JP2019063745A - ガラス板の洗浄装置およびガラス板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】洗浄液の無駄を少なくしつつ洗浄液を供給する配管の手間を可及的に低減する。【解決手段】ガラス板の洗浄装置１であって、洗浄液が貯留された筐体５と、筐体５の内部空間に面するように筐体５に固定された複数のスピンドルケース７と、スピンドルケース７の内部空間に面するようにスピンドルケース７に回転可能に保持されたスピンドル８と、スピンドル８の先端部に装着された洗浄部材９と、筐体５の内部空間の洗浄液４をスピンドルケース７の内部空間に供給するためにスピンドルケース７に設けられた第一供給路Ｒ１と、スピンドルケース７の内部空間の洗浄液４を洗浄部材９に供給するためにスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２と、を備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス板の洗浄装置および洗浄工程を含むガラス板の製造方法に関する。

液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は、高精細化が推進されている。これに伴い、ＦＰＤ用の基板として用いられるガラス板には、ＦＰＤの製造工程で緻密な電気回路が形成される。従って、この種のガラス板には、塵や汚れが付いていない高い清浄性が要求されている。

そこで、ガラス板の製造工程では、元ガラス板を所定サイズに切断して複数枚のガラス板Ｇを得る切断工程の後等に、ガラス板を洗浄する洗浄工程が設けられるのが一般的である。

ガラス板を洗浄する方法としては、例えば特許文献１に開示されているように、スポンジ等からなる洗浄部を有する洗浄部材を回転させながらガラス板の主表面に接触させて洗浄する方法が挙げられる。なお、同文献では、ガラス板の両主表面を一対の洗浄部材で挟持した状態で洗浄している。

特開２０１７−１４０６０号公報

特許文献１では、ガラス板に対してシャワーノズルで洗浄液を供給することを開示しているが、このように洗浄液を供給する場合、洗浄液が洗浄部材とガラス板との接触部分に効率良く供給されずに無駄になりやすい。従って、洗浄液の無駄を低減するという観点からは、洗浄部材に洗浄液を直接供給することが好ましい。

しかしながら、洗浄部材に洗浄液を直接供給するために、洗浄部材から離れた位置に配置されたタンクから各洗浄部材に個別に独立した配管を接続し、タンクに貯留された洗浄液を供給しようとすると、洗浄部材の数だけ配管の本数が増えて配管構造が複雑になってしまう。その結果、配管の手間がかかるという問題がある。

本発明は、洗浄液の無駄を少なくしつつ洗浄液を供給する配管の手間を可及的に低減することを課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の板厚方向に対向する一対の主表面の少なくとも一方を洗浄する洗浄装置において、内部空間に洗浄液が貯留された筐体と、筐体の内部空間に面するように筐体に固定された複数のスピンドルケースと、スピンドルケースの内部空間に面するようにスピンドルケースに回転可能に保持されたスピンドルと、筐体及びスピンドルケースの外側でスピンドルの先端部に装着されると共に、ガラス板の主表面に接触してガラス板の主表面を洗浄する洗浄部材と、筐体の内部空間の洗浄液をスピンドルケースの内部空間に供給するためにスピンドルケースに設けられた第一供給路と、スピンドルケースの内部空間の洗浄液を洗浄部材に供給するためにスピンドルに設けられた第二供給路と、を備えていることを特徴とする。このような構成によれば、筐体の内部空間の洗浄液は、まず、各スピンドルケースの第一供給路を通じて各スピンドルケースの内部空間に供給される。その後、各スピンドルケースの内部空間に供給された洗浄液は、各スピンドルの第二供給路を通じて各洗浄部材に供給される。従って、筐体の内部空間に貯留された洗浄液が、第一供給路と第二供給路を介して各洗浄部材に直接供給されるため、複雑な配管が必要ない。また、各洗浄部材に洗浄液が直接供給されるため、洗浄液の無駄も少なくなる。

上記の構成において、スピンドルケースが、樹脂製の滑り軸受を介してスピンドルを回転可能に保持していることが好ましい。金属製の転がり軸受では潤滑油やグリスが用いられるが、樹脂製の滑り軸受の場合には潤滑油やグリスを用いなくてもスピンドルの回転性能を維持することができる。従って、潤滑油やグリスが滲み出してガラス板が汚染されるのを防止することができる。また、樹脂製の滑り軸受の場合、滑り軸受に摩耗が生じても、摩耗によって生じる摩耗粉は樹脂に由来する比較的柔らかいものである。従って、摩耗粉がガラス板に付着しても、ガラス板に傷が付きにくいという利点もある。

