TWM606416U

TWM606416U - 基板搬送裝置及基板清洗裝置

Info

Publication number: TWM606416U
Application number: TW109210859U
Authority: TW
Inventors: 石川智章; 松谷将樹
Original assignee: 日商Ａｇｃ股份有限公司
Priority date: 2019-08-20
Filing date: 2020-08-20
Publication date: 2021-01-11
Also published as: CN213591336U; JP3223771U

Abstract

本創作提供一種能夠順利地搬送基板之基板搬送裝置及能夠良好地清洗基板之基板清洗裝置。本創作之基板搬送裝置10具備搬送部11，該搬送部11具有彼此向相反方向旋轉之下側輥13及上側輥15，由下側輥13與上側輥15夾持玻璃板G進行搬送，且下側輥13於與玻璃板G之搬送方向X正交之寬度方向上，遍及較上述基板尺寸長之範圍具有樹脂製表層部26，表層部26抵接於玻璃板G下表面之上述寬度方向之整個範圍，上側輥15具有軸31、及設置於軸31兩端附近之橡膠製彈性環33，彈性環33抵接於玻璃板G上表面之寬度方向之兩緣部附近部位。

Description

基板搬送裝置及基板清洗裝置

本創作係關於一種基板搬送裝置及基板清洗裝置。

作為對用於例如LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示裝置)或OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機電致發光二極體)等平板顯示器(FPD：Flat Panel Display)之玻璃板進行清洗之清洗裝置，已知有一種具備刷清洗機構部及搬送機構部之清洗裝置，上述刷清洗機構部使滾筒刷接觸玻璃板之正面或背面進行清洗，上述搬送機構部保持玻璃板之端部，並且沿大致與滾筒刷之縱向正交之方向搬送玻璃板(例如，參照專利文獻1)。於該清洗裝置中，由構成搬送機構部之搬送輥及防浮起輥夾著玻璃板之緣部而送出該玻璃板。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2008-68223號公報

[創作所欲解決之問題]

另外，若為了提昇清洗機構部對玻璃板之清洗力而增加刷對玻璃板之壓抵力，則清洗機構部之阻力會變大。如此一來，有玻璃板之搬送速度降低或玻璃板停止，從而產生清洗不良之虞。

因此，本創作之目的在於提供一種能夠順利地搬送基板之基板搬送裝置及能夠良好地清洗基板之基板清洗裝置。 [解決問題之技術手段]

本創作包括下述構成。 (1)一種基板搬送裝置，其具備搬送部，該搬送部具有彼此向相反方向旋轉之下側輥及上側輥，由上述下側輥與上述上側輥夾持基板進行搬送，且上述下側輥於與上述基板之搬送方向正交之寬度方向上，遍及較上述基板尺寸長之範圍具有樹脂製表層部，上述表層部抵接於上述基板下表面之上述寬度方向之整個範圍，上述上側輥具有軸、及設置於上述軸兩端附近之橡膠製彈性環，上述彈性環抵接於上述基板上表面之寬度方向之兩緣部附近部位。 (2)一種基板清洗裝置，其中排列有複數個如上述(1)之搬送部，且於上述搬送部之間設置有清洗上述基板之上下表面之清洗機構部。 [創作之效果]

根據本創作之基板搬送裝置及基板清洗裝置，能夠順利地搬送基板，因此，能夠良好地清洗基板。

以下，參照圖式對本創作之實施形態詳細地進行說明。圖1係具備本創作之實施形態之基板搬送裝置之基板清洗裝置的概略俯視圖。圖2係具備本創作之實施形態之基板搬送裝置之基板清洗裝置的概略側視圖。

如圖1及圖2所示，本實施形態之基板搬送裝置10具備複數個搬送部11。該基板搬送裝置10與複數個清洗機構部50一同構成基板清洗裝置100。亦即，基板清洗裝置100由基板搬送裝置10及基板清洗機構部50構成。

基板清洗裝置100係對形成為矩形之玻璃板(基板)G進行清洗之裝置。利用該板清洗裝置100進行清洗之玻璃板G包含用於例如LCD(Liquid Crystal Display)或OLED(Organic Light-Emitting Diode)等平板顯示器(FPD：Flat Panel Display)之無鹼玻璃系材料。基板清洗裝置100係對被水平搬送之玻璃板G之上下表面進行清洗之裝置，尤其是對玻璃板G之會被實施各種處理或加工之上表面進行清洗。

