通孔R4供給至玻璃板G。貫通孔R4在清洗構件9由可使清洗液4透過的材質(例如，多孔體等)形成的情況下，亦可省略。

根據如上所述的結構，藉由供給路徑R1~供給路徑R3及貫通孔R4，按照框體5的內部空間→主軸殼體7的內部空間→清洗構件9→玻璃板G的順序供給清洗液4。因此，將供給至框體5的內部空間的清洗液4經由第一供給路徑R1及第二供給路徑R2直接供給至各清洗構件9，故而不需要清洗液供給用的複雜的配管，且清洗液4的浪費亦減少。

此外，主軸殼體7及主軸8的大部分呈浸漬於框體5的內部空間內所貯存的清洗液4中的狀態，故可有望獲得藉由清洗液4而使主軸殼體7及主軸8冷卻的效果。因此，可認為，在使主軸8旋轉而對玻璃板G進行清洗的期間，亦可降低主軸殼體7及主軸8的熱膨脹，而良好地維持主軸的旋轉動作。

在本實施形態中，第一供給路徑R1位於較第三供給路徑R3的框體5側的開口部更低的位置，第二供給路徑R2位於較第一供給路徑R1更低的位置。該些供給路徑R1、供給路徑R2、供給路徑R3的高度關係並無特別限定，可適當進行調整。

第一清洗機構2包括對各清洗單元6的主軸8進行旋轉驅動的旋轉驅動機構12。旋轉驅動機構12在框體5及主軸殼體7的外側對主軸8的基端部賦予旋轉驅動力。

詳細而言，旋轉驅動機構12包括齒輪機構13及驅動部14。齒輪機構13包括安裝在各主軸8的基端部的多個齒輪13a，在X方向上鄰接的齒輪13a彼此咬合。驅動部14包括馬達14a、及安裝在馬達14a上的齒輪14b，齒輪14b在齒輪機構13的X方向上的一端側與齒輪13a咬合。因此，若藉由馬達14a的旋轉而使齒輪14b旋轉，則所述動力會傳遞至齒輪機構13，使各清洗單元6的主軸8旋轉。

齒輪13a、齒輪14b例如亦可為金屬製（例如不銹鋼（stainless steel，SUS）製），但在本實施形態中為樹脂製（例如工程塑膠製）。再者，在齒輪13a、齒輪14b中，亦可組合使用金屬製齒輪與樹脂製齒輪。

再者，在X方向上鄰接的齒輪13a彼此直接咬合，因此在X方向上鄰接的主軸8彼此在相反方向上旋轉（參照圖2），但亦可設為增加齒輪等而彼此朝向相同的方向旋轉。又，動力傳遞部並不限定於齒輪機構13，例如亦可為皮帶（belt）等其它元件。此外，亦可在各主軸8上各別地安裝驅動部。

此處，在圖1中，符號15是清洗單元，符號16是清洗構件，符號16a是清洗部，符號16b是支持部，該些構件是與第二清洗機構3相關的結構。清洗裝置1是利用一對清洗構件9、清洗構件16夾著玻璃板G的主表面Ga、主表面Gb而進行清洗。

如圖2所示，第一清洗機構2是使清洗單元列L1、清洗單元列L2，在Y方向上隔開間隔而具有多列（圖示例為兩列），在所述清洗單元列L1、清洗單元列L2中在X方向上呈列狀排列有多個清洗單元6。上游側的清洗單元列L1中所含的清洗構件9、與下游側的清洗單元列L2中所含的清洗構件9在X方向上相偏移（offset）。其結果為，當自Y方向觀察時，以如下的方式而配置：下游側的清洗單元列L2的清洗構件9重疊於上游側的清洗單元列L1中在X方向上鄰接的清洗構件9之間的間隙。由此，清洗構件9遍及玻璃板G的整個寬度而接觸，因此可防止玻璃板G的清洗不均。

如圖3及圖4所示，在滑動軸承10的軸承面與主軸8的前端部的外周面之間、及滑動軸承11的軸承面與主軸8的基端部的外周面之間，分別形成有液層C1、液層C2。液層C1、液層C2是藉由供給至主軸殼體7的內部空間的清洗液4自與液層C1、液層C2相對應的部分滲出而形成。因此，液層C1、液層C2具有來自於清洗液4的潤滑功能，故可防止滑動軸承10、滑動軸承11或主軸8的磨損。