上記の構成において、滑り軸受の軸受面とスピンドルの外周面との間に、洗浄液の層が形成されていることが好ましい。このようにすれば、洗浄液の層が潤滑材のような役割を果たすため、滑り軸受やスピンドルの摩耗を低減することができる。

上記の構成において、ガラス板の主表面の傾斜に倣って筐体が傾斜しており、筐体の傾斜により低位に位置するスピンドルに設けられた第二供給路が、筐体の傾斜により高位に位置するスピンドルに設けられた第二供給路よりも断面積の小さい部分を有することが好ましい。このようにすれば、相対的に洗浄液の圧力が高くなる低位に位置するスピンドルに設けられた第二供給路からは洗浄液が出にくくなり、相対的に洗浄液の圧力が低くなる高位に位置するスピンドルに設けられた第二供給路からは洗浄液が出やすくなる。従って、高低差に伴って洗浄液に圧力差が生じても、各スピンドルの第二供給路から各洗浄部材に供給される洗浄液の量をほぼ均一にし、洗浄ムラを低減することが可能となる。

上記の構成において、スピンドルが、スピンドルの先端部に、洗浄部材のガラス板に対する基準位置を調整するためのスペーサを備えていることが好ましい。このようにすれば、スペーサの厚みを変えることで洗浄部材の基準位置を調整できるので、ガラス板の厚みや洗浄部材の厚みが変わっても、ガラス板に対する洗浄部材の当接状態を一定にすることができる。

上記の構成において、洗浄液を筐体の内部空間に圧送するために、筐体に第三供給路を設けることが好ましい。このようにすれば、第三供給路を通じて圧送される洗浄液によって、筐体の内部空間の洗浄液の圧力が高められるため、スピンドルケースの第一供給路やスピンドルの第二供給路を通じて洗浄液を円滑に供給することができる。また、第三供給路を通じて筐体の内部空間に洗浄液が順次供給されるため、筐体の体積を小さくしても洗浄中に洗浄液が筐体の内部空間からなくなることはない。従って、筐体を小さくして洗浄装置全体の省スペース化を図ることができる。

上記の構成において、筐体及びスピンドルケースの外側でスピンドルの先端部とは反対側の基端部に回転駆動力が付与されるように構成されていることが好ましい。このようにすれば、筐体及びスピンドルケースの外側でスピンドルに回転駆動力が付与されるため、筐体の内部空間の洗浄液が回転駆動機構と直接接触することがなく、洗浄液が汚染されるのを防止することができる。また、回転駆動力が付与されるスピンドルの基端部は、ガラス板側に位置する先端部とは反対側に位置するので、回転駆動機構からの発塵物がガラス板に付着しにくいという利点もある。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の板厚方向に対向する一対の主表面の少なくとも一方を洗浄する洗浄工程を備えたガラス板の製造方法において、内部空間に洗浄液が貯留された筐体と、筐体の内部空間に面するように筐体に固定された複数のスピンドルケースと、スピンドルケースの内部空間に面するようにスピンドルケースに回転可能に保持されたスピンドルと、筐体及びスピンドルケースの外側でスピンドルの先端部に装着されると共に、ガラス板の主表面に接触してガラス板の主表面を洗浄する洗浄部材と、を備えた洗浄装置を設け、洗浄工程において、筐体の内部空間の洗浄液をスピンドルケースの内部空間に供給した後、スピンドルを介してスピンドルケースの内部空間の洗浄液を洗浄部材に供給することを特徴とする。このような構成によれば、既に述べた対応する構成と同様の作用効果を享受することができる。

上記の構成において、洗浄液を筐体の内部空間に圧送して供給することが好ましい。

以上のような本発明によれば、洗浄液の無駄を少なくしつつ洗浄液を供給する配管の手間を可及的に低減することができる。

第一実施形態に係るガラス板の洗浄装置を示す断面図である。 図１のガラス板の洗浄装置を示す平面図である。 図１のガラス板の洗浄装置におけるスピンドルケースの先端部側を拡大して示す断面図である。 図１のガラス板の洗浄装置におけるスピンドルケースの基端部側を拡大して示す断面図である。 第二実施形態に係るガラス板の洗浄装置を示す断面図である。 第三実施形態に係るガラス板の洗浄装置を示す断面図である。