圖3係圖1之A-A線剖視圖。圖4係基板搬送裝置之搬送部之沿軸向之一部分的概略剖視圖。

如圖3及圖4所示，構成基板搬送裝置10之複數個搬送部11具有下側輥13及上側輥15。下側輥13與上側輥15水平配置於上下之對向位置，玻璃板G能自兩者之間通過。搬送部11藉由將玻璃板G夾於下側輥13與上側輥15之間，並使下側輥13與上側輥15彼此向相反方向旋轉，而向搬送方向X(參照圖1及圖2)搬送玻璃板G。

下側輥13具有管體21、及設置於管體21兩端之支持軸部22。支持軸部22於管體21側具有凸緣部23，管體21固定於該凸緣部23。支持軸部22例如由不鏽鋼(SUS)等形成，分別由軸承(未圖示)支持。

管體21由不鏽鋼(SUS)製管材構成，其內部設置有補強管部25。補強管部25係包含碳纖維強化塑膠(CFRP：Carbon Fiber Reinforced Plastic)之管材，嵌入於管體21內。藉此，管體21之內周面被補強管部25遍及長度方向加以補強，從而既能實現輕量化又能抑制撓曲。再者，補強管部25可由較PAN(Polyacrylonitrile，聚丙烯腈)系硬之瀝青(PITCH)系碳纖維強化塑膠形成，藉此進一步抑制撓曲。

又，下側輥13於管體21之外周面設置有表層部26。該表層部26由聚氨酯樹脂形成。藉此，管體21之除長度方向兩端附近以外之外周面被表層部26覆蓋。下側輥13之表層部26之軸向長度設定得較玻璃板G之與玻璃板G之搬送方向X正交之寬度方向上的尺寸長。藉此，下側輥13之表層部26兩端自玻璃板G突出，玻璃板G之寬度之全域與下側輥13之表層部26抵接。

上側輥15具有軸31、固定構件32及彈性環33。軸31例如以由不鏽鋼(SUS)等形成之長條圓桿材構成，兩端由軸承(未圖示)支持。上述長條圓桿材之軸向長度較玻璃板G之與玻璃板G之搬送方向X正交之寬度方向上的尺寸長。固定構件32固定於軸31之兩端附近，彈性環33嵌裝於固定構件32之外周。藉此，彈性環33經由固定構件32安裝於軸31。彈性環33例如由耐熱性、耐化學品性、耐油性優異之氟橡膠等彈性材料形成。該彈性環33形成為剖面觀察時呈矩形之方形環狀。上側輥15之彈性環33配置於所搬送之玻璃板G之與搬送方向X正交之寬度方向的兩緣部附近位置。藉此，上側輥15之各彈性環33抵接於玻璃板G之寬度方向之兩緣部附近。

各搬送部11之下側輥13及上側輥15藉由驅動機構(未圖示)而彼此向相反方向同步旋轉。藉此，送入至下側輥13與上側輥15之間之玻璃板G由下側輥13之表層部26與上側輥15之彈性環33夾持而向搬送方向X搬送。此時，玻璃板G之下表面遍及寬度方向之全域與表層部26抵接，上表面之寬度方向之兩緣部附近與彈性環33抵接。

如圖1及圖2所示，構成基板清洗裝置100之清洗機構部50配置於搬送部11之間。具體而言，以2個搬送部11為一組，各組之搬送部11彼此之間分別配置有清洗機構部50。

清洗機構部50可為圓盤刷，亦可為滾筒刷。於清洗機構部50為圓盤刷之情形時，具備下側圓盤刷群51及上側圓盤刷群52。下側圓盤刷群51及上側圓盤刷群52分別具有複數個圓盤刷55，該等圓盤刷55分別藉由驅動馬達56而旋轉。下側圓盤刷群51及上側圓盤刷群52之複數個圓盤刷55沿著與基板搬送裝置10搬送之玻璃板G之搬送方向X正交之方向排列。

於下側圓盤刷群51中，圓盤刷55朝向上方配置，對基板搬送裝置10搬送之玻璃板G之下表面進行清洗。於上側圓盤刷群52中，圓盤刷55朝向下方配置，對基板搬送裝置10搬送之玻璃板G之上表面進行清洗。圓盤刷55例如為包含PVA(poly vinyl alcohol，聚乙烯醇)等樹脂之海綿製刷、或者包含尼龍(聚醯胺)等樹脂之毛刷，其形狀例如為外徑70～100 mm之圓柱形。再者，圓盤刷55利用驅動馬達56所得之旋轉(自轉)速度較佳為設為100～500 rpm。