形成液層C1、液層C2的清洗液4的滲出容易因提高框體5的內部空間的清洗液4的壓力而產生。框體5的內部空間的清洗液4的壓力例如，可藉由變更對框體5的內部空間的清洗液4的每單位時間的供給量而調整。形成液層C1、液層C2的清洗液4伴隨著滲出而逐漸替換成新的清洗液。

其次，說明本實施形態的玻璃板的製造方法。本製造方法包括利用所述玻璃板的清洗裝置1的清洗步驟。

詳細而言，玻璃板的製造方法例如包括成形步驟、緩冷步驟、采板步驟、切割步驟、清洗步驟、檢查步驟及打包步驟。再者，亦可在采板步驟之後包括熱處理步驟。又，亦可在切割步驟之後包括端面加工步驟。

在成形步驟中，藉由溢流下拉（overflow down draw）法或浮起（float）法等公知的方法，利用熔融玻璃使玻璃帶（glass ribbon）成形。

在緩冷步驟中，為了降低所成形的玻璃帶的翹曲及內部應變，使所成形的玻璃帶緩冷。

在采板步驟中，以各個規定的長度對經緩冷的玻璃帶進行切割，獲得多塊原玻璃板。

在熱處理步驟中，例如在熱處理爐中，對原玻璃板進行熱處理。

在切割步驟中，將原玻璃板切割成規定尺寸，獲得一塊或多塊玻璃板G。作為原玻璃板的切割方法，例如，可使用藉由彎曲應力而使沿切割預定線而形成的劃割線進展的彎曲應力割斷、利用藉由雷射照射及急冷而產生的熱應力使形成於一部分切割預定線上的初始裂紋沿切割預定線進展的雷射割斷、一面藉由雷射照射而進行熔融一面沿切割預定線進行切割的雷射熔斷等。玻璃板G較佳為矩形。玻璃板G的一邊的大小較佳為1000 mm～3000 mm，板厚較佳為0.05 mm～10 mm，更佳為0.2 mm～0.7 mm。

在端面加工步驟中，對玻璃板G進行包含端面的磨削、研磨及切角（corner cut）的端面加工。

在清洗步驟中，利用所述清洗裝置1，一面以水平姿勢搬運玻璃板G，一面進行清洗。

在檢查步驟中，對經清洗的玻璃板G檢查表面上是否有傷痕、灰塵、污染等，及/或是否有氣泡、異物等內部缺陷。檢查是使用相機等光學檢查裝置來進行。

在打包步驟中，對檢查的結果為滿足所需品質的玻璃板G進行打包。打包是相對於規定的托板（pallet），以平放方式積層多塊玻璃板G，或以豎放方式積層多塊玻璃板G來進行。此時，較佳為在玻璃板G的積層方向上的彼此之間，介插有包含襯墊紙或發泡樹脂等的保護片材。

（第二實施形態） 如圖5所示，第二實施形態的玻璃板的清洗裝置1及玻璃板的製造方法與第一實施形態的玻璃板的清洗裝置1及玻璃板的製造方法的不同點在於，一面以傾斜姿勢搬運玻璃板G，一面進行清洗。以下，以與第一實施形態的不同點為中心進行說明。再者，對與第一實施形態共同的結構標註相同符號而進行說明。

在第二實施形態的玻璃板的清洗裝置1中，在第一清洗機構2中，框體5仿照玻璃板G的主表面Ga的傾斜而傾斜。藉由框體5的傾斜，而在設置於框體5內的各清洗單元6中設有高低差。玻璃板G的主表面Ga的相對於水平面的傾斜角度θ例如較佳為2°～10°。

設置在位於低位的主軸8上的第二供給路徑R2具有剖面積小於設置在位於高位的主軸8上的第二供給路徑R2的部分。在本實施形態中，各第二供給路徑R2中，自主軸殼體7側的開口端至清洗構件9側的開口端為止具有大致固定的剖面積，設置在位於低位的主軸8上的第二供給路徑R2的剖面積小於設置在位於高位的主軸8上的第二供給路徑R2的剖面積。即，圖中的三個第二供給路徑R2的剖面積自高位（圖中的右側）向低位（圖中的左側）而變化為大中小。根據如上所述的結構，即使伴隨著因框體5的傾斜而引起的高低差，在框體5的內部空間的清洗液4中產生壓力差，亦可使自各主軸8的第二供給路徑R2供給至各清洗構件9的清洗液4的量大致均勻，從而降低清洗不均。