以下、本実施形態に係るガラス板の洗浄装置及びガラス板の製造方法について、図面を参照しながら説明する。なお、図中のＸＹＺは直交座標系である。Ｘ方向及びＹ方向は水平方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。Ｘ方向及びＺ方向を含むＸＺ平面は、ガラス板の搬送方向と直交する平面である。

（第一実施形態）
図１に示すように、第一実施形態に係るガラス板の洗浄装置１は、ガラス板Ｇをローラコンベアやベルトコンベア等の搬送機構（不図示）によって水平姿勢で搬送しながら、ガラス板Ｇの板厚方向に対向する一対の主表面Ｇａ，Ｇｂを同時に洗浄するものである。

洗浄装置１は、ガラス板Ｇの上方側の主表面Ｇａを洗浄する第一洗浄機構２と、ガラス板Ｇの下方側の主表面Ｇｂを洗浄する第二洗浄機構３とを備えている。第一洗浄機構２の構成と第二洗浄機構３の構成とはほぼ同じであるため、以下では、第一洗浄機構２の構成を中心に説明し、第二洗浄機構３の構成の詳しい説明は省略する。

第一洗浄機構２は、内部空間に洗浄液４が貯留された筐体５と、ガラス板Ｇの主表面Ｇａを洗浄する複数の洗浄ユニット６とを備えている。洗浄液４としては、例えば水を使用することができる。あるいは、洗浄液４として、洗剤等が添加された水を使用してもよい。

複数の洗浄ユニット６は、ガラス板Ｇの搬送方向（図２のＹ方向）と直交するガラス板Ｇの幅方向（Ｘ方向）に沿って列状に配列されている。各洗浄ユニット６は、筐体５の内部空間に面するように筐体５に固定されたスピンドルケース７と、スピンドルケース７の内部空間に面するようにスピンドルケース７に回転可能に保持されたスピンドル８と、筐体５及びスピンドルケース７の外側でスピンドル８の先端部に装着された洗浄部材９とを備えている。ここで、スピンドルケース７及びスピンドル８の「先端部」はガラス板Ｇ側の端部を意味し、これらの「基端部」はガラス板Ｇ側の先端部とは反対側の端部を意味する。

スピンドルケース７の先端部には、筒状の滑り軸受（ブッシング）１０が圧入固定されており、スピンドルケース７の基端部には、筒状の滑り軸受（ブッシング）１１が圧入固定されている。スピンドル８の外周面は、滑り軸受１０，１１の軸受面（内周面）によって回転可能に保持されている。滑り軸受１０，１１は、例えば金属製等であってもよいが、本実施形態では樹脂製（例えばエンジニアリングプラスチック製）である。

洗浄部材９は、スピンドル８に対して着脱可能である。洗浄部材９は、ガラス板Ｇの主表面Ｇａに接触してガラス板Ｇの主表面Ｇａを洗浄する洗浄部９ａと、洗浄部９ａが取り付けられた支持部９ｂとを備えている。洗浄部９ａは、洗浄中にガラス板Ｇの主表面Ｇａを一定圧力で押圧するようになっている。洗浄部９ａの種類は、例えばブラシ等であってもよいが、本実施形態ではスポンジである。洗浄部９ａの形状は特に限定されるものではないが、本実施形態ではディスク状である。

スピンドルケース７には、筐体５の内部空間とスピンドルケース７の内部空間とを連通する第一供給路Ｒ１が設けられており、筐体５の内部空間の洗浄液４が、矢印ａのように第一供給路Ｒ１を通じてスピンドルケース７の内部空間に供給されるようになっている。

スピンドル８には、スピンドルケース７の内部空間と洗浄部材９とを連通する第二供給路Ｒ２が設けられており、スピンドルケース７の内部空間の洗浄液４が、矢印ｂのように第二供給路Ｒ２を通じて洗浄部材９に供給されるようになっている。