清洗機構部50具備對玻璃板G之上下表面噴射清洗液之噴嘴(未圖示)。自噴嘴向玻璃板G之上下表面噴射例如含有氧化鈰等之漿料、清洗劑(鹼性或酸性)或純水等清洗液。例如，若使用包含有機膦酸、多羧酸鹽、芳香族磺酸、及胺-環氧烷加成物之水系清洗劑作為清洗液，則能夠良好地將殘留及/或附著於研磨後之玻璃板G表面之包含氧化鈰等之研磨粒分散並去除，亦並不會損害玻璃板G之平坦性。又，作為清洗液，例如亦可使用含有氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鋰、碳酸鈉、及碳酸鉀等無機鹼之無機鹼清洗劑。

於上述構成之基板清洗裝置100中，當將玻璃板G送入至構成基板搬送裝置10之搬送部11之下側輥13與上側輥15之間時，該玻璃板G由下側輥13與上側輥15夾持而向搬送方向X搬送。

由該基板搬送裝置10向搬送方向X搬送之玻璃板G利用配置於搬送部11之間之清洗機構部50清洗。具體而言，各清洗機構部50之下側圓盤刷群51及上側圓盤刷群52之圓盤刷55以被按壓於玻璃板G之下表面及上表面之狀態旋轉，藉此，去除玻璃板G之下表面及上表面之附著物等，從而清洗玻璃板G之下表面及上表面。

於利用該清洗機構部50之圓盤刷55進行清洗之過程中，玻璃板G利用由搬送部11之下側輥13及上側輥15所產生之高保持力向搬送方向X搬送。因此，即便增強自圓盤刷55傳至玻璃板G之按壓力及旋轉力來提高清洗力，玻璃板G亦不會有搬送速度降低或搬送停止等異常，而且，能夠避免蛇行而穩定地被搬送。

如以上所說明，根據本實施形態之基板搬送裝置10，玻璃板G由樹脂製表層部26抵接於上述玻璃板G下表面之寬度方向之全域之下側輥13、與橡膠製彈性環33抵接於上述玻璃板G上表面之寬度方向之兩緣部附近之上側輥15夾持而以高保持力受到搬送。藉此，即便因對玻璃板G實施清洗處理等各種處理而產生了阻力，亦不會有搬送速度降低或搬送停止等異常，而且，能夠避免蛇行而穩定地搬送玻璃板G。

尤其是，由於下側輥13之表層部26包含聚氨酯樹脂，且上側輥15之橡膠製彈性環33係剖面觀察時呈矩形之方形環，故而能以高保持力搬送玻璃板G。

而且，於玻璃板G之上表面，上側輥15之彈性環33抵接於寬度方向之兩緣部附近，因此，能夠良好地對玻璃板G上表面之中央側進行清洗等各種處理。

又，下側輥13係藉由在外周捲繞有表層部26之不鏽鋼製管體21中嵌入碳纖維強化塑膠製補強管部25而得到補強之構造，因此，既能實現輕量化，又能抑制玻璃板G之重量導致下側輥13撓曲之現象。藉此，搬送玻璃板G時能夠抑制撓曲。

而且，根據具備上述基板搬送裝置10之基板清洗裝置100，能夠利用複數個搬送部11搬送玻璃板G，並且利用設置於搬送部11之間之清洗機構部50良好地清洗玻璃板G之上下表面。而且，搬送部11能夠一面以高保持力保持玻璃板G一面搬送玻璃板G，因此，即便因利用清洗機構部50對玻璃板G實施清洗處理而產生了阻力，亦不會有搬送速度降低或搬送停止等異常，而且，能夠避免蛇行而穩定地搬送玻璃板G。

尤其是由於清洗機構部50具有一面抵接於玻璃板G之上下表面一面旋轉之複數個圓盤刷55，故而能夠利用清洗機構部50之圓盤刷55對搬送部11搬送之玻璃板G良好地清洗上下表面。

再者，於上述實施形態中，例示了於構成基板搬送裝置10之搬送部11之上側輥15上設置有形成為剖面觀察時呈矩形之方形環狀彈性環33的情形，但彈性環33之截面形狀及設置數量等並不限定於上述實施形態。