當第二供給路徑R2的剖面形狀為圓形時，第二供給路徑R2的直徑較佳為在1 mm～9 mm之間進行變化。

在圖5中，三個清洗構件9的貫通孔R4的剖面積亦是自高位向低位而變化為大中小，但各貫通孔R4的剖面積亦可為相同。

亦可在設置在位於低位的主軸8上的第二供給路徑R2的一部分上形成節流口，將所述節流口設為剖面積小於設置在位於高位的主軸8上的第二供給路徑R2的部分。即，設置在位於低位的主軸8上的第二供給路徑R2亦可僅局部具有剖面積小於設置在位於高位的主軸8上的第二供給路徑R2的部分。

為使供給至各清洗構件9的清洗液4的量均勻化，亦可設為設置在位於低位的主軸殼體7上的第一供給路徑R1具有剖面積小於設置在位於高位的主軸殼體7上的第一供給路徑R1的部分。因同樣的目的，亦可設為設置在位於低位的清洗構件9的支持部9b（或清洗部9a及支持部9b）上的貫通孔R4具有剖面積小於設置在位於高位的清洗構件9的支持部9b（或清洗部9a及支持部9b）上的貫通孔R4的部分。此外，在第二清洗機構3中，各第二供給路徑及各貫通孔的剖面積在圖中為相同，但亦可為不同。

（第三實施形態） 如圖6所示，第三實施形態的玻璃板的清洗裝置1及玻璃板的製造方法與第一及第二實施形態的玻璃板的清洗裝置1及玻璃板的製造方法的不同點在於：在第一清洗機構2中，主軸8在其前端部包括用以調整清洗構件9的高度（相對於玻璃板G的基準位置）的間隔件8a。以下，以與第一實施形態及第二實施形態的不同點為中心進行說明。再者，對與第一實施形態及第二實施形態共同的結構標註相同的符號而進行說明。

在第三實施形態中，例示框體5與第二實施形態同樣地傾斜的情況進行說明，但是當然，框體5亦可與第一實施形態同樣地為水平。

在第三實施形態的玻璃板的清洗裝置1中，將間隔件8a可拆裝地安裝在設置於主軸8的前端部的凸緣（flange）部8b上。清洗構件9經由間隔件8a而可拆裝地安裝在主軸8的凸緣部8b上。由此，可對應於間隔件8a的厚度對清洗構件9的高度進行調整。即，例如，當玻璃板G薄時，使用相對厚的間隔件8a使清洗構件9靠近玻璃板G側，當玻璃板G厚時，使用相對薄的間隔件8a使清洗構件9遠離玻璃板G側。由此，可使清洗構件9與玻璃板G的抵接狀態為固定而不取決於玻璃板G的厚度。或者，當清洗構件9薄時，使用相對厚的間隔件8a使清洗構件9靠近玻璃板G側，當清洗構件9厚時，使用相對薄的間隔件8a使清洗構件9遠離玻璃板G側。由此，可使清洗構件9與玻璃板G的抵接狀態為固定而不取決於清洗構件9的厚度。

在本實施形態中，間隔件8a具有形成主軸8的第二供給路徑R2的清洗構件9側的開口端部的貫通孔R2a。換言之，間隔件8a的貫通孔R2a形成第二供給路徑R2的一部分。

在本實施形態中，位於低位的主軸8的第二供給路徑R2之中除了間隔件8a的貫通孔R2a以外的部分、與設置在位於高位的主軸8上的第二供給路徑R2之中除了間隔件8a的貫通孔R2a以外的部分的剖面積相同。另一方面，位於低位的主軸8的第二供給路徑R2之中的間隔件8a的貫通孔R2a的剖面積，小於設置在位於高位的主軸8上的第二供給路徑R2之中的間隔件8a的貫通孔R2a的剖面積。即，圖中的三個間隔件8a的貫通孔R2a的剖面積自高位（圖中的右側）向低位（圖中的左側）而變化為大中小。因此，間隔件8a的貫通孔R2a作為節流口而發揮作用，用以使自各主軸8的第二供給路徑R2供給至各清洗構件9的清洗液4的量大致均勻。