筐体５には、筐体５の内部空間に外部から洗浄液４を供給するための第三供給路Ｒ３が設けられており、筐体５の外部に配置されたタンク（不図示）に貯留された洗浄液４が、矢印ｃのように第三供給路Ｒ３を通じて筐体５の内部空間にポンプ（不図示）等によって圧送されるようになっている。この洗浄液４の圧送により、筐体５の内部空間に供給された洗浄液４の圧力は高い状態に維持される。なお、本実施形態では、第三供給路Ｒ３が筐体５に一つだけ設けられているが、複数設けられていてもよい。

洗浄部材９には、第二供給路Ｒ２に連通する貫通孔Ｒ４が設けられおり、第二供給路Ｒ２によって供給された洗浄液４が、矢印ｄのように貫通孔Ｒ４を通じてガラス板Ｇに供給されるようになっている。貫通孔Ｒ４は、洗浄部材９が洗浄液４を透過可能な材質（例えば、多孔質体等）で形成される場合には省略してもよい。

以上のような構成によれば、供給路Ｒ１〜Ｒ３及び貫通孔Ｒ４により、洗浄液４が、筐体５の内部空間→スピンドルケース７の内部空間→洗浄部材９→ガラス板Ｇの順に供給される。従って、筐体５の内部空間に供給された洗浄液４が、第一供給路Ｒ１と第二供給路Ｒ２を介して各洗浄部材９に直接供給されるため、洗浄液供給用の複雑な配管が必要なく、また洗浄液４の無駄も少なくなる。

更に、スピンドルケース７及びスピンドル８の大部分は、筐体５の内部空間に貯留された洗浄液４中に浸漬された状態となるため、スピンドルケース７及びスピンドル８が洗浄液４によって冷却される効果が期待できる。従って、スピンドル８を回転させてガラス板Ｇを洗浄している間も、スピンドルケース７及びスピンドル８の熱膨張を低減し、スピンドルの回転動作を良好に維持することができると考えられる。

本実施形態では、第一供給路Ｒ１が第三供給路Ｒ３の筐体５側の開口部よりも低位に位置し、第二供給路Ｒ２が第一供給路Ｒ１よりも低位に位置している。これら供給部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の高さ関係は特に限定されるものではなく、適宜調整することができる。

第一洗浄機構２は、各洗浄ユニット６のスピンドル８を回転駆動する回転駆動機構１２を備えている。回転駆動機構１２は、筐体５及びスピンドルケース７の外側でスピンドル８の基端部に回転駆動力を付与するようになっている。

詳細には、回転駆動機構１２は、ギア機構１３と、駆動部１４とを備えている。ギア機構１３は、各スピンドル８の基端部に取り付けられた複数のギア１３ａを備え、Ｘ方向に隣接するギア１３ａ同士が噛み合っている。駆動部１４は、モータ１４ａと、モータ１４ａに取り付けられたギア１４ｂとを備え、ギア１４ｂがギア機構１３のＸ方向の一端側でギア１３ａと噛み合っている。従って、モータ１４ａの回転によりギア１４ｂを回転させると、その動力がギア機構１３に伝達され、各洗浄ユニット６のスピンドル８が回転するようになっている。

ギア１３ａ，１４ｂは、例えば金属製（例えばＳＵＳ製）であってもよいが、本実施形態では樹脂製（例えばエンジニアリングプラスチック製）である。なお、ギア１３ａ，１４ｂには、金属製のものと樹脂製のものを組み合わせて用いてもよい。

なお、Ｘ方向に隣接するギア１３ａ同士が直接噛み合っているため、Ｘ方向に隣接するスピンドル８は、互いに反対向きに回転するようになっているが（図２を参照）、ギアを増やす等して互いに同じ向きに回転するようにしてもよい。また、動力伝達部は、ギア機構１３に限定されるものではなく、例えばベルト等の他の手段であってもよい。更に、各スピンドル８に個別に駆動部を取り付けてもよい。

ここで、図１において、符号１５は洗浄ユニット、符号１６は洗浄部材、符号１６ａは洗浄部、符号１６ｂは支持部であり、これらは第二洗浄機構３に関する構成である。洗浄装置１は、ガラス板Ｇの主表面Ｇａ，Ｇｂを一対の洗浄部材９，１６で挟んで洗浄するようになっている。