圖5係表示基板搬送裝置之搬送部之變化例之圖1的A-A線剖視圖。如圖5所示，於該上側輥15中，在設置於軸31兩端附近之固定構件32上沿軸向隔開間隔而安裝有形成為剖面觀察時呈圓形之O形環即2個彈性環33。

於具備該上側輥15之搬送部11之情形時，亦可利用上側輥15及具有包含聚氨酯樹脂之表層部26之下側輥13以高保持力搬送玻璃板G。又，可藉由使用市售之O形環作為彈性環33，而實現設備費用之削減。

接下來，對搬送部11及清洗機構部50之配置或設置數量不同之變化例之各種基板清洗裝置進行說明。

(變化例1) 圖6係表示基板搬送裝置之搬送部及清洗機構部之另一配置例之基板清洗裝置的概略俯視圖。

如圖6所示，變化例1之基板清洗裝置200具備基板清洗單元201。而且，基板清洗單元201具有3個搬送部11，且於該等搬送部11之間分別配設有清洗機構部50。基板清洗裝置200係將3組基板清洗單元201串列設置而構成。

如此，根據具備包含搬送部11及清洗機構部50之基板清洗單元201之基板清洗裝置200，可根據對玻璃板G進行之各種處理(清洗處理)等串列設置所需數量之基板清洗單元201而易擴大設備。

(變化例2) 圖7係表示基板搬送裝置之搬送部及清洗機構部之另一配置例之基板清洗裝置的概略俯視圖。

如圖7所示，變化例2之基板清洗裝置300具備於2個搬送部11之間配設有清洗機構50之基板清洗單元301。而且，基板清洗裝置300係將2組基板清洗單元301串列設置而構成。又，於構成基板清洗單元301之清洗機構部50中，在下側圓盤刷群51及上側圓盤刷群52中，配置成2行之圓盤刷55彼此配置成鋸齒狀(zigzag alignment)。

如此，於具備包含搬送部11及清洗機構部50之基板清洗單元301之基板清洗裝置300之情形時，亦可根據對玻璃板G進行之各種處理(清洗處理)等串列設置所需數量之基板清洗單元201而易擴大設備。尤其是於該板清洗裝置300中，藉由將各清洗機構部50之圓盤刷55配置成鋸齒狀，能夠利用搬送方向X下游側之圓盤刷55將搬送方向X上游側之圓盤刷55間未被去除之附著物去除。

(變化例3) 變化例3之基板清洗裝置係於圖6中將清洗機構部50之圓盤刷替換成滾筒刷之構造。

即，變化例3之基板清洗裝置具備於2個搬送部之間配設有清洗機構之滾筒刷之基板清洗單元。上述清洗機構部亦可根據所需之清洗能力具有複數行滾筒刷。又，清洗單元之個數可根據對玻璃板G進行之各種處理(清洗處理)等擴大。

再者，本創作亦可應用於搬送除LCD、OLED、FPD以外之電子裝置，例如，光學元件用玻璃基板、玻璃圓盤、太陽電池等之基板。又，所搬送之基板並不限定於玻璃板，例如，亦可為由金屬、陶瓷或樹脂成形者。

如此，本創作並不限定於上述實施形態，將實施形態之各構成相互組合，或業者基於說明書之記載、以及習知技術進行變更、應用亦為本創作之預設範圍內，包含於請求保護之範圍內。

如上所述，本說明書揭示有如下事項。 (1)一種基板搬送裝置，其具備搬送部，該搬送部具有彼此向相反方向旋轉之下側輥及上側輥，由上述下側輥與上述上側輥夾持基板進行搬送，且上述下側輥於與上述基板之搬送方向正交之寬度方向上，遍及較上述基板尺寸長之範圍具有樹脂製表層部，上述表層部抵接於上述基板下表面之寬度方向之整個範圍，上述上側輥具有軸、及設置於上述軸兩端附近之橡膠製彈性環，上述彈性環抵接於上述基板上表面之寬度方向之兩緣部附近部位。根據上述(1)之構成之基板搬送裝置，下側輥之樹脂製表層部抵接於基板下表面之寬度方向之整個範圍，且上側輥之橡膠製彈性環抵接於基板上表面之寬度方向之兩緣部附近部位。藉此，基板由樹脂製表層部抵接於上述基板下表面之寬度方向之全域之下側輥、與橡膠製彈性環抵接於上述基板上表面之寬度方向之兩緣部附近之上側輥夾持而以高保持力加以搬送。藉此，即便因對基板例如實施清洗處理等各種處理而產生了阻力，亦不會有搬送速度降低或搬送停止等異常，而且，能夠避免蛇行而穩定地搬送基板。而且，對基板之上表面，上側輥之彈性環抵接於寬度方向之兩緣部附近，因此，能夠對基板上表面之中央側良好地進行各種處理。