此處，在第二清洗機構3中，亦可同樣地設置間隔件（未圖示），使得可對清洗構件16的高度（相對於玻璃板G的基準位置）進行調整。此時，第一清洗裝置[第一清洗機構]2中的間隔件8a既可省略，亦可併用。

又，在本實施形態中，是藉由變更間隔件8a的厚度來調整清洗構件9的高度，但亦可藉由變更主軸8的高度來調整清洗構件9的高度。所述主軸8的高度變更可藉由例如主軸殼體7以可變更主軸8的高度的狀態保持主軸8來實現。即使在藉由變更主軸8的高度而對清洗構件9的高度進行調整的情況下，亦可使用間隔件8a，作為用以使供給至各清洗構件9的清洗液4的量大致均勻的節流口（orifice）。

再者，本發明並不限定於所述實施形態的結構，且並不限定於所述作用效果。本發明可在不脫離本發明的主旨的範圍內進行各種變更。

在所述實施形態中，已說明使玻璃板相對於配置在固定位置上的清洗構件而移動的情況，但只要在清洗構件與玻璃板之間產生相對移動，便亦可為使任意構件移動的形態。即，相對於配置在固定位置上的玻璃板，既可使清洗構件移動，亦可使玻璃板及清洗構件兩者移動。

在所述實施形態中，亦可省略用以對框體供給清洗液的第三供給路徑。換言之，亦可設為如下的結構：增大框體的內部空間的體積等，在清洗過程中自外部對框體的內部空間不供給清洗液。此時，為了提高框體的內部空間的清洗液的壓力，亦可自外部對框體的內部空間供給氣體（例如，空氣），或設置框體的內部空間的體積的可變機構。

在所述實施形態中，亦可使在玻璃板的板厚方向上相向的一對清洗構件之中的至少一個清洗構件，在基準位置與退避位置之間沿玻璃板的板厚方向移動。即，亦可藉由感測器等來探測玻璃板已搬運至規定位置的情況，基於所述探測結果，使在玻璃板的板厚方向上相向的一對清洗構件之中至少一個清洗構件，沿玻璃板的板厚方向自退避位置移動至基準位置，藉此使一對清洗構件的相向間隔變窄而抵接於玻璃板的主表面。

在所述實施形態中，亦可具有第一清洗機構與第二清洗機構不同的結構。例如，若在玻璃板的上方側的主表面側供給清洗液，則供給至上方側的主表面的清洗液亦會在玻璃板的表面上傳送而供給至玻璃板的下方側的主表面。因此，第二清洗機構亦可不具備清洗構件對玻璃板直接供給清洗液的結構（例如，框體、第一供給路徑～第三供給路徑、清洗構件的貫通孔等）。

在所述實施形態中，亦可設為僅對玻璃板的主表面之中的一個主表面進行清洗。

1‧‧‧清洗裝置2‧‧‧第一清洗機構

3:第二清洗機構

4:清洗液

5:框體

6、15:清洗單元

7:主軸殼體

8:主軸

8a:間隔件

8b:凸緣部

9、16:清洗構件

9a、16a:清洗部

9b、16b:支持部

10、11:滑動軸承

12:旋轉驅動機構

13:齒輪機構

13a、14b:齒輪

14:驅動部

14a:馬達

a~d:箭頭

C1、C2:液層

G:玻璃板

Ga、Gb:主表面

L1、L2:清洗單元列

R1‧‧‧第一供給路徑R2‧‧‧第二供給路徑R2a‧‧‧貫通孔（間隔件用）R3‧‧‧第三供給路徑R4‧‧‧貫通孔（清洗構件用）θ‧‧‧傾斜角度

圖1是表示第一實施形態的玻璃板的清洗裝置的剖面圖。 圖2是表示圖1的玻璃板的清洗裝置的俯視圖。 圖3是放大地表示圖1的玻璃板的清洗裝置中的主軸殼體的前端部側的剖面圖。 圖4是放大地表示圖1的玻璃板的清洗裝置中的主軸殼體的基端部側的剖面圖。 圖5是表示第二實施形態的玻璃板的清洗裝置的剖面圖。 圖6是表示第三實施形態的玻璃板的清洗裝置的剖面圖。