図２に示すように、第一洗浄機構２は、複数の洗浄ユニット６がＸ方向に列状に配列された洗浄ユニット列Ｌ１，Ｌ２を、Ｙ方向に間隔を置いて複数列（図示例は２列）有している。上流側の洗浄ユニット列Ｌ１に含まれる洗浄部材９と、下流側の洗浄ユニット列Ｌ２に含まれる洗浄部材９とは、Ｘ方向にオフセットされている。その結果、Ｙ方向から見た場合に、上流側の洗浄ユニット列Ｌ１でＸ方向に隣接する洗浄部材９の間の隙間に、下流側の洗浄ユニット列Ｌ２の洗浄部材９がオーバーラップするように配置されている。これにより、ガラス板Ｇの全幅に亘って洗浄部材９が接触するため、ガラス板Ｇの洗浄ムラを防止することができる。

図３及び図４に示すように、滑り軸受１０の軸受面とスピンドル８の先端部の外周面との間、及び、滑り軸受１１の軸受面とスピンドル８の基端部の外周面との間には、それぞれ液層Ｃ１，Ｃ２が形成されている。液層Ｃ１，Ｃ２は、スピンドルケース７の内部空間に供給された洗浄液４が液層Ｃ１，Ｃ２に対応する部分から滲み出すことによって形成される。従って、液層Ｃ１，Ｃ２は、洗浄液４に由来する潤滑機能を有するため、滑り軸受１０，１１やスピンドル８の摩耗を防止することができる。

液層Ｃ１，Ｃ２を形成する洗浄液４の滲み出しは、筐体５の内部空間の洗浄液４の圧力を高めることによって生じやすくなる。筐体５の内部空間の洗浄液４の圧力は、例えば、筐体５の内部空間への洗浄液４の単位時間当たりの供給量を変更することによって調整することができる。液層Ｃ１，Ｃ２を形成する洗浄液４は、滲み出しに伴って徐々に新しい洗浄液と入れ替わる。

次に、本実施形態に係るガラス板の製造方法を説明する。本製造方法は、上述したガラス板の洗浄装置１を用いた洗浄工程を含む。

詳細には、ガラス板の製造方法は、例えば、成形工程と、徐冷工程と、採板工程と、切断工程と、洗浄工程と、検査工程と、梱包工程とを備えている。なお、採板工程の後に熱処理工程を備えていてもよい。また、切断工程の後に端面加工工程を備えていてもよい。

成形工程では、オーバーフローダウンドロー法やフロート法等の公知の方法によって、溶融ガラスからガラスリボンを成形する。

徐冷工程では、成形されたガラスリボンの反り及び内部歪を低減するために、成形されたガラスリボンを徐冷する。

採板工程では、徐冷されたガラスリボンを所定の長さごとに切断し、複数枚の元ガラス板を得る。

熱処理工程では、例えば熱処理炉において、元ガラス板に対して熱処理を行う。

切断工程では、元ガラス板を所定サイズに切断し、一枚又は複数枚のガラス板Ｇを得る。元ガラス板の切断方法としては、例えば、切断予定線に沿って形成されたスクライブ線を曲げ応力によって進展させる曲げ応力割断、切断予定線の一部に形成された初期クラックをレーザー照射と急冷によって生じた熱応力で切断予定線に沿って進展させるレーザー割断、レーザー照射によって溶融しながら切断予定線に沿って切断するレーザー溶断等を利用することができる。ガラス板Ｇは矩形状であることが好ましい。ガラス板Ｇの一辺の大きさは１０００ｍｍ〜３０００ｍｍであることが好ましく、板厚は０．０５ｍｍ〜１０ｍｍであることが好ましく、０．２ｍｍ〜０．７ｍｍであることがより好ましい。

端面加工工程では、ガラス板Ｇに対して端面の研削、研磨及びコーナーカットを含む端面加工を行う。

洗浄工程では、上述の洗浄装置１を用いて、ガラス板Ｇを水平姿勢で搬送しながら洗浄する。

検査工程では、洗浄されたガラス板Ｇに対して表面に傷、塵、汚れ等がないか、及び／又は、気泡、異物等の内部欠陥がないかを検査する。検査は、カメラ等の光学検査装置を用いて行う。

梱包工程では、検査の結果、所望の品質を満たすガラス板Ｇを梱包する。梱包は、所定のパレットに対して、複数枚のガラス板Ｇを平置きで積層したり、縦置きで積層したりすることによって行う。この場合、ガラス板Ｇの積層方向の相互間には、合紙や発泡樹脂等からなる保護シートを介在させることが好ましい。