(2)如(1)中記載之基板搬送裝置，其中上述搬送部搬送由玻璃板構成之上述基板。根據上述(2)之構成之基板搬送裝置，能夠利用包含下側輥及上側輥之搬送部以高保持力搬送玻璃板，並能夠對所搬送之玻璃板順利地進行例如清洗處理等各種處理。

(3)如(1)或(2)中記載之基板搬送裝置，其中上述彈性環係剖面觀察時呈矩形之方形環。根據上述(3)之構成之基板搬送裝置，能夠利用表層部抵接於基板下表面之寬度方向之整個範圍之下側輥、及剖面觀察時呈矩形之方形環之彈性環抵接於基板上表面之寬度方向之兩緣部附近的上側輥，以高保持力搬送基板。

(4)如(1)或(2)中記載之基板搬送裝置，其中上述彈性環係剖面觀察時呈圓形之O形環。根據上述(4)之構成之基板搬送裝置，能夠利用表層部抵接於基板下表面之寬度方向之整個範圍之下側輥、及剖面觀察時呈圓形之O形環之彈性環抵接於基板上表面之寬度方向之兩緣部附近的上側輥，以高保持力搬送基板。

(5)如(1)至(4)中任一項記載之基板搬送裝置，其中於上述軸之兩端附近分別安裝有複數個上述彈性環。根據上述(5)之構成之基板搬送裝置，能夠利用表層部抵接於基板下表面之寬度方向之整個範圍之下側輥、及複數個彈性環分別抵接於基板上表面之寬度方向之兩緣部附近之上側輥，以高保持力搬送基板。

(6)如(1)至(5)中任一項記載之基板搬送裝置，其中上述表層部係由聚氨酯樹脂形成。根據上述(6)之構成之基板搬送裝置，能夠利用包含聚氨酯樹脂之表層部抵接於基板下表面之寬度方向之整個範圍的下側輥、及彈性環抵接於基板上表面之寬度方向之兩緣部附近之上側輥，以高保持力搬送基板。

(7)如(1)至(6)中任一項記載之基板搬送裝置，其中上述下側輥具有：不鏽鋼製管體，其外周捲繞有上述表層部；及碳纖維強化塑膠製補強管部，其嵌入上述管體。根據上述(7)之構成之基板搬送裝置，藉由利用碳纖維強化塑膠製補強管部補強不鏽鋼製管體，既能實現輕量化，又能抑制基板之重量導致之下側輥撓曲之現象。藉此，搬送基板時能夠抑制撓曲。

(8)一種基板清洗裝置，其具備如(1)至(7)中任一項記載之基板搬送裝置，且上述基板清洗裝置中排列有複數個上述搬送部，於上述搬送部之間設置有清洗上述基板之上下表面之清洗機構部。根據上述(8)之構成之基板清洗裝置，能夠一面利用複數個搬送部搬送基板，一面利用設置於搬送部之間之清洗機構部良好地清洗基板之上下表面。而且，搬送部由於能夠一面以高保持力保持基板一面搬送基板，故而即便因利用清洗機構部對基板實施清洗處理而產生了阻力，亦不會有搬送速度降低或搬送停止等異常，而且，能夠避免蛇行而穩定地搬送基板。

(9)如(8)中記載之基板清洗裝置，其中上述清洗機構部具有一面抵接於上述基板之上下表面一面旋轉之複數個圓盤刷。根據上述(9)之構成之基板清洗裝置，能夠利用一面抵接於基板之上下表面一面旋轉之複數個圓盤刷搬送基板，同時良好地清洗上下表面。

(10)如(9)中記載之基板清洗裝置，其中上述清洗機構部之複數個上述圓盤刷俯視下配置成鋸齒狀。根據上述(10)之構成之基板清洗裝置，能夠利用配置成鋸齒狀之複數個圓盤刷無間隙地清洗基板之上下表面。