1‧‧‧清洗裝置

2‧‧‧第一清洗機構

3‧‧‧第二清洗機構

4‧‧‧清洗液

5‧‧‧框體

6、15‧‧‧清洗單元

7‧‧‧主軸殼體

8‧‧‧主軸

9、16‧‧‧清洗構件

9a、16a‧‧‧清洗部

9b、16b‧‧‧支持部

10、11‧‧‧軸承

12‧‧‧旋轉驅動機構

13‧‧‧齒輪機構

13a、14b‧‧‧齒輪

14‧‧‧驅動部

14a‧‧‧馬達

a~d‧‧‧箭頭

G‧‧‧玻璃板

Ga、Gb‧‧‧主表面

R1‧‧‧第一供給路徑

R2‧‧‧第二供給路徑

R3‧‧‧第三供給路徑

R4‧‧‧貫通孔(清洗構件用)

Claims (9)

1. 一種玻璃板的清洗裝置，對在玻璃板的板厚方向上相向的一對主表面中的至少一者進行清洗，所述玻璃板的清洗裝置的特徵在於包括：框體，在內部空間貯存著清洗液；多個主軸殼體，以面對所述框體的內部空間的方式固定在所述框體上；主軸，以面對所述主軸殼體的內部空間的方式能夠旋轉地保持於所述主軸殼體；清洗構件，在所述框體及所述主軸殼體的外側安裝在所述主軸的前端部，並且與所述玻璃板的主表面相接觸而對所述玻璃板的主表面進行清洗；第一供給路徑，為了將所述框體的內部空間的所述清洗液供給至所述主軸殼體的內部空間而設置在所述主軸殼體上；以及第二供給路徑，為了將所述主軸殼體的內部空間的所述清洗液供給至所述清洗構件而設置在所述主軸上。
2. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃板的清洗裝置，其中所述主軸殼體經由樹脂製的滑動軸承而能夠旋轉地保持著所述主軸。
3. 如申請專利範圍第2項所述的玻璃板的清洗裝置，其中在所述滑動軸承的軸承面與所述主軸的外周面之間，形成有所述清洗液的層。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃板的清洗裝置，其中所述框體仿照所述玻璃板的主表面的傾斜而傾斜，且設置在藉由所述框體的傾斜而位於低位的所述主軸上的所述第二供給路徑，具有剖面積小於設置在藉由所述框體的傾斜而位於高位的所述主軸上的所述第二供給路徑的部分。
5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃板的清洗裝置，其中所述主軸在所述主軸的前端部，包括用以調整所述清洗構件的相對於所述玻璃板的基準位置的間隔件。
6. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃板的清洗裝置，其中為了將所述清洗液壓送至所述框體的內部空間，在所述框體上設置有第三供給路徑。
7. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃板的清洗裝置，其中構成為在所述框體及所述主軸殼體的外側對所述主軸的與所述前端部為相反側的基端部賦予旋轉驅動力。
8. 一種玻璃板的製造方法，包括對在玻璃板的板厚方向上相向的一對主表面中的至少一者進行清洗的清洗步驟，所述玻璃板的製造方法的特徵在於，設置有包括如下構件的清洗裝置：框體，在內部空間貯存著清洗液；多個主軸殼體，以面對所述框體的內部空間的方式固定在所述框體上；主軸，以面對所述主軸殼體的內部空間的方式能夠旋轉地保持於所述主軸殼體；以及 清洗構件，在所述框體及所述主軸殼體的外側安裝在所述主軸的前端部，並且與所述玻璃板的主表面相接觸而對所述玻璃板的主表面進行清洗；並且在所述清洗步驟中，將所述框體的內部空間的所述清洗液供給至所述主軸殼體的內部空間之後，經由所述主軸將所述主軸殼體的內部空間的所述清洗液供給至所述清洗構件。
9. 如申請專利範圍第8項所述的玻璃板的製造方法，其中將所述清洗液壓送而供給至所述框體的內部空間。

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