（第二実施形態）
図５に示すように、第二実施形態に係るガラス板の洗浄装置１及びガラス板の製造方法が、第一実施形態に係るガラス板の洗浄装置１及びガラス板の製造方法と相違するところは、ガラス板Ｇを傾斜姿勢で搬送しながら洗浄する点である。以下では、第一実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第一実施形態と共通する構成は、同一符号を付して説明する。

第二実施形態に係るガラス板の洗浄装置１では、第一洗浄機構２において、ガラス板Ｇの主表面Ｇａの傾斜に倣って筐体５が傾斜している。筐体５の傾斜により、筐体５に設けられた各洗浄ユニット６には高低差が設けられている。ガラス板Ｇの主表面Ｇａの水平面に対する傾斜角度θは、例えば２〜１０°であることが好ましい。

低位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２は、高位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２よりも断面積の小さい部分を有している。本実施形態では、各第二供給路Ｒ２は、スピンドルケース７側の開口端から洗浄部材９側の開口端までほぼ一定の断面積を有しており、低位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２の断面積が、高位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２の断面積よりも小さくなっている。すなわち、図中の三つの第二供給路Ｒ２の断面積は、高位（図中の右側）から低位（図中の左側）に向かって大中小と変化している。このような構成によれば、筐体５の傾斜による高低差に伴って、筐体５の内部空間の洗浄液４に圧力差が生じても、各スピンドル８の第二供給路Ｒ２から各洗浄部材９に供給される洗浄液４の量をほぼ均一にし、洗浄ムラを低減することができる。

第二供給路Ｒ２の断面形状が円形である場合、第二供給路Ｒ２の直径は１〜９ｍｍの間で変化させることが好ましい。

図５では、三つの洗浄部材９の貫通孔Ｒ４の断面積も高位から低位に向かって大中小と変化しているが、各貫通孔Ｒ４の断面積は同じであってもよい。

低位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２の一部にオリフィスを形成して、そのオリフィスを高位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２よりも断面積の小さい部分としてもよい。すなわち、低位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２は、高位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２よりも断面積の小さい部分を一部のみに有するものであってもよい。

各洗浄部材９に供給される洗浄液４の量を均一化するために、低位に位置するスピンドルケース７に設けられた第一供給路Ｒ１が、高位に位置するスピンドルケース７に設けられた第一供給路Ｒ１よりも断面積の小さい部分を有するようにしてもよい。同様の目的で、低位に位置する洗浄部材９の支持部９ｂ（又は、洗浄部９ａ及び支持部９ｂ）に設けられた貫通孔Ｒ４が、高位に位置する洗浄部材９の支持部９ｂ（又は、洗浄部９ａ及び支持部９ｂ）に設けられた貫通孔Ｒ４よりも断面積の小さい部分を有するようにしてもよい。更に、第二洗浄機構３において、各第二供給路及び各貫通孔の断面積は、図中では同じであるが、異なっていてもよい。

（第三実施形態）
図６に示すように、第三実施形態に係るガラス板の洗浄装置１及びガラス板の製造方法が、第一及び第二実施形態に係るガラス板の洗浄装置１及びガラス板の製造方法と相違するところは、第一洗浄機構２において、スピンドル８がその先端部に洗浄部材９の高さ（ガラス板Ｇに対する基準位置）を調整するためのスペーサ８ａを備えている点である。以下では、第一及び第二実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第一及び第二実施形態と共通する構成は、同一符号を付して説明する。

第三実施形態では、筐体５が第二実施形態と同様に傾斜している場合を例示して説明するが、もちろん、筐体５は第一実施形態と同様に水平であってもよい。

第三実施形態に係るガラス板の洗浄装置１では、スペーサ８ａが、スピンドル８の先端部に設けられたフランジ部８ｂに着脱可能に装着されている。洗浄部材９は、スペーサ８ａを介してスピンドル８のフランジ部８ｂに着脱可能に装着されている。これにより、スペーサ８ａの厚みに応じて洗浄部材９の高さが調整されるようになっている。すなわち、例えば、ガラス板Ｇが薄い場合は、相対的に厚いスペーサ８ａを用いて洗浄部材９をガラス板Ｇ側に接近させ、ガラス板Ｇが厚い場合は、相対的に薄いスペーサ８ａを用いて洗浄部材９をガラス板Ｇ側から離反させる。これにより、洗浄部材９とガラス板Ｇの当接状態をガラス板Ｇの厚みによらず一定にすることができる。あるいは、洗浄部材９が薄い場合は、相対的に厚いスペーサ８ａを用いて洗浄部材９をガラス板Ｇ側に接近させ、洗浄部材９が厚い場合は、相対的に薄いスペーサ８ａを用いて洗浄部材９をガラス板Ｇ側から離反させる。これにより、洗浄部材９とガラス板Ｇの当接状態を洗浄部材９の厚みによらず一定にすることができる。