(11)如(8)至(10)中任一項所記載之基板清洗裝置，其中包含上述搬送部及設置於上述搬送部之間之上述清洗機構部之基板清洗單元串列配置有複數個。根據上述(11)之構成之基板清洗裝置，可根據對基板進行之各種處理等串列設置包含搬送部及清洗機構部之複數個基板清洗單元而易擴大設備。

又，已參照特定之實施態樣詳細地對本創作進行了說明，但對業者而言，顯而易見能夠於不脫離本創作之精神及範圍之情況下，添加各種變更或修正。本申請案係基於2019年8月20日提出申請之日本實用新型註冊申請案2019-003113，其內容以參照之形式引入本文。

10:基板搬送裝置 11:搬送部 13:下側輥 15:上側輥 21:管體 22:支持軸部 23:凸緣部 25:補強管部 26:表層部 31:軸 32:固定構件 33:彈性環 50:清洗機構部 51:下側圓盤刷群 52:上側圓盤刷群 55:圓盤刷 56:驅動馬達 100:基板清洗裝置 200:基板清洗裝置 201:基板清洗單元 300:基板清洗裝置 301:基板清洗單元 G:玻璃板(基板)

圖1係具備本創作之實施形態之基板搬送裝置之基板清洗裝置的概略俯視圖。圖2係具備本創作之實施形態之基板搬送裝置之基板清洗裝置的概略側視圖。圖3係圖1之A-A線剖視圖。圖4係基板搬送裝置之搬送部之沿軸向之一部分的概略剖視圖。圖5係表示基板搬送裝置之搬送部之變化例之圖1的A-A線剖視圖。圖6係表示基板搬送裝置之搬送部及清洗機構部之另一配置例之基板清洗裝置的概略俯視圖。圖7係表示基板搬送裝置之搬送部及清洗機構部之另一配置例之基板清洗裝置的概略俯視圖。

11:搬送部

13:下側輥

15:上側輥

21:管體

22:支持軸部

23:凸緣部

26:表層部

31:軸

32:固定構件

33:彈性環

G:玻璃板

Claims

一種基板搬送裝置，其特徵在於：其具備搬送部，該搬送部具有彼此向相反方向旋轉之下側輥及上側輥，由上述下側輥與上述上側輥夾持基板進行搬送，且上述下側輥於與上述基板之搬送方向正交之寬度方向上，遍及較上述基板尺寸長之範圍具有樹脂製表層部，上述表層部抵接於上述基板下表面之上述寬度方向之整個範圍，上述上側輥具有軸、及設置於上述軸兩端附近之橡膠製彈性環，上述彈性環抵接於上述基板上表面之寬度方向之兩緣部附近部位。
如請求項1之基板搬送裝置，其中上述搬送部搬送由玻璃板構成之上述基板。
如請求項1或2之基板搬送裝置，其中上述彈性環係剖面觀察時呈矩形之方形環。
如請求項1或2之基板搬送裝置，其中上述彈性環係剖面觀察時呈圓形之O形環。
如請求項1或2之基板搬送裝置，其中於上述軸之兩端附近分別安裝有複數個上述彈性環。
如請求項1或2之基板搬送裝置，其中上述表層部係由聚氨酯樹脂形成。
如請求項1或2之基板搬送裝置，其中上述下側輥具有：不鏽鋼製管體，其外周捲繞有上述表層部；及碳纖維強化塑膠製補強管部，其嵌入上述管體。
一種基板清洗裝置，其具備如請求項1至7中任一項之基板搬送裝置，且上述基板清洗裝置中排列有複數個上述搬送部，於上述搬送部之間設置有清洗上述基板之上下表面之清洗機構部。
如請求項8之基板清洗裝置，其中上述清洗機構部具有一面抵接於上述基板之上下表面一面旋轉之複數個圓盤刷。
如請求項8之基板清洗裝置，其中上述清洗機構部具有一面抵接於上述基板之上下表面一面旋轉之複數個滾筒刷。
如請求項9之基板清洗裝置，其中上述清洗機構部之複數個上述圓盤刷俯視下配置成鋸齒狀。
如請求項8至11中任一項之基板清洗裝置，其中包含上述搬送部及設置於上述搬送部之間之上述清洗機構部之基板清洗單元串列配置有複數個。