本実施形態では、スペーサ８ａは、スピンドル８の第二供給路Ｒ２の洗浄部材９側の開口端部を形成する貫通孔Ｒ２ａを有する。換言すれば、スペーサ８ａの貫通孔Ｒ２ａが、第二供給路Ｒ２の一部を形成する。

本実施形態では、低位に位置するスピンドル８の第二供給路Ｒ２のうちスペーサ８ａの貫通孔Ｒ２ａを除く部分と、高位に位置するスピンドル８に設けられえた第二供給路Ｒ２のうちスペーサ８ａの貫通孔Ｒ２ａを除く部分とは、断面積が同じである。一方、低位に位置するスピンドル８の第二供給路Ｒ２のうちスペーサ８ａの貫通孔Ｒ２ａの断面積は、高位に位置するスピンドル８に設けられた第二供給路Ｒ２のうちスペーサ８ａの貫通孔Ｒ２ａの断面積よりも小さい。すなわち、図中の三つのスペーサ８ａの貫通孔Ｒ２ａの断面積は、高位（図中の右側）から低位（図中の左側）に向かって大中小と変化している。従って、スペーサ８ａの貫通孔Ｒ２ａが、各スピンドル８の第二供給路Ｒ２から各洗浄部材９に供給される洗浄液４の量をほぼ均一にするためのオリフィスとして機能する。

ここで、第二洗浄機構３において、同様にスペーサ（不図示）を設け、洗浄部材１６の高さ（ガラス板Ｇに対する基準位置）を調整可能としてもよい。この場合、第一洗浄装置２におけるスペーサ８ａは省略してもよいし、併用してもよい。

また、本実施形態では、スペーサ８ａの厚みを変更することによって洗浄部材９の高さを調整したが、スピンドル９の高さを変更することによって洗浄部材９の高さを調整してもよい。このスピンドル９の高さ変更は、例えばスピンドルケース７がスピンドル９の高さを変更可能な状態でスピンドル９を保持することで実現できる。スピンドル９の高さを変更することによって洗浄部材９の高さを調整する場合であっても、各洗浄部材９に供給される洗浄液４の量をほぼ均一にするためのオリフィスとして、スペーサ８ａを用いてもよい。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態では、定位置に配置された洗浄部材に対してガラス板を移動させる場合を説明したが、洗浄部材とガラス板との間に相対的な移動があれば、いずれを移動させる態様であってもよい。すなわち、定位置に配置されたガラス板に対して、洗浄部材を移動させてもよいし、ガラス板と洗浄部材の両方を移動させてもよい。

上記の実施形態において、筐体に洗浄液を供給するための第三供給路を省略してもよい。換言すれば、筐体の内部空間の体積を大きくする等して、洗浄中に筐体の内部空間に外部から洗浄液を供給しない構成としてもよい。この場合、筐体の内部空間の洗浄液の圧力を高めるために、筐体の内部空間に外部から気体（例えば、空気）を供給したり、筐体の内部空間の体積の可変機構を設けたりしてもよい。

上記の実施形態において、ガラス板の板厚方向に対向する一対の洗浄部材のうち、少なくとも一方の洗浄部材を、基準位置と退避位置との間で、ガラス板の板厚方向に移動可能としてもよい。すなわち、ガラス板が所定位置まで搬送されたことをセンサ等によって検知し、その検知結果に基づいて、ガラス板の板厚方向に対向する一対の洗浄部材のうち、少なくとも一方の洗浄部材を退避位置から基準位置までガラス板の板厚方向に移動させることにより、一対の洗浄部材の対向間隔を狭めてガラス板の主表面に当接するようにしてもよい。

上記の実施形態において、第一洗浄機構と第二洗浄機構とが異なる構成を有していてもよい。例えば、ガラス板の上方側の主表面側で洗浄液を供給すれば、上方側の主表面に供給された洗浄液が、ガラス板の表面を伝ってガラス板の下方側の主表面にも供給される。従って、第二洗浄機構は、洗浄部材がガラス板に洗浄液を直接供給する構成（例えば、筐体、第一〜第三供給路、洗浄部材の貫通孔等）を備えていなくてもよい。

上記の実施形態において、ガラス板の主表面のうち、一方の主表面のみを洗浄するようにしてもよい。

１ 洗浄装置
２ 第一洗浄機構
３ 第二洗浄機構
４ 洗浄液
５ 筐体
６ 洗浄ユニット
７ スピンドルケース
８ スピンドル
８ａ スペーサ
９ 洗浄部材
９ａ 洗浄部
９ｂ 支持部
１０ 軸受
１１ 軸受
１２ 回転駆動機構
１３ ギア機構
１４ 駆動部
Ｃ１，Ｃ２ 液層
Ｇ ガラス板
Ｇａ，Ｇｂ 主表面
Ｒ１ 第一供給路
Ｒ２ 第二供給路
Ｒ２ａ 貫通孔（スペーサ用）
Ｒ３ 第三供給路
Ｒ４ 貫通孔（洗浄部材用）

Claims (9)

1. ガラス板の板厚方向に対向する一対の主表面の少なくとも一方を洗浄する洗浄装置において、
   内部空間に洗浄液が貯留された筐体と、
   前記筐体の内部空間に面するように前記筐体に固定された複数のスピンドルケースと、
   前記スピンドルケースの内部空間に面するように前記スピンドルケースに回転可能に保持されたスピンドルと、
   前記筐体及び前記スピンドルケースの外側で前記スピンドルの先端部に装着されると共に、前記ガラス板の主表面に接触して前記ガラス板の主表面を洗浄する洗浄部材と、
   前記筐体の内部空間の前記洗浄液を前記スピンドルケースの内部空間に供給するために前記スピンドルケースに設けられた第一供給路と、
   前記スピンドルケースの内部空間の前記洗浄液を前記洗浄部材に供給するために前記スピンドルに設けられた第二供給路と、を備えていることを特徴とするガラス板の洗浄装置。
2. 前記スピンドルケースが、樹脂製の滑り軸受を介して前記スピンドルを回転可能に保持していることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の洗浄装置。
3. 前記滑り軸受の軸受面と前記スピンドルの外周面との間に、前記洗浄液の層が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の洗浄装置。
4. 前記ガラス板の主表面の傾斜に倣って前記筐体が傾斜しており、前記筐体の傾斜により低位に位置する前記スピンドルに設けられた前記第二供給路が、前記筐体の傾斜により高位に位置する前記スピンドルに設けられた前記第二供給路よりも断面積の小さい部分を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラス板の洗浄装置。
5. 前記スピンドルが、前記スピンドルの先端部に、前記洗浄部材の前記ガラス板に対する基準位置を調整するためのスペーサを備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラス板の洗浄装置。
6. 前記洗浄液を前記筐体の内部空間に圧送するために、前記筐体に第三供給路を設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラス板の洗浄装置。
7. 前記筐体及び前記スピンドルケースの外側で前記スピンドルの前記先端部とは反対側の基端部に回転駆動力が付与されるように構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラス板の洗浄装置。
8. ガラス板の板厚方向に対向する一対の主表面の少なくとも一方を洗浄する洗浄工程を備えたガラス板の製造方法において、
   内部空間に洗浄液が貯留された筐体と、
   前記筐体の内部空間に面するように前記筐体に固定された複数のスピンドルケースと、
   前記スピンドルケースの内部空間に面するように前記スピンドルケースに回転可能に保持されたスピンドルと、
   前記筐体及び前記スピンドルケースの外側で前記スピンドルの先端部に装着されると共に、前記ガラス板の主表面に接触して前記ガラス板の主表面を洗浄する洗浄部材と、を備えた洗浄装置を設け、
   前記洗浄工程において、前記筐体の内部空間の前記洗浄液を前記スピンドルケースの内部空間に供給した後、前記スピンドルを介して前記スピンドルケースの内部空間の前記洗浄液を前記洗浄部材に供給することを特徴とするガラス板の製造方法。
9. 前記洗浄液を前記筐体の内部空間に圧送して供給することを特徴とする請求項８に記載のガラス板の製造方法。